JPH07198932A - カラーフィルターの製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】透明基板の透明導電層上に、ポジ型感光性塗膜
を形成し、該塗膜に露光量が２段階に異なる露光領域を
形成し、露光領域の少なくとも一方の塗膜を現像して透
明導電層を露出させ、着色層を形成し、残余の塗膜に露
光量が２段階に異なる露光領域を形成し、露光領域の少
なくとも一方の塗膜を現像して透明導電層を露出させ、
着色層を形成し、残余の塗膜を除去し、塗膜が除去され
た基板にポジ型又はネガ型感光性塗膜を形成し、該塗膜
に露光量が少なくとも３段階に異なる露光領域を形成
し、露光領域の塗膜を現像して透明導電層を露出させ、
次いで着色層を形成する操作を、露光領域の露光量順に
順次繰り返して着色層を形成するカラーフィルターの製
造法。 【効果】前記製造法では、高度な微細加工技術が必要な
く、着色層のパターン形状の自由度が大で、大型化への
対処も容易で、かつ大量生産が容易となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はカラーフィルターの製造
法に関し、特にカラー液晶表示装置用等として好適なカ
ラーフィルターの製造法に関する。

【０００２】

【従来の技術】現在、一般に使用されているカラーフィ
ルターの製造法としては、透明基板を染料や顔料を含ん
だバインダーによって着色する染色法、印刷法、顔料分
散法等がある。

【０００３】しかしながら、前記染色法は、基板上の樹
脂薄膜を色素で選択染色する方法であるので、色替えの
度に防染およびフォトリソグラフィー工程を行なう必要
があり、工程が煩雑化し、このため製造コストが高くな
るという問題がある。また着色剤として染料を使用する
ために耐熱性、耐候性、耐薬品性等が劣るという欠点も
有している。前記印刷法では防染の必要はないが、色パ
ターンの微細化に限界が生じ、多色化が進むほど印刷位
置の精度が悪くなるという問題がある。更に前記顔料分
散法では微細パターンの製造は可能であるものの、色替
えの度に高精度のフォトリソグラフィー工程を経ねばな
らず工程がきわめて複雑化するという欠点がある。

【０００４】一方、これらの欠点を解消するために、電
着塗装法によるカラーフィルターの製造法が提案されて
いる。例えば予め透明電極を所定のパターンで形成して
おき、溶媒中に溶解又は分散した染料や顔料を含む高分
子をイオン化させた槽中において電圧を印加してカラー
フィルターを形成する電着法のカラーフィルターの製造
法では、表示用の透明電極以外にカラーフィルター形成
用の透明電極が必要であり、この透明電極は色別に絶縁
されていなければならないためにエッチング工程が必要
であり、電気的ショートが生じると線欠陥となってしま
うことによる歩留りの低下が生じ、その電極の引き回し
から生じるストライプ以外には、画素を配置し難い等の
問題点がある。

【０００５】また特開昭６１−２０３４０３号公報、特
開昭６１−２７２７２０号公報及び特開昭６１−２７９
８０３号公報には、透明電極を形成したガラス基板上に
ポジ型感光性組成物を塗工し、カラーフィルターを形成
すべき所定の部分を露光、現像処理して電極表面を露光
し、電着法により露出した透明電極表面上にカラーフィ
ルターを形成後、全体を露光してポジ型感光性組成物を
除去し、露出した透明導電層をエッチングして除去する
方法が開示されている。

【０００６】更に特開昭６３−２４９１０７号公報に
は、フォトエッチングによって窓を有するレジストパタ
ーンを形成し、高分子電着法によりカラーフィルターを
形成することを組み合わせた形成法が開示されている。

【０００７】また特開昭６１−２７２７２０号公報に
は、基板上に導電層を形成し、その上にポジ型感光性被
膜を形成し、次いで露光し、露光した部分を現像除去し
た後、必要な色の着色層を電着により形成する工程を必
要色数分繰り返す方法が記載されている。この方法で
は、ポジ型の感光性被膜を使用しており、露光部分のみ
が現像液に可溶化するので、感光性被膜を剥離せずに露
光、現像を繰り返すことができる。しかしこの方法では
感光性被膜を剥離せずに再度使用できるものの、露光、
現像、着色工程を必要色数分繰り返す必要がある。現在
必要とされているカラーフィルターは、赤、緑、青だけ
でなくブラックマトリックスや透明な外枠部分も必要で
あり、この分前記工程の繰返し回数が増加する。特に前
記方法では、電着の後に露光を行なう工程が必要色数よ
り１回少ない回数分行なう必要があるが、露光装置は精
密機器であるため、該電着の後に露光を行なう工程は、
電着後の洗浄、乾燥に細心の注意と手間を要するために
プロセスを煩雑化するという問題がある。また露光機か
ら基板を出し入れする工程も、大きな作業負担となる。
しかも、感光性被膜を一度も剥離することなく、カラー
フィルターを形成しなければならず、電着や加熱乾燥工
程を多回数繰り返すことによって感光性被膜の感光性、
溶解性に変化が生じてしまう。このためにレジスト除去
工程時に除去されるべき部分が完全に除去されずに残留
する等、製造上大きな問題が生じる。更に、製造ライン
を考慮すると、前記方法では電着後に露光を行なう工程
を繰り返す目的で、非常に高価な露光機を少なくとも露
光回数分の台数必要とするという問題がある。そこで露
光機から出し入れする回数を少なくし、特に着色工程後
に基板を露光機に入れる工程の回数を最小にとどめるこ
とが要望されている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上記
のような欠点を解決し、高度な微細加工技術を必要とせ
ず、遮光層及び着色層の形状の自由度が大きく、大型化
への対処も容易であり、かつ大量生産が容易で簡便な、
カラーフィルターの製造法を提供することにある。

【０００９】本発明の別の目的は、液晶カラーディスプ
レイ用カラーフィルターとして、少なくとも赤、緑、青
色の着色層及び暗色の遮光層を有し、必要に応じて透明
な外枠部分を有するカラーフィルターを、簡便な工程に
より製造する方法を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、遮光層及
び着色層の形状の自由度が大きく、大型化にも対処可能
なカラーフィルターの製造法について研究の結果、ポジ
型若しくはネガ型フォトレジストと特定の露光方法を組
み合わせるという簡便な工程により優れた性能を有する
カラーフィルターが得られることを見いだした。

【００１１】すなわち、本発明によれば、(ａ)透明導電
層を有する透明基板の透明導電層上に、ポジ型感光性塗
膜を形成する工程、(ｂ)該ポジ型感光性塗膜に露光量が
２段階に異なる露光領域を形成する工程、(ｃ)該露光領
域の少なくとも一方のポジ型感光性塗膜を現像して透明
導電層を露出させ、次いで着色塗料を電着塗装し着色層
を形成する工程、(ｄ)残余のポジ型感光性塗膜に露光量
が２段階に異なる露光領域を形成する工程、(ｅ)該露光
領域の少なくとも一方のポジ型感光性塗膜を現像して透
明導電層を露出させ、次いで着色塗料を電着塗装し着色
層を形成する工程、(ｆ)さらに残余のポジ型感光性塗膜
を除去する工程、(ｇ)(ｆ)工程によりポジ型感光性塗膜
が除去された基板にポジ型若しくはネガ型感光性塗膜を
形成する工程、(ｈ)該ポジ型若しくはネガ型感光性塗膜
に露光量が少なくとも３段階に異なる複数の露光領域を
形成する工程、（ｉ)該露光領域のポジ型若しくはネガ
型感光性塗膜を現像して透明導電層を露出させ、次いで
着色塗料を電着塗装し着色層を形成する操作を、ポジ型
感光性塗膜の場合には露光領域の露光量が大きい順に、
ネガ型感光性塗膜の場合には露光領域の露光量が小さい
順に順次繰り返すことにより着色層を形成する工程とを
含むことを特徴とするカラーフィルターの製造法（以下
第１の製造法という）が提供される。

【００１２】また本発明によれば、前記(ａ)〜(ｈ)工程
と、(ｊ)該露光領域のポジ型若しくはネガ型感光性塗膜
を現像して透明導電層を露出させ、次いで着色塗料を電
着塗装し着色層を形成する操作を、ポジ型感光性塗膜の
場合には露光領域の露光量が大きい順に、ネガ型感光性
塗膜の場合には露光領域の露光量が小さい順に順次繰り
返すことにより着色層を形成し、かつ少なくとも１つ以
上の露光領域を現像して透明導電層を露出させた後に着
色層を形成せずに残す工程とを含むことを特徴とするカ
ラーフィルターの製造法（以下第２の製造法という）が
提供される。

【００１３】以下、本発明をさらに詳細に説明する。

【００１４】本発明の第１及び第２の製造法において
は、まず透明導電層を有する透明基板の透明導電層上
に、ポジ型感光性塗膜を形成する（以下(ａ)工程とい
う）。

【００１５】本発明に使用する透明導電層を有する透明
基板は、透明基板上に透明導電層が形成された板状のも
のであれば特に制限されない。該基板の材料としては、
例えばガラス、各種の積層板類、各種のプラスチック板
類、その他の板状絶縁物の表面に透明導電層及び遮光層
を形成した基板等が挙げられる。基板の表面はカラーフ
ィルターの性能上、平滑であることが望ましく、必要に
よっては表面を研磨して使用することもできる。また前
記基板上に形成する透明導電層としては例えば、酸化ス
ズ、酸化インジウムまたは酸化アンチモン等を成分とす
る材料が挙げられ、該透明導電層の膜厚は２０〜３００
ｎｍであるのが好ましい。透明導電層の形成方法は特に
制限されず、例えばスプレー法、ＣＶＤ法、スパッタリ
ング法、真空蒸着法等の公知の方法が挙げられる。また
透明導電層は、カラーフィルターの性能上、できる限り
透明度の高いものを用いることが望ましい。

【００１６】前記透明基板の透明導電層上に形成するポ
ジ型感光性塗膜の形成方法は、特に限定されないが、公
知の方法、例えば電着法、吹き付け法、浸漬塗装法、ロ
ールコート法、スクリーン印刷法、スピンコーターで塗
装する方法等で、透明導電層上に塗布することにより形
成することができる。

【００１７】前記ポジ型感光性塗膜を形成するためのポ
ジ型感光性塗料としては、塗膜形成能と感光性とを有す
る樹脂（以下、ポジ型感光性塗料用樹脂という）、更に
必要により染料及び／又は顔料等を有機溶媒や水などに
分散あるいは溶解した塗料等を挙げることができる。前
記ポジ型感光性塗料として電着可能な塗料を選択した場
合には、（ａ）工程を電着法で行なうことができる。該
ポジ型感光性塗料は、染料及び／又は顔料等を含んでい
ても、含んでいなくとも良い。

【００１８】本発明において好ましく使用されるポジ型
感光性塗料用樹脂としては、露光部分が現像液によって
溶出されるものであれば特に限定されるものではなく、
例えばキノンジアジド基を有する樹脂、ジアゾメルドラ
ム酸又はニトロベンジルエステル等を有する樹脂又はこ
れらの樹脂を有する樹脂組成物等を好ましく挙げること
ができる。具体的には例えばアクリル樹脂、エポキシ樹
脂、ウレタン樹脂、ポリブタジエン樹脂等に、アミノ
基、アンモニウム、スルホニウム等のオニウム基と水酸
基とを導入し、更にキノンジアジドスルホン酸化合物を
エステル化反応により付加した樹脂で、蟻酸、酢酸、プ
ロピオン酸、乳酸等の酸あるいは酸性物質で水に可溶化
及び／又は分散される樹脂等のキノンジアジド基を有す
るカチオン性の樹脂組成物；アクリル樹脂、ポリエステ
ル樹脂、マレイン化油樹脂、ポリブタジエン樹脂、エポ
キシ樹脂等に、カルボキシル基等と水酸基とを導入し、
更にキノンジアジドスルホン酸化合物をエステル化反応
により付加した樹脂で、トリエチルアミン、ジエチルア
ミン、ジメチルエタノールアミン、アンモニア等の塩基
性物質で水に可溶化及び／又は分散される樹脂等のキノ
ンジアジド基を有するアニオン性の樹脂組成物；造膜機
能を有する樹脂及びヒドロキシル基を有する化合物と、
キノンジアジドスルホン酸誘導体とを反応させて得られ
る樹脂を適宜混合した組成物等を挙げることができ、特
に工程簡略化や公害防止の点から、水に可溶化及び／又
は分散しうる樹脂の使用が好ましい。また前記組成物に
おける混合割合は、露光条件や現像条件によって任意に
選択することができる。この他、酸触媒によりアルカリ
又は水可溶性基を生成しうる基を有する化合物と光酸発
生剤を必須成分とするポジ型フォトレジストも使用する
ことができる。

【００１９】前記ポジ型感光性塗料に用いる樹脂等の各
成分を分散又は溶解させるために使用する有機溶媒とし
ては、前記樹脂を分散又は溶解しうるものであれば良
く、各種のグリコールエーテル類、例えばエチレングリ
コールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノヘ
キシルエーテル、エチレングリコールモノフェニルエー
テル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロ
ピレングリコールモノフェニルエーテル、ジエチレング
リコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジ
メチルエーテル等；ケトン類、例えば、アセトン、メチ
ルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキ
サノン、イソホロン、Ｎ−メチルピロリドン等；エーテ
ル類、例えば、ジブチルエーテル、ジオキサン、テトラ
ヒドロフラン等；アルコール類、例えば、メトキシブタ
ノール、ジアセトンアルコール、ブタノール、オクタノ
ール、イソプロパノール等；炭化水素類、例えば、トル
エン、キシレン、シクロヘキサン、ヘキサン等；エステ
ル類、例えば、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸２−メト
キシエチル、酢酸２−エトキシエチル、酢酸２−メトキ
シプロピル、安息香酸エチル等；酸アミド類、例えば、
ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミ
ド、ジメチルスルホキシド等を挙げることができ、使用
に際しては単独若しくは混合物として用いることができ
る。

【００２０】また前記有機溶媒は、可溶化や分散を容易
にし、浴安定性の向上、平滑塗膜を得る等のために、前
記カチオン性の樹脂またはアニオン性の樹脂を水に可溶
化及び／又は分散させる際に添加することもできる。

【００２１】必要に応じて前記ポジ型感光性塗料には、
染料及び／又は顔料を配合することができる。該染料及
び／又は顔料の色相は、目的に応じ適宜選択でき、例え
ばポジ型感光性塗料の解像度を改善するためには、露光
時に回析の大きい長波長の光線を除去する目的で４００
〜５００ｎｍの波長の光を吸収する染料、例えばオイル
イエロー若しくは紫外線吸収剤、例えばトリヒドロキシ
ベンゾフェノン等を配合することが望ましい。また目的
とする色相に応じて、前記染料及び／又は顔料をその特
性を損なわないかぎりにおいて、２種以上混合して用い
ることもできる。該染料及び／又は顔料の使用割合は、
目的、色相、使用する染料及び／又は顔料の種類、ポジ
型感光性塗料の乾燥時の膜厚等により適宜選択され、好
ましくはポジ型感光性塗料全体に対して、０．０１〜１
０重量％、特に０．１〜５．０重量％程度が好ましい。

【００２２】前記ポジ型感光性塗料の調製は、ポジ型感
光性塗料用樹脂、有機溶媒及び／又は水、必要に応じて
染料及び／又は顔料、酸性物質または塩基性物質、染料
又は顔料の分散助剤、塗膜の平滑性を良くするレベリン
グ剤、粘度調整剤、消泡剤等の各種助剤類等を混合し、
一般的に使用されるサンドミル、ロールミル、アトライ
ター等の分散機を用いて充分に分散させ所望の濃度に希
釈する方法等により得ることができる。このようにして
得られるポジ型感光性塗料により形成されるポジ型感光
性塗膜の膜厚は特に制限されず、カラーフィルターに要
求される性能等に応じて適宜選択できるが、乾燥時に通
常０．３〜２０μｍ、好ましくは０．５〜１５μｍ、更
に好ましくは１〜３μｍ程度であればよい。該膜厚を調
整するには、例えば電着法で形成する場合、電流、電
圧、電着時間、液温等の電着条件を調整することにより
制御できるが、通常は後述の着色塗料の電着塗装と同様
の条件で行うことができる。

【００２３】次に本発明の第１及び第２の製造法におい
ては、該ポジ型感光性塗膜に露光量が２段階に異なる露
光領域を形成する（以下（ｂ）工程という）。（ｂ）工
程において、露光量が２段階に異なる露光領域のうちの
１段階として、未露光領域を割り当てることができる。

【００２４】露光領域の形状は、特に制限されず、カラ
ーフィルターとしての目的に応じて適宜決定することが
でき、このため着色層作成用の領域だけでなく、遮光層
作成用の領域を形成することも好ましく行なうことがで
きる。ここで、遮光層を有するカラーフィルターを製造
する目的においては、特に（ｂ）工程において最も露光
量が多い露光領域が、遮光層に相当する部分であると、
最も精度が要求される遮光層を最初に形成することがで
きるため、カラーフィルター全体の精度を向上させるこ
とができ好ましい。更にまた、該露光領域の形状には、
液晶カラーディスプレー組立用の合わせマーク、更には
カラーフィルターの透明外枠部分の形状を含んでいる
と、カラーフィルター製造時に、合わせマーク、更には
外枠部分を同時に製造することができ、工程の簡素化、
精度の向上を図ることができるので望ましい。

【００２５】前記露光量が２段階に異なる露光領域を形
成する工程の方法は、特に限定されず、例えば２段階に
光透過率が異なるパターンを有するマスクを介して一回
露光する方法等が挙げられる。この際一般的にはそれぞ
れの光透過率の相対的な差を大きくする方が露光量、露
光時間の調整が容易となるために好ましいが、光透過率
の差が小さい場合であっても露光量を増大し、あるいは
露光時間を長くすることで同一目的を達成することがで
きる。従って、光透過率の相対的な差は特に限定されな
いが、通常５％以上の有意差を有するのが好ましい。

【００２６】前記露光は、通常紫外線を多量に発生でき
る装置を用いることができ、例えば、高圧水銀灯、超高
圧水銀灯、メタルハライドランプ等を光源として用いる
ことができ、必要によっては紫外線以外の他の放射線源
を使用してもよい。露光条件は、用いるポジ型感光性塗
料、露光装置、前記マスク等に応じて適宜選択できる。
このようにしてポジ型感光性塗膜に、露光量が２段階に
異なる露光領域を形成することができる。

【００２７】次に本発明の第１及び第２の製造法では、
該露光領域の少なくとも一方のポジ型感光性塗膜を現像
して透明導電層を露出させ、次いで着色塗料を電着塗装
し着色層を形成する（以下(ｃ)工程という）。この際ポ
ジ型感光性塗膜を現像する条件は、除去すべき部分の露
光量、使用するポジ型感光性塗料の現像液に対する溶解
性、現像液の種類や濃度、更には現像温度、現像時間等
によって変わりうるものであり、感光性塗料の調製に使
用する樹脂等に適した条件を適宜選択すれば良い。

【００２８】前記（ｃ）工程に使用可能な現像液として
は、具体的には例えば、通常塩基性物質を溶解した水溶
液等を使用することができる。該塩基性物質としては、
炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、メタ桂酸ナトリ
ウム、テトラアルキルアンモニウムヒドロキシド、水酸
化ナトリウム、水酸化カリウム等を挙げることができ、
例えばメタ桂酸ナトリウム水溶液を現像液に使用する場
合、メタ桂酸ナトリウムの濃度は、通常０．０１〜２５
重量％、好ましくは０．０５〜２０重量％、温度は通常
１０〜７０℃、好ましくは１５〜５０℃、現像時間は通
常２〜６００秒、好ましくは３０〜３００秒等の範囲か
ら適宜選択すれば良い。更に（ｃ）工程において用いる
現像液には濡れ性改良や消泡のために界面活性剤、アル
コール類、グリコールエーテル類、ケトン類、塩素化炭
化水素類等の有機溶媒あるいは消泡剤を添加しても良
い。

【００２９】前記現像後、露出した透明導電層上に、着
色塗料を電着塗装し、着色層を形成する。

【００３０】前記着色塗料としては、例えば樹脂成分と
してカチオン性またはアニオン性の樹脂を使用し、着色
成分として染料及び／又は顔料を加え、更に酸性または
塩基性物質を使用して水に溶解及び／又は分散させた塗
料等を用いることができ、更にまた着色塗料における樹
脂の溶解及び／又は分散を容易ならしめるため、浴安定
性の向上のため又は平滑塗膜を得る等のために有機溶媒
等を添加してもよい。

【００３１】前記着色塗料の樹脂成分として用いるカチ
オン性の樹脂としては、例えばアクリル樹脂、エポキシ
樹脂、ウレタン樹脂、ポリブタジエン樹脂、ポリアミド
樹脂等に、アミノ基、アンモニウム、スルホニウム等の
オニウム基を導入した樹脂で、蟻酸、酢酸、プロピオン
酸、乳酸等の酸あるいは酸性物質で水に可溶化または分
散される樹脂等を挙げることができる。

【００３２】また前記着色塗料の樹脂成分として用いる
アニオン性の樹脂としては、例えばアクリル樹脂、ポリ
エステル樹脂、マレイン化油樹脂、ポリブタジエン樹
脂、エポキシ樹脂等にカルボキシル基等を導入した樹脂
で、トリエチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタ
ノールアミン、アンモニア等の塩基性物質で水に可溶化
または分散される樹脂等を挙げることができる。更にま
た、着色塗料の造膜成分は感光性を有するものであって
もよい。更には、着色塗料の樹脂成分には、熱硬化性の
強い電着樹脂、例えばアクリル樹脂あるいはポリエステ
ル樹脂とメラミン樹脂とを混合したものを用いても良
い。着色塗料は、露光量が異なる部分ごとに種類、色
相、色濃度、色明暗の異なるものを使用することが望ま
しいが、露光量が異なる部分が、必要色数以上ある場合
には、重複して同じ色相を用いることもできる。

【００３３】着色塗料の色相は、目的に応じ適宜選択す
ることができる。例えば（ｃ）工程において、少なくと
も１つの色相が選択されるが色相は特に限定されない。
（ｃ）工程において、着色層の一つの色相を黒色若しく
は暗色にすることにより、遮光層とすることができ、特
に１回目の着色工程による着色層を遮光層にすること
が、カラーフィルターの精度を向上させる目的において
好ましい。

【００３４】前記着色塗料に使用する染料及び／又は顔
料は、目的とする色相に応じ選択されるが、得られる塗
膜の透明性、塗料の安定性、電着特性、塗膜の耐久性等
について問題の生じないものを選択することが望まし
い。この点から染料としては、油溶性あるいは分散性染
料が好ましく、具体的には例えばアゾ系、アントラキノ
ン系、ベンゾジフラノン系、縮合メチン系等が挙げられ
る。また顔料としては例えばアゾレーキ系、キナクリド
ン系、フタロシアニン系、イソインドリノン系、アント
ラキノン系、チオインジゴ系等の有機顔料、黄鉛、酸化
鉄、クロムバーミリオン、クロムグリーン、群青、紺
青、コバルトブルー、コバルトグリーン、エメラルドグ
リーン、チタンホワイト、カーボンブラック等の無機顔
料を挙げることができる。なお染料及び／又は顔料につ
いては適宜「COLOUR INDEX」等を参照すれば良い。

【００３５】前記着色塗料の調製は、樹脂、染料及び／
又は顔料、酸性物質または塩基性物質および必要により
有機溶剤や、染料あるいは顔料の分散助剤、塗膜の平滑
性をよくするレベリング剤、粘度調整剤、消泡剤等の各
種助剤類等を混合し、一般的に使用されるサンドミル、
ロールミル、アトライター等の分散機を用いて充分に分
散させ、その後、水で所定の濃度、好ましくは固形分含
量約４〜２５重量％、特に好ましくは７〜２０重量％に
希釈して電着に適する塗料とする方法等により行なうこ
とができる。このようにして得られる着色塗料は、透明
導電層上に電着塗装することによって着色層を形成させ
る。該着色層の膜厚は特に制限されず、カラーフィルタ
ーに要求される性能に応じて適宜選択できるが、乾燥時
に通常０．３〜５μｍ、好ましくは１〜３μｍ程度であ
ればよい。

【００３６】前記電着塗装の条件は、使用する着色塗料
の種類、目的とする着色層の膜厚に応じて適宜選択され
るが、電圧は通常５〜５００Ｖ、好ましくは１０〜３０
０Ｖの直流であるのが好ましく、電着時間は通常５〜３
００秒、好ましくは１０〜２００秒、液温は通常１０〜
３５℃、好ましくは１５〜３０℃であるのが望ましい。
この際所望の膜厚を得る電着時間が経過したところで通
電を停止し、基板を浴から取り出し、余剰に付着した浴
液を水等でよく洗浄し乾燥することにより着色層を形成
することができる。

【００３７】前記乾燥条件は、後工程の条件等により適
宜選択できるが、該乾燥は、電着した着色層に少なくと
も後工程で損傷を受けない程度の耐性を付与することが
肝要であり、且つ残余のポジ型感光性塗膜の特性を損な
わない条件で実施することが重要である。例えば１５０
℃以下、好ましくは６０℃〜１２０℃で、通常０．０１
〜１時間、好ましくは１〜３０分程度乾燥させるのが望
ましい。

【００３８】次に本発明の第１及び第２の製造法では、
残余のポジ型感光性塗膜に露光量が２段階に異なる露光
領域を形成する（以下(ｄ)工程という）。該（ｄ）工程
は、前記（ｂ）工程と同様な方法で露光することにより
行なうことができる。この際ポジ型感光性塗膜のない部
分、即ち既に遮光層を含む着色層が形成されている部分
には、感光性がないため、光が照射されてもされなくて
も良い。

【００３９】例えば遮光層を形成した後に、遮光層に隣
接する領域の一部に着色層を形成する目的で露光を行な
う場合、露光範囲を必ずしも目的とする着色層部分のみ
に精度良く限定する必要はなく、遮光層上に光が照射さ
れても良い。即ち（ｄ）工程における露光は、必ずしも
高精度なマスク若しくは露光機等を用いる必要はなく、
更に遮光層及び着色層の界面を積極的に露光する方法を
用いることもできる。

【００４０】次に本発明の第１及び第２の製造法では、
該露光領域の少なくとも一方のポジ型感光性塗膜を現像
して透明導電層を露出させ、次いで着色塗料を電着塗装
し着色層を形成する（以下(ｅ)工程という）。該（ｅ）
工程は、前述の（ｃ）工程と同様な方法で行なうことが
できる。

【００４１】次に本発明の第１及び第２の製造法では、
さらに残余のポジ型感光性塗膜を除去する（以下(ｆ)工
程という）。残余のポジ型感光性塗膜の除去は、溶解能
力が比較的高い現像液を用いる方法、若しくは少なくと
も除去する部分を含有する領域を一定以上の露光量で露
光し、現像液で除去する方法等が挙げられる。このよう
な残余のポジ型感光性塗膜の除去は、前述の（ｃ）及び
（ｅ）工程による現像等によって、最初に形成したポジ
型感光性塗膜が劣化し、次工程に供すると形成するパタ
ーン精度が劣るためである。

【００４２】次に本発明の第１及び第２の製造法では、
(ｆ)工程によりポジ型感光性塗膜が除去された基板にポ
ジ型若しくはネガ型感光性塗膜を形成する（以下(ｇ)工
程という）。該（ｇ）工程は、ポジ型感光性塗膜を形成
する場合は、前記（ａ）工程と同様な操作及びポジ型感
光性塗膜を用いることができるので、以下にネガ型感光
性塗膜を用いる場合について説明する。

【００４３】前記（ｇ）工程に用いることができるネガ
型感光性塗膜を形成するためのネガ型感光性塗料として
は、塗膜形成能と感光性を有する樹脂（以下ネガ型感光
性塗料用樹脂という）、光重合開始剤及び必要により染
料及び／又は顔料を有機溶媒や水等に分散あるいは溶解
した塗料等を挙げることができる。該ネガ型感光性塗料
は、染料及び／又は顔料等を含んでいても、含んでいな
くとも良いが、場合によっては目的とするカラーフィル
ターの一構成部分となる色相の染料及び／又は顔料等を
ネガ型感光性塗料の光硬化性に悪影響を及ぼさない限り
において含ませておくこともできる。

【００４４】本発明において好ましく使用されるネガ型
感光性塗料用樹脂としては、アクリロイル基、メタクリ
ロイル基等の（メタ）アクリロイル基及び／又はシンナ
モイル基等の感光性基を、分子末端及び／又は側鎖に有
する、一般に分子量５００〜１０，０００程度のプレポ
リマーまたは樹脂等を挙げることができる。

【００４５】該プレポリマーまたは樹脂としては、例え
ばエポキシ（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）ア
クリレート、ポリエステル（メタ）アクリレート等のプ
レポリマー；アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹
脂、ポリブタジエン樹脂等に、アミノ基、アンモニウ
ム、スルホニウム等のオニウム基と前記感光性基とを導
入した樹脂で、蟻酸、酢酸、プロピオン酸、乳酸等の酸
あるいは酸性物質で水に可溶化及び／又は分散される樹
脂等のカチオン性の樹脂；アクリル樹脂、ポリエステル
樹脂、マレイン化油樹脂、ポリブタジエン樹脂、エポキ
シ樹脂等にカルボキシル基等と前記感光性基とを導入し
た樹脂で、トリエチルアミン、ジエチルアミン、ジメチ
ルエタノールアミン、アンモニア等の塩基性物質で水に
可溶化及び／又は分散される樹脂等のアニオン性の樹脂
等を挙げることができ、特に工程簡略化や公害防止の点
から、水に可溶化及び／又は分散しうるプレポリマー又
は樹脂の使用が好ましい。

【００４６】また前記ネガ型感光性塗料用樹脂には、塗
膜の感光性や粘度などを調整するために低分子量の（メ
タ）アクリレート類を添加してもよく、具体的には、２
−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−フェノ
キシエチル（メタ）アクリレート、３−フェノキシ−２
−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−エチ
ルヘキシル（メタ）アクリレート、トリシクロデカン
（メタ）アクリレート、ヘキサンジオールジ（メタ）ア
クリレート、トリメチロールプロパントリアクリレー
ト、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ジペンタ
エリスリトールヘキサアクリレート、トリス（アクリロ
イルオキシエチル）イソシアヌレート等が例示でき、こ
れらは混合物として使用してもよい。これらの（メタ）
アクリレート類の配合割合は、ネガ型感光性塗料用樹脂
１００重量部に対して０〜５０重量部、好ましくは０〜
３０重量部である。（メタ）アクリレート類の配合割合
が５０重量部を越えると塗膜に粘着性が出やすくなり好
ましくない。

【００４７】前記光重合開始剤は公知のものでよく、例
えばベンゾインおよびそのエーテル類、ベンジルアルキ
ルケタール類、ベンゾフェノン誘導体、アントラキノン
誘導体、チオキサントン誘導体等が挙げられ、さらに必
要によって増感剤を添加してもよい。光重合開始剤の添
加量は、前記ネガ型感光性塗料用樹脂１００重量部に対
し、好ましくは０．１〜３０重量部、特に好ましくは
０．５〜２０重量部の範囲である。光重合開始剤の添加
量が０．１重量部未満では光硬化性が不足し、また３０
重量部を越えると硬化が進みすぎて塗膜強度が不足し、
かつ不経済であるため好ましくない。

【００４８】前記ネガ型感光性塗料の各成分を分散また
は溶解するために用いる、有機溶媒としては、上述のプ
レポリマーまたは樹脂を溶解しうるものであればよく、
各種のグリコールエーテル類、例えば、エチレングリコ
ールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノヘキ
シルエーテル、エチレングリコールモノフェニルエーテ
ル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピ
レングリコールモノフェニルエーテル、ジエチレングリ
コールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジメ
チルエーテル等；ケトン類、例えば、アセトン、メチル
エチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサ
ノン、イソホロン等；エーテル類、例えば、ジブチルエ
ーテル、ジオキサン、テトラヒドロフラン等；アルコー
ル類、例えば、メトキシブタノール、ジアセトンアルコ
ール、ブタノール、イソプロパノール等；炭化水素類、
例えば、トルエン、キシレン、ヘキサン等；エステル
類、例えば、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸２−メトキ
シエチル、酢酸２−メトキシプロピル等を挙げることが
でき、使用に際しては単独若しくは混合物として用いる
ことができる。

【００４９】またこれらの有機溶媒は、可溶化や分散を
容易にするため、浴安定性の向上のため、平滑塗膜を得
る等のために、前記カチオン性の樹脂又はアニオン性の
樹脂の水溶化時または水分散時において添加することも
できる。

【００５０】必要によりネガ型感光性塗料に配合される
染料及び／又は顔料の色相は、目的に応じ適宜選択で
き、前述のポジ型感光性塗膜で使用したものと同様なも
のを使用することができる。

【００５１】前記染料及び／又は顔料の使用割合は、目
的、色相、使用する染料及び／又は顔料の種類、ネガ型
感光性塗料の乾燥時の膜厚等により適宜選択することが
でき、好ましくはネガ型感光性塗料全体に対して、３〜
７０重量％、特に好ましくは５〜６０重量％程度が適し
ている。

【００５２】さらに場合によっては、該染料及び／又は
顔料の種類や使用割合により、塗膜の光硬化性に悪影響
を及ぼさない限りにおいて、塗膜を透光性だけでなく遮
光性にもすることができ、目的により適宜選択できる。
例えば顔料としてカーボンブラック等を、ネガ型感光性
塗料全体に対して３〜５０重量％の範囲で用いることに
より、黒色かつ遮光性の塗膜を得ることができる。また
該染料及び／又は顔料の色には白色も含まれる。更にま
た使用する染料及び／又は顔料は、良好な塗膜を得るた
めに精製して不純物を除去して使用するのが好ましい。
さらに感光性塗料に、該染料や顔料の分散助剤、塗膜の
平滑性をよくするレベリング剤、粘度調整剤、消泡剤等
の各種助剤類等を添加してもよい。

【００５３】前記ネガ型感光性塗料の調製は、ネガ型感
光性塗料用樹脂、光重合開始剤、有機溶媒及び／又は
水、必要に応じて染料及び／又は顔料、酸性物質または
塩基性物質、染料あるいは顔料の分散助剤、塗膜の平滑
性をよくするレベリング剤、粘度調整剤、消泡剤等の各
種助剤類等を混合し、一般的に使用されるサンドミル、
ロールミル、アトライター等の分散機を用いて充分に分
散させる方法等により得ることができる。このようにし
て得られるネガ型感光性塗料により形成されるネガ型感
光性塗膜の膜厚は特に制限されず、カラーフィルターに
要求される性能等に応じて適宜選択できるが、乾燥時に
通常０．３〜５μｍ、好ましくは１〜３μｍ程度であれ
ばよい。該膜厚を調整するには、例えばネガ型感光性塗
膜を電着法で形成する場合、電圧、電着時間、液温等の
電着条件を調整することにより制御できるが、通常は前
述の（ｃ）工程における着色塗料の電着塗装と同様の条
件で行うことができる。

【００５４】前記ネガ型感光性塗膜を着色膜として用い
ない場合には、着色剤を添加せずに、膜厚を通常５〜１
５μｍ程度に厚くすることが、酸素による硬化阻害作用
の軽減、ピンホールの生成防止等の点で好ましい。

【００５５】次いで本発明の第１及び第２の製造法にお
いては、該ポジ型若しくはネガ型感光性塗膜に露光量が
少なくとも３段階に異なる複数の露光領域を形成する
（以下(ｈ)工程という）。この際露光領域の形状は特に
制限されず、カラーフィルターとしての目的に応じて適
宜決定することができ、このため着色層作成用の領域を
形成することもできる。但し前述の（ｃ）工程若しくは
（ｅ）工程で遮光層を形成した場合には、（ｈ）工程内
で遮光層を形成する操作は必須ではない。

【００５６】前記露光量が少なくとも３段階に異なる複
数の露光領域を形成する工程の方法は、特に限定され
ず、例えば少なくとも３段階に光透過率が異なるパター
ンを有するマスクを介して一回露光する方法、２段階に
光透過率が異なり特定のパターンを有するマスクを介し
て露光し、該マスクを移動させ異なる露光量で再度露光
する操作を繰り返す方法、２段階に光透過率が異なる特
定のパターンを有するマスクを介して露光し、異なるパ
ターンを有する別のマスクを介し露光量を変えて再度露
光する操作を繰り返す方法等が挙げられる。

【００５７】前記光透過率が少なくとも３段階に異なる
パターンを有するマスクを介して露光する方法において
光透過率とは、露光に使用する光線が、該マスクを透過
する前後における強度の比率をいう。また該マスクのパ
ターンの異なる光透過率の段数は、少なくとも３段階あ
れば良く、使用する着色塗料の種類の数に応じて決定で
き、各段階間の光透過率の差は露光条件や後述の現像条
件に応じて適宜選択することができる。

【００５８】前記２段階に光透過率が異なる特定のパタ
ーンを有するマスクを介して露光し、該マスクを移動さ
せ異なる露光量で再度露光する操作を繰り返す方法にお
ける移動とは、マスクと基板との相対位置を変化させる
ことであって、例えば、基板を固定してマスクを移動さ
せる、若しくは基板とマスクとの両者を移動させる等の
いずれでも良い。前記特定のパターンを有するマスク
は、光が通過する部分（以下パターンブロックという）
が、必要回数移動した後において各パターンブロックが
相互に重ならないものを用いるのが好ましい。従って１
つのパターンブロックと隣のパターンブロックとの間隙
は、最低でも１つのパターンブロックが移動回数分移動
しても各露光時におけるパターンブロックが重ならない
だけの幅が必要である。

【００５９】前記マスクの移動方向には特に制限はな
く、同一平面上であれば、前後左右いずれでも良く、ま
た該マスクのパターンブロックの位置及び相対距離は、
移動回数、移動方向、移動距離等により適宜決定され
る。

【００６０】前記露光は、マスクの移動毎にそれ以前に
行なわれた光照射とはそれぞれ異なる光照射量にて露光
する。かかる光照射量を変える手段としては、特に制限
はなく、例えば露光時間を変化させる方法、光源の距離
を変化させる方法、光源の出力を変化させる方法等の各
種方法を用いることができる。この際、光照射量が異な
るように露光する際の光照射量の差は、露光条件、後述
する現像条件に応じて適宜選択することができる。光照
射量の相対的な差は特に限定されないが、通常５％以上
の有意差を有することが好ましい。

【００６１】前記方法において、特定の１つのマスクを
移動させて使用する代わりに、異なるパターンを有する
２枚のマスクを露光毎に取り替えて使用することもで
き、露光方法、露光量等は、前記方法同様に行なうこと
ができる。

【００６２】前記少なくとも２枚のマスクを使用する方
法においては、各マスクのパターンの一部は重なってい
ても良く、この場合には各マスクを介する露光の１回の
光照射量は異なっていても良く、若しくは各マスクを介
する光照射量が同じであってもパターンの重なっている
部分の露光量は重なっていない部分よりも多くなること
を利用し、光照射量をマスク毎に同じにすることもでき
る。

【００６３】次に本発明の第１の方法においては、該露
光領域のポジ型若しくはネガ型感光性塗膜を現像して透
明導電層を露出させ、次いで着色塗料を電着塗装し着色
層を形成する操作を、ポジ型感光性塗膜の場合には露光
領域の露光量が大きい順に、ネガ型感光性塗膜の場合に
は露光領域の露光量が小さい順に順次繰り返すことによ
り着色層を形成する（以下(ｉ)工程という）。この際最
も露光量が小さい部分として未露光領域を用いることも
できる。

【００６４】またカラーフィルターの外周周辺部分に、
透明導電層が露出した外枠を有するカラーフィルターを
形成する目的においては、即ち本発明の第２の方法にお
いては、該露光領域のポジ型若しくはネガ型感光性塗膜
を現像して透明導電層を露出させ、次いで着色塗料を電
着塗装し着色層を形成する操作を、ポジ型感光性塗膜の
場合には露光領域の露光量が大きい順に、ネガ型感光性
塗膜の場合には露光領域の露光量が小さい順に順次繰り
返すことにより着色層を形成し、かつ少なくとも１つ以
上の露光領域を現像して透明導電層を露出させた後に着
色層を形成せずに残す（以下(ｊ)工程という）。

【００６５】前記（ｉ）又は（ｊ）工程は、前記（ｇ）
工程でポジ型感光性塗膜を形成した場合には（ｃ）工程
の方法に準じて行なうことができる。また前記（ｇ）工
程でネガ型感光性塗膜を形成した場合にも、現像方法以
外は（ｃ）工程の方法に準じて行なうことができる。こ
こで、ポジ型若しくはネガ型感光性塗膜を現像する条件
は、選択的に除去すべき部分の露光量、使用するポジ型
若しくはネガ型感光性塗料の現像液に対する溶解性、現
像液の種類や濃度、さらには現像温度、現像時間等によ
って変わりうるものであり、感光性塗料の調製に使用す
る樹脂等に適した条件を適宜選択すれば良い。また、露
光領域の露光量が異なる部分を各々選択的に現像除去、
電着を順次繰り返す目的で、ポジ型若しくはネガ型感光
性塗料に対する溶解能力が異なる現像液を、必要な種類
数用意しておくことが望ましい。更にまた、場合によっ
ては現像液の種類が前記必要な種類数より少なくても、
現像時間を加減することにより、選択的に現像を行なう
ことができる。

【００６６】ポジ型感光性塗膜の現像は、前述の通り
（ｃ）工程と同様にして行なうことができる。またネガ
型感光性塗膜の現像に用いることのできる現像液として
は、具体的には例えば、ネガ型感光性塗料の成分にカチ
オン性の樹脂を使用する場合の現像液としては、酸性物
質を溶解した水溶液を使用することができる。該酸性物
質としては、蟻酸、酢酸、プロピオン酸、乳酸等の有機
酸や塩酸、リン酸等の無機酸を挙げることができ、例え
ば乳酸を現像液に使用する場合は、乳酸濃度は通常０．
０１〜５０重量％、好ましくは０．０１〜３０重量％、
温度は通常１０〜７０℃、好ましくは２０〜５０℃、現
像時間は通常５〜６００秒等の範囲から適宜選定すれば
良い。またネガ型感光性塗料の成分にアニオン性の樹脂
を使用する場合の現像液としては塩基性物質を溶解した
水溶液等を使用することができる。該塩基性物質として
は、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、メタ珪酸ナ
トリウム、テトラアルキルアンモニウムヒドロキシド、
水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等を挙げることがで
き、例えば炭酸ナトリウム水溶液を現像液に使用する場
合、炭酸ナトリウム濃度は通常０．０１〜２５重量％、
好ましくは０．０５〜１５重量％、温度は通常１０〜７
０℃、現像時間は通常５〜６００秒、好ましくは５〜３
００秒等の範囲から適宜選択すれば良い。さらに現像液
としてアルコール類、グリコールエーテル類、ケトン
類、塩素化炭化水素類等の有機溶媒を使用することもで
きる。またこれらの現像液には濡れ性改良や消泡のため
に界面活性剤や消泡剤を添加してもよく、毒性や作業環
境性等の点で水溶液系の現像液を使用するのが好まし
い。

【００６７】前記着色塗料は、前記（ｃ）工程で挙げた
ものを使用することができる。着色塗料の色相は、通常
前記（ｃ）工程で使用しなかったものを用いるが、目的
によっては前記（ｃ）工程で使用した色相を使用するこ
ともできる。また着色塗料の色相は、通常は各露光量の
領域毎に異なるものを用いるが、目的によっては他の領
域と重複する色相を使用することもできる。

【００６８】液晶ディスプレー用のカラーフィルターを
製造する場合、（ｃ）工程と、（ｅ）工程と（ｉ）工程
又は（ｊ）工程を併せて、少なくとも赤、青、緑の色相
の着色塗料を形成し、且つ必要に応じて各色相の間隙に
黒色遮光層を形成しておくことが好ましく、若しくは更
にカラーフィルターの外周部に透明な外枠を有している
ことが最も好ましい。該外枠としては、例えば（ｊ）工
程において製造可能となる例えば透明導電層が露出して
いるもの、若しくは（ｉ）工程であっても製造可能であ
る透明導電層に透明な塗膜が形成されているもの、外枠
部分に更にカラー液晶表示装置組立時の便宜を図るため
の合わせマークを有しているもの等が挙げられる。

【００６９】すなわち、本発明において透明な外枠部分
を製造するには、例えば（ａ）〜（ｉ）工程で製造可能
な、外枠部分に透明塗料の塗膜を形成する方法が挙げら
れる。外枠部分に透明塗料を形成する場合には、特別の
考慮は必要とせず、外枠部分を通常の着色層と同様にし
て扱い、透明塗料の塗膜を形成すれば良い。

【００７０】そのほか、透明な外枠部分として透明導電
層が露出した部分を形成する目的においては、（ｊ）工
程を行なうことができる。すなわち（ｊ）工程として
は、例えば（ａ）〜（ｅ）工程で、外枠部分を非着色部
分として扱い、且つ前記（ｆ）〜（ｉ）工程で外枠部分
を最後に形成する色調部分として扱い、且つ該外枠部分
の感光性塗膜を除去した後に着色操作を行なわないこと
により、（ｊ）工程でいう外枠部分の形成を容易に行な
うことができる。着色条件や、その他の水洗、乾燥条件
も前記（ｃ）工程の方法に準じて行なうことができる。

【００７１】以上の（ａ）〜（ｉ）工程若しくは（ａ）
〜（ｊ）工程により、目的とするカラーフィルターを製
造することができるが、必要に応じて更に加熱・硬化又
は光硬化等を行ない、耐候性や耐薬品性等をより向上さ
せることもできる。該加熱・硬化を行なう場合には、例
えば温度を通常１００〜２７０℃、好ましくは１２０〜
２５０℃とし、５分〜１時間、好ましくは１５〜４０分
の条件で行なえば良い。本発明では、着色層及び遮光層
だけでなく、カラーフィルターの外枠部分に透明且つ表
面内での導電性を有する部分を、特別な工程を行なわず
に製造することもできる。

【００７２】

【発明の効果】本発明のカラーフィルターの製造法で
は、高度な微細加工技術を必要とせず、着色層のパター
ン形状の自由度を大きく、大型化への対処も容易であ
り、かつ大量生産が容易で簡便な方法であるため、工業
的にも極めて有用である。また本発明では、簡便な方法
により、遮光層、着色層、更に必要に応じて透明な外枠
部分を形成することもできる。

【００７３】

【実施例】以下に本発明を合成例および実施例によって
具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるもの
ではない。

【００７４】

【合成例１】黒色塗料（ＢＫ−１）の合成 着色塗料（Ｒ−１）（Ｇ−１）（Ｂ−１）の合成 アクリル樹脂（東亞合成化学（株）製、商品名「アロン
Ｓ−４０２０」）をトリエチルアミンでｐＨが約８とな
るまで中和し、これに脱イオン水を加えた樹脂水溶液
（Ｓ）を作成した。

【００７５】次に樹脂水溶液（Ｓ）に、撹拌下でカーボ
ンブラック、アゾ金属塩赤顔料、フタロシアニングリー
ン、フタロシアニンブルーをそれぞれ加え、黒色、赤
色、緑色および青色の顔料分散液を各々作成した。

【００７６】さらにこれとは別に、前記アクリル樹脂に
メラミン樹脂（住友化学（株）製、商品名「Ｍ−５
６」）を混合したものを、トリエチルアミンでｐＨが８
となるまで中和した後、脱イオン水を加えた樹脂水溶液
（Ｔ）を作成した。

【００７７】前記各色の顔料分散液に対して、樹脂水溶
液（Ｔ）を加えることにより、表１に示される組成の黒
色塗料（ＢＫ−１）および着色塗料（Ｒ−１、Ｇ−１、
Ｂ−１）を得た。なお、得られた黒色塗料（ＢＫ−１）
および着色塗料（Ｒ−１、Ｇ−１、Ｂ−１）は、熱硬化
性であり、かつアニオン型の電着性を有するものであ
る。

【００７８】

【表１】

【００７９】

【実施例１】（２＋２＋階調＋透明塗料（樹脂溶液Ｔ使用）） 膜厚１
００ｎｍのＩＴＯ膜を表面に有する厚さ０．７ｍｍのパ
イレックスガラス基板にポジ型フォトレジスト（東京応
化（株）製、商品名「ＯＦＰＲ−８００」）をスピンコ
ーターで塗布し、８０℃で１０分間乾燥し膜厚２．５μ
ｍのポジ型感光性塗膜を形成した（以下、「原板１」と
いう）。

【００８０】次に図１に示すマスク（遮光層に相当する
部分１に対応するパターンを有するマスク）を介し、高
圧水銀ランプを有するＵＶ露光装置（（株）オーク製作
所製、商品名「ＪＬ−３３００」）を使用して、１００
ｍＪ／ｃｍ²の紫外線を照射した後、濃度２．４重量％
のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液で現像
したところ、露光された領域、すなわちマスクの光透過
率が１００％である部分１に対応する部分のポジ型感光
性塗膜が選択的に除去され、透明導電膜（ＩＴＯ膜）が
露出した。水洗、乾燥後、原板１を陽極とし、黒色塗料
（ＢＫ−１）を入れたステンレススチール製ビーカーを
陰極として、直流電圧２８Ｖ、２５℃の条件で２０秒間
電着した。原板１をイオン交換水で洗浄した後、１２０
℃で１０分間乾燥し、黒色の遮光層を形成した。

【００８１】次いで図２に示すマスク（第１色目の着色
層に相当する部分３に対応するパターンを有するマス
ク）を介し、高圧水銀ランプを有するＵＶ露光装置
（（株）オーク製作所製、商品名「ＪＬ−３３００」）
を使用して、１００ｍＪ／ｃｍ²の紫外線を照射した
後、濃度２．４重量％のテトラメチルアンモニウムヒド
ロキシド水溶液で現像したところ、露光された領域、す
なわちマスクの光透過率が１００％である部分３に対応
する部分のポジ型感光性塗膜が選択的に除去され、透明
導電層（ＩＴＯ膜）が露出した。この際、前記黒色の遮
光層には何等変化は認められなかった。次に、水洗、乾
燥後、黒色塗料（ＢＫ−１）の電着と同様にして、第１
色目（赤色）の着色塗料（Ｒ−１）を電着し、イオン交
換水で洗浄し、１２０℃で１０分間乾燥した。先に形成
された黒色遮光層には何等変化は認められず、第１色目
の着色層が形成された。

【００８２】次に原板１の全面に２００ｍＪ／ｃｍ²の
紫外線を照射し、３．５重量％のテトラメチルアンモニ
ウムヒドロキシド水溶液で残余のポジ型感光性塗膜を除
去し、水洗、乾燥させた。さらに、原板１にポジ型フォ
トレジスト（東京応化（株）製、商品名「ＯＦＰＲ−８
００」）をスピンコーターで塗布し、８０℃で１０分間
乾燥し膜厚２．５μｍのポジ型感光性塗膜を形成した。

【００８３】次いで図３に示すマスクを介し、高圧水銀
ランプを有するＵＶ露光装置（（株）オーク製作所製、
商品名「ＪＬ−３３００」）を使用して、１００ｍＪ／
ｃｍ²の紫外線を照射した後、濃度２．４重量％のテト
ラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液で現像したと
ころ、露光量が最も大きい領域、すなわちマスクの光透
過率が最も高い部分５に対応する部分のポジ型感光性塗
膜が選択的に除去され、透明導電層（ＩＴＯ膜）が露出
した。水洗、乾燥後、原板１を陽極とし、第２色目（緑
色）の着色塗料（Ｇ−１）を入れたステンレススチール
製ビーカーを陰極として、直流電圧２８Ｖ、２５℃の条
件で２０秒間電着した。原板１をイオン交換水で洗浄し
た後、１２０℃で１０分間乾燥し、第２色目（緑色）の
着色層を形成した。

【００８４】次いで３．５重量％のテトラメチルアンモ
ニウムヒドロキシド水溶液で現像したところ、露光量が
２番目に大きい領域、すなわちマスクの光透過率が２番
目に高い部分６に対応する部分のポジ型感光性塗膜が選
択的に除去され、透明導電層（ＩＴＯ膜）が露出した。
次に、水洗、乾燥後、着色塗料（Ｇ−１）の電着と同様
にして、第３の色（青色）の着色塗料（Ｂ−１）を電着
し、イオン交換水で洗浄し、１２０℃で１０分間乾燥し
た。先に形成された黒色遮光層、第１の色および第２の
色の着色層には何等変化は認められず、第３の色の着色
層が形成された。

【００８５】続いて原板１の全面に２００ｍＪ／ｃｍ²
の紫外線を照射し、３．５重量％のテトラメチルアンモ
ニウムヒドロキシド水溶液で残余のポジ型感光性塗膜を
除去し、水洗、乾燥させた。この際、カラーフィルター
の外枠部分の透明導電層が露出された。その後１８０℃
で３０分間加熱し、遮光層および着色層を硬化させたと
ころ、常温で粘着性を示さない膜厚２μｍ±０．１μｍ
の、黒色の遮光層、着色層および透明な外枠を有する、
均一で透明性に優れたカラーフィルターが得られた。

【００８６】

【実施例２】実施例１において、カラーフィルターの外
枠部分の透明導電層が露出された後、さらに透明な塗料
（樹脂水溶液Ｔ）を、着色塗料と同様にして電着し、イ
オン交換水で洗浄し、１２０℃で１０分間乾燥した。先
に形成された黒色遮光層、第１の色、第２の色および第
３の色の着色層には何等変化は認められず、透明な外枠
が形成された。その後１８０℃で３０分間加熱し、遮光
層および着色層を硬化させたところ、常温で粘着性を示
さない膜厚２μｍ±０．１μｍの、黒色の遮光層、着色
層および透明な外枠を有する、均一で透明性に優れたカ
ラーフィルターが得られた。

【００８７】

【実施例３】（２＋２＋移動法） 膜厚１００ｎｍのＩＴＯ膜を表面に
有する厚さ０．７ｍｍのパイレックスガラス基板にポジ
型フォトレジスト（東京応化（株）製、商品「ＯＦＰＲ
−８００」）をスピンコーターで塗布し、８０℃で１０
分間乾燥し膜厚２．５μｍのポジ型感光性塗膜を形成し
た（以下、「原板２」という）。

【００８８】次に図１に示すマスク（遮光層に相当する
部分１に対応するパターンを有するマスク）を介し、高
圧水銀ランプを有するＵＶ露光装置（（株）オーク製作
所製、商品名「ＪＬ−３３００」）を使用して、１００
ｍＪ／ｃｍ²の紫外線を照射した後、濃度２．４重量％
のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液で現像
したところ、露光された領域、すなわちマスクの光透過
率が１００％である部分１に対応する部分のポジ型感光
性塗膜が選択的に除去され、透明導電層（ＩＴＯ膜）が
露出した。続いて水洗、乾燥後、原板２を陽極とし、黒
色塗料（ＢＫ−１）を入れたステンレススチール製ビー
カーを陰極として、直流電圧２８Ｖ、２５℃の条件で２
０秒間電着した。原板２をイオン交換水で洗浄した後、
１２０℃で１０分間乾燥し、黒色の遮光層を形成した。

【００８９】次いで図２に示すマスク（第１色目の着色
層に相当する部分３に対応するパターンを有するマス
ク）を介し、高圧水銀ランプを有するＵＶ露光装置
（（株）オーク製作所製、商品名「ＪＬ−３３００」）
を使用して、１００ｍＪ／ｃｍ²の紫外線を照射した
後、濃度２．４重量％のテトラメチルアンモニウムヒド
ロキシド水溶液で現像したところ、露光された領域、す
なわちマスクの光透過率が１００％である部分３に対応
する部分のポジ型感光性塗膜が選択的に除去され、透明
導電層（ＩＴＯ膜）が露出した。この際、前記黒色の遮
光層には何等変化は認められなかった。次に、水洗、乾
燥後、黒色塗料（ＢＫ−１）の電着と同様にして、第１
色目（赤色）の着色塗料（Ｒ−１）を電着し、イオン交
換水で洗浄し、１２０℃で１０分間乾燥した。先に形成
された黒色遮光層には何等変化は認められず、第１色目
の着色層が形成された。

【００９０】次に原板２の全面に２００ｍＪ／ｃｍ²の
紫外線を照射し、３．５重量％のテトラメチルアンモニ
ウムヒドロキシド水溶液で残余のポジ型感光性塗膜を除
去し、水洗、乾燥させた。さらに、原板２にポジ型フォ
トレジスト（東京応化（株）製、商品名「ＯＦＰＲ−８
００」）をスピンコーターで塗布し、８０℃で１０分間
乾燥し膜厚２．５μｍのポジ型感光性塗膜を形成した。

【００９１】次いで図４に示すマスク（移動方向に十分
な長さを有する）を介し、高圧水銀ランプを有するＵＶ
露光装置（（株）オーク製作所製、商品名「ＪＬ−３３
００」）を使用して、１００ｍＪ／ｃｍ²の紫外線を照
射した（以下、「第１露光」という）。ついで図４に示
した方向および距離移動し、７５ｍＪ／ｃｍ²の紫外線
を照射した（以下、「第２露光」という）。

【００９２】続いて濃度２．４重量％のテトラメチルア
ンモニウムヒドロキシド水溶液で現像したところ、露光
量が最も大きい領域、すなわち第１露光で露光された部
分のポジ型感光性塗膜が選択的に除去され、透明導電層
（ＩＴＯ膜）が露出した。水洗、乾燥後、原板２を陽極
とし、第２色目（緑色）の着色塗料（Ｇ−１）を入れた
ステンレススチール製ビーカーを陰極として、直流電圧
２８Ｖ、２５℃の条件で２０秒間電着した。原板２をイ
オン交換水で洗浄した後、１２０℃で１０分間乾燥し、
第２の色（緑色）の着色層を形成した。続いて３．５重
量％のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液で
現像したところ、露光量が２番目に大きい領域、すなわ
ち第２露光で露光された部分のポジ型感光性塗膜が選択
的に除去され、透明導電層（ＩＴＯ膜）が露出した。次
に、水洗、乾燥後、着色塗料（Ｇ−１）の電着と同様に
して、第３の色（例えば青色）の着色塗料（Ｂ−１）を
電着し、イオン交換水で洗浄し、１２０℃で１０分間乾
燥した。先に形成された黒色遮光層、第１の色および第
２の色の着色層には何等変化は認められず、第３の色の
着色層が形成された。

【００９３】次に原板２の全面に２００ｍＪ／ｃｍ²の
紫外線を照射し、３．５重量％のテトラメチルアンモニ
ウムヒドロキシド水溶液で残余のポジ型感光性塗膜を除
去し、水洗、乾燥させた。この際、カラーフィルターの
外枠部分の透明導電層が露出された。続いて１８０℃で
３０分間加熱し、遮光層および着色層を硬化させたとこ
ろ、常温で粘着性を示さない膜厚２μｍ±０．１μｍ
の、黒色の遮光層、着色層および透明な外枠を有する、
均一で透明製に優れたカラーフィルターが得られ

【００９４】た。

【実施例４】（ポジ２枚＋ネガ２枚） 膜厚１００ｎｍのＩＴＯ膜を表
面に有する厚さ０．７ｍｍのパイレックスガラス基板に
ポジ型フォトレジスト（東京応化（株）製、商品名「Ｏ
ＦＰＲ−８００」）をスピンコーターで塗布し、８０℃
で１０分間乾燥し膜厚２．５μｍのポジ型感光性塗膜を
形成した（以下、「原板３」という）。

【００９５】次いで図１に示すマスク（遮光層に相当す
る部分１に対応するパターンを有するマスク）を介し、
高圧水銀ランプを有するＵＶ露光装置（（株）オーク製
作所製、商品名「ＪＬ−３３００」）を使用して、１０
０ｍＪ／ｃｍ²の紫外線を照射した後、濃度２．４重量
％のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液で現
像したところ、露光された領域、すなわちマスクの光透
過率が１００％である部分１に対応する部分のポジ型感
光性塗膜が選択的に除去され、透明導電層（ＩＴＯ膜）
が露出した。続いて水洗、乾燥後、原板３を陽極とし、
黒色塗料（ＢＫ−１）を入れたステンレススチール製ビ
ーカーを陰極として、直流電圧２８Ｖ、２５℃の条件で
２０秒間電着した。原板３をイオン交換水で洗浄した
後、１２０℃で１０分間乾燥し、黒色の遮光層を形成し
た。

【００９６】次いで図２に示すマスク（第１色目の着色
層に相当する部分３に対応するパターンを有するマス
ク）を介し、高圧水銀ランプを有するＵＶ露光装置
（（株）オーク製作所製、商品名「ＪＬ−３３００」）
を使用して、１００ｍＪ／ｃｍ²の紫外線を照射した
後、濃度２．４重量％のテトラメチルアンモニウムヒド
ロキシド水溶液で現像したところ、露光された領域、す
なわちマスクの光透過率が１００％である部分３に対応
する部分のポジ型感光性塗膜が選択的に除去され、透明
導電層（ＩＴＯ膜）が露出した。この際、前記黒色の遮
光層には何等変化は認められなかった。次に、水洗、乾
燥後、黒色塗料（ＢＫ−１）の電着と同様にして、第１
色目（赤色）の着色塗料（Ｒ−１）を電着し、イオン交
換水で洗浄し、１２０℃で１０分間乾燥した。先に形成
された黒色遮光層には何等変化は認められず、第１色目
の着色層が形成された。

【００９７】次に原板３の全面に２００ｍＪ／ｃｍ²の
紫外線を照射し、３．５重量％のテトラメチルアンモニ
ウムヒドロキシド水溶液で残余のポジ型感光性塗膜を除
去し、水洗、乾燥させた。更に原板３にネガ型フォトレ
ジスト（東京応化（株）製、商品名「ＯＰ−２レジスト
ＤＡ」）をスピンコーターで塗布し、８０℃で１０分間
乾燥し、膜厚５．０μｍのネガ型感光性塗膜を形成し
た。

【００９８】図５に示すマスクを介し、高圧水銀ランプ
を有するＵＶ露光装置（（株）オーク製作所製、商品名
「ＪＬ−３３００」）を使用して、２０ｍＪ／ｃｍ²の
紫外線を照射し（以下、「第１露光」という）、さらに
図６に示すマスクを介して１００ｍＪ／ｃｍ²の紫外線
を照射した（以下、「第２露光」という）。

【００９９】次に濃度０．５重量％の炭酸ナトリウム水
溶液で現像したところ、露光量が最も少ない領域、すな
わち第１露光および第２露光で露光されなかった部分の
ネガ型感光性塗膜が選択的に除去され、該除去された領
域のうち遮光層もしくは遮光層の無い部分の透明導電層
（ＩＴＯ膜）が露出した。水洗、乾燥後、原板３を陽極
とし、第２色目（緑色）の着色塗料（Ｇ−１）を入れた
ステンレススチール製ビーカーを陰極として、直流電圧
２８Ｖ、２５℃の条件で２０秒間電着した。原板３をイ
オン交換水で洗浄した後、１２０℃で１０分間乾燥し、
第２色目の着色層を形成した。

【０１００】次いで０．５重量％メタケイ酸ソーダ水溶
液で現像したところ、露光量が２番目に少ない領域、す
なわち第１露光で露光された部分１０のネガ型感光性塗
膜が選択的に除去され、透明導電層（ＩＴＯ膜）露出し
た。この際、前記の黒色の遮光層には何等変化は認めら
れなかった。次に、水洗、乾燥後、黒色塗料（ＢＫ−
１）の電着と同様にして、第３色目（青色）の着色塗料
（Ｂ−１）を電着し、イオン交換水で洗浄し、１２０℃
で１０分間乾燥した。先に形成された遮光層および第
１、２色目の着色層には何等変化は認められず、第３色
目の着色層が形成された。

【０１０１】次に残余のネガ型感光性塗膜、すなわち第
２露光で露光された部分１２のネガ型感光性塗膜を、
１．０％ＮａＯＨ水溶液で除去して外枠部分の透明導電
層を露出させ、水洗、乾燥させた。続いて１８０℃で３
０分間加熱し、遮光層および着色層を硬化させたとこ
ろ、常温で粘着性を示さない膜厚２μｍ±０．１μｍ
の、黒色の遮光層および着色層を有し、かつ透明導電層
が露出した透明の外枠部分を有する、均一で透明性に優
れたカラーフィルターが得られた。

【０１０２】

【実施例５】膜厚１００ｎｍのＩＴＯ膜を表面に有する
厚さ０．７ｍｍのパイレックスガラス基板にポジ型フォ
トレジスト（東京応化（株）製、商品名「ＯＦＰＲ−８
００」）をスピンコーターで塗布し、８０℃で１０分間
乾燥し膜厚２．５μｍのポジ型感光性塗膜を形成した
（以下、「原板４」という）。

【０１０３】次いで図１に示すマスク（遮光層に相当す
る部分１に対応するパターンを有するマスク）を介し、
高圧水銀ランプを有するＵＶ露光装置（（株）オーク製
作所製、商品名「ＪＬ−３３００」）を使用して、１０
０ｍＪ／ｃｍ²の紫外線を照射した後、濃度２．４重量
％のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液で現
像したところ、露光された領域、すなわちマスクの光透
過率が１００％である部分１に対応する部分のポジ型感
光性塗膜が選択的に除去され、透明導電層（ＩＴＯ膜）
が露出した。続いて水洗、乾燥後、原板４を陽極とし、
黒色塗料（ＢＫ−１）を入れたステンレススチール製ビ
ーカーを陰極として、直流電圧２８Ｖ、２５℃の条件で
２０秒間電着した。原板４をイオン交換水で洗浄した
後、１２０℃で１０分間乾燥し、黒色の遮光層を形成し
た。

【０１０４】次いで図６に示すマスクを介し、高圧水銀
ランプを有するＵＶ露光装置（（株）オーク製作所製、
商品名「ＪＬ−３３００」）を使用して、１００ｍＪ／
ｃｍ²の紫外線を照射した後、濃度２．４重量％のテト
ラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液で現像したと
ころ、露光された領域、すなわちマスクの光透過率が１
００％である部分１２に対応する部分のポジ型感光性塗
膜が選択的に除去され、透明導電膜（ＩＴＯ膜）が露出
した。続いて水洗、乾燥後、原板４を陽極とし、透明な
塗料（樹脂水溶液Ｔ）を入れたステンレススチール製ビ
ーカーを陰極として、直流電圧２８Ｖ、２５℃の条件で
２０秒間電着した。原板４をイオン交換水で洗浄した
後、１２０℃で１０分間乾燥し、透明な外枠を形成し
た。

【０１０５】次に原板４の全面に２００ｍＪ／ｃｍ²の
紫外線を照射し、３．５重量％のテトラメチルアンモニ
ウムヒドロキシド水溶液で残余のポジ型感光性塗膜を除
去し、水洗、乾燥させた。さらに、原板４にポジ型フォ
トレジスト（東京応化（株）製、商品名「ＯＦＰＲ−８
００」）をスピンコーターで塗布し、８０℃で１０分間
乾燥し膜厚２．５μｍのポジ型感光性塗膜を形成した。

【０１０６】次いで図７に示すマスクを介し、高圧水銀
ランプを有するＵＶ露光装置（（株）オーク製作所製、
商品名「ＪＬ−３３００」）を使用して、１００ｍＪ／
ｃｍ²の紫外線を照射した後、濃度２．４重量％のテト
ラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液で現像したと
ころ、露光量が最も大きい領域、すなわちマスクの光透
過率が最も高い部分１４に対応する部分のポジ型感光性
塗膜が選択的に除去され、透明導電層（ＩＴＯ膜）が露
出した。水洗、乾燥後、黒色塗料（ＢＫ−１）の電着と
同様にして、第１色目（赤色）の着色塗料（Ｒ−１）を
電着し、イオン交換水で洗浄し、１２０℃で１０分間乾
燥した。先に形成された黒色遮光層および外枠には何等
変化は認められず、第１色目の着色層が形成された。

【０１０７】続いて３．５重量％のテトラメチルアンモ
ニウムヒドロキシド水溶液で現像したところ、露光量が
２番目に大きい領域、すなわちマスクの光透過率が２番
目に高い部分１５に対応する部分のポジ型感光性塗膜が
選択的に除去され、透明導電層（ＩＴＯ膜）が露出し
た。水洗、乾燥後、第２色目（緑色）の着色塗料（Ｇ−
１）を入れたステンレススチール製ビーカーを陰極とし
て、直流電圧２８Ｖ、２５℃の条件で２０秒間電着し
た。原板４をイオン交換水で洗浄した後、１２０℃で１
０分間乾燥し、第２色目（緑色）の着色層を形成した。

【０１０８】次に原板４の全面に２００ｍＪ／ｃｍ²の
紫外線を照射し、３．５重量％のテトラメチルアンモニ
ウムヒドロキシド水溶液で残余のポジ型感光性塗膜を除
去し、水洗、乾燥させた。この際、黒色遮光層、外枠、
第１の色および第２の色の着色層以外の部分、すなわち
第３の着色層に相当する部分の透明導電層が露出され
た。水洗、乾燥後、着色塗料（Ｒ−１）の電着と同様に
して、第３の色（青色）の着色塗料（Ｂ−１）を電着
し、イオン交換水で洗浄し、１２０℃で１０分間乾燥し
た。先に形成された黒色遮光層、外枠、第１の色および
第２の色の着色層には何等認められず、第３の色の着色
層が形成された。続いて１８０℃で３０分間加熱し、遮
光層、外枠および着色層を硬化させたところ、常温で粘
着性を示さない膜厚２μｍ±０．１μｍの、黒色の遮光
層、着色層および透明な外枠を有する、均一で透明性に
優れたカラーフィルターが得られた。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は実施例で用いた２段階に光透過率が異な
るマスクを示す概略図である。

【図２】図２は実施例で用いた２段階に光透過率が異な
る他のマスクを示す概略図である。

【図３】図３は実施例で用いた３段階に光透過率が異な
るマスクを示す概略図である。

【図４】図４は実施例で用いた２段階に光透過率が異な
る移動用マスクを示す概略図である。

【図５】図５は実施例で用いた２段階に光透過率が異な
る別のマスクを示す概略図である。

【図６】図６は実施例で用いた２段階に光透過率が異な
る更に別のマスクを示す概略図である。

【図７】図７は実施例で用いた３段階に光透過率が異な
る他のマスクを示す概略図である。

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成６年１月１４日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１８

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１８】本発明において好ましく使用されるポジ型
感光性塗料用樹脂としては、露光部分が現像液によって
溶出されるものであれば特に限定されるものではなく、
例えばキノンジアジド基を有する樹脂、ジアゾメルドラ
ム酸又はニトロベンジルエステル等を有する樹脂又はこ
れらの樹脂を有する樹脂組成物等を好ましく挙げること
ができる。具体的には例えばアクリル樹脂、エポキシ樹
脂、ウレタン樹脂、ポリブタジエン樹脂等に、オニウム
基化が容易なアミノ基および／またはアンモニウム、ス
ルホニウム等のオニウム基と水酸基とを導入し、更にキ
ノンジアジドスルホン酸化合物をエステル化反応により
付加した樹脂で、蟻酸、酢酸、プロピオン酸、乳酸等の
酸あるいは酸性物質で水に可溶化及び／又は分散される
樹脂等のキノンジアジド基を有するカチオン性の樹脂組
成物；アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、マレイン化油
樹脂、ポリブタジエン樹脂、エポキシ樹脂等に、カルボ
キシル基等と水酸基とを導入し、更にキノンジアジドス
ルホン酸化合物をエステル化反応により付加した樹脂
で、トリエチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタ
ノールアミン、アンモニア等の塩基性物質で水に可溶化
及び／又は分散される樹脂等のキノンジアジド基を有す
るアニオン性の樹脂組成物；造膜機能を有する樹脂及び
ヒドロキシル基を有する化合物とキノンジアジドスルホ
ン酸誘導体とを反応させて得られる樹脂を適宜混合した
組成物等を挙げることができ、特に工程簡略化や公害防
止の点から、水に可溶化及び／又は分散しうる樹脂の使
用が好ましい。また前記組成物における混合割合は、露
光条件や現像条件によって任意に選択することができ
る。この他、酸触媒によりアルカリ又は水可溶性基を生
成しうる基を有する化合物と光酸発生剤を必須成分とす
るポジ型フォトレジストも使用することができる。さら
には市販の各種ポジ型フォトレジストを適宜使用するこ
ともできる。

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２８

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２８】前記（ｃ）工程に使用可能な現像液として
は、具体的には例えば、通常塩基性物質を溶解した水溶
液等を使用することができる。該塩基性物質としては、
炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、メタ珪酸ナトリ
ウム、テトラアルキルアンモニウムヒドロキシド、水酸
化ナトリウム、水酸化カリウム等を挙げることができ、
例えばメタ珪酸ナトリウム水溶液を現像液に使用する場
合、メタ珪酸ナトリウムの濃度は、通常０．０１〜２５
重量％、好ましくは０．０５〜２０重量％、温度は通常
１０〜７０℃、好ましくは１５〜５０℃、現像時間は通
常２〜６００秒、好ましくは３０〜３００秒等の範囲か
ら適宜選択すれば良い。更に（ｃ）工程において用いる
現像液には濡れ性改良や消泡のために界面活性剤、アル
コール類、グリコールエーテル類、ケトン類、塩素化炭
化水素類等の有機溶媒あるいは消泡剤を添加しても良
い。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３１

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３１】前記着色塗料の樹脂成分として用いるカチ
オン性の樹脂としては、例えばアクリル樹脂、エポキシ
樹脂、ウレタン樹脂、ポリブタジエン樹脂、ポリアミド
樹脂等に、オニウム基化が容易なアミノ基および／また
はアンモニウム、スルホニウム等のオニウム基を導入し
た樹脂で、蟻酸、酢酸、プロピオン酸、乳酸等の酸ある
いは酸性物質で水に可溶化または分散される樹脂等を挙
げることができる。

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００４５

【補正方法】変更

【補正内容】

【００４５】該プレポリマーまたは樹脂としては、例え
ばエポキシ（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）ア
クリレート、ポリエステル（メタ）アクリレート等のプ
レポリマー；アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹
脂、ポリブタジエン樹脂等に、オニウム基化が容易なア
ミノ基および／またはアンモニウム、スルホニウム等の
オニウム基と前記感光性基とを導入した樹脂で、蟻酸、
酢酸、プロピオン酸、乳酸等の酸あるいは酸性物質で水
に可溶化及び／又は分散される樹脂等のカチオン性の樹
脂；アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、マレイン化油樹
脂、ポリブタジエン樹脂、エポキシ樹脂等にカルボキシ
ル基等と前記感光性基とを導入した樹脂で、トリエチル
アミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、
アンモニア等の塩基性物質で水に可溶化及び／又は分散
される樹脂等のアニオン性の樹脂等を挙げることがで
き、特に工程簡略化や公害防止の点から、水に可溶化及
び／又は分散しうるプレポリマー又は樹脂の使用が好ま
しい。

【手続補正５】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００４７

【補正方法】変更

【補正内容】

【００４７】前記光重合開始剤は公知のものでよく、例
えばベンゾインおよびそのエーテル類、ベンジルアルキ
ルケタール類、ベンゾフェノン誘導体、アントラキノン
誘導体、チオキサントン誘導体等が挙げられ、さらに必
要によって増感剤を添加してもよい。光重合開始剤の添
加量は、前記ネガ型感光性塗料用樹脂１００重量部に対
し、好ましくは０．１〜３０重量部、特に好ましくは
０．５〜２０重量部の範囲である。光重合開始剤の添加
量が０．１重量部未満では光硬化性が不足し、また３０
重量部を越えると硬化が進みすぎて塗膜強度が不足し、
かつ不経済であるため好ましくない。また市販の各種ネ
ガ型感光性塗料（フォトレジスト）を適宜使用してもよ
い。

【手続補正６】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０１００

【補正方法】変更

【補正内容】

【０１００】次いで０．５重量％メタ珪酸ナトリウム水
溶液で現像したところ、露光量が２番目に少ない領域、
すなわち第１露光で露光された部分１０のネガ型感光性
塗膜が選択的に除去され、透明導電層（ＩＴＯ膜）露出
した。この際、前記の黒色の遮光層には何等変化は認め
られなかった。次に、水洗、乾燥後、黒色塗料（ＢＫ−
１）の電着と同様にして、第３色目（青色）の着色塗料
（Ｂ−１）を電着し、イオン交換水で洗浄し、１２０℃
で１０分間乾燥した。先に形成された遮光層および第
１、２色目の着色層には何等変化は認められず、第３色
目の着色層が形成された。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大美賀 広芳 神奈川県横浜市港北区篠原東３−20−17− ３号 (72)発明者 安藤 雅之 千葉県柏市中央２−２−５ グランドール 中央101号

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 (ａ)透明導電層を有する透明基板の透明
   導電層上に、ポジ型感光性塗膜を形成する工程、 (ｂ)該ポジ型感光性塗膜に露光量が２段階に異なる露光
   領域を形成する工程、 (ｃ)該露光領域の少なくとも一方のポジ型感光性塗膜を
   現像して透明導電層を露出させ、次いで着色塗料を電着
   塗装し着色層を形成する工程、 (ｄ)残余のポジ型感光性塗膜に露光量が２段階に異なる
   露光領域を形成する工程、 (ｅ)該露光領域の少なくとも一方のポジ型感光性塗膜を
   現像して透明導電層を露出させ、次いで着色塗料を電着
   塗装し着色層を形成する工程、 (ｆ)さらに残余のポジ型感光性塗膜を除去する工程、 (ｇ)(ｆ)工程によりポジ型感光性塗膜が除去された基板
   にポジ型若しくはネガ型感光性塗膜を形成する工程、 (ｈ)該ポジ型若しくはネガ型感光性塗膜に露光量が少な
   くとも３段階に異なる複数の露光領域を形成する工程、 (ｉ)該露光領域のポジ型若しくはネガ型感光性塗膜を現
   像して透明導電層を露出させ、次いで着色塗料を電着塗
   装し着色層を形成する操作を、ポジ型感光性塗膜の場合
   には露光領域の露光量が大きい順に、ネガ型感光性塗膜
   の場合には露光領域の露光量が小さい順に順次繰り返す
   ことにより着色層を形成する工程とを含むことを特徴と
   するカラーフィルターの製造法。
2. 【請求項２】 (ａ)透明導電層を有する透明基板の透明
   導電層上に、ポジ型感光性塗膜を形成する工程、 (ｂ)該ポジ型感光性塗膜に露光量が２段階に異なる露光
   領域を形成する工程、 (ｃ)該露光領域の少なくとも一方のポジ型感光性塗膜を
   現像して透明導電層を露出させ、次いで着色塗料を電着
   塗装し着色層を形成する工程、 (ｄ)残余のポジ型感光性塗膜に露光量が２段階に異なる
   露光領域を形成する工程、 (ｅ)該露光領域の少なくとも一方のポジ型感光性塗膜を
   現像して透明導電層を露出させ、次いで着色塗料を電着
   塗装し着色層を形成する工程、 (ｆ)さらに残余のポジ型感光性塗膜を除去する工程、 (ｇ)(ｆ)工程によりポジ型感光性塗膜が除去された基板
   にポジ型若しくはネガ型感光性塗膜を形成する工程、 (ｈ)該ポジ型若しくはネガ型感光性塗膜に露光量が少な
   くとも３段階に異なる複数の露光領域を形成する工程、 (ｊ)該露光領域のポジ型若しくはネガ型感光性塗膜を現
   像して透明導電層を露出させ、次いで着色塗料を電着塗
   装し着色層を形成する操作を、ポジ型感光性塗膜の場合
   には露光領域の露光量が大きい順に、ネガ型感光性塗膜
   の場合には露光領域の露光量が小さい順に順次繰り返す
   ことにより着色層を形成し、かつ少なくとも１つ以上の
   露光領域を現像して透明導電層を露出させた後に着色層
   を形成せずに残す工程とを含むことを特徴とするカラー
   フィルターの製造法。
3. 【請求項３】 前記(ｃ)工程の着色層の色相が、黒色若
   しくは暗色であることを特徴とする請求項１又は２記載
   のカラーフィルターの製造法。