JP2717736B2 - カラーフィルターの製造法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はカラーフィルターの製造
法に関し、特にカラー液晶表示装置用等として好適なカ
ラーフィルターの製造法に関する。

【０００２】

【従来の技術】現在、一般に使用されているカラーフィ
ルターの製造法としては、透明基板を染料や顔料を含ん
だバインダーによって着色する染色法、印刷法、顔料分
散法等がある。

【０００３】しかしながら、前記染色法は、基板上の樹
脂薄膜を色素で選択染色する方法であるので、色替えの
度に防染およびフォトリソグラフィー工程を行なう必要
があり、また前記印刷法では防染の必要はないが、色パ
ターンの微細化に限界が生じ、多色化が進むほど印刷位
置の精度が悪くなるという問題がある。更に前記顔料分
散法では微細パターンは可能であるものの、色替えの度
に高精度のフォトリソグラフィー工程を経ねばならず工
程がきわめて複雑化するという欠点がある。

【０００４】一方、これらの欠点を解消するために、特
開昭５９−１１４５７２号公報において、電着塗装法に
よるカラーフィルターの製造法が提案されている。該方
法では、まず基板上に形成された透明導電膜をパターニ
ングして透明電極を形成し、該パターン化透明電極の同
じ色に着色される箇所にのみ電圧を印加し、着色電着浴
中で電着して着色層を形成する。次に別の色に着色され
る箇所にのみ電圧を印加し電着処理して別の着色層を形
成する。しかしこの方法は、まず高精度を必要とする透
明電極のパターニングを最初に行なわなければならず、
後工程での取扱いに多大の注意が必要であり、微細パタ
ーンの一部でも断線すると以後の着色工程が困難となる
ため製造上好ましくない。さらにパターン化透明電極
は、微細部分であってもすべて電気的に連続していなけ
ればならず、パターン形状の自由度に制約がある。

【０００５】また特開昭６３−２１０９０１号公報にお
いて、ポジ型感光性樹脂組成物を用いて同じ色に着色さ
れる箇所のみのパターンを有するマスクを介して露光、
現像し電着によって着色層を形成し、その後この露光・
現像・電着の工程を所望回数繰り返すという方法が提案
されているが、この方法は、工程が複雑であり十分に簡
略化されているとは言い難く、また未露光部のキノンジ
アジド化合物も現像時にアルカリ水溶液に曝すと、変質
して感光性が著しく変化し、以後の露光・現像が困難に
なるという欠点がある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】したがって本発明の目
的は、上記のような欠点を解決し、高度な微細加工技術
を必要とせず、着色層のパターン形状の自由度が大き
く、大型化への対処も容易であり、かつ大量生産が容易
で簡便な、カラーフィルターの製造法を提供するもので
ある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、着色層の
パターン形状の自由度が大きく、大型化にも対処可能な
カラーフィルターの製造法について研究の結果、感光性
塗膜に対し、特定のパタ−ンを有するマスクを介して露
光し、次いで該マスクを少なくとも１回移動し、該移動
を行う毎に各々光照射量が異なるように露光し、順次、
現像・電着を繰り返すという簡便な工程により優れた性
能を有するカラーフィルターが得られることを見いだし
た。

【０００８】すなわち、本発明によれば、（Ａ−１）表
面に透明な導電層を有する透明基板の導電層上にネガ型
感光性塗膜を形成し、特定のパタ−ンを有するマスクを
介して露光を行い、次いで該マスクを少なくとも１回移
動し、異なる光照射量にて露光する工程と、（Ｂ−１）
ネガ型感光性塗膜を現像除去し、露出した導電層上に着
色塗料を電着塗装し着色層を形成する操作を、光照射量
が少ない露光部分から順次繰り返すことにより着色層を
形成する工程とを含むことを特徴とするカラーフィルタ
ーの製造法が提供される。

【０００９】また本発明によれば、（Ａ−２）表面に透
明な導電層を有する透明基板の導電層上にポジ型感光性
塗膜を形成し、特定のパタ−ンを有するマスクを介して
露光を行い、次いで該マスクを少なくとも１回移動し、
異なる光照射量にて露光する工程と、（Ｂ−２）ポジ型
感光性塗膜を現像除去し、露出した導電層上に着色塗料
を電着塗装し着色層を形成する操作を、光照射量が多い
露光部分から順次繰り返すことにより着色層を形成する
工程とを含むことを特徴とするカラーフィルターの製造
法が提供される。

【００１０】更に本発明によれば、前記（Ａ−１）工程
と、前記（Ｂ−１）工程と、（Ｃ−１）光照射量が異な
る露光部分のうち、少なくとも１箇所の部分のネガ型感
光性塗膜を現像除去して露出した導電層上に、選択的に
金属層を形成する工程とを含むことを特徴とするカラー
フィルターの製造法が提供される。

【００１１】更に本発明によれば、前記（Ａ−２）工程
と、前記（Ｂ−２）工程と、（Ｃ−２）光照射量が異な
る露光部分のうち、少なくとも１箇所の部分のポジ型感
光性塗膜を現像除去して露出した導電層上に、選択的に
金属層を形成する工程とを含むことを特徴とするカラー
フィルターの製造法が提供される。

【００１２】更にまた本発明によれば、前記（Ａ−１）
工程と、前記（Ｂ−１）工程と、（Ｃ−１）工程と、
（Ｄ−１）前記金属層上に着色塗料を電着塗装し、着色
層を形成する工程とを含むことを特徴とするカラーフィ
ルターの製造法が提供される。

【００１３】更に本発明によれば、前記（Ａ−２）工程
と、前記（Ｂ−２）工程と、（Ｃ−２）工程と、（Ｄ−
２）前記金属層上に着色塗料を電着塗装し、着色層を形
成する工程とを含むことを特徴とするカラーフィルター
の製造法が提供される。

【００１４】以下、本発明をさらに詳細に説明する。

【００１５】本発明においては、先ず表面に透明な導電
層を有する透明基板の導電層上に、ネガ型感光性塗膜又
はポジ型感光性塗膜を形成し、特定のパターンを有する
マスクを介して露光し、次いで該マスクを少なくとも１
回移動し、異なる光照射量にて露光する工程（以下、ネ
ガ型感光性塗膜を形成し露光する工程を（Ａ−１）工程
と、またポジ型感光性塗膜を形成し露光する工程を（Ａ
−２）工程という）を行う。また以下、前記（Ａ−１）
工程及び（Ａ−２）工程を総称して（Ａ）工程という。

【００１６】本発明に使用される表面に透明な導電層を
有する透明基板は、その表面に導電層を有し、且つ透明
な板上のものであれば特に制限されず、例えばガラス、
プラスチック板その他の板状絶縁物の表面に導電層を形
成した基板等が挙げられる。基板の表面はカラーフィル
ターの性能上、平滑であることが望ましく、必要によっ
ては表面を研磨して使用することもできる。

【００１７】該導電層の材料としては、特に限定される
ものではなく、例えば酸化スズ、酸化インジウムまたは
酸化アンチモン等を成分とする公知の導電性材料等を用
いることができる。また導電層の形成方法は特に制限さ
れず、例えばスプレー法、ＣＶＤ法、スパッタリング
法、真空蒸着法等の公知の方法が挙げられる。また市販
の透明導電層を有する透明基板などを使用しても良く、
該基板としては、カラ−フィルタ−の性質上、できるか
ぎり透明度が高いものを用いるのが好ましい。

【００１８】前記透明基板の導電層上にネガ型感光性塗
膜又はポジ型感光性塗膜の形成する方法は、特に限定さ
れないが、通常は公知の方法、例えば電着法、吹き付け
法、浸漬塗装法、ロールコート法、スクリーン印刷法、
スピンコーター法等で、基板上に塗装することにより形
成することができる。

【００１９】前記ネガ型感光性塗膜を形成するためのネ
ガ型感光性塗料としては、塗膜形成能と感光性とを有す
る樹脂（以下、ネガ型感光性塗料用樹脂という）、光重
合開始剤及び必要により染料及び／又は顔料等とを有機
溶媒や水などに分散あるいは溶解した塗料等を挙げるこ
とができる。

【００２０】前記ネガ型感光性塗料用樹脂としては、光
によって架橋しうるエチレン性二重結合が導入されたも
のが挙げられ、具体的にはアクリロイル基、メタクリロ
イル基などの（メタ）アクリロイル基及び／又はシンナ
モイル基などの官能基を分子中に有する、一般に分子量
５００〜１００００程度のプレポリマ−又は樹脂等を好
ましく挙げることができる。該プレポリマ−または樹脂
としては、例えば、エポキシ（メタ）アクリレ−ト、ウ
レタン（メタ）アクリレ−ト、ポリエステル（メタ）ア
クリレ−ト等のプレポリマ−；アクリル樹脂、エポキシ
樹脂、ウレタン樹脂、ポリブタジエン樹脂等にアミノ
基、アンモニウム、スルホニウム等のオニウム基と前記
感光性基とを導入した樹脂で、有機溶媒に溶解及び／又
は分散するか、または蟻酸、酢酸、プロピオン酸、乳酸
等の酸あるいは酸性物質で水に可溶化及び／または分散
されるカチオン性の樹脂；アクリル樹脂、ポリエステル
樹脂、マレイン化油樹脂、ポリブタジエン樹脂、エポキ
シ樹脂等でカルボキシル基等と前記感光性基とを導入し
た樹脂で、有機溶媒に溶解及び／又は分散するか、また
はトリエチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノ
−ルアミン、アンモニア等の塩基性物質で水に可溶化及
び／又は分散されるアニオン性の樹脂などを挙げること
ができ、特に工程簡略化や公害防止の点から、水に可溶
化及び／又は分散しうる樹脂の使用が好ましい。

【００２１】また前記ネガ型感光性塗料用樹脂には、ネ
ガ型感光性塗膜の感光性や粘度などを調整するために低
分子量の（メタ）アクリレート類を添加してもよく、具
体的には、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレー
ト、２−フェノキシエチル（メタ）アクリレート、３−
フェノキシ−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレ
ート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、トリ
シクロデカン（メタ）アクリレート、ヘキサンジオール
ジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ
アクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレー
ト、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、トリ
ス（アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート等が
例示され、これらは混合物として使用してもよい。これ
らの（メタ）アクリレート類の配合割合は、ネガ型感光
性塗料用樹脂１００重量部に対して０〜５０重量部、好
ましくは０〜３０重量部である。（メタ）アクリレート
類の配合割合が５０重量部を越えると塗膜に粘着性が出
やすくなり好ましくない。

【００２２】前記光重合開始剤は公知のものでよく、例
えばベンゾインおよびそのエーテル類、ベンジルアルキ
ルケタール類、ベンゾフェノン誘導体、アントラキノン
誘導体、チオキサントン誘導体等が挙げられ、さらに必
要によって増感剤を添加してもよい。光重合開始剤の添
加量は、前記ネガ型感光性塗料用樹脂１００重量部に対
し、好ましくは０．０５〜３０重量部、特に好ましくは
０．１〜３０重量部の範囲である。光重合開始剤の添加
量が０．０５重量部未満の場合には、光硬化性が不足
し、また３０重量部を越えると硬化が進みすぎて塗膜強
度が低下し、かつ不経済であるため好ましくない。

【００２３】前記ポジ型感光性塗膜を形成するためのポ
ジ型感光性塗料としては、塗膜形成能と感光性とを有す
る樹脂（以下、ポジ型感光性塗料用樹脂という）、更に
必要により染料及び／又は顔料等を有機溶媒や水などに
分散あるいは溶解した塗料等を挙げることができる。該
ポジ型感光性塗料は、染料及び／又は顔料等を含んでい
ても、含んでいなくとも良い。

【００２４】本発明において好ましく使用されるポジ型
感光性塗料用樹脂としては、露光部分が現像液によって
溶出されるものであれば特に限定されるものではなく、
例えばキノンジアジド基を有する樹脂、ジアゾメルドラ
ム酸又はニトロベンジルエステル等を有する樹脂若しく
はこれらの樹脂を有する組成物等を好ましく挙げること
ができ、具体的には例えばアクリル樹脂、エポキシ樹
脂、ウレタン樹脂、ポリブタジエン樹脂等に、アミノ
基、アンモニウム、スルホニウム等のオニウム基と水酸
基とを導入し、更にキノンジアジドスルホン酸化合物を
エステル化反応により付加した樹脂で、蟻酸、酢酸、プ
ロピオン酸、乳酸などの酸あるいは酸性物質で水に可溶
化及び／又は分散される樹脂等のキノジアジド基を有す
るカチオン性の樹脂；アクリル樹脂、ポリエステル樹
脂、マレイン化油樹脂、ポリブタジエン樹脂、エポキシ
樹脂等にカルボキシル基等と水酸基とを導入し、更にキ
ノンジアジドスルホン酸化合物をエステル化反応により
付加した樹脂で、トリエチルアミン、ジエチルアミン、
ジメチルエタノールアミン、アンモニア等の塩基性物質
で水に可溶化及び／又は分散される樹脂等のキノンジア
ジド基を有するアニオン性の樹脂；造膜機能を有する樹
脂及びヒドロキシル基を有する化合物と、キノンジアジ
ドスルホン酸誘導体またはイソシアナ−ト基含有キノン
ジアジド化合物とを反応させて得られる樹脂を適宜混合
した組成物等を挙げることができ、特に工程簡略化や公
害防止の点から、水に可溶化及び／又は分散しうる樹脂
の使用が好ましい。また前記組成物における混合割合
は、露光条件や現像条件によって任意選択することがで
きる。

【００２５】前記ネガ型又はポジ型感光性塗料の各成分
を分散または溶解するために用いる、有機溶媒として
は、前記プレポリマ−または樹脂を分散又は溶解しうる
ものであればよく、各種のグリコールエーテル類、例え
ば、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレン
グリコールモノヘキシルエーテル、エチレングリコール
モノフェニルエーテル、プロピレングリコールモノメチ
ルエーテル、プロピレングリコールモノフェニルエーテ
ル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチ
レングリコールジメチルエーテル等；ケトン類、例え
ば、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチル
ケトン、シクロヘキサノン、イソホロン、Ｎ−メチルピ
ロリドン等；エーテル類、例えば、ジブチルエーテル、
ジオキサン、テトラヒドロフラン等；アルコール類、例
えば、メトキシブタノール、ジアセトンアルコール、ブ
タノール、オクタノ−ル、イソプロパノール等；炭化水
素類、例えば、トルエン、キシレン、シクロヘキサン、
ヘキサン等；エステル類、例えば、酢酸エチル、酢酸ブ
チル、酢酸２−メトキシエチル、酢酸２−メトキシプロ
ピル、安息香酸エチル等；酸アミド類、例えば、ジメチ
ルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、ジメ
チルスルホキシド等を挙げることができ、使用に際して
は単独若しくは混合物として用いることができる。

【００２６】また前記有機溶媒は、可溶化や分散を容易
にし、浴安定性の向上、平滑塗膜を得る等のために、前
記カチオン性の樹脂またはアニオン性の樹脂を水に可溶
化及び／又は分散させる際に添加することもできる。

【００２７】必要により前記ネガ型またはポジ型感光性
塗料に配合される染料及び／又は顔料の色相は、目的に
応じ適宜選択できるが、光もれを防止するためには暗色
のものが好ましく、特に黒色、濃紺、濃紫、濃茶等の色
相が好ましい。

【００２８】また、該染料及び／又は顔料には、塗料の
安定性、必要により電着特性、塗膜の耐久性等を損なわ
ないものを選択することが望ましい。この点から染料と
しては油溶性あるいは分散性染料が好ましく、具体的に
は例えばアゾ系、アントラキノン系、ベンゾジフラノン
系、縮合メチン系等が挙げられる。また顔料としては、
例えばアゾレーキ系、キナクリドン系、フタロシアニン
系、イソインドリノン系、アントラキノン系、チオイン
ジゴ系等の有機顔料、黄鉛、酸化鉄、クロムバーミリオ
ン、クロムグリーン、群青、紺青、コバルトブルー、コ
バルトグリーン、エメラルドグリーン、チタンホワイ
ト、カーボンブラック等の無機顔料を挙げることができ
る。また、目的とする色相に応じ、前記染料及び／又は
顔料を、その特性を損なわない限りにおいて、２種類以
上混合して用いることもできる。なお、染料及び／又は
顔料については適宜「ＣＯＬＯＵＲ ＩＮＤＥＸ」等を
参照すればよい。

【００２９】該染料及び／又は顔料の使用割合は、目
的、色相、使用する染料及び／又は顔料の種類、ネガ型
またはポジ型感光性塗料の乾燥時の膜厚等により適宜選
択され、好ましくはネガ型またはポジ型感光性塗料全体
に対して、３〜７０重量％、特に５〜６０重量％程度が
好ましい。

【００３０】さらに、該染料及び／又は顔料の種類や使
用割合により、得られる塗膜を透光性又は遮光性にする
ことができ、目的により適宜選択できる。例えば顔料と
してカーボンブラック等を、ネガ型又はポジ型感光性塗
料全体に対して３〜５０重量％の範囲で用いることによ
り、黒色かつ遮光性の塗膜を得ることができる。該黒色
かつ遮光性の塗膜は、光もれを防止する目的においては
特に好ましい。

【００３１】更にまた前記ネガ型またはポジ型感光性塗
料には、レベリング剤、粘度調整剤、消泡剤等の各種助
剤類等を添加混合して用いても良い。

【００３２】前記ネガ型感光性塗料の調製は、ネガ型感
光性塗料用樹脂、光重合開始剤、有機溶媒及び／又は
水、必要に応じて染料及び／又は顔料、酸性物質または
塩基性物質、染料あるいは顔料の分散助剤、塗膜の平滑
性をよくするレベリング剤、粘度調整剤、消泡剤等の各
種助剤類等を混合し、一般的に使用されるサンドミル、
ロールミル、アトライター等の分散機を用いて充分に分
散させ、所望の濃度に希釈する方法等により得ることが
できる。また前記ポジ型感光性塗料の調製は、ポジ型感
光性塗料用樹脂、有機溶媒及び／又は水、必要に応じて
染料及び／又は顔料、酸性物質または塩基性物質、染料
あるいは顔料の分散助剤、塗膜の平滑性をよくするレベ
リング剤、粘度調整剤、消泡剤等の各種助剤類等を混合
し、一般的に使用されるサンドミル、ロールミル、アト
ライター等の分散機を用いて充分に分散させ所望の濃度
に希釈する方法等により得ることができる。

【００３３】このようにして得られるネガ型又はポジ型
感光性塗料により形成される感光性塗膜の膜厚は特に制
限されず、カラーフィルターに要求される性能等に応じ
て適宜選択できるが、乾燥時に通常０．３〜５μｍ、好
ましくは１〜３μｍ程度であればよい。該膜厚を調整す
るには、例えば電着法で形成する場合、塗装電圧、電着
時間、液温等の電着条件を調整することにより制御でき
るが、通常は後述の着色塗料の電着塗装と同様の条件で
行うことができる。またネガ型感光性塗膜を着色層とし
て用いない場合には、着色剤を添加せずに、膜厚を通常
５〜１５μｍ程度に厚くするのが、酸素による硬化阻害
作用の軽減、ピンホ−ルの生成防止などの点で好まし
い。

【００３４】本発明において、前記感光性塗膜を露光す
るには、特定のパタ−ンを有するマスクを介し、露光を
行い、次いで該マスクを少なくとも１回移動し、移動前
の光照射量とは異なる光照射量にて露光する。この際、
移動が２回以上であっても、それぞれの光照射量が異な
るように露光を行う。ここでいう移動とは、マスクと基
板との相対位置を変化させることであって、例えば、基
板を固定してマスクを移動させる、マスクを固定して基
板を移動させる、若しくは基板とマスクとの両者を移動
させるなどのいずれでもよい。

【００３５】本発明において用いる特定のパタ−ンを有
するマスクは、光が通過する部分（以下パタ−ンブロッ
クという）が、必要回数移動した後において各パタ−ン
ブロックが相互に重ならないものを用いることが好まし
い。従って１つのパタ−ンブロックと隣のパタ−ンブロ
ックとの間隔は、最低でも１つのパタ−ンブロックが移
動回数分移動しても各露光時におけるパタ−ンブロック
が重ならないだけの幅が必要であり、また遮光部分を形
成させる場合には、遮光部分である各パタ−ンブロック
の間の幅が〔（移動回数＋１）×パタ−ンブロックの
幅〕分必要となる。前記マスクについて、図を参照して
更に詳細に説明すると、図２に示されるパタ−ンを有す
るマスクを用いて最初の露光を行い、次いで図３に示さ
れるように横に移動させて、先に露光されなかった部分
を最初の露光時とは異なる光照射量にて露光する、次い
で更に図４に示すようにマスクを再度横に移動させ、前
２回とは異なる光照射量にて露光を行う。この際、各露
光時におけるパタ−ンブロックが重ならないので、かか
る操作にて、未露光部分を含めると４段階に異なる露光
状態を細密に形成することができる。

【００３６】本発明においてマスクの移動方向には、特
に制限は無く、同一平面上であれば、前後左右いずれで
も良く、また該マスクのパタ−ンブロックの位置及び相
対距離は、移動回数、移動方向、移動距離等により適宜
決定される。

【００３７】本発明においては、マスクの移動は、少な
くとも１回行い、目的とする着色層の数及び必要により
形成される遮光層の数により任意である。例えば１回の
移動では、未露光部を含めて、３段階に異なる露光状態
が形成され、同様に２回の移動では、４段階、３回の移
動では５段階に異なる露光状態が形成される。

【００３８】本発明において、露光は、マスクの移動毎
にそれ以前に行われた光照射とはそれぞれ異なる光照射
量にて露光する。かかる光照射量を変える手段として
は、特に制限は無く、例えば、露光時間を変化させる方
法、光源の距離を変化させる方法、光源の出力を変化さ
せる方法等の各種方法を用いることができる。

【００３９】この際、光照射量が異なるように露光する
際の光照射量の差は、露光条件、後述する現像条件に応
じて適宜選択することができる。例えばネガ型感光性塗
膜の場合は、一般に光照射による架橋密度の相対的な差
が大きい方が、現像液に対する溶解性の差が大きくなり
好ましいので、最も光照射量が大きい部分の光照射量を
大きくして、感光性塗膜の架橋密度を高くし、最も光照
射量が小さい部分の光照射量を小さくして、感光性塗膜
の架橋密度を低くするのが好ましい。またポジ型感光性
塗膜の場合も光照射量の相対的な差が大きい方が、現像
液に対する溶解性の差が大きくなり好ましく、光照射量
の最も大きい部分の光照射量を大きくして感光性塗膜の
現像液への溶解性を高くし、最も光照射量が小さい部分
の光照射量を小さくして感光性塗膜の現像液への溶解性
を小さくするのが好ましい。光照射量の相対的な差は特
に限定されないが、通常５％以上の有意差を有すること
が好ましい。

【００４０】前記露光は、通常紫外線を多量に発生でき
る装置を用いて行うことができ、例えば、高圧水銀灯、
超高圧水銀灯、メタルハライドランプ等を光源として用
いることができ、必要によっては紫外線以外の他の放射
線源を使用してもよい。露光条件は、用いるネガ型また
はポジ型感光性塗料、露光装置、前記マスク等に応じて
適宜選択できる。

【００４１】本発明の製造法では、前記（Ａ−１）工程
に次いで、該パターン部分のネガ型感光性塗膜を現像除
去し、露出した導電層上に着色塗料を電着塗装し着色層
を形成する操作を、光照射量の少ない露光部分から順次
繰り返すことにより着色層を形成する（以下、（Ｂ−
１）工程という）。すなわち、該（Ｂ−１）工程では、
まず光照射量が最小であるパターンに対応する部分のネ
ガ型感光性塗膜を選択的に現像除去し、露出した導電層
上に着色塗料を電着塗装して着色層を形成し、次いで光
照射量が次に小さいパターンに対応する部分のネガ型感
光性塗膜を選択的に現像除去し、露出した導電層上に着
色塗料を電着塗装し着色層を形成するという工程を順次
繰り返すことにより着色層を形成することができる。

【００４２】また本発明の製造法では、前記（Ａ−２）
工程に次いで、該パターン部分のポジ型感光性塗膜を現
像除去し、露出した導電層上に着色塗料を電着塗装し着
色層を形成する操作を、光照射量の多い露光部分から順
次繰り返すことにより着色層を形成する（以下、（Ｂ−
２）工程という）。即ち該（Ｂ−２）工程では、まず光
照射量が最大であるパターンに対応する部分のポジ型感
光性塗膜を選択的に現像除去し、露出した導電層上に着
色塗料を電着塗装して着色層を形成し、次いで光照射量
が次に大きいパターンに対応する部分のポジ型感光性塗
膜を選択的に現像除去し、露出した導電層上に着色塗料
を電着塗装して着色層を形成するという工程を順次繰り
返すことにより着色層を形成することができる。

【００４３】以下（Ｂ−１）工程及び（Ｂ−２）工程を
総称して（Ｂ）工程という。

【００４４】前記感光性塗膜を選択的に現像除去する条
件は、選択的に除去すべき部分の露光量、使用するネガ
型又はポジ型感光性塗料の現像液に対する溶解性、現像
液の種類や濃度、さらには現像温度、現像時間等によっ
て変わりうるものであり、感光性塗料の調製に使用する
樹脂等に適した条件を適宜選択すればよい。

【００４５】前記現像液としては、具体的には例えば、
前記ネガ型感光性塗料の成分にカチオン性の樹脂を使用
する場合、酸性物質を溶解した水溶液等を使用すること
ができる。該酸性物質としては、蟻酸、酢酸、プロピオ
ン酸、乳酸等の有機酸や、塩酸、リン酸等の無機酸を挙
げることができ、例えば乳酸を現像液に使用する場合
は、乳酸濃度は通常０．０１〜５０重量％、好ましくは
０．０５〜２５重量％、温度は通常１０〜７０℃、好ま
しくは１５〜５０℃、現像時間は通常２〜６００秒、好
ましくは４〜３００秒等の範囲から適宜選択すれば良
い。また前記ネガ型感光性塗料の成分にアニオン性の樹
脂を使用する場合の現像液としては塩基性物質を溶解し
た水溶液等を使用することができる。該塩基性物質とし
ては、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、メタ珪酸
ナトリウム、テトラアルキルアンモニウムヒドロキシ
ド、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等を挙げること
ができ、例えば炭酸ナトリウム水溶液を現像液に使用す
る場合、炭酸ナトリウム濃度は通常０．０１〜２５重量
％、好ましくは０．０５〜２０重量％、温度は通常１０
〜７０℃、好ましくは１５〜５０℃、現像時間は通常２
〜６００秒、好ましくは４〜３００秒等の範囲から適宜
選択すれば良い。

【００４６】前記ポジ型感光性塗料を使用した場合の現
像液としては、通常塩基性物質を溶解した水溶液等を使
用することができる。該塩基性物質としては、炭酸ナト
リウム、炭酸水素ナトリウム、メタ珪酸ナトリウム、テ
トラアルキルアンモニウムヒドロキシド、水酸化ナトリ
ウム、水酸化カリウム等を挙げることができ、例えばメ
タ珪酸ナトリウム水溶液を現像液に使用する場合、メタ
珪酸ナトリウム濃度は通常０．０１〜２５重量％、好ま
しくは０．０５〜２０重量％、温度は通常１０〜７０
℃、好ましくは１５〜５０℃、現像時間は通常２〜６０
０秒、好ましくは４〜３００秒等の範囲から適宜選択す
れば良い。

【００４７】さらに前記ネガ型またはポジ型感光性塗料
の現像液として、アルコール類、グリコールエーテル
類、ケトン類、塩素化炭化水素類等の有機溶媒を使用す
ることもできる。またこれらの現像液には濡れ性改良や
消泡のために界面活性剤や消泡剤を添加してもよく、毒
性や作業環境性等の点で水溶液系の現像液を使用するの
が好ましい。

【００４８】次に前記現像後、露出した導電層上に、着
色塗料を電着塗装し、着色層を形成する。

【００４９】該着色塗料は、例えば造膜成分としてカチ
オン性またはアニオン性の樹脂を使用し、着色成分とし
て染料および／または顔料を加え、更に酸性または塩基
性物質を使用して水に溶解および／または分散させた塗
料等を用いることができ、更にまた着色塗料における樹
脂の溶解および／または分散を容易ならしめるため、浴
安定性の向上のため又は平滑塗膜を得る等のために有機
溶媒等を添加してもよい。

【００５０】前記カチオン性の樹脂としては、例えばア
クリル樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、ポリブタジ
エン樹脂、ポリアミド樹脂等に、アミノ基、アンモニウ
ム、スルホニウム等のオニウム基を導入した樹脂で、蟻
酸、酢酸、プロピオン酸、乳酸等の酸あるいは酸性物質
で水に可溶化または分散される樹脂等を挙げることがで
きる。

【００５１】また、前記アニオン性の樹脂としては、例
えばアクリル樹脂、ポリエステル樹脂、マレイン化油樹
脂、ポリブタジエン樹脂、エポキシ樹脂等にカルボキシ
ル基等を導入した樹脂で、トリエチルアミン、ジエチル
アミン、ジメチルエタノールアミン、アンモニア等の塩
基性物質で水に可溶化または分散される樹脂等を挙げる
ことができる。更にまた、着色塗料の造膜成分は感光性
を有するものであってもよく、前記（Ａ−１）工程にお
けるネガ型感光性塗膜に使用するプレポリマーや樹脂の
中で電着に適するものを用いることもでき、光重合開始
剤を併用してもよい。

【００５２】（Ｂ）工程において用いる着色塗料は、光
照射量が異なる部分ごとに種類、色相、色濃度、色明暗
の異なるものを使用することが望ましいが、重複して同
じものを用いることもできる。

【００５３】着色塗料の色相は、目的に応じ適宜選択す
ることができる。例えば（Ａ−１）工程において使用す
るネガ型感光性塗料と（Ｂ）工程において使用する着色
塗料、さらには（Ｂ）工程において着色塗料を電着塗装
する工程を複数回行う場合に使用する各々の着色塗料に
は色相の異なるものを用いることができる。

【００５４】前記着色塗料に使用する染料および／また
は顔料は、目的とする色相に応じ選択されるが、得られ
る塗膜の透明性、塗料の安定性、電着特性、塗膜の耐久
性等について問題の生じないものを選択することが望ま
しく、具体的には、前述の感光性塗料に配合される染料
及び／又は顔料として具体的に列挙した染料または顔料
を好ましく挙げることができる。また目的とする色相に
応じ、上記染料および／または顔料を、その性状を損な
わない限りにおいて、２種類以上混合して用いることも
できる。

【００５５】前記着色塗料の調製は、樹脂、染料および
／または顔料、酸性物質または塩基性物質および必要に
より有機溶剤や、染料あるいは顔料の分散助剤、塗膜の
平滑性をよくするレベリング剤、粘度調整剤、消泡剤等
の各種助剤類等を混合し、一般的に使用されるサンドミ
ル、ロールミル、アトライター等の分散機を用いて充分
に分散させ、その後、水で所定の濃度、好ましくは固形
分含量約４〜２５重量％、特に好ましくは７〜２０重量
％に希釈して電着に適する塗料とする方法等により行な
うことができる。このようにして得られる着色塗料は、
導電層上に電着塗装することによって着色層を形成させ
る。該着色層の膜厚は特に制限されず、カラーフィルタ
ーに要求される性能に応じて適宜選択できるが、乾燥時
に通常０．３〜５μｍ、好ましくは１〜３μｍ程度であ
ればよい。

【００５６】前記電着塗装の条件は、使用する着色塗料
の種類、目的とする着色層の膜厚に応じて適宜選択され
るが、電圧は通常５〜５００Ｖ、好ましくは１０〜３０
０Ｖの直流であるのが好ましく、電着時間は通常５〜３
００秒、好ましくは１０〜２００秒、液温は通常１０〜
３５℃、好ましくは１５〜３０℃であるのが望ましい。
この際所望の膜厚を得る電着時間が経過したところで通
電を停止し、基板を浴から取り出し、余剰に付着した浴
液を水等でよく洗浄し乾燥することにより着色層を形成
することができる。

【００５７】該乾燥条件は、後工程の条件等により適宜
選択できるが、通常は表面の水分が乾燥し得る条件であ
れば良く、例えば１２０℃以下、好ましくは３０℃〜１
００℃で、通常１〜２０分、好ましくは２〜１０分程度
乾燥させるのが望ましい。ここで乾燥温度が１２０℃よ
りも高いと感光性塗膜が熱により硬化することがあり、
後の現像作業が困難となるために好ましくない。

【００５８】本発明においては、必要に応じ、ネガ型感
光性塗膜又はポジ型感光性塗膜の光照射量の異なる露光
部分のうち、少なくとも１箇所の露光部分の感光性塗膜
を現像除去して露出した導電層上に、選択的に金属層を
形成する工程（以下（Ｃ）工程という）を、更に必要に
応じて、前記金属層上に着色塗料を電着塗装し、着色層
を形成する工程（以下ネガ型電着感光性塗膜を用いた場
合を（Ｄ−１）工程、ポジ型電着感光性塗膜を用いた場
合を（Ｄ−２）工程という）（また（Ｄ−１）工程及び
（Ｄ−２）工程を総称して（Ｄ）工程という）を行うこ
ともできる。特に前記（Ｂ）工程により得られる着色層
のパターン間に存在する間隙に、選択的に金属層を形成
するのが好ましく、ネガ型感光性塗膜の場合には、（Ａ
−１）工程に次いで（Ｃ−１）工程を行い、（Ｄ−１）
工程を行った後、（Ｂ−１）工程を行うのが好ましく、
またポジ型感光性塗膜の場合には、（Ａ−２）工程に次
いで（Ｂ−２）工程を行い、（Ｃ−２）工程を行い、更
に必要に応じて（Ｄ−２）工程を行うのが好ましい。即
ち前記（Ｂ）工程、（Ｃ）工程、（Ｄ）工程の順序は任
意であり、例えばネガ型感光性塗膜の場合には、（Ｂ−
１）工程に先だって、露光量が最も少ない部分について
現像を行い、金属層を形成することが好ましく、この際
（Ｄ−１）工程において金属層上に着色塗料が電着され
るが、実用上差し支えはない。前記（Ｄ）工程におい
て、金属層上に形成される着色層の色相は、好ましくは
（Ｂ）工程に用いる着色塗料の中で暗色の着色塗料を用
いるのが好ましい。

【００５９】金属層の形成とは、好ましくは、（Ｂ）工
程において着色層を形成した後若しくは着色層を形成す
る前に、少なくとも１箇所のパターン部分及び／又は基
板上に残存しているネガ型又はポジ型感光性塗膜を現像
除去し、次いで露出した導電層を電気メッキ法や無電解
メッキ法等により処理することによって行なうことがで
きる。これらの処理は、通常使用される各種のメッキ液
を用い、通常の処理条件の中からカラーフィルターに要
求される性能に合わせて適宜選択すれば良い。

【００６０】金属層として使用できる金属としては、
銅、ニッケル、銀、金等をはじめとするメッキ等の処理
が可能な一般の金属材料又は該金属材料の２種以上から
なる合金、更には該金属材料の２種以上をメッキ液中で
混合した金属等を挙げることができる。金属層の厚さ
は、カラーフィルターに要求される性能等に応じて適宜
選択できるが、通常は１０ｎｍ〜５μｍ、好ましくは１
０ｎｍ〜３μｍ程度であれば良い。なお、該金属層厚を
着色層厚と略一致させるように形成することにより、カ
ラーフィルターを著しく平坦化することができるので特
に好ましい。

【００６１】本発明の製造法では、前記（Ｃ）工程によ
り、選択的に露出された導電層上に、金属層がメッキ等
により形成されるので、例えば着色層間隙にセルフアラ
インの形で金属層を形成することができる。このような
カラーフィルターは、前述のコントラストの向上、色純
度の向上等の他に、電極補助線としての機能を合わせ持
たせることも可能となり、大画面ディスプレイにおける
信号遅延やセル内発熱等の低減効果を有する。

【００６２】以上の（Ａ）工程、（Ｂ）工程及び必要に
応じて行う（Ｃ）工程、更に必要に応じて行う（Ｄ）工
程により目的とするカラーフィルターを製造することが
できるが、必要により更に加熱・硬化又は光硬化等を行
ない、耐候性や耐薬品性等をより向上させることもでき
る。該加熱・硬化を行なう際の条件としては、例えば温
度を通常１００〜２５０℃、好ましくは１５０〜２５０
℃とし、５分〜１時間、好ましくは１５〜４０分間の条
件で行なえば良い。

【００６３】以下、図１、図２、図３および図４を参照
して本発明の工程を説明するが、本発明はこれに限定さ
れるものではない。

【００６４】図１は、本発明の一実施態様を示す工程図
であり、図２は、本発明に用いるマスクの実施態様のう
ち、２回まで移動を行うことができるマスクの拡大模式
図であって、１は光透過率が実質的に０％の遮光膜相当
部分、２はパタ−ンブロックを示し、１回目の露光にお
いては、この部分が露光される。また図３は、図２のマ
スクを横に１回移動した状態を示す模式図であり、３は
２回目の光照射で露光される部分を示す。更に図４は、
図３の状態のマスクを更に横に移動した状態を示す模式
図であり、４は３回目の光照射で露光される部分を示
す。

【００６５】まず表面に透明な導電層を有する透明基板
の導電層上にネガ型またはポジ型感光性塗膜を形成し、
乾燥した基板を、例えば図２に示されるマスクを介して
例えば４００ｍＪの光を照射して１回目の露光を行い、
次いでマスクを例えば図３に示されるように横に移動さ
せ例えば５０ｍＪの光を照射して２回目の露光を行い、
更にマスクを例えば図４に示すように横に移動し、例え
ば１００ｍＪの光を照射して３回目の露光を行う。

【００６６】次いで第１回目の現像を行い、ネガ型感光
性塗膜を使用した場合には最も露光量の少なかった部分
を、またはポジ型感光性塗膜を使用した場合には最も露
光量の大きい部分を現像除去して導電層を露出させ、第
１の色の着色塗料を電着塗装した着色層若しくはメッキ
による金属遮光層の形成を行い、水洗する。

【００６７】また第２回目の現像（第１回目の現像とは
条件が異なる）を行い、ネガ型感光性塗膜を使用した場
合には２番目に露光量の少なかった部分を、またはポジ
型感光性塗膜を使用した場合には２番目に露光量の大き
い部分を現像除去して導電層を露出させ、第２の色の着
色塗料の電着塗装した着色層の形成を行い、水洗する。

【００６８】更に第３回目の現像（第１回目及び第２回
目の現像とは条件が異なる）を行い、ネガ型感光性塗膜
を使用した場合には３番目に露光量の少なかった部分
を、またはポジ型感光性塗膜を使用した場合には３番目
に露光量の大きい部分を現像除去して導電層を露出さ
せ、第３の色の着色塗料の電着塗装した着色層の形成を
行い、水洗する。

【００６９】更にまた第４回目の現像（第１回目、第２
回目及び第３回目の現像とは条件が異なる）を行い、ネ
ガ型感光性塗膜を使用した場合には最も露光量の大きい
部分を、またはポジ型感光性塗膜を使用した場合には最
も露光量の少ない部分を現像除去して導電層を露出さ
せ、第４の色の着色塗料の電着塗装した着色層若しくは
メッキによる金属遮光層の形成を行い、水洗することに
よって、本発明のカラ−フィルタ−を得ることができ
る。この際第２回目の現像及び／又は第３回目の現像の
後に、着色層の代わりに金属遮光層を形成することもで
きるが、第１〜第４回目の現像の後に少なくとも着色層
を形成する工程を行う必要がある。また第１〜第４回目
の現像の後に形成される金属層上に、更に着色層を形成
することもできる。

【００７０】

【発明の効果】本発明のカラーフィルターの製造法は、
高度な微細加工技術を必要とせず、着色層のパターン形
状の自由度を大きくすることができ、非透光性膜の形成
も容易であり、更に大型化への対処も容易である。従っ
てカラーフィルターを、簡便に、しかも大量生産するこ
とができるので工業的にも極めて有用である。

【００７１】

【実施例】以下に本発明を合成例および実施例によって
具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるもの
ではない。尚、以下例中において部は、特記しないかぎ
り全て重量部を示す。

【００７２】

【合成例１】カチオン性ポジ型感光性塗料（Ｘ−１）の
合成 不飽和化合物（ｘ−１）の合成 グリシド−ル１４８部、ジブチル錫ジラウリレ−ト０．
８部、ヒドロキノンモノメチルエ−テル０．２部及び２
−エトキシエチルアセテ−ト８２部を、温度計、撹拌装
置、還流冷却管、ガス導入管及び滴下漏斗が装着された
１リットルのセパラブルフラスコに仕込み、５０℃に昇
温した。次いで系内に空気を吹き込みながらメタクリロ
イルオキシエチルイソシアナ−ト３１９部を１時間かけ
て滴下し、赤外線吸収スペクトルでイソシアナ−ト基の
吸収がほとんど無くなるまで反応を行った後、４−ヒド
ロキシ安息香酸２７６部を追加し、１１０℃に昇温し
た。酸価が５以下、エポキシ当量が１１０００以上であ
ることを確認して反応を終了し、不飽和化合物（ｘ−
１）を得た。

【００７３】カチオン性ポジ型感光性樹脂（ｘ−２）の
合成 温度計、撹拌装置、還流冷却管および滴下漏斗の付いた
１リットルのセパラブルフラスコに、ジエチレングリコ
−ルモノエチルエ−テル２３８部を仕込み、１３０℃に
昇温した。次いでこれに、前記（ｘ−１）１４５部、イ
ソブチルメタクリレ−ト８３部、エチルアクリレ−ト１
６７部、エチルメタクリレ−ト７８部、ジメチルアミノ
エチルメタクリレ−ト４１部及びｔ−ブチルペルオキシ
−２−エチルヘキサノエ−ト１２部を混合した溶液を３
時間かけて滴下し、３０分経過した後ジエチレングリコ
−ルモノエチルエーテル２５部とｔ−ブチルペルオキシ
−２−エチルヘキサノエ−ト２部との混合溶液を３０分
かけて滴下した。次いで同温度にて２時間保持して、反
応を終了した。得られたアクリル樹脂系溶液５００部を
温度計、撹拌装置、還流冷却管、窒素導入管および滴下
漏斗を備えた３リットルのセパラブルフラスコに取り、
更にアセトン１５７０部及び１，２−ナフトキノンジア
ジド−５−スルホニルクロリド６０．１部を加えて室温
でよく撹拌した後、トリエチルアミン２６．７部を１時
間かけて滴下し、更に２時間反応させた。得られた溶液
を濾過して不純物を除去した後、約２０倍量のよく撹拌
された水に約１時間かけて滴下し、析出した樹脂を回収
し、減圧下にて水分を除去して、茶褐色のカチオン性ポ
ジ型感光性樹脂（ｘ−２）を得た。

【００７４】カチオン性ポジ型感光性塗料（Ｘ−１）の
合成 カチオン性ポジ型感光性樹脂（ｘ−２）５００ｇをメチ
ルエチルケトン３３３．３ｇに溶解し、中和剤として酢
酸１１．７ｇを加えて十分に撹拌し均一化した後、脱イ
オン水をゆっくりと加えながら高速ミキサ−で激しくか
き混ぜて水分散させ、カチオン性ポジ型感光性塗料（Ｘ
−１）水溶液（カチオン電着型）を調整した。

【００７５】

【合成例２】アニオン性ポジ型感光性塗料（Ｘ−２）の
合成 アニオン性樹脂（ｘ−３）の合成 「日石ポリブタジエンＢ−１０００」（日本石油化学
（株）製、商品名、数平均分子量１，０００、沃素価４
３０、１，２−結合６５％）１，０００ｇ、無水マレイ
ン酸７５１ｇ、キシレン１０ｇおよびトリメチルハイド
ロキノン５．０ｇを、温度計、撹拌装置、還流冷却管お
よび窒素吹き込み管を付けた３リットルのセパラブルフ
ラスコに仕込み、窒素下にて１９０℃で５時間反応させ
た。次いで未反応無水マレイン酸およびキシレンを留去
させ、全酸価４８０mgＫＯＨ／ｇのマレイン化ポリブタ
ジエンを得た。

【００７６】次に還流冷却管を付けた２リットルのセパ
ラブルフラスコに、前記マレイン化ポリブタジエン５０
０ｇ、フェノキシエタノ−ル２１８ｇ及びジエチレング
リコ−ルジメチルエ−テル２０５ｇを仕込み、均一に溶
解させてから、窒素気流下で１３０℃にて３時間反応さ
せた。次いで同温にてベンジルアミン６１ｇを３０分か
けて滴下した後、１６５℃に昇温し、同温にて７時間反
応を行い、半エステル基およびイミド基を有するアニオ
ン性樹脂（ｘ−３）溶液を得た。

【００７７】感光性樹脂（ｘ−４）の合成 「日石ポリブタジエンＢ−１０００」（日本石油化学
（株）製、商品名、数平均分子量１，０００、沃素価４
３０、１，２−結合６５％）１，０００ｇ、無水マレイ
ン酸３８８ｇ、キシレン１０ｇおよびトリメチルハイド
ロキノン３．０ｇを、温度計、撹拌装置、還流冷却管お
よび窒素吹き込み管を付けた３リットルのセパラブルフ
ラスコに仕込み、窒素下にて１９０℃で５時間反応させ
た。次いで未反応無水マレイン酸およびキシレンを留去
させ、全酸価３２０mgＫＯＨ／ｇのマレイン化ポリブタ
ジエンを得た。

【００７８】次に温度計、撹拌装置、還流冷却管及び窒
素吹き込み管を付けた２リットルのセパラブルフラスコ
に、前記マレイン化ポリブタジエン５００ｇ、フェノキ
シエタノ−ル３００ｇを仕込み、均一に溶解させてか
ら、窒素気流下で１３０℃にて３時間反応させた。次い
で室温まで冷却した後、２−（２−アミノエチルアミ
ノ）エタノ−ル１４９ｇを１時間かけて滴下した後、１
２５℃に昇温し、同温にて４時間反応を行い、イミド基
を有するポリアミン樹脂溶液を得た。

【００７９】別に還流冷却管を付けた５リットルのセパ
ラブルフラスコに、１，２−ナフトキノンジアジドスル
ホニルクロリド２６９ｇ、ジオキサン１９００ｇ及び
「キョ−ワ−ド１０００」（協和化学工業（株）製、商
品名）３００ｇを仕込み、前記ポリアミン樹脂溶液６４
５ｇを３０℃にて２時間かけて滴下し、同温にて更に５
時間反応を行い、得られた溶液を濾過した後、フェノキ
シエタノ−ル４４０ｇを加え、減圧下にてジオキサンを
除去し、感光性樹脂（ｘ−４）を得た。

【００８０】得られた樹脂（ｘ−４）溶液は、溶液１０
０ｇあたり１５０ｍｇ当量のナフトキノンジアジド基を
含有し、不揮発分は６０．０重量％であった。

【００８１】アニオン性ポジ型感光性樹脂（ｘ−５）の
合成 前記（ｘ−３）樹脂溶液７５０ｇ及び感光性樹脂（ｘ−
４）溶液６７０ｇを十分に混合した後、トリエチルアミ
ン６０ｇを加えて十分に中和し、アニオン性ポジ型感光
性樹脂（ｘ−５）溶液を得た。

【００８２】アニオン性ポジ型感光性塗料（Ｘ−２）の
合成 前記アニオン性ポジ型感光性樹脂（ｘ−５）溶液５００
ｇに、脱イオン水をゆっくりと加えながら高速ミキサ−
にて激しくかき混ぜて水分散させ、アニオン性ポジ型感
光性塗料（Ｘ−２）水溶液（アニオン電着型）を調整し
た。

【００８３】

【合成例３】カチオン性ネガ型感光性塗料（Ｘ−３）の
合成 アミン付加エポキシ化ポリブタジエン（ｘ−６）の合成 エポキシ化液状ポリブタジエン（日本石油化学（株）社
製、商品名「Ｅ−１００−８］，数平均分子量１００
０、オキシラン酸素量８％）１０００ｇを、温度計、撹
拌装置及び還流冷却管の付いた２リットルのセパラブル
フラスコに仕込み、系内を窒素置換した後、メチルエタ
ノ−ルアミン２３１．２ｇを加え、１７０℃にて５時間
反応を行った。次いで減圧下にて、未反応のメチルエタ
ノ−ルアミンを留去し、アミン価が２３０．４ｍｍｏｌ
／１００ｇのアミン付加エポキシ化ポリブタジエン（ｘ
−６）を得た。

【００８４】不飽和基含有イソシアナ−ト化合物（ｘ−
７）の合成 温度計、撹拌装置、還流冷却管及び滴下漏斗の付いた加
熱及び冷却可能な２リットルの丸底フラスコに、２，４
−トリレンジイソシアナ−ト４３５．５ｇ及びジエチレ
ングリコ−ルジメチルエ−テル２６６．１ｇを仕込み、
４０℃に加熱した後、２−ヒドロキシエチルアクリレ−
ト３６２．８ｇを滴下漏斗から滴下し、２００ｐｐｍの
パラベンゾキノンも添加した。この際２−ヒドロキシエ
チルアクリレ−トの滴下により発熱がみられるが、必要
に応じて冷却し同温に保った。２−ヒドロキシエチルア
クリレ−トの滴下終了後、７０℃に昇温し、同温にて３
時間反応させ、赤外吸収スペクトル分析によりイソシア
ナ−ト基の吸収強度が反応開始前のほぼ１／２になった
ことを確認した後、冷却し不飽和基含有イソシアナ−ト
化合物（ｘ−７）を得た。

【００８５】カチオン性樹脂（ｘ−８）の合成 ２リットルのセパラブルフラスコ中にて、前記（ｘ−
６）５００ｇをジエチレングリコ−ルジメチルエ−テル
１６６．７ｇに溶解し、次いでこれに前記（ｘ−７）７
１３．４ｇ（前記（ｘ−６）中のヒドロキシル基１当量
に対してイソシアナ−ト基０．８当量）を４０℃にて滴
下し、更に同温にて１時間反応させて、赤外線吸収スペ
クトル分析によりイソシアナ−ト基の吸収が消失したこ
とを確認し、反応を終了して、（ｘ−６）に（ｘ−７）
が付加されたカチオン性樹脂（ｘ−８）溶液を得た。

【００８６】カチオン性ネガ型感光性塗料（Ｘ−３）の
調製 前記カチオン性樹脂（ｘ−８）溶液５００ｇに、光重合
開始剤として「Ｉｒｇａｃｕｒｅ ９０７」（チバーガ
イギー社製、商品名）２７．０ｇおよび「ＫＡＹＡＣＵ
ＲＥ ＤＥＴＸ」（日本化薬（株）製、商品名）３．０
ｇを撹拌下に加えて混合後、中和剤として酢酸１６．７
ｇを加えて充分に撹拌し再度均一化した後、脱イオン水
をゆっくりと加えながら高速ミキサーで激しくかき混ぜ
て水分散させ、カチオン性ネガ型感光性塗料（Ｘ−３）
水溶液（カチオン電着型）を調製した。

【００８７】

【合成例４】アニオン性ネガ型感光性塗料（Ｘ−４）の
調製 半エステル化物（ｘ−９）溶液の合成 「日石ポリブタジエンＢ−１０００」（日本石油化学
（株）製、商品名、数平均分子量１，０００、沃素価４
３０、１，２−結合６５％）１，０００ｇ、無水マレイ
ン酸５５４ｇ、キシレン１０ｇおよびトリメチルハイド
ロキノン３．０ｇを、温度計、撹拌装置、還流冷却管お
よび窒素吹き込み管を付けた３リットルのセパラブルフ
ラスコに仕込み、窒素下にて１９０℃で５時間反応させ
た。次いで未反応無水マレイン酸およびキシレンを留去
させ、全酸価４００mgＫＯＨ／ｇのマレイン化ポリブタ
ジエンを得た。

【００８８】次いで得られたマレイン化ポリブタジエン
４００ｇ、ジエチレングリコールジメチルエーテル１８
８．５ｇおよびハイドロキノン０．４ｇを還流冷却管の
付いた２リットルのセパラブルフラスコに仕込み、８０
℃に昇温し、撹拌して均一にした。次いで２−ヒドロキ
シエチルアクリレート１６５．６ｇおよびトリエチルア
ミン２０ｇを加え、同温度で２時間反応させ、マレイン
化ポリブタジエンの半エステル化物（ｘ−９）溶液を得
た。得られた半エステル化物（ｘ−９）溶液の全酸価は
１０５mgＫＯＨ／ｇであり、不揮発分は７５．０重量％
であった。

【００８９】アニオン性ネガ型感光性塗料（Ｘ−４）の
調製 得られた半エステル化物（ｘ−９）溶液５００ｇに、光
重合開始剤として「Ｉｒｇａｃｕｒｅ ９０７」（チバ
ーガイギー社製、商品名）２７．０ｇおよび「ＫＡＹＡ
ＣＵＲＥ ＤＥＴＸ」（日本化薬（株）製、商品名）
３．０ｇを撹拌下に加えて混合後、中和剤としてトリエ
チルアミン３３．７ｇを加えて充分に撹拌し再度均一化
した後、脱イオン水をゆっくりと加えながら高速ミキサ
ーで激しくかき混ぜて水分散させ、アニオン性ネガ型感
光性塗料（Ｘ−４）水溶液（アニオン電着型）を調製し
た。

【００９０】

【合成例５】半エステル化物（Ｘ−５）溶液の合成 「日石ポリブタジエンＢ−１０００」（日本石油化学
（株）製、商品名、数平均分子量１，０００、沃素価４
３０、１，２−結合６５％）１，０００ｇ、無水マレイ
ン酸５５４ｇ、キシレン１０ｇおよびトリメチルハイド
ロキノン３．０ｇを、温度計、撹拌装置、還流冷却管お
よび窒素吹き込み管を付けた３リットルのセパラブルフ
ラスコに仕込み、窒素下にて１９０℃で５時間反応させ
た。次いで未反応無水マレイン酸およびキシレンを留去
させ、全酸価４００mgＫＯＨ／ｇのマレイン化ポリブタ
ジエンを得た。

【００９１】次に還流冷却管を付けた３リットルのセパ
ラブルフラスコに、前記マレイン化ポリブタジエン１，
０００ｇ、ジエチレングリコールジメチルエーテル４６
１．８ｇ、Ｎ，Ｎ−ジメチルベンジルアミン３．０ｇお
よびベンジルアルコール３８５．５ｇを仕込み、均一に
溶解させてから、窒素気流下、１２０℃で２時間反応さ
せ、半エステル化物（Ｘ−５）溶液を得た。得られた半
エステル化物（Ｘ−５）溶液の全酸価は１０９．３mgＫ
ＯＨ／ｇであり、不揮発分は７５．０重量％であった。

【００９２】

【合成例６】着色塗料（Ｙ−１，Ｙ−２，Ｙ−３）の調
製 カチオン性樹脂（ｘ−８）溶液、光重合開始剤および顔
料を撹拌下に混合し、実験室用三本ロールミル（小平製
作所製）にて、顔料粒径が０．２μｍ以下となるまで分
散した。粒径の測定は、コールターカウンターＮ４（コ
ールターカウンター社製）を用いた。次いで得られた分
散混合物に、中和剤である酢酸を加えて充分に撹拌し再
度均一化した後、脱イオン水をゆっくりと加えながら高
速ミキサーで激しくかき混ぜて水分散させ、固形分濃度
１０重量％の着色塗料（Ｙ−１，Ｙ−２，Ｙ−３）を調
製した。得られた３色の着色塗料（カチオン電着型）水
溶液の組成を表１に示す（表１中の数値はいずれも重量
部である）。

【００９３】

【表１】

【００９４】

【合成例７】着色塗料（Ｙ−４，Ｙ−５，Ｙ−６）の調
製 半エステル化物（Ｘ−５）溶液および顔料を撹拌下に混
合し、実験室用三本ロールミル（小平製作所製）にて、
顔料粒径が０．２μｍ以下となるまで分散した。粒径の
測定はコールターカウンターＮ４（コールターカウンタ
ー社製）を用いた。得られた分散混合物に、中和剤であ
るトリエチルアミンを加えて充分に撹拌し、再度均一化
した後、脱イオン水をゆっくりと加えながら高速ミキサ
ーで激しくかき混ぜて水分散させ、固形分濃度１０重量
％の着色塗料（Ｙ−４，Ｙ−５，Ｙ−６）を調製した。
得られた３色の着色塗料（アニオン電着型）水溶液の組
成を表２に示す（表２中の数値はいずれも重量部であ
る）。

【００９５】

【表２】

【００９６】

【合成例８】着色塗料（Ｙ−７）の調製 カチオン性樹脂（ｘ−８）溶液５００ｇに、光重合開始
剤として「Ｉｒｇａｃｕｒｅ ９０７」（チバーガイギ
ー社製、商品名）２７．０ｇ、「ＫＡＹＡＣＵＲＥ Ｄ
ＥＴＸ」（日本化薬（株）製、商品名）３．０ｇおよび
カーボンブラック＃５Ｂ（三菱化成工業（株）製品）３
７．５ｇを撹拌下に加えて混合後、実験室用三本ロール
ミル（小平製作所製）にて、カーボンブラック粒径が
０．２μｍ以下となるまで分散した。粒径の測定は、コ
ールターカウンターＮ４（コールターカウンター社製）
を用いた。得られた分散混合物に、中和剤である酢酸１
６．７ｇを加えて充分に撹拌し、再度均一化した後、脱
イオン水をゆっくりと加えながら高速ミキサーで激しく
かき混ぜて水分散させ、固形分濃度１５重量％の着色塗
料（Ｙ−７）を調製した。

【００９７】

【合成例９】着色塗料（Ｙ−８）の調製 半エステル化物（ｘ−９）溶液５００ｇに、光重合開始
剤として「Ｉｒｇａｃｕｒｅ ９０７」（チバーガイギ
ー社製、商品名）２７．０ｇ、「ＫＡＹＡＣＵＲＥ Ｄ
ＥＴＸ」（日本化薬（株）製、商品名）３．０ｇおよび
カーボンブラック＃５Ｂ（三菱化成工業（株）製品）３
７．５ｇを撹拌下に加えて混合後、実験室用三本ロール
ミル（小平製作所製）にて、カーボンブラック粒径が
０．２μｍ以下となるまで分散した。粒径の測定は、コ
ールターカウンターＮ４（コールターカウンター社製）
を用いた。得られた分散混合物に、中和剤であるトリエ
チルアミン３３．７ｇを加えて充分に撹拌し、再度均一
化した後、脱イオン水をゆっくりと加えながら高速ミキ
サーで激しくかき混ぜて水分散させ、固形分濃度１５重
量％の着色塗料（Ｙ−８）を調製した。

【００９８】

【実施例１】膜厚８０ｎｍのＩＴＯ（インジウム−錫酸
化物）膜を表面に有する厚さ１．１ｍｍのパイレックス
ガラス基板（以下、原板１という）を陰極とし、カチオ
ン性ポジ型感光性塗料（Ｘ−１）水溶液を入れたステン
レススチール製ビーカーを陽極として、直流電圧４０
Ｖ、２５℃の条件で６０秒間電着した。原版１をイオン
交換水で洗浄した後、８０℃で５分間乾燥、冷却したと
ころ粘着性のない膜厚２μｍの均一塗膜が形成された。

【００９９】次いで図２に示すマスクを該塗膜上に密着
し、高圧水銀ランプを有するＵＶ露光装置（（株）オー
ク製作所製、商品名「ＪＬ−３３００」）を使用して５
００ｍＪ／cm²の紫外線を照射した。次いで該マスクを
図３に示される位置まで横に移動し、該塗膜上に密着さ
せて５０ｍＪ／cm²の紫外線を照射し、更にマスクを図
４に示される位置にまで移動し、該塗膜上に密着し、１
００ｍＪ／cm²の紫外線を照射した。

【０１００】次に濃度０．３重量％のメタ珪酸ナトリウ
ム水溶液で現像したところ、カチオン性ポジ型感光性塗
料の塗膜のうち光照射量が最大の部分のみが選択的に除
去され、ＩＴＯ面が露出された。水洗、乾燥後、原版１
を陽極とし、着色塗料（Ｙ−４）を入れたステンレスス
チール製ビーカーを陰極として、直流電圧２５Ｖを２５
℃で３分間印加し、電着した。原版１をイオン交換水で
洗浄した後、８０℃で５分間乾燥し、常温で粘着性を示
さない膜厚２μｍの赤色の着色層２を形成した。

【０１０１】次いで１．３重量％のメタ珪酸ナトリウム
水溶液で現像したところ、赤色の着色層２には何の変化
も認められず、光照射量が２番目に多い部分のポジ型感
光性塗料のみが選択的に除去された。水洗、乾燥後、着
色塗料（Ｙ−４）の電着と同様にして、着色塗料（Ｙ−
５）を、直流電圧２５Ｖ、２５℃の条件で３分間電着し
た後、イオン交換水で洗浄したところ、先に形成した赤
色の着色層には全く変化が見られず、緑色の着色層４が
形成された。８０℃で５分間乾燥し、次いで３．０重量
％のメタ珪酸ナトリウム水溶液で現像したところ、赤色
および緑色の着色層に変化は認められず、光照射量が３
番目に多い部分のポジ型感光性塗料のみが選択的に除去
された。次いで水洗、乾燥後、着色塗料（Ｙ−４）の電
着と同様にして、着色塗料（Ｙ−６）を、直流電圧２５
Ｖ、２５℃の条件で３分間電着した。原板１をイオン交
換水で洗浄したところ、先に形成した赤色、緑色の着色
層には全く変化が見られず、青色の着色層３が形成され
た。更に８０℃で５分間乾燥し、５．０重量％の水酸化
ナトリウム水溶液で現像したところ、着色層には変化が
認められず、残存するカチオン性ポジ型感光性塗料即ち
光照射量が最も少ない部分の感光性塗膜のみが選択的に
除去された。露出されたＩＴＯ面を陰極とし、４５℃の
ニッケルメッキ浴中にて０．１Ａ／ｃｍ²の電流密度で
３分間、電気メッキを行なった。水洗・乾燥して非透光
性（遮光性）のニッケルメッキ層１及び着色層を有する
原板１を得た。

【０１０２】次いで硬化を完全に行なわせるため、１７
５℃で３０分間焼付けた。硬化後の各着色層およびニッ
ケル層の膜厚はいずれも１．９μｍであり、透明性に優
れた均一な着色層と金属遮光層とを有するカラーフィル
ターが得られた。

【０１０３】

【実施例２】実施例１で使用した基板と同様の基板（以
下原板２という）を陽極とし、アニオン性ポジ型感光性
塗料（Ｘ−２）水溶液を入れたステンレススチール製ビ
ーカーを陰極として、直流電圧４５Ｖ、２５℃の条件で
２分間電着した。原板２をイオン交換水で洗浄した後、
８０℃で５分間乾燥、冷却したところ粘着性のない膜厚
２μｍの均一塗膜が形成された。

【０１０４】次いで図２に示すマスクを該塗膜上に密着
し、高圧水銀ランプを有するＵＶ露光装置（（株）オー
ク製作所製、商品名「ＪＬ−３３００」）を使用して５
００ｍＪ／cm²の紫外線を照射した。次いで該マスクを
図３に示される位置まで横に移動し、該塗膜上に密着さ
せて５０ｍＪ／cm²の紫外線を照射し、更にマスクを図
４に示される位置にまで移動し、該塗膜上に密着し、１
００ｍＪ／cm²の紫外線を照射した。

【０１０５】次に濃度０．５重量％のメタ珪酸ナトリウ
ム水溶液で現像したところ、アニオン性ポジ型感光性塗
料の塗膜、即ち光照射量が最大の部分のみが選択的に除
去され、ＩＴＯ面が露出された。水洗、乾燥後、原板２
を陰極とし、着色塗料（Ｙ−１）を入れたステンレスス
チール製ビーカーを陽極として、直流電圧２５Ｖを３０
℃で３分間印加し、電着した。原板２をイオン交換水で
洗浄した後、８０℃で５分間乾燥し、常温で粘着性を示
さない膜厚２μｍの赤色の着色層２を形成した。

【０１０６】次いで１．５重量％のメタ珪酸ナトリウム
水溶液で現像したところ、赤色の着色層２には何の変化
は認められず、光照射量が２番目に多い部分のポジ型感
光性塗料のみが選択的に除去された。次に水洗、乾燥
後、着色塗料（Ｙ−１）の電着と同様にして、着色塗料
（Ｙ−２）を、直流電圧３０Ｖ、２５℃の条件で３分間
電着した後、イオン交換水で洗浄したところ、先に形成
した赤色の着色層２には全く変化が見られず、緑色の着
色層４が形成された。８０℃で５分間乾燥し、次いで
４．０重量％のメタ珪酸ナトリウム水溶液で現像したと
ころ、赤色および緑色の着色層に変化は認められず、光
照射量が３番目に多い部分のポジ型感光性塗料のみが選
択的に除去された。次いで水洗、乾燥後、着色塗料（Ｙ
−１）の電着と同様にして、着色塗料（Ｙ−３）を、直
流電圧３０Ｖ、２５℃の条件で３分間電着した。原板２
をイオン交換水で洗浄したところ、先に形成した赤色、
緑色の着色層には全く変化が見られず、青色の着色層３
が形成された。

【０１０７】次いで８０℃で５分間乾燥し、７．０重量
％のメタ珪酸ナトリウム水溶液で現像したところ、着色
層には変化が認められず、残存するカチオン性ポジ型感
光性塗料即ち光照射量が最も少ない部分の感光性塗膜の
みが選択的に除去された。着色塗料（Ｙ−１）の電着と
同様にして、着色塗料（Ｙ−７）を、３０Ｖ、２５℃の
条件で３分間電着した後、イオン交換水で洗浄して、８
０℃で５分間乾燥し、冷却したところ、赤色、緑色、青
色及び黒色の着色層を有する原板２を得た。

【０１０８】次いで硬化を完全に行なわせるため、１７
５℃で３０分間焼付けた。硬化後の各着色層の膜厚はい
ずれも１．９μｍであり、透明性に優れた均一な着色層
及び黒色遮光層を有するカラーフィルターが得られた。

【０１０９】

【実施例３】実施例１で使用した基板と同様の基板（以
下原板３という）を陰極とし、カチオン性ネガ型感光性
塗料（Ｘ−３）水溶液を入れたステンレススチール製ビ
ーカーを陽極として、直流電圧３０Ｖ、２５℃の条件で
３分間電着した。原板３をイオン交換水で洗浄した後、
８０℃で５分間乾燥、冷却したところ粘着性のない膜厚
２μｍの均一塗膜が形成された。

【０１１０】次いで図２に示すマスクを該塗膜上に密着
し、高圧水銀ランプを有するＵＶ露光装置（（株）オー
ク製作所製、商品名「ＪＬ−３３００」）を使用して５
００ｍＪ／cm²の紫外線を照射した。次いで該マスクを
図３に示される位置まで横に移動し、該塗膜上に密着さ
せて５０ｍＪ／cm²の紫外線を照射し、更にマスクを図
４に示される位置にまで移動し、該塗膜上に密着し、１
００ｍＪ／cm²の紫外線を照射した。

【０１１１】次に濃度０．１重量％の乳酸水溶液で現像
したところ、カチオン性ネガ型感光性塗料の塗膜、即ち
光照射量が最小の部分のみが選択的に除去され、ＩＴＯ
膜面が露出された。水洗、乾燥後、原板３を陰極とし、
４５℃の銅メッキ浴中にて０．１Ａ／ｃｍ²の電流密度
にて、２．５分間電気メッキを行った。水洗乾燥後、更
に原板３を陽極とし、着色塗料（Ｙ−８）を入れたステ
ンレススチール製ビーカーを陰極として、直流電圧２５
Ｖを２５℃で３分間印加し、電着した。原板３をイオン
交換水で洗浄した後、先に形成した銅メッキ層上に黒色
の着色層１が形成された原板３を得た。

【０１１２】次いで０．５重量％の乳酸水溶液で現像し
たところ、黒色の着色層１には何の変化も認められず、
光照射量が２番目に少い部分のネガ型感光性塗料のみが
選択的に除去された。次に水洗、乾燥後、着色塗料（Ｙ
−８）の電着と同様にして、着色塗料（Ｙ−４）を、直
流電圧２５Ｖ、２５℃の条件で３分間電着した後、イオ
ン交換水で洗浄したところ、先に形成した黒色の着色層
１には全く変化が見られず、赤色の着色層３が形成され
た。８０℃で５分間乾燥し、次いで３．０重量％の乳酸
水溶液で現像したところ、黒色および赤色の着色層に変
化は認められず、光照射量が３番目に少ない部分のネガ
型感光性塗料のみが選択的に除去された。次いで水洗、
乾燥後、着色塗料（Ｙ−８）の電着と同様にして、着色
塗料（Ｙ−５）を、直流電圧２５Ｖ、２５℃の条件で３
分間電着した。原板３をイオン交換水で洗浄したとこ
ろ、先に形成した黒色、赤色の着色層には全く変化が見
られず、緑色の着色層４が形成された。

【０１１３】次いで８０℃で５分間乾燥し、７．０重量
％の乳酸水溶液で現像したところ、着色層には変化が認
められず、残存するカチオン性ネガ型感光性塗料即ち光
照射量が最も多い部分の感光性塗膜のみが選択的に除去
された。露出されたＩＴＯ面を陽極とし、着色塗料（Ｙ
−６）をいれたステンレススチ−ル製ビ−カ−を陰極と
して、直流電圧２５Ｖ、２５℃の条件で３分間電着し
た。原板２をイオン交換水で洗浄した後、８０℃で５分
間乾燥し、常温で粘着性を示さない膜厚２μｍの青色の
着色層２が形成され、黒色、赤色、緑色及び青色の着色
層を有する原板３を得た。

【０１１４】次いで硬化を完全に行なわせるため、１７
５℃で３０分間焼付けた。硬化後の各着色層の膜厚はい
ずれも１．９μｍであり、透明性に優れた均一な着色層
及び遮光層を有するカラーフィルターが得られた。

【０１１５】

【実施例４】実施例１で使用した基板と同様の基板（以
下原板４という）を陽極とし、アニオン性ネガ型感光性
塗料（Ｘ−４）水溶液を入れたステンレススチール製ビ
ーカーを陰極として、直流電圧２５Ｖ、２５℃の条件で
３分間電着した。原板４をイオン交換水で洗浄した後、
８０℃で５分間乾燥、冷却したところ粘着性のない膜厚
１．８μｍの均一塗膜が形成された。

【０１１６】次いで図２に示すマスクを該塗膜上に密着
し、高圧水銀ランプを有するＵＶ露光装置（（株）オー
ク製作所製、商品名「ＪＬ−３３００」）を使用して６
００ｍＪ／cm²の紫外線を照射した。次いで該マスクを
図３に示される位置まで横に移動し、該塗膜上に密着さ
せて５０ｍＪ／cm²の紫外線を照射し、更にマスクを図
４に示される位置にまで移動し、該塗膜上に密着し、１
００ｍＪ／cm²の紫外線を照射した。

【０１１７】次に濃度０．１重量％の炭酸ナトリウム水
溶液で現像したところ、アニオン性ネガ型感光性塗料の
塗膜、即ち光照射量が最小の部分のみが選択的に除去さ
れ、ＩＴＯ膜面が露出された。水洗、乾燥後、原板４を
陰極とし、着色塗料（Ｙ−７）を入れたステンレススチ
ール製ビーカーを陽極として、直流電圧３０Ｖを２５℃
で３分間印加し、電着した。原板４をイオン交換水で洗
浄した後、８０℃にて５分間乾燥し、黒色の着色層１を
形成した。

【０１１８】次いで０．７５重量％の炭酸ナトリウム水
溶液で現像したところ、黒色の着色層には何の変化も認
められず、光照射量が２番目に少い部分のネガ型感光性
塗料のみが選択的に除去された。水洗、乾燥後、着色塗
料（Ｙ−７）の電着と同様にして、着色塗料（Ｙ−２）
を、直流電圧３０Ｖ、２５℃の条件で３分間電着した
後、イオン交換水で洗浄したところ、先に形成した黒色
の着色層１には全く変化が見られず、緑色の着色層３が
形成された。８０℃で５分間乾燥し、次いで５．０重量
％のメタ珪酸ナトリウム水溶液で現像したところ、黒色
および緑色の着色層に変化は認められず、光照射量が３
番目に少ない部分のネガ型感光性塗料のみが選択的に除
去された。次いで水洗、乾燥後、着色塗料（Ｙ−７）の
電着と同様にして、着色塗料（Ｙ−３）を、直流電圧３
０Ｖ、２５℃の条件で３分間電着した。原板４をイオン
交換水で洗浄したところ、先に形成した黒色、緑色の着
色層には全く変化が見られず、青色の着色層４が形成さ
れた。

【０１１９】次いで８０℃で５分間乾燥し、９．０重量
％のメタ珪酸ナトリウム水溶液で現像したところ、着色
層には変化が認められず、残存するアニオン性ネガ型感
光性塗料即ち光照射量が最も多い部分の感光性塗膜のみ
が選択的に除去された。次いで水洗、乾燥後、着色塗料
（Ｙ−７）の電着と同様にして、着色塗料（Ｙ−１）
を、直流電圧３０Ｖ、２５℃の条件で３分間電着した。
原板４をイオン交換水で洗浄したところ、赤色の着色層
２が形成され、黒色、緑色、青色及び赤色の着色層を有
する原板４を得た。

【０１２０】次いで硬化を完全に行なわせるため、１７
５℃で３０分間焼付けた。硬化後の各着色層の膜厚はい
ずれも１．９μｍであり、透明性に優れた均一な着色層
及び遮光層を有するカラーフィルターが得られた。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施態様を示す工程図。

【図２】本発明の実施例で使用したマスクの拡大模式
図。

【図３】本発明の実施例で、マスクを１回横に移動した
状態を示す拡大模式図。

【図４】本発明の実施例で、マスクを２回横に移動した
状態を示す拡大模式図。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 湯浅 仁士 神奈川県横浜市中区千鳥町８番地 日本 石油株式会社中央技術研究所内 (72)発明者 大月 裕 神奈川県横浜市中区千鳥町８番地 日本 石油株式会社中央技術研究所内

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 （Ａ−１）表面に透明な導電層を有する
   透明基板の導電層上にネガ型感光性塗膜を形成し、特定
   のパタ−ンを有するマスクを介して露光を行い、次いで
   該マスクを少なくとも１回移動し、異なる光照射量にて
   露光する工程と、（Ｂ−１）ネガ型感光性塗膜を現像除
   去し、露出した導電層上に着色塗料を電着塗装し着色層
   を形成する操作を、光照射量が少ない露光部分から順次
   繰り返すことにより着色層を形成する工程 とを含むことを特徴とするカラーフィルターの製造法。
2. 【請求項２】 （Ａ−２）表面に透明な導電層を有する
   透明基板の導電層上にポジ型感光性塗膜を形成し、特定
   のパタ−ンを有するマスクを介して露光を行い、次いで
   該マスクを少なくとも１回移動し、異なる光照射量にて
   露光する工程と、（Ｂ−２）ポジ型感光性塗膜を現像除
   去し、露出した導電層上に着色塗料を電着塗装し着色層
   を形成する操作を、光照射量が多い露光部分から順次繰
   り返すことにより着色層を形成する工程 とを含むことを特徴とするカラーフィルターの製造法。
3. 【請求項３】 （Ａ−１）表面に透明な導電層を有する
   透明基板の導電層上にネガ型感光性塗膜を形成し、特定
   のパタ−ンを有するマスクを介して露光を行い、次いで
   該マスクを少なくとも１回移動し、異なる光照射量にて
   露光する工程と、（Ｂ−１）ネガ型感光性塗膜を現像除
   去し、露出した導電層上に着色塗料を電着塗装し着色層
   を形成する操作を、光照射量が少ない露光部分から順次
   繰り返すことにより着色層を形成する工程と、（Ｃ−
   １）光照射量が異なる露光部分のうち、少なくとも１箇
   所の部分のネガ型感光性塗膜を現像除去して露出した導
   電層上に、選択的に金属層を形成する工程とを含むこと
   を特徴とするカラーフィルターの製造法。
4. 【請求項４】 （Ａ−２）表面に透明な導電層を有する
   透明基板の導電層上にポジ型感光性塗膜を形成し、特定
   のパタ−ンを有するマスクを介して露光を行い、次いで
   該マスクを少なくとも１回移動し、異なる光照射量にて
   露光する工程と、（Ｂ−２）ポジ型感光性塗膜を現像除
   去し、露出した導電層上に着色塗料を電着塗装し着色層
   を形成する操作を、光照射量が多い露光部分から順次繰
   り返すことにより着色層を形成する工程と、（Ｃ−２）
   光照射量が異なる露光部分のうち、少なくとも１箇所の
   部分のポジ型感光性塗膜を現像除去して露出した導電層
   上に、選択的に金属層を形成する工程とを含むことを特
   徴とするカラーフィルターの製造法。
5. 【請求項５】 （Ａ−１）表面に透明な導電層を有する
   透明基板の導電層上にネガ型感光性塗膜を形成し、特定
   のパタ−ンを有するマスクを介して露光を行い、次いで
   該マスクを少なくとも１回移動し、異なる光照射量にて
   露光する工程と、（Ｂ−１）ネガ型感光性塗膜を現像除
   去し、露出した導電層上に着色塗料を電着塗装し着色層
   を形成する操作を、光照射量が少ない露光部分から順次
   繰り返すことにより着色層を形成する工程と、（Ｃ−
   １）光照射量が異なる露光部分のうち、少なくとも１箇
   所の部分のネガ型感光性塗膜を現像除去して露出した導
   電層上に、選択的に金属層を形成する工程と、（Ｄ−
   １）前記金属層上に着色塗料を電着塗装し、着色層を形
   成する工程とを含むことを特徴とするカラーフィルター
   の製造法。
6. 【請求項６】 （Ａ−２）表面に透明な導電層を有する
   透明基板の導電層上にポジ型感光性塗膜を形成し、特定
   のパタ−ンを有するマスクを介して露光を行い、次いで
   該マスクを少なくとも１回移動し、異なる光照射量にて
   露光する工程と、（Ｂ−２）ポジ型感光性塗膜を現像除
   去し、露出した導電層上に着色塗料を電着塗装し着色層
   を形成する操作を、光照射量が多い露光部分から順次繰
   り返すことにより着色層を形成する工程と、（Ｃ−２）
   光照射量が異なる露光部分のうち、少なくとも１箇所の
   部分のポジ型感光性塗膜を現像除去して露出した導電層
   上に、選択的に金属層を形成する工程と、（Ｄ−２）前
   記金属層上に着色塗料を電着塗装し、着色層を形成する
   工程とを含むことを特徴とするカラーフィルターの製造
   法。