JPH0720062A

JPH0720062A - 画像検出装置

Info

Publication number: JPH0720062A
Application number: JP5143936A
Authority: JP
Inventors: Fuyuhiko Inoue; 冬彦井上
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1993-06-15
Filing date: 1993-06-15
Publication date: 1995-01-24

Abstract

(57)【要約】【目的】検査対象の試料に形成された穴部を簡単に検
出できる画像検出装置を提供する。【構成】プリント基板の特定範囲を撮影してパッドＰ
Ｄを”１”、スルーホールＴＨを”０”とするｎ×ｎ画
素の判定画像データを作成する。作成された判定画像デ
ータ内の画素Ｐjcにて交差する４本のドットパターンＳ
1〜Ｓ4を切り出し、これらのパターン上での階調”０”
の画素がスルーホールＴＨの直径に相当する数だけ連続
するか否かを判定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、プリント基板やフォト
マスクの配線パターン等の外観検査に用いる画像検出装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、プリント基板の外観検査では、Ｃ
ＣＤセンサなどの撮像手段により基板の所定範囲を撮像
し、得られた画像データを参照データと比較して外観の
良否を判定している。ところで、多くのプリント基板に
は、例えば図９に示すように配線パターンＰＬ上にパッ
ドＰＤが形成され、ここに表裏面の接続等を目的として
貫通孔（以下、スルーホールと呼ぶ）ＴＨが形成され
る。このようなプリント基板の外観の良否を検査するに
は、スルーホールＴＨに関するデータを上述した参照デ
ータに付加する必要がある。この参照データは、通常、
パターン露光用のアートワークフィルムやプリント基板
の設計データに基づいて作成されるが、アートワークフ
ィルムにはスルーホールが存在しないのでスルーホール
を含んだ参照データを作成することはできない。一方、
プリント基板の設計データを用いる場合は、スルーホー
ルを加工するためのドリルデータを配線パターンの設計
データに重ね合わせることでスルーホールを含んだ参照
データを作成できる。この参照データ上ではスルーホー
ルがパッドの中心に位置するが、実際に加工されるスル
ーホールは、ドリルの位置決め誤差により、例えば図１
０（ａ）に二点鎖線で示すようにパッドＰＤの中心から
偏心することが多い。このような偏心はスルーホールの
用途上何等問題とならないが、上述した比較法により外
観検査する際には、参照データと実際の基板との間に形
状差が存在して欠陥と誤認される原因となり、パッドＰ
Ｄの形状に何等問題がなくても不良基板と誤って判定さ
れる不都合が生じる。

【０００３】以上の事情から、現状では参照データにス
ルーホールのデータを取り込まず、これに代えてスルー
ホールが既に加工されたプリント基板を撮像して実際の
スルーホールの位置を検出し、図１０（ｂ）に示すよう
に検査対象のパッドの画像Ｄｐからスルーホールが消滅
するように画像データを修正している。このスルーホー
ルの検出方法としては、配線パターンが存在せずスルー
ホールのみが形成された基板を検査対象の基板とは別に
用意してスルーホールの位置認識を行なう方法や、画像
の特徴抽出手法のような高度の画像処理手法を用いて画
像中の二重円部分を認識する方法がある。また、プリン
ト基板をその被検査面と反対側から照明する透過照明系
を設けたならば、スルーホールを介して透過光が検出で
きるので配線パターンがあっても容易にスルーホールの
位置を認識できる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した画像
データの修正では、検査に先立ってスルーホールの位置
検出のための撮影が必要となり、検査工数が増加する。
また、画像処理手法を用いる場合には、パッドＰＤとそ
の他のパターンとを判別できるが、扱うデータ量が膨大
なので処理速度に問題がある。透過照明を利用する場合
には、基板を載せるステージを透過材料で作成する必要
があり、基板を真空吸着等によりステージに固定する機
構を設けることも困難となるばかりでなく、基板の厚み
によりスルーホールの縁部に影が生じ、スルーホールの
位置を正確に検出できないという問題がある。

【０００５】本発明の目的は、検査対象の試料に形成さ
れた穴部を簡単に検出できる画像検出装置を提供するこ
とにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】図１に対応付けて説明す
ると、本発明の画像検出装置は、試料の所定範囲を撮像
して該撮像範囲の輝度分布に対応した画像データを出力
する撮像手段１００と、出力された画像データから２次
元に画素分割可能な判定画像データを作成する判定画像
データ作成手段１０１と、作成された判定画像データ内
の一箇所で交差するように設定される複数の直線状のデ
ータ検出範囲の画素の階調を検出する検出手段１０２
と、試料に形成された穴部に対応するデータが判定画像
データ内に存在するか否かを検出手段１０２で検出した
複数のデータ検出範囲の画素の階調に基づいて判定する
判定手段１０３とを備えることにより上述した目的を達
成する。

【０００７】請求項２の装置では、判定手段１０３が、
複数のデータ検出範囲内で試料の穴部に対応する階調の
画素が当該穴部の直径に相当する数だけ連続するか否か
を判定し、この判定結果に基づいて試料の穴部に対応す
るデータが判定画像データ内に存在するか否かを判定す
る。ここで、試料の穴部の直径に相当する画素の数に
は、穴部の直径誤差に応じて多少の許容範囲を設けてよ
い。

【０００８】請求項３の装置では、判定画像データ内に
試料の穴部に対応するデータが存在すると判定したとき
に、撮像手段１００から後処理手段１０４へ向けて出力
される後処理用の画像データ上で当該穴部に対応するデ
ータが消滅するように当該後処理用の画像データを修正
する画像修正手段１０５を設けた。

【０００９】

【作用】試料の穴部は、その周囲が必ず輝度の異なる部
分で囲まれる。したがって、判定画像データ内に設定さ
れた複数のデータ検出範囲の交点が試料の穴部の中心に
一致する場合、すべてのデータ検出範囲において、試料
の穴部の直径に相当する距離だけ離間した一対の位置で
穴部外周の輝度変化に対応する階調変化が生じる。この
ため、試料の各所について判定画像データ作成手段１０
１により判定画像データを作成し、作成された判定画像
データ内に設定される複数のデータ検出範囲の画素の階
調を検出手段１０２で検出して上述した階調変化の有無
を判定手段１０３で判定すれば、試料に形成された穴部
を特定できる。上述した階調変化の有無を検出するに
は、例えば請求項２の装置のように、試料の穴部に対応
する階調の画素が穴部の直径に相当する数だけ連続する
か否かを判定すればよい。

【００１０】請求項３の装置では、判定画像データ内に
試料の穴部に対応するデータが存在すると判定手段１０
３により判定されると、撮像手段１００から後処理手段
１０４へ向けて出力される後処理用の画像データ上で当
該穴部に対応するデータが消滅するように後処理用の画
像データが画像修正手段１０５により修正される。

【００１１】

【実施例】以下、図２〜図８を参照して本発明をプリン
ト基板の外観検査装置に適用した一実施例を説明する。
なお、プリント基板の構成については上述した図９およ
び図１０と同一符号を用いる。

【００１２】図２は本実施例の画像検出装置の回路構成
を示すものである。図中符号１は検査対象のプリント基
板をその表面と平行な面内で移動させるステージ、２は
ステージ１に載置されたプリント基板を撮像するＣＣＤ
センサであり、複数の受光部を一直線に配列したいわゆ
るラインセンサが用いられている。このＣＣＤセンサ２
の受光部の配列方向と直交する方向へのステージ１の移
動と、ＣＣＤセンサ２によるプリント基板の撮像とが交
互に繰り返されてプリント基板がその一端から他端まで
順に撮像される。ＣＣＤセンサ２の出力信号は、ＡＤ変
換器３Ａおよび二値化回路３Ｂにより、プリント基板の
配線パターン部分（銅部分）を”１”、基材部分を”
０”とする２値の画像データに変換されて画像形成回路
４に入力される。なお、プリント基板のスルーホールは
基材部分と同様に”０”に変換される。

【００１３】画像形成回路４は、ＡＤ変換器３を介して
順列的に出力される画像データを不図示のメモリの対応
するアドレスへ順次格納して２次元に画素分割可能な判
定画像データを作成する。ドットパターン切り出し回路
６は、画像形成回路４で作成された判定画像データ内の
特定範囲の画素のデータをアドレス生成回路７〜１０へ
出力する。図３は画像形成回路４のメモリ上で作成され
る判定画像データＤjの構造とここから切り出される画
素列（以下、ドットパターンと呼ぶ。）Ｓ1〜Ｓ4との関
係を示すものである。なお、以下では説明の便宜上、判
定画像データＤjの右端へ向う方向をｘ方向、上端へ向
う方向をｙ方向と呼び、ステージ１によるプリント基板
の移動方向は、判定画像データＤj中のｘ方向に一致す
るものとする。

【００１４】図３において、判定画像データＤjを構成
する画素Ｐjのｙ方向の列がＣＣＤセンサ２による１回
の撮影でＡＤ変換器３から出力されるデータに対応し、
一列の画素数はＣＣＤセンサ２の画素数に等しくｎ個で
ある。図から明らかなように、判定画像データＤjは、
連続したｎ回の撮影で得られたデータをｘ方向に撮影順
に並べて構成され、その総画素数はｎ×ｎ個である。Ｃ
ＣＤセンサ２による撮影に同期して画像形成回路４のメ
モリが書き込み状態に切り換わると、判定画像データＤ
jの右端の列のデータがクリアされて各列のデータがメ
モリ上を１画素分ずつｘ方向へ転送され、空域となった
判定画像データＤjの左端の列に新たに撮影されたデー
タが書き込まれる。

【００１５】ＣＣＤセンサ２による１回の撮影が終了し
て画像形成回路４のメモリが読み出し状態に切り換わる
と、ドットパターン切り出し回路６は、判定画像データ
Ｄjの中央の画素Ｐjcを中心に周方向へ等しいピッチで
放射状に延びる４本のドットパターンＳ1，Ｓ2，Ｓ3，
Ｓ4を切り出す。そして、ドットパターンＳ1の画素Ｐj
のデータをアドレス生成回路７へ、ドットパターンＳ2
の画素Ｐjのデータをアドレス生成回路８へ、ドットパ
ターンＳ3の画素Ｐjのデータをアドレス生成回路９へ、
ドットパターンＳ4の画素Ｐjのデータをアドレス生成回
路１０へそれぞれ出力する。ここで、ドットパターンＳ
2，Ｓ4の画素数は、試料上での長さをドットパターンＳ
1，Ｓ3のそれと一致させるため、ｎ／√２個とした。

【００１６】アドレス生成回路７〜１０は、ドットパタ
ーンＳ1〜Ｓ4の画素の階調”０”，”１”を各ドットパ
ターンＳ1〜Ｓ4の一端から他端まで順に並べたアドレス
信号を生成し、このアドレス信号をメモリ１１〜１４へ
出力する。図５（ａ）に示すようにドットパターンＳ1
がプリント基板のスルーホールＴＨおよびパッドＰＤと
重なる場合、ドットパターンＳ1に対応するアドレス生
成回路７では、ドットパターンＳ1の上端から下端へ向
って各画素の階調を整列させたｎ桁のアドレス信号｛00
1110000000000011100｝を生成する。

【００１７】なお、図ではｎ＝２１としたが実際のＣＣ
Ｄセンサ２の画素数は遥かに多い。例えば試料上の１０
×１０mmの領域を１画素当たり１０μｍの分解能で撮影
するならばｎ＝１０００となる。この分解能はプリント
基板の外観検査での要求精度に応じて定められるもの
で、スルーホールを検出するために必要な分解能がこれ
より低い場合には、例えば図４に示すように連続するｍ
個の画素Ｐjにより画素群Ｅjを構成し、この画素群Ｅj
内のスルーホールに対応する階調”０”の画素の数が所
定数（例えば過半数ｍ／２）を越えるとき画素群Ｅjの
階調を”０”としてｎ／ｍ桁のアドレス信号を作成して
もよい。ちなみに、図４の例では５個の画素Ｐjにより
画素群Ｅjが構成されるので、一画素Ｐjが基板上で１０
μｍとすればスルーホールを検出する分解能は５０μｍ
となる。このような処理によりアドレス生成回路７〜１
０で生成されるアドレスの桁数が減少し、メモリ１１〜
１４の必要容量が削減される。

【００１８】メモリ１１〜１４は、アドレス生成回路７
〜１０からの信号で指定されたアドレスのデータ”０”
または”１”を判定回路１５に出力する。このデータ
は、計算機１６により、検出すべきスルーホールの直径
に応じて予め書き込まれるものである。すなわち、装置
のオペレータが検出すべきスルーホールの直径φを計算
機１６へ入力すると、計算機１６は直径φに対応するド
ットパターンＳ1〜Ｓ4上での画素数Ｎ１〜Ｎ４を演算す
る。なお、図示の例ではＮ１＝Ｎ３、Ｎ２＝Ｎ４＝Ｎ１
／√２である。そして、メモリ１１〜１４の全アドレス
のデータをすべて”０”にクリアした上で、アドレスの
中央桁を中心にＮ１〜Ｎ４個だけ”０”が連続し、これ
らを挟む桁が”１”となるすべてのアドレスのデータ
を”１”に書き換える。さらに、データ”１”を書き込
んだアドレスを中心として直径誤差等を見込んだ幾つか
のアドレスのデータを”１”とする。

【００１９】例えば、図５（ａ）に示すようにドットパ
ターンＳ1，Ｓ3上で１１画素分に相当する直径のスルー
ホールＴＨを検出する場合、ドットパターンＳ1，Ｓ3に
対応するメモリ１１，１３には図６に示すようにデータ
が書き込まれる。図６では、アドレスの中央桁である１
１桁目を中心に”０”が１１個連続し、かつこれらを挟
む桁が”１”となるアドレスＡＤ0｛XXXX1000000000001
XXXX｝にデータ”１”が書き込まれる。なお、図６中の
Xには”0”および”1”の双方が含まれる。

【００２０】また、図６の例では、アドレスＡＤ0より
も上位桁および下位桁へ１桁ずつ”0”を拡張または削
減したアドレスＡＤ1｛XXX100000000000001XXX｝，ＡＤ
2｛XXXXX10000000001XXXXX｝にもデータ”１”が書き込
まれ、さらには、アドレスＡＤ1に対して下位桁側の”
０”の連続数を１個ずつ減少させたアドレスＡＤ3｛XXX
10000000000001XXXX｝，ＡＤ4｛XXX1000000000001XXXX
X｝、アドレスＡＤ2に対して下位桁側の”０”の連続数
を１個ずつ増加させたアドレスＡＤ5｛XXXXX1000000000
01XXXX｝，ＡＤ6｛XXXXX1000000000001XXX｝にもデー
タ”１”が書き込まれ、これら以外のアドレスのデータ
がすべて”０”となる。ここで、アドレスＡＤ1〜ＡＤ4
のデータ”１”は、スルーホールの直径誤差をそれぞれ
±２画素分ずつ許容するものである。また、アドレスＡ
Ｄ5，ＡＤ6のデータ”１”は、スルーホールの位置ずれ
を２画素分まで見込んだものである。これらの誤差や許
容値を何画素分設定するかは、上述したスルーホールの
直径と同じく計算機１６で指示される。なお、ドットパ
ターンＳ2，Ｓ4に対応するメモリ１２では、アドレス上
の”０”の連続数が１１個から１１／√２≒７個に変更
される点が異なるのみである。

【００２１】判定回路１５（図２）はメモリ１１〜１４
から出力されるデータがすべて”１”のときスルーホー
ルの存在を示すデータ”１”を円図形発生回路１７へ出
力し、それ以外のときにはスルーホールの不在を示すデ
ータ”０”を円図形発生回路１７へ出力する。円図形発
生回路１７は、判定回路１５からデータ”１”が出力さ
れたとき、バッファメモリ５に蓄えられた判定画像デー
タ内の中心の画素Ｐjcからスルーホールの直径φに相当
する範囲内の全画素の階調を”１”に変換して判定画像
データ中からスルーホールを消滅させる。修正後の画像
データは、後続する検査回路、例えば画像データと参照
データとの幾何学形状を対比する回路等へ検査対象の基
板の画像データとして出力される。なお、バッファメモ
リ５内でスルーホールに対応する画素を特定するには、
スルーホールの直径φとこれに対応する判定画像データ
上での座標との関係を示すデータテーブルを計算機１６
で作成し、円図形発生回路１７に与えておけばよい。

【００２２】本実施例の装置によるスルーホールの検出
動作を図５の例で説明する。図５（ａ）に示すようにス
ルーホールＴＨの中心とドットパターンＳ1〜Ｓ4の交点
の画素Ｐjcとが一致するとき、各ドットパターンＳ1〜
Ｓ4ではスルーホールＴＨに対応する階調”０”の画素
が画素Ｐjcを中心にスルーホールＴＨの直径に相当する
数だけ連続する。このため、アドレス生成回路７，９か
らはアドレス信号｛XXXX1000000000001XXXX｝が、アド
レス生成回路８，１０からはアドレス信号｛XXX1000000
01XXX｝が出力される。上述した通り、メモリ１１〜１
４のこれらのアドレスにはデータ”１”が格納されてい
るので、判定回路１５に入力されるデータはすべて”
１”であり、これにより判定回路１５は判定画像データ
内にスルーホール有りと判定して円図形発生回路１７に
スルーホールの直径を示すデータを出力する。これを受
けて円図形回路１７はバッファメモリ５に格納された判
定画像データ内のスルーホールに対応するすべての画素
の階調を”１”に変換する。これにより、スルーホール
の消滅した画像データが得られる。

【００２３】一方、図５（ｂ）に示すようにドットパタ
ーンＳ1〜Ｓ4の交点の画素Ｐjcが一対のパッドＰＤの中
間の基材ＢＰ上に位置するときは、たとえドットパター
ンＳ3上で階調”０”の画素がスルーホールＴＨに対応
する画素数（１１個）だけ連続していても、他のドット
パターンＳ1，Ｓ2，Ｓ4の少なくともいずれか一つ（図
示例ではＳ1，Ｓ2，Ｓ4のすべて）で、階調”０”の画
素の連続数がスルーホールＴＨの直径に相当する数に対
して上述した許容範囲の１画素を越えて増加または減少
する。このため、メモリ１１〜１４のいずれからデー
タ”０”が出力され、判定回路１５からはスルーホール
ＴＨの不在を示すデータ”０”が出力される。したがっ
て、パッドＰＤ間の基材ＢＰに対応する画像データが誤
って階調”１”に変換されることはない。

【００２４】プリント基板の配線パターンＰＬの性質
上、スルーホールＴＨを囲むパッドＰＤの内周以外のエ
ッジにより、４本のドットパターンＳ1〜Ｓ4のすべてで
階調”０”の画素がスルーホールＴＨの直径に相当する
数だけ連続する可能性はほとんどない。したがって、本
実施例によれば配線パターンが形成された検査対象のプ
リント基板であっても正確にスルーホールを検出でき
る。本実施例では、ＣＣＤセンサ２からの出力に基づい
て２次元の判定画像データＤjを作成し、この判定画像
データＤj内の４本のドットパターンＳ1〜Ｓ4上での階
調分布に応じたアドレス信号を作成するだけでスルーホ
ールの有無が判定されるので、高度な画像処理が不要で
扱うデータ量も少なく、スルーホールＴＨに対応するデ
ータを迅速かつ簡単に検出して適切な処理を施すことが
できる。

【００２５】本実施例では図６にアドレスＡＤ1，2で示
すように、スルーホールの直径の誤差を見込んでメモリ
１１〜１４へデータを”１”書き込んでいるので、例え
ば図７に示すようにドリルの許容範囲内の加工誤差でス
ルーホールが楕円状に形成された場合でもこれを検出す
ることが可能となる。なお、直径が異なる複数のスルー
ホールを検出したい場合には、メモリ１１〜１４に直径
に応じたデータをすべて書き込んでおけばよい。プリン
ト基板のパッドＰＤの形成過程で図８に示すようにスル
ーホールＴＨの一部に銅の突起ＰＮが生じた場合、ドッ
トパターンＳ1〜Ｓ4のいずれかがこの突起ＰＮと重なっ
てスルーホールＴＨの存在が否定され、これに対応する
画像データは未修正のまま後処理へ送られる。このよう
な画像データをスルーホールの無い参照データと比較す
れば、幾何学形状が異なるために欠陥と判定され、パッ
ドＰＤの不良が判明する。

【００２６】本実施例では４本のドットパターンＳ1〜
Ｓ4によりスルーホールＴＨに対応するデータの有無を
判定したが、本発明は４本に限定されるものではない。
ドットパターンの本数が多いほどスルーホール以外のデ
ータをスルーホールと誤認するおそれが減少するもの
の、扱うデータ量はそれに応じて増加する。したがっ
て、ドットパターンの本数は、スルーホールと紛らわし
い配線パターンの存在状況に応じて定めるべきであり、
単純な基板であれば互いに直交する２本のドットパター
ンＳ1，Ｓ3のみでも十分な精度が得られる可能性があ
る。また、実施例では画像形成回路４で作成した２値の
判定画像データそのものを修正したが、ＡＤ変換器３か
ら後処理用の画像データとスルーホール検出用の画像デ
ータを並列に出力させ、スルーホールの検出結果に応じ
て後処理用の画像データを修正する構成としてもよい。

【００２７】以上の実施例では、ＣＣＤセンサ２が撮像
手段を、画像形成回路４が判定画像データ作成手段を、
ドットパターン検出回路６およびアドレス生成回路７〜
１０が検出手段を、メモリ１１〜１４および判定回路１
５が判定手段を、円図形発生回路１７が画像修正手段を
構成する。また、ドットパターンＳ1〜Ｓ4がデータ検出
範囲に相当する。なお、実施例ではプリント基板のスル
ーホールを検出したが、本発明はこの例に限らず、その
表面に穴部が存在するあらゆる試料の画像検出に適用で
きる。本発明の装置は、穴部のデータを修正する場合に
限らず、試料上の微小な穴部の有無を検査するような装
置であれば、判定手段の判定結果をそのまま検査結果に
利用できる。

【００２８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明では、判定
画像データ内の一箇所で交差するように設定した複数の
直線状のデータ検出範囲の階調を検出手段で検出してい
るので、判定手段により簡単な論理に基づいて試料の穴
部に対応するデータの有無を判定でき、これにより試料
の穴部に対応する画像データとその他の画像データとを
迅速かつ正確に識別して、後処理用の画像データから穴
部に対応する画像データのみを消滅させるなど、画像デ
ータの種類に応じた適切な処理を行なうことが可能とな
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のクレーム対応図。

【図２】本発明の一実施例における回路構成を示す図。

【図３】図２の画像形成回路で作成される判定画像デー
タと、ドットパターン切り出し回路により切り出される
ドットパターンとの関係を示す図。

【図４】図３のドットパターンの分解能を変更する場合
の処理の一例を示す図。

【図５】実施例の装置におけるスルーホールの検出動作
を示す図で、（ａ）は判定画像データ上でスルーホール
の中心とドットパターンの交点とが一致した状態を、
（ｂ）はスルーホール間の基材部分にドットパターンの
交点が位置する状態をそれぞれ示す。

【図６】図２のメモリのデータ構造を示す図。

【図７】実施例の装置において楕円状に加工されたスル
ーホールの中心とドットパターンとの交点とが一致した
状態を示す図。

【図８】実施例の装置においてパッドの内周の突起によ
り一部が塞がれたスルーホールの中心とドットパターン
の交点とが一致した状態を示す図。

【図９】スルーホールが形成されたプリント基板の一例
を示す図。

【図１０】図９のパッドおよびスルーホールとこれに対
応する画像データとの関係を示すもので、（ａ）はパッ
ドとスルーホールの形状を、（ｂ）はスルーホールを消
滅させた画像データを示す。

【符号の説明】

１ステージ２ＣＣＤセンサ４画像形成回路６ドットパターン切り出し回路７，８，９，１０アドレス生成回路１１，１２，１３，１４メモリ１５判定回路１７円図形発生回路Ｄj 判定画像データＰj 判定画像データの画素Ｐjc ドットパターンＳ1〜Ｓ4の交点Ｓ1，Ｓ2，Ｓ3，Ｓ4 ドットパターンＰＤプリント基板のパッドＴＨプリント基板のスルーホール

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】試料の所定範囲を撮像して該撮像範囲の
輝度分布に対応した画像データを出力する撮像手段と、出力された画像データから２次元に画素分割可能な判定
画像データを作成する判定画像データ作成手段と、作成された判定画像データ内の一箇所で交差するように
設定される複数の直線状のデータ検出範囲の画素の階調
を検出する検出手段と、前記試料に形成された穴部に対応するデータが前記判定
画像データ内に存在するか否かを、前記検出手段で検出
した前記複数のデータ検出範囲の画素の階調に基づいて
判定する判定手段と、を備えることを特徴とする画像検
出装置。
【請求項２】請求項１記載の画像検出装置において、前記判定手段は、前記複数のデータ検出範囲内で前記試
料の前記穴部に対応する階調の画素が当該穴部の直径に
相当する数だけ連続するか否かを判定し、この判定結果
に基づいて前記試料の前記穴部に対応するデータが前記
判定画像データ内に存在するか否かを判定することを特
徴とする画像検出装置。
【請求項３】請求項１または２記載の画像検出装置に
おいて、前記判定画像データ内に前記試料の穴部に対応するデー
タが存在すると判定したときに、前記撮像手段から後処
理手段へ向けて出力される後処理用の画像データ上で当
該穴部に対応するデータが消滅するように当該後処理用
の画像データを修正する画像修正手段を備えることを特
徴とする画像検出装置。