JPH07205362A - 耐摩耗性に優れた表面被覆部材 - Google Patents
耐摩耗性に優れた表面被覆部材Info
- Publication number
- JPH07205362A JPH07205362A JP513294A JP513294A JPH07205362A JP H07205362 A JPH07205362 A JP H07205362A JP 513294 A JP513294 A JP 513294A JP 513294 A JP513294 A JP 513294A JP H07205362 A JPH07205362 A JP H07205362A
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- carbide
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 母材表面にＰＶＤ法で母材の特性を維持しな
がら形成でき、しかも、耐摩耗性だけでなく靱性も兼ね
備えている硬質被膜を持ち、切削工具などとして使用す
るのに好適な表面被覆部材を提供する。 【構成】 母材表面に設ける硬質被膜を、IVａ、Ｖａ、
VIａ族金属元素およびＡｌ、Ｓｉから選んだ２種以上の
元素の窒化物、酸化物、炭化物、炭窒化物或いはホウ化
物を０．４ｎｍ〜５０ｎｍの周期で組成を図４のように
連続的に変化させて全体の膜厚が０．５〜１０μｍとな
るように組合わせた構造の膜となした。この被膜は大き
な歪を有しており、優れた耐摩耗性及び靱性を示す。
がら形成でき、しかも、耐摩耗性だけでなく靱性も兼ね
備えている硬質被膜を持ち、切削工具などとして使用す
るのに好適な表面被覆部材を提供する。 【構成】 母材表面に設ける硬質被膜を、IVａ、Ｖａ、
VIａ族金属元素およびＡｌ、Ｓｉから選んだ２種以上の
元素の窒化物、酸化物、炭化物、炭窒化物或いはホウ化
物を０．４ｎｍ〜５０ｎｍの周期で組成を図４のように
連続的に変化させて全体の膜厚が０．５〜１０μｍとな
るように組合わせた構造の膜となした。この被膜は大き
な歪を有しており、優れた耐摩耗性及び靱性を示す。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＷＣ基超硬合金、サー
メット、セラミックス等を母材とし、その母材の表面に
硬質物質を特殊な層構成にして被覆することにより、母
材の耐欠損性を維持しながら耐摩耗性を向上させた表面
被覆部材に関する。なお、この部材の代表的な用途とし
ては切削工具や耐摩工具が挙げられる。
メット、セラミックス等を母材とし、その母材の表面に
硬質物質を特殊な層構成にして被覆することにより、母
材の耐欠損性を維持しながら耐摩耗性を向上させた表面
被覆部材に関する。なお、この部材の代表的な用途とし
ては切削工具や耐摩工具が挙げられる。
【０００２】
【従来の技術】切削工具、耐摩工具の耐摩耗性を向上さ
せるため、これ等の工具の母材表面にＰＶＤ法やＣＶＤ
法によりＴｉ、Ｈｆ、Ｚｒの炭化物、窒化物、炭窒化物
やＡｌの酸化物から成る単層又は複層の被覆膜を設ける
ことは既に一般化している。この硬質被膜をもつ表面被
覆部材の中でも特に、硬質被膜をＰＶＤ法で形成するも
のは、母材強度の劣化なしに耐摩耗性を向上できるとい
う特長があり、ドリル、エンドミル、フライス切削用ス
ローアウェイチップなど強度の要求される切削用途に適
応されている。
せるため、これ等の工具の母材表面にＰＶＤ法やＣＶＤ
法によりＴｉ、Ｈｆ、Ｚｒの炭化物、窒化物、炭窒化物
やＡｌの酸化物から成る単層又は複層の被覆膜を設ける
ことは既に一般化している。この硬質被膜をもつ表面被
覆部材の中でも特に、硬質被膜をＰＶＤ法で形成するも
のは、母材強度の劣化なしに耐摩耗性を向上できるとい
う特長があり、ドリル、エンドミル、フライス切削用ス
ローアウェイチップなど強度の要求される切削用途に適
応されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】Ａｌの酸化物被膜は、
耐摩耗性に関して非常に好ましいものであるが、ＰＶＤ
法ではこのＡｌの酸化膜を安定して被覆するのが難し
く、母材強度の面からＰＶＤ法を用いる部材については
このＡｌの酸化被膜は実用化に至っていない。
耐摩耗性に関して非常に好ましいものであるが、ＰＶＤ
法ではこのＡｌの酸化膜を安定して被覆するのが難し
く、母材強度の面からＰＶＤ法を用いる部材については
このＡｌの酸化被膜は実用化に至っていない。
【０００４】現在実用化されているものは、Ｔｉ、Ｈ
ｆ、Ｚｒ等の窒化物の被膜である。ところが、この種の
被膜は、特に、高速切削用途での耐摩性が不足し、早期
に寿命に至っている。
ｆ、Ｚｒ等の窒化物の被膜である。ところが、この種の
被膜は、特に、高速切削用途での耐摩性が不足し、早期
に寿命に至っている。
【０００５】そこで、本発明は、ＰＶＤ法での形成が可
能であり、しかも従来のＰＶＤ法による被膜に比べて格
段に優れている被膜をもった表面被覆部材を提供しよう
とするものである。
能であり、しかも従来のＰＶＤ法による被膜に比べて格
段に優れている被膜をもった表面被覆部材を提供しよう
とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、本発明においては、母材表面に設ける硬質被膜を、
IVａ、Ｖａ、VIａ族金属元素およびＡｌ、Ｓｉから選ん
だ２種以上の元素の窒化物、酸化物、炭化物、炭窒化物
或いはホウ化物を０．４ｎｍ〜５０ｎｍの周期で組成を
連続的に変化させて全体の膜厚が０．５〜１０μｍとな
るように組合わせた構造の膜となしたのである。
め、本発明においては、母材表面に設ける硬質被膜を、
IVａ、Ｖａ、VIａ族金属元素およびＡｌ、Ｓｉから選ん
だ２種以上の元素の窒化物、酸化物、炭化物、炭窒化物
或いはホウ化物を０．４ｎｍ〜５０ｎｍの周期で組成を
連続的に変化させて全体の膜厚が０．５〜１０μｍとな
るように組合わせた構造の膜となしたのである。
【０００７】この表面被覆部材を切削工具や耐摩工具と
して利用する場合の母材材料は、ＷＣ基超硬合金、サー
メット、セラミックスなどが適している。
して利用する場合の母材材料は、ＷＣ基超硬合金、サー
メット、セラミックスなどが適している。
【０００８】また、切削用途、耐摩用途では特に、母材
と硬質被膜との界面及び／若しくは硬質被膜の表面にIV
族金属元素の窒化物、炭化物、炭窒化物、酸化物の少な
くとも１種から成る中間層や表層膜を配することも有効
なことである。この中間層や表層膜は、Ｔｉの窒化物、
炭化物、炭窒化物、又はそれ等の積層物が特に好まし
い。
と硬質被膜との界面及び／若しくは硬質被膜の表面にIV
族金属元素の窒化物、炭化物、炭窒化物、酸化物の少な
くとも１種から成る中間層や表層膜を配することも有効
なことである。この中間層や表層膜は、Ｔｉの窒化物、
炭化物、炭窒化物、又はそれ等の積層物が特に好まし
い。
【０００９】以下、本発明の構成について更に詳細に述
べる。
べる。
【００１０】IVａ、Ｖａ、VIａ族金属元素およびＡｌ、
Ｓｉの中から選ばれた２種類以上の金属からなる合金の
窒化物、酸化物、炭化物、炭窒化物及びホウ化物の被膜
を形成した表面被覆硬質部材は、優れた切削工具、耐摩
工具となり得ることがこれまでに良く知られているが、
発明者らはこれらの膜について、形成された膜の微視的
な構造とその特徴を研究していくうちに以下のような重
大な知見を得るに至った。
Ｓｉの中から選ばれた２種類以上の金属からなる合金の
窒化物、酸化物、炭化物、炭窒化物及びホウ化物の被膜
を形成した表面被覆硬質部材は、優れた切削工具、耐摩
工具となり得ることがこれまでに良く知られているが、
発明者らはこれらの膜について、形成された膜の微視的
な構造とその特徴を研究していくうちに以下のような重
大な知見を得るに至った。
【００１１】その知見とは、上記合金の窒化物、炭化
物、炭窒化物及びホウ化物のうち２種以上の化合物の均
一な混合物で硬質膜を構成したり（図２）化合物の多層
の薄膜として硬質膜を形成する（図３）のではなく、１
種の純粋な化合物の層から別の純粋な化合物の層との間
で例えばＴｉとＡｌが徐々に置換されて連続的に組成が
変化する構造（図４）をもった硬質膜を形成すると、こ
の膜が優れた耐摩耗性および靱性を示すというものであ
る。これは、層と層の間で組成が連続的に、かつ急激に
変わるため、大きな歪が蓄積されるためであると考えら
れる。
物、炭窒化物及びホウ化物のうち２種以上の化合物の均
一な混合物で硬質膜を構成したり（図２）化合物の多層
の薄膜として硬質膜を形成する（図３）のではなく、１
種の純粋な化合物の層から別の純粋な化合物の層との間
で例えばＴｉとＡｌが徐々に置換されて連続的に組成が
変化する構造（図４）をもった硬質膜を形成すると、こ
の膜が優れた耐摩耗性および靱性を示すというものであ
る。これは、層と層の間で組成が連続的に、かつ急激に
変わるため、大きな歪が蓄積されるためであると考えら
れる。
【００１２】ここで注意すべきことは膜厚５０ｎｍ以下
の２種類の薄膜を積層させていくにあたり積層周期（２
種の薄膜１層ずつの和、図４においては、たとえばＡｌ
Ｎから始まってＴｉＮに変わり再びＡｌＮに戻るまでの
範囲を云う）が１００ｎｍ以上あるとその間に多数の転
位が導入されてしまうために歪が緩和されてしまい、硬
質膜としての優れた性質を失う。図４における濃淡はＡ
ｌ又はＴｉの濃度分布を示すもので、ＴｉＮ層にはＡｌ
が、ＡｌＮ層にはＴｉが各中心部に向かって相互に変化
する状態を示すものである。
の２種類の薄膜を積層させていくにあたり積層周期（２
種の薄膜１層ずつの和、図４においては、たとえばＡｌ
Ｎから始まってＴｉＮに変わり再びＡｌＮに戻るまでの
範囲を云う）が１００ｎｍ以上あるとその間に多数の転
位が導入されてしまうために歪が緩和されてしまい、硬
質膜としての優れた性質を失う。図４における濃淡はＡ
ｌ又はＴｉの濃度分布を示すもので、ＴｉＮ層にはＡｌ
が、ＡｌＮ層にはＴｉが各中心部に向かって相互に変化
する状態を示すものである。
【００１３】また、層と層の間隔を０．２ｎｍ未満にす
ることは製造技術上困難である。
ることは製造技術上困難である。
【００１４】なお、積層周期内での組成傾斜については
積層周期全域にわたって組成を傾斜させることも可能で
あるし、積層周期の一部にわたって実施することも可能
である。傾斜させる組成に関しても２種の材料の濃度を
自由に設定することができる。例えばＴｉＮ→ＴｉＡｌ
Ｎ→ＴｉＮというようにＴｉＮとＴｉ５０％、Ａｌ５０
％の窒化物の間で傾斜させてもよい。さらにくわえてこ
の多層膜を形成する際、硬質被膜と母材の界面、また
は、硬質被膜の最表面にIV族金属元素の窒化物、炭窒化
物、炭化物、酸化物を形成しておくと、さらに良好な耐
摩耗性を得ることができるという知見を得た。
積層周期全域にわたって組成を傾斜させることも可能で
あるし、積層周期の一部にわたって実施することも可能
である。傾斜させる組成に関しても２種の材料の濃度を
自由に設定することができる。例えばＴｉＮ→ＴｉＡｌ
Ｎ→ＴｉＮというようにＴｉＮとＴｉ５０％、Ａｌ５０
％の窒化物の間で傾斜させてもよい。さらにくわえてこ
の多層膜を形成する際、硬質被膜と母材の界面、また
は、硬質被膜の最表面にIV族金属元素の窒化物、炭窒化
物、炭化物、酸化物を形成しておくと、さらに良好な耐
摩耗性を得ることができるという知見を得た。
【００１５】なお、本発明を切削工具や耐摩工具に応用
する際の母材は、勿論高速度鋼等であってもよい。
する際の母材は、勿論高速度鋼等であってもよい。
【００１６】
【実施例】以下に、本発明の表面被覆部材の具体例とそ
の製造方法について説明する。
の製造方法について説明する。
【００１７】基板母材として、ＪＩＳ規格Ｐ３０の超硬
合金と、サーメットと、セラミックスを用意した。母材
の形状はＪＩＳ・ＳＮＧ４３２の切削チップである。こ
の切削チップを、公知の真空アーク蒸着法によりターゲ
ットとしてＴｉとＡｌ、ＺｒとＨｆ、およびＴｉとＨｆ
の３種の組合せを用いて被覆を行なった。
合金と、サーメットと、セラミックスを用意した。母材
の形状はＪＩＳ・ＳＮＧ４３２の切削チップである。こ
の切削チップを、公知の真空アーク蒸着法によりターゲ
ットとしてＴｉとＡｌ、ＺｒとＨｆ、およびＴｉとＨｆ
の３種の組合せを用いて被覆を行なった。
【００１８】図１に示すように、蒸着装置１内の一方に
Ｔｉターゲット２を設置し、その向い側にＡｌターゲッ
ト３を設置し、その中央でターンテーブル４上の切削チ
ップＴＡが一分間に５０回転するように調節した後、炉
内をＡｒガス１×１０-2Ｔｏｒｒの真空度に保ち、切削
チップに−２０００Ｖの電圧をかけて洗浄を行い、さら
に、５００℃まで加熱した後、Ａｒを排気してＮ2 ガス
を３００ＣＣ／ｍｉｎの割合で導入した。ここで真空ア
ーク放電によりＴｉターゲット、Ａｌターゲットを蒸
発、イオン化させることにより、切削チップがＴｉとＡ
ｌの混合蒸気の中を通過することになる。このとき、被
覆対象の切削チップを回転させることで表面にＡｌＮか
らＡｌの濃度が下がり、逆にＴｉの濃度が増してＴｉＡ
ｌＮ、そしてＴｉＮへ、更にＴｉＮからＴｉの濃度が下
がり、Ａｌの濃度が増して再びＡｌＮへと連続的に組成
の変化する組成変化の繰り返し層を持った膜を形成する
ことができた。全体の層厚は被覆時間によって制御し
た。
Ｔｉターゲット２を設置し、その向い側にＡｌターゲッ
ト３を設置し、その中央でターンテーブル４上の切削チ
ップＴＡが一分間に５０回転するように調節した後、炉
内をＡｒガス１×１０-2Ｔｏｒｒの真空度に保ち、切削
チップに−２０００Ｖの電圧をかけて洗浄を行い、さら
に、５００℃まで加熱した後、Ａｒを排気してＮ2 ガス
を３００ＣＣ／ｍｉｎの割合で導入した。ここで真空ア
ーク放電によりＴｉターゲット、Ａｌターゲットを蒸
発、イオン化させることにより、切削チップがＴｉとＡ
ｌの混合蒸気の中を通過することになる。このとき、被
覆対象の切削チップを回転させることで表面にＡｌＮか
らＡｌの濃度が下がり、逆にＴｉの濃度が増してＴｉＡ
ｌＮ、そしてＴｉＮへ、更にＴｉＮからＴｉの濃度が下
がり、Ａｌの濃度が増して再びＡｌＮへと連続的に組成
の変化する組成変化の繰り返し層を持った膜を形成する
ことができた。全体の層厚は被覆時間によって制御し
た。
【００１９】以上の方法にて表１に示される層構成の硬
質被膜層を形成することにより、本発明の表面被覆切削
チップを製造した（実施例Ｉ）。同様にターゲットとし
てＺｒとＨｆ、反応ガスとしてＣＨ4 を使用し、連続的
に組成が変化してＺｒＣとＨｆＣになる膜を形成した
（実施例II）。また、ターゲットとしてＴｉとＨｆ、反
応ガスとしてＣＨ4 を用い連続的に組成が変化してＴｉ
ＣとＨｆＣになる膜を形成した（実施例III ）。
質被膜層を形成することにより、本発明の表面被覆切削
チップを製造した（実施例Ｉ）。同様にターゲットとし
てＺｒとＨｆ、反応ガスとしてＣＨ4 を使用し、連続的
に組成が変化してＺｒＣとＨｆＣになる膜を形成した
（実施例II）。また、ターゲットとしてＴｉとＨｆ、反
応ガスとしてＣＨ4 を用い連続的に組成が変化してＴｉ
ＣとＨｆＣになる膜を形成した（実施例III ）。
【００２０】さらに、比較のため、同じ切削チップを同
じ装置にて表面にＴｉおよびＡｌの窒化物、炭化物、炭
窒化物のうちの１種類の単層、もしくは２種類以上の複
層を形成した表面被覆切削チップＡ〜Ｃをそれぞれ製造
し、通常良く用いられているＣＶＤ法にてコーティング
した表面被覆切削チップＤ、Ｅも用意した。また、Ｆと
して、通常良く知られている合金の蒸発源を使用して作
製したＴｉＡｌＮ膜被覆の切削チップを用意した。ま
た、Ｇとして組成が連続的に変わるのではなく、図３の
ように２種類の層が断続的に入れ変わるＴｉＮとＡｌＮ
の積層膜を形成した表面被覆切削チップを用意した。ま
た、ＺｒＨｆＣおよびＴｉＨｆＣについても同様な層構
成をもつ表面被覆切削チップを用意した。これらをまと
めて表１、表２、表３、表４に示す。
じ装置にて表面にＴｉおよびＡｌの窒化物、炭化物、炭
窒化物のうちの１種類の単層、もしくは２種類以上の複
層を形成した表面被覆切削チップＡ〜Ｃをそれぞれ製造
し、通常良く用いられているＣＶＤ法にてコーティング
した表面被覆切削チップＤ、Ｅも用意した。また、Ｆと
して、通常良く知られている合金の蒸発源を使用して作
製したＴｉＡｌＮ膜被覆の切削チップを用意した。ま
た、Ｇとして組成が連続的に変わるのではなく、図３の
ように２種類の層が断続的に入れ変わるＴｉＮとＡｌＮ
の積層膜を形成した表面被覆切削チップを用意した。ま
た、ＺｒＨｆＣおよびＴｉＨｆＣについても同様な層構
成をもつ表面被覆切削チップを用意した。これらをまと
めて表１、表２、表３、表４に示す。
【００２１】次に、これらの試作表面被覆切削チップに
ついて、連続切削試験、および断続切削試験を表５に示
した条件にて行ない、切れ刃の逃げ面摩耗量を測定し
た。その結果を表１〜表４に併せて示す。
ついて、連続切削試験、および断続切削試験を表５に示
した条件にて行ない、切れ刃の逃げ面摩耗量を測定し
た。その結果を表１〜表４に併せて示す。
【００２２】
【表１】
【００２３】
【表２】
【００２４】
【表３】
【００２５】
【表４】
【００２６】
【表５】
【００２７】表１〜表４に示す切削実験結果から判るよ
うに、本発明の表面被覆切削チップは、いずれも従来の
被覆切削チップＡ〜Ｆと同様の材料で硬質被膜を形成し
たにも拘らず、従来チップに比べてはるかに優れた耐欠
損性と耐摩耗性を発揮する。
うに、本発明の表面被覆切削チップは、いずれも従来の
被覆切削チップＡ〜Ｆと同様の材料で硬質被膜を形成し
たにも拘らず、従来チップに比べてはるかに優れた耐欠
損性と耐摩耗性を発揮する。
【００２８】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の表面被覆部
材は、所定周期で連続的に組成を変化させて構成した硬
質被膜が、優れた耐摩耗性、溶着防止特性、耐酸化性、
摺動特性、耐マイクロチッピング性を有し、従来の被膜
と同等以上の硬さを持ちながら靱性も兼ね備えている
上、その被膜をＰＶＤ法で形成できるため、切削工具や
耐摩工具として用いると、長期に渡って良好な工具性能
を維持し続けると言う効果が得られる。
材は、所定周期で連続的に組成を変化させて構成した硬
質被膜が、優れた耐摩耗性、溶着防止特性、耐酸化性、
摺動特性、耐マイクロチッピング性を有し、従来の被膜
と同等以上の硬さを持ちながら靱性も兼ね備えている
上、その被膜をＰＶＤ法で形成できるため、切削工具や
耐摩工具として用いると、長期に渡って良好な工具性能
を維持し続けると言う効果が得られる。
【００２９】なお、本発明の部材は、切削工具、耐摩工
具はもとより、表面の摩滅防止が要求される摺動部品等
に利用しても寿命延長の効果がある。
具はもとより、表面の摩滅防止が要求される摺動部品等
に利用しても寿命延長の効果がある。
【図１】本発明の表面被覆部材の製造方法の一例を示す
線図
線図
【図２】硬質被膜の層構成の説明図（従来品）
【図３】硬質被膜の層構成の説明図（従来品）
【図４】硬質被膜の層構成の説明図（本発明の一例）
１ 真空アーク蒸着装置 ２、３ ターゲット ４ ターンテーブル ＴＡ 切削チップ
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ２３Ｃ 14/06 Ｂ 9271−4Ｋ Ｃ 9271−4Ｋ Ｈ 9271−4Ｋ 14/08 Ａ 9271−4Ｋ 14/18 9271−4Ｋ (72)発明者 瀬戸山 誠 伊丹市昆陽北一丁目１番１号 住友電気工 業株式会社伊丹製作所内 (72)発明者 中山 明 伊丹市昆陽北一丁目１番１号 住友電気工 業株式会社伊丹製作所内 (72)発明者 吉岡 剛 伊丹市昆陽北一丁目１番１号 住友電気工 業株式会社伊丹製作所内
Claims (7)
- 【請求項１】 IVａ、Ｖａ、VIａ族金属元素およびＡ
ｌ、Ｓｉから選んだ２種以上の元素の窒化物、酸化物、
炭化物、炭窒化物或いはホウ化物を０．４ｎｍ〜５０ｎ
ｍの周期で組成を連続的に変化させて全体の膜厚が０．
５〜１０μｍとなるように組合わせた硬質被膜を母材表
面に持つことを特徴とする耐摩耗性に優れた表面被覆部
材。 - 【請求項２】 ＷＣ基超硬合金、サーメット又はセラミ
ックスから成る母材の表面に請求項１記載の硬質被膜を
設けてある切削工具又は耐摩工具。 - 【請求項３】 前記母材と硬質被膜との界面にIV族金属
元素の窒化物、炭化物、炭窒化物、酸化物の少なくとも
１種から成る中間層を配してある請求項２記載の切削工
具又は耐摩工具。 - 【請求項４】 前記中間層がＴｉの窒化物、炭化物、炭
窒化物、又はそれ等の積層物である請求項３記載の切削
工具又は耐摩工具。 - 【請求項５】 前記硬質被膜の表面に、Ｔｉの窒化物、
炭化物、炭窒化物、もしくはそれ等の積層物から成る表
層膜を配した請求項２、３又は４記載の切削工具又は耐
摩工具。 - 【請求項６】 前記硬質被膜として、５０ｎｍ以下の周
期でＴｉとＡｌの濃度が連続的に変化する窒化物被膜を
有している請求項２記載の切削工具又は耐摩工具。 - 【請求項７】 前記母材と硬質被膜との界面にＴｉの窒
化物からなる中間層を有している請求項６記載の切削工
具又は耐摩工具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00513294A JP3460288B2 (ja) | 1994-01-21 | 1994-01-21 | 耐摩耗性に優れた表面被覆部材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00513294A JP3460288B2 (ja) | 1994-01-21 | 1994-01-21 | 耐摩耗性に優れた表面被覆部材 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07205362A true JPH07205362A (ja) | 1995-08-08 |
| JP3460288B2 JP3460288B2 (ja) | 2003-10-27 |
Family
ID=11602793
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP00513294A Expired - Lifetime JP3460288B2 (ja) | 1994-01-21 | 1994-01-21 | 耐摩耗性に優れた表面被覆部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3460288B2 (ja) |
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| WO2003064085A1 (fr) * | 2002-01-31 | 2003-08-07 | Mitsubishi Materials Corporation | Element d'outil de coupe revetu a couche de revetement dure et procede de formation de la couche de revetement dure sur l'outil de coupe |
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