JPH07198972A - Ｙ分岐光導波路 - Google Patents
Ｙ分岐光導波路Info
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- JPH07198972A JPH07198972A JP5338374A JP33837493A JPH07198972A JP H07198972 A JPH07198972 A JP H07198972A JP 5338374 A JP5338374 A JP 5338374A JP 33837493 A JP33837493 A JP 33837493A JP H07198972 A JPH07198972 A JP H07198972A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 分岐部での損失が少なく、製造が容易なＹ分
岐光導波路を提供する。 【構成】 基板上のクラッド内の入力導波路２０と、入
力導波路２０に接続され出力側の幅を広げたテーパ導波
路２１と、テーパ導波路２１に互いに接することなく一
定の間隔で接続され入力された光を２つに分岐する分岐
導波路２２，２３とを備えたＹ分岐光導波路において、
分岐導波路２２，２３とテーパ導波路２１との接続部２
６を、分岐導波路２２，２３の入力端側の幅Ｗ１の２倍
と分岐導波路２２，２３の出力端側の幅Ｗとを加えた値
まで広げたことを特徴としている。
岐光導波路を提供する。 【構成】 基板上のクラッド内の入力導波路２０と、入
力導波路２０に接続され出力側の幅を広げたテーパ導波
路２１と、テーパ導波路２１に互いに接することなく一
定の間隔で接続され入力された光を２つに分岐する分岐
導波路２２，２３とを備えたＹ分岐光導波路において、
分岐導波路２２，２３とテーパ導波路２１との接続部２
６を、分岐導波路２２，２３の入力端側の幅Ｗ１の２倍
と分岐導波路２２，２３の出力端側の幅Ｗとを加えた値
まで広げたことを特徴としている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、Ｙ分岐光導波路に関
し、特に分岐部での放射損失を低減すると共に分岐導波
路間の損失ばらつきを低減したＹ分岐光導波路に関す
る。
し、特に分岐部での放射損失を低減すると共に分岐導波
路間の損失ばらつきを低減したＹ分岐光導波路に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】図４は従来のＹ分岐光導波路の構造を示
す図である。同図に示すように、Ｙ分岐光導波路は、光
を入力する入力導波路１と、入力導波路１からの光の幅
を広げるテーパ導波路２と、テーパ導波路２からの光を
２つに分岐する分岐導波路３，４とを接続したものであ
り、図示しない基板上に形成されている。分岐導波路
３，４は、一定の曲率半径ｒと変曲点５，６とを有する
曲り導波路である。また、分岐導波路３，４は、テーパ
導波路２との接続部で互いに接しており、その幅は入力
導波路１の幅に等しくなっている。
す図である。同図に示すように、Ｙ分岐光導波路は、光
を入力する入力導波路１と、入力導波路１からの光の幅
を広げるテーパ導波路２と、テーパ導波路２からの光を
２つに分岐する分岐導波路３，４とを接続したものであ
り、図示しない基板上に形成されている。分岐導波路
３，４は、一定の曲率半径ｒと変曲点５，６とを有する
曲り導波路である。また、分岐導波路３，４は、テーパ
導波路２との接続部で互いに接しており、その幅は入力
導波路１の幅に等しくなっている。
【０００３】また図５は従来の他のＹ分岐光導波路の構
造を示す図である（特開平３−２４５１０７号公報）。
図５に示したＹ分岐光導波路との相違点は、分岐導波路
７，８とテーパ導波路９との接続部１０において一定の
間隔（なまり幅）Ｗａを設けた点である。また、分岐導
波路７，８は単一曲率半径Ｒａを有している。入力導波
路１１から入力した光が分岐されて分岐導波路７，８か
ら出力するようになっている。
造を示す図である（特開平３−２４５１０７号公報）。
図５に示したＹ分岐光導波路との相違点は、分岐導波路
７，８とテーパ導波路９との接続部１０において一定の
間隔（なまり幅）Ｗａを設けた点である。また、分岐導
波路７，８は単一曲率半径Ｒａを有している。入力導波
路１１から入力した光が分岐されて分岐導波路７，８か
ら出力するようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図４に
示したＹ分岐光導波路は、分岐導波路３，４がテーパ導
波路２の接続部で接続されているため、プロセス上の限
界により、製造誤差が生じて分岐部が設計構造通りに形
成できず、この製造誤差が分岐分放射損失及び分岐導波
路間の損失ばらつきの原因となる。また、テーパ導波路
２を入力導波路１の２倍の幅まで広げるため、光がテー
パ導波路１に強く閉じ込められるため、光の直進性によ
り分岐導波路３，４方向への光の波面変換が効率的に起
こらず、放射損失の原因となる。さらに分岐導波路３，
４は、変曲点５，６を有するため、変曲点５，６で光の
遷移損失が起こり、Ｙ分岐の挿入損失増加の原因とな
る。またさらに分岐導波路３，４の出力端においても光
パワーの導波路中心からのずれが生じ、分岐導波路３，
４に接続される導波路間での遷移が生じる。
示したＹ分岐光導波路は、分岐導波路３，４がテーパ導
波路２の接続部で接続されているため、プロセス上の限
界により、製造誤差が生じて分岐部が設計構造通りに形
成できず、この製造誤差が分岐分放射損失及び分岐導波
路間の損失ばらつきの原因となる。また、テーパ導波路
２を入力導波路１の２倍の幅まで広げるため、光がテー
パ導波路１に強く閉じ込められるため、光の直進性によ
り分岐導波路３，４方向への光の波面変換が効率的に起
こらず、放射損失の原因となる。さらに分岐導波路３，
４は、変曲点５，６を有するため、変曲点５，６で光の
遷移損失が起こり、Ｙ分岐の挿入損失増加の原因とな
る。またさらに分岐導波路３，４の出力端においても光
パワーの導波路中心からのずれが生じ、分岐導波路３，
４に接続される導波路間での遷移が生じる。
【０００５】他方、図５に示したＹ分岐光導波路は、次
のような問題がある。
のような問題がある。
【０００６】(1) なまり幅Ｗａを２．０μｍ以下にしな
くてはならず、微細加工が難しい。
くてはならず、微細加工が難しい。
【０００７】(2) 分岐導波路７，８間に、なまり幅Ｗａ
を設けるため、入力導波路１１からの光の波面の傾き
と、分岐導波路３，４内の光波面の傾きとが一致せず、
放射損失の原因となる。
を設けるため、入力導波路１１からの光の波面の傾き
と、分岐導波路３，４内の光波面の傾きとが一致せず、
放射損失の原因となる。
【０００８】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、分岐部での損失が少なく、製造が容易なＹ分岐光導
波路を提供することにある。
し、分岐部での損失が少なく、製造が容易なＹ分岐光導
波路を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、基板上のクラッド内の入力導波路と、入力
導波路に接続され出力側の幅を広げたテーパ導波路と、
テーパ導波路に互いに接することなく一定の間隔で接続
され入力された光を２つに分岐する分岐導波路とを備え
たＹ分岐光導波路において、分岐導波路とテーパ導波路
との接続部を、分岐導波路の入力端側の幅の２倍と分岐
導波路の間隔とを加えた幅まで広げたものである。
に本発明は、基板上のクラッド内の入力導波路と、入力
導波路に接続され出力側の幅を広げたテーパ導波路と、
テーパ導波路に互いに接することなく一定の間隔で接続
され入力された光を２つに分岐する分岐導波路とを備え
たＹ分岐光導波路において、分岐導波路とテーパ導波路
との接続部を、分岐導波路の入力端側の幅の２倍と分岐
導波路の間隔とを加えた幅まで広げたものである。
【００１０】本発明のＹ分岐光導波路は、分岐導波路
が、テーパ導波路と接続する側でその幅が入力導波路よ
りも狭く、分岐導波路の終端で入力導波路の幅に等しく
なるように、内側と外側とで異なる曲率半径の導波路幅
を有してもよい。
が、テーパ導波路と接続する側でその幅が入力導波路よ
りも狭く、分岐導波路の終端で入力導波路の幅に等しく
なるように、内側と外側とで異なる曲率半径の導波路幅
を有してもよい。
【００１１】本発明のＹ分岐光導波路は、分岐導波路
が、入力端で狭く、出力端で入力導波路幅と等しい幅を
有し、かつ外形が正弦曲線で描かれるテーパ状に形成し
てもよい。
が、入力端で狭く、出力端で入力導波路幅と等しい幅を
有し、かつ外形が正弦曲線で描かれるテーパ状に形成し
てもよい。
【００１２】本発明のＹ分岐光導波路は、分岐導波路の
出力端側での曲率半径を無限大となるようにしてもよ
い。
出力端側での曲率半径を無限大となるようにしてもよ
い。
【００１３】本発明のＹ分岐光導波路は、入力導波路の
接線と、分岐導波路の入力端側及び出力端側の接線とを
平行になるようにしてもよい。
接線と、分岐導波路の入力端側及び出力端側の接線とを
平行になるようにしてもよい。
【００１４】本発明のＹ分岐光導波路は、基板にＳｉＯ
2 、Ｓｉ、ＩｎＰ等の半導体又はＬｉＮｂＯ3 等の強誘
電体を用いてもよい。
2 、Ｓｉ、ＩｎＰ等の半導体又はＬｉＮｂＯ3 等の強誘
電体を用いてもよい。
【００１５】
【作用】上記構成によれば、テーパ導波路内に光が閉じ
込められることがなくなるので、分岐部での放射損失が
低減する。また、テーパ導波路と分岐導波路との接続部
で２つの分岐導波路間に間隔を設けたので、微細加工工
程がなくなって製造が容易となる。しかも微細加工によ
る非対称性が低減し、加工によって生じる製造誤差に起
因する分岐部の非対称による分岐導波路間の損失のばら
つきが低減する。
込められることがなくなるので、分岐部での放射損失が
低減する。また、テーパ導波路と分岐導波路との接続部
で２つの分岐導波路間に間隔を設けたので、微細加工工
程がなくなって製造が容易となる。しかも微細加工によ
る非対称性が低減し、加工によって生じる製造誤差に起
因する分岐部の非対称による分岐導波路間の損失のばら
つきが低減する。
【００１６】
【実施例】以下、本発明の一実施例を添付図面に基づい
て詳述する。
て詳述する。
【００１７】図１は本発明のＹ分岐光導波路の一実施例
の概念図である。
の概念図である。
【００１８】Ｙ分岐光導波路は、基板（図示せず）上の
クラッド内に形成され光を入力する入力導波路２０と、
入力導波路２０からの光の幅を広げるテーパ導波路２１
と、テーパ導波路２１からの光を分岐してさらにその幅
を広げる分岐導波路２２，２３と、分岐導波路２２，２
３で分岐拡幅された光をそれぞれ出力する出力導波路２
４，２５とからなっている。尚、基板にはＳｉＯ2 、Ｓ
ｉ、ＩｎＰ等の半導体又はＬｉＮｂＯ3 等の強誘電体の
いずれを用いてもよい。
クラッド内に形成され光を入力する入力導波路２０と、
入力導波路２０からの光の幅を広げるテーパ導波路２１
と、テーパ導波路２１からの光を分岐してさらにその幅
を広げる分岐導波路２２，２３と、分岐導波路２２，２
３で分岐拡幅された光をそれぞれ出力する出力導波路２
４，２５とからなっている。尚、基板にはＳｉＯ2 、Ｓ
ｉ、ＩｎＰ等の半導体又はＬｉＮｂＯ3 等の強誘電体の
いずれを用いてもよい。
【００１９】テーパ導波路２１の入力導波路幅Ｗは、広
がり角θで幅Ｗ１×２＋Ｗ２まで広げられている。テー
パ導波路２１は、２つの分岐導波路２２，２３と接続部
（分岐部）２６において接続されており、かつ、２つの
分岐導波路２２，２３は互いに接することなく一定の間
隔Ｗ２で接続されている。分岐導波路２２は、その外形
が、曲率半径をＲ１とする円弧２２ｂ，２２ｃと、曲率
半径をＲ（≠Ｒ１）とする円弧２２ａ，２２ｄとで描か
れており、かつ、入力側での導波路幅Ｗ１が徐々に導波
路幅Ｗまで広げられたテーパ状となっている。分岐導波
路２３も、その外形が、曲率半径をＲ１とする円弧２３
ｂ，２３ｃと、曲率半径をＲ（≠Ｒ１）とする円弧２３
ａ，２３ｄとで描かれており、かつ、入力側での導波路
幅Ｗ１が徐々に導波路幅Ｗまで広げられたテーパ状とな
っている。
がり角θで幅Ｗ１×２＋Ｗ２まで広げられている。テー
パ導波路２１は、２つの分岐導波路２２，２３と接続部
（分岐部）２６において接続されており、かつ、２つの
分岐導波路２２，２３は互いに接することなく一定の間
隔Ｗ２で接続されている。分岐導波路２２は、その外形
が、曲率半径をＲ１とする円弧２２ｂ，２２ｃと、曲率
半径をＲ（≠Ｒ１）とする円弧２２ａ，２２ｄとで描か
れており、かつ、入力側での導波路幅Ｗ１が徐々に導波
路幅Ｗまで広げられたテーパ状となっている。分岐導波
路２３も、その外形が、曲率半径をＲ１とする円弧２３
ｂ，２３ｃと、曲率半径をＲ（≠Ｒ１）とする円弧２３
ａ，２３ｄとで描かれており、かつ、入力側での導波路
幅Ｗ１が徐々に導波路幅Ｗまで広げられたテーパ状とな
っている。
【００２０】図２は図１に示したＹ分岐光導波路のテー
パ導波路及び分岐導波路の接続部付近の構造を示す図で
ある。
パ導波路及び分岐導波路の接続部付近の構造を示す図で
ある。
【００２１】分岐導波路２２は、曲率半径Ｒ１の円弧２
２ｃ側の接線２７ｅがテーパ導波路２１の出力側の端面
２１ａと垂直になるように接続されている。分岐導波路
２３も、曲率半径Ｒ１の円弧側の接線２８ｅがテーパ導
波路２１の出力側の端面２１ａと垂直になるように接続
されている。
２ｃ側の接線２７ｅがテーパ導波路２１の出力側の端面
２１ａと垂直になるように接続されている。分岐導波路
２３も、曲率半径Ｒ１の円弧側の接線２８ｅがテーパ導
波路２１の出力側の端面２１ａと垂直になるように接続
されている。
【００２２】次に実施例の作用を述べる。
【００２３】両分岐導波路２２，２３が一定の間隔（な
まり幅）Ｗ２を隔ててテーパ導波路２１に接続されてい
るので、入力導波路２０より入力した光が、テーパ導波
路２１内に強く閉じ込められることがなくなり、入力導
波路２０より入力した光の波面を徐々に分岐導波路２
２，２３の波面まで交換することができ、分岐部２６で
の放射損失が低減すると共に、導波路製造において微細
加工工程がなくなって製造が容易となる。しかも導波路
の構造が非対称となるのを低減することができ、微細加
工で生じる分岐部２６での損失ばらつきが低減する。
まり幅）Ｗ２を隔ててテーパ導波路２１に接続されてい
るので、入力導波路２０より入力した光が、テーパ導波
路２１内に強く閉じ込められることがなくなり、入力導
波路２０より入力した光の波面を徐々に分岐導波路２
２，２３の波面まで交換することができ、分岐部２６で
の放射損失が低減すると共に、導波路製造において微細
加工工程がなくなって製造が容易となる。しかも導波路
の構造が非対称となるのを低減することができ、微細加
工で生じる分岐部２６での損失ばらつきが低減する。
【００２４】図３は、図１に示したＹ分岐光導波路にお
いて、曲率半径Ｒを１００ｍｍとしたときの、分岐導波
路同士の間隔Ｗ２と分岐損失（放射損失）との関係を示
す図であり、横軸はなまり幅を示し、縦軸は放射損失を
示している。なまり幅Ｗ２が３．６μｍ以下の領域にお
いて、Ｙ分岐光導波路の分岐損失は０．１ｄＢ以下とな
った。導波路のコア断面は幅、高さ共に８μｍで、比屈
折率差Δは０．３％で、分岐導波路の最小コア幅Ｗ１は
３．４μｍであった。
いて、曲率半径Ｒを１００ｍｍとしたときの、分岐導波
路同士の間隔Ｗ２と分岐損失（放射損失）との関係を示
す図であり、横軸はなまり幅を示し、縦軸は放射損失を
示している。なまり幅Ｗ２が３．６μｍ以下の領域にお
いて、Ｙ分岐光導波路の分岐損失は０．１ｄＢ以下とな
った。導波路のコア断面は幅、高さ共に８μｍで、比屈
折率差Δは０．３％で、分岐導波路の最小コア幅Ｗ１は
３．４μｍであった。
【００２５】以上において、本実施例によれば、テーパ
導波路に接続する分岐導波路間に一定の間隔を設けたの
で、微細加工部分がなくなり、製造誤差に起因する非対
称性の影響を受けにくいＹ分岐光導波路を実現すること
ができる。また、分岐導波路構造を、テーパ導波路側で
導波路幅が狭く、出力導波路側で入力導波路幅とするよ
うに曲率半径を有するテーパ構造とすることにより、入
力波面を徐々に分岐導波路の波面まで変換でき、低分岐
損失で波長依存性の小さいＹ分岐構造が得られる。
導波路に接続する分岐導波路間に一定の間隔を設けたの
で、微細加工部分がなくなり、製造誤差に起因する非対
称性の影響を受けにくいＹ分岐光導波路を実現すること
ができる。また、分岐導波路構造を、テーパ導波路側で
導波路幅が狭く、出力導波路側で入力導波路幅とするよ
うに曲率半径を有するテーパ構造とすることにより、入
力波面を徐々に分岐導波路の波面まで変換でき、低分岐
損失で波長依存性の小さいＹ分岐構造が得られる。
【００２６】尚、上述した実施例では両分岐導波路が内
側と外側とで異なる曲率半径の導波路幅を有する場合で
説明したが、これに限定されるものではなく、両分岐導
波路を、外形が２本の正弦曲線で描かれるテーパ状に形
成してもよい。この場合これらの正弦曲線は、テーパ導
波路の出力端での接続部の接線及び出力端での接続部の
接線と、入力導波路の接線とが平行となるような周期を
有している。分岐導波路において、外形を２本の正弦曲
線で描かれるテーパ状に形成することにより、変曲点に
おける遷移損失が生じないので、低損失化を計ることが
できる。さらに分岐導波路の入力端から出力端までを正
弦曲線のｎ（ｎ＝１，２，３…）周期分とすることで、
出力端における導波路の曲率半径を無限大とすることが
でき、出力端において導波路の中心に光を伝搬させるこ
とができる。このことにより分岐導波路端に、さらに他
のＹ分岐光導波路を接続する場合、次段のＹ分岐光導波
路の分岐比のばらつきが低減する。
側と外側とで異なる曲率半径の導波路幅を有する場合で
説明したが、これに限定されるものではなく、両分岐導
波路を、外形が２本の正弦曲線で描かれるテーパ状に形
成してもよい。この場合これらの正弦曲線は、テーパ導
波路の出力端での接続部の接線及び出力端での接続部の
接線と、入力導波路の接線とが平行となるような周期を
有している。分岐導波路において、外形を２本の正弦曲
線で描かれるテーパ状に形成することにより、変曲点に
おける遷移損失が生じないので、低損失化を計ることが
できる。さらに分岐導波路の入力端から出力端までを正
弦曲線のｎ（ｎ＝１，２，３…）周期分とすることで、
出力端における導波路の曲率半径を無限大とすることが
でき、出力端において導波路の中心に光を伝搬させるこ
とができる。このことにより分岐導波路端に、さらに他
のＹ分岐光導波路を接続する場合、次段のＹ分岐光導波
路の分岐比のばらつきが低減する。
【００２７】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な優れた効果を発揮する。
な優れた効果を発揮する。
【００２８】(1) テーパ導波路内に光が閉じ込められる
ことがなくなるので、分岐部での放射損失が低減する。
ことがなくなるので、分岐部での放射損失が低減する。
【００２９】(2) テーパ導波路と分岐導波路との接続部
で２つの分岐導波路を一定の間隔を隔てて接続したの
で、微細加工工程がなくなり製造が容易となると共に、
加工によって生じる製造誤差に起因する分岐導波路間の
損失のばらつきが低減する。
で２つの分岐導波路を一定の間隔を隔てて接続したの
で、微細加工工程がなくなり製造が容易となると共に、
加工によって生じる製造誤差に起因する分岐導波路間の
損失のばらつきが低減する。
【図１】本発明のＹ分岐光導波路の一実施例の概念図で
ある。
ある。
【図２】図１に示したＹ分岐光導波路のテーパ導波路及
び分岐導波路の接続部付近の構造を示す図である。
び分岐導波路の接続部付近の構造を示す図である。
【図３】図１に示したＹ分岐光導波路において、曲率半
径Ｒを１００ｍｍとしたときの、分岐導波路同士の間隔
Ｗ２と分岐損失（放射損失）との関係を示す図である。
径Ｒを１００ｍｍとしたときの、分岐導波路同士の間隔
Ｗ２と分岐損失（放射損失）との関係を示す図である。
【図４】従来のＹ分岐光導波路の構造を示す図である。
【図５】従来の他のＹ分岐光導波路の構造を示す図であ
る。
る。
２０ 入力導波路 ２１ テーパ導波路 ２２，２３ 分岐導波路 ２６ 接続部（分岐部）
フロントページの続き (72)発明者 塩田 恒夫 茨城県日立市日高町５丁目１番１号 日立 電線株式会社オプトロシステム研究所内 (72)発明者 秋葉 健次 茨城県日立市日高町５丁目１番１号 日立 電線株式会社オプトロシステム研究所内
Claims (6)
- 【請求項１】 基板上のクラッド内の入力導波路と、該
入力導波路に接続され出力側の幅を広げたテーパ導波路
と、該テーパ導波路に互いに接することなく一定の間隔
で接続され入力された光を２つに分岐する分岐導波路と
を備えたＹ分岐光導波路において、前記分岐導波路と前
記テーパ導波路との接続部を、前記分岐導波路の入力端
側の幅の２倍と前記分岐導波路の出力端側の幅とを加え
た値まで広げたことを特徴とするＹ分岐光導波路。 - 【請求項２】 前記分岐導波路が、前記テーパ導波路と
接続する側でその幅が前記入力導波路よりも狭く、前記
分岐導波路の出力端側で前記入力導波路の幅に等しくな
るように、内側と外側とで異なる曲率半径の導波路幅を
有することを特徴とする請求項１記載のＹ分岐光導波
路。 - 【請求項３】 前記分岐導波路が、入力端で狭く、出力
端で前記入力導波路の幅と等しい幅を有し、かつ外形が
正弦曲線で描かれるテーパ状に形成されていることを特
徴とする請求項１又は２記載のＹ分岐光導波路。 - 【請求項４】 前記分岐導波路の出力端側での曲率半径
を無限大となるようにしたことを特徴とする請求項１か
ら３のいずれか１項記載のＹ分岐光導波路。 - 【請求項５】 前記入力導波路の接線と、前記分岐導波
路の入力端側及び出力端側の接線とが平行になるように
したことを特徴とする請求項４記載のＹ分岐光導波路。 - 【請求項６】 前記基板にＳｉＯ2 、Ｓｉ、ＩｎＰ等の
半導体又はＬｉＮｂＯ3 等の強誘電体を用いたことを特
徴とする請求項１から５のいずれか１項記載のＹ分岐光
導波路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5338374A JPH07198972A (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | Ｙ分岐光導波路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5338374A JPH07198972A (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | Ｙ分岐光導波路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07198972A true JPH07198972A (ja) | 1995-08-01 |
Family
ID=18317557
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5338374A Pending JPH07198972A (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | Ｙ分岐光導波路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07198972A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07174929A (ja) * | 1993-11-01 | 1995-07-14 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光ブランチングデバイスおよび光学部品 |
| KR100416997B1 (ko) * | 2001-07-23 | 2004-02-05 | 삼성전자주식회사 | 와이-분기 광도파로 및 이를 이용한 다단 광파워 분할기 |
| KR100429567B1 (ko) * | 2002-02-20 | 2004-04-29 | 삼성전자주식회사 | 광세기 분할기 |
| JP2004138860A (ja) * | 2002-10-18 | 2004-05-13 | Central Glass Co Ltd | 光導波路デバイス |
| CN102590942A (zh) * | 2012-03-31 | 2012-07-18 | 上海光芯集成光学股份有限公司 | 一种集成光学器件用光路结构 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS6172207A (ja) * | 1984-09-17 | 1986-04-14 | Fujikura Ltd | 厚膜導波路 |
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| JPH05286831A (ja) * | 1992-04-10 | 1993-11-02 | Kao Corp | 毛髪化粧料 |
-
1993
- 1993-12-28 JP JP5338374A patent/JPH07198972A/ja active Pending
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