JPH04326304A - カラーフィルターの製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はカラーフィルターの製造
法に関し、特にカラー液晶表示装置用等として好適なカ
ラーフィルターの製造法に関する。

【０００２】

【従来の技術】現在、一般に使用されているカラーフィ
ルターの製造法としては、透明基板を染料や顔料を含ん
だバインダーによって着色する染色法、印刷法、顔料分
散法等がある。

【０００３】しかしながら、前記染色法は、基板上の樹
脂薄膜を色素で選択染色する方法であるので、色替えの
度に防染およびフォトリソグラフィー工程を行なう必要
があり、また前記印刷法では防染の必要はないが、色パ
ターンの微細化に限界が生じ、多色化が進むほど印刷位
置の精度が悪くなるという問題がある。更に前記顔料分
散法では微細パターンは可能であるものの、色替えの度
に高精度のフォトリソグラフィー工程を経ねばならず工
程がきわめて複雑化するという欠点がある。

【０００４】一方、これらの欠点を解消するために、特
開昭５９−１１４５７２号公報において、電着塗装法に
よるカラーフィルターの製造法が提案されている。該方
法では、まず基板上に形成された透明導電膜をパターニ
ングして透明電極を形成し、該パターン化透明電極の同
じ色に着色される箇所にのみ電圧を印加し、着色電着浴
中で電着して着色層を形成する。次に別の色に着色され
る箇所にのみ電圧を印加し電着処理して別の着色層を形
成する。しかしこの方法は、まず高精度を必要とする透
明電極のパターニングを最初に行なわなければならず、
後工程での取扱に多大の注意が必要であり、微細パター
ンの一部でも断線すると以後の着色工程が困難となるた
め製造上好ましくない。さらにパターン化透明電極は、
微細部分であってもすべて電気的に連続していなければ
ならず、パターン形状の自由度に制約がある。

【０００５】また特開昭６３−２１０９０１号公報にお
いて、ポジ型感光性樹脂組成物を用いて同じ色に着色さ
れる箇所のみのパターンを有するマスクを介して露光、
現像し電着によって着色層を形成し、その後この露光・
現像・電着の工程を所望回数繰り返すという方法が提案
されているが、この方法は露光を複数回繰り返すために
その都度高精度のフォトリソグラフィ−工程を経ねばな
らず、工程が複雑であり、十分に簡略化されたとは言い
難い。更に現像のためキノンジアジド化合物をアルカリ
水溶液に曝すと、未露光部のキノンジアジド化合物もア
ルカリ水溶液と反応して感光性が著しく変化し、以後の
露光・現像が困難になるという欠点がある。

【０００６】一方、カラーフィルターを有するデバイス
の高性能化への要望から、コントラストの向上や色純度
の低下防止が望まれ、その解決策として一般に、カラー
フィルターの各画素間部分に非透光性膜を形成する方法
が知られている。該非透光性膜の形成方法としては、例
えば、予め非透光性膜パターンが形成された基板上にア
ライメントしながら画素を形成していく方法又は予め画
素パターンの形成された基板上にアライメントしながら
非透光性膜パターンを形成していく方法等が用いられて
いる。

【０００７】しかしながら、これらの方法では、いずれ
も画素パターンと、非透光性膜パターンとの間にアライ
メント操作を行なう必要があるため、この精度により画
素パターン間に透光部のない一致したサイズの非透光性
膜パターンを形成することは困難である。更にこれらの
重なり部分が生じる場合には、カラーフィルター上に段
差が生じ、構造的に要求の強い平坦性に優れるカラーフ
ィルターを製造することは困難である。

【０００８】上述の方法はいずれもアラインメントのた
めに高精度の加工技術が要求され、ワークサイズの大型
化の要求、すなわち画面寸法の大型化や多面付によるコ
ストダウンの要求に対しての対応が困難である。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】したがって本発明の目
的は、上記のような欠点を解決し、高度な微細加工技術
を必要とせず、着色層のパターン形状の自由度が大きく
、カラーフィルター画素間に間隙なく非透光性金属層を
配置でき、しかも大型化への対処も容易であり、かつ大
量生産が容易で簡便な、カラーフィルターの製造法を提
供するものである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、着色層の
パターン形状の自由度が大きく、大型化にも対処可能な
カラーフィルターの製造法について研究の結果、ポジ型
感光性樹脂と特定のマスクを組み合わせるという簡便な
工程により優れた性能を有するカラーフィルターが得ら
れることを見いだしたものである。

【００１１】すなわち、本発明によれば、（Ａ）表面に
透明な導電層を有する透明基板上にポジ型感光性塗膜を
形成し、少なくとも光透過率が３段階に異なるパターン
を有するポジマスクを介して露光する工程と、（Ｂ）該
パターン部分のポジ型感光性塗膜を現像除去し露出した
導電層上に着色塗料を電着塗装し着色層を形成する操作
を、ポジマスクの光透過率の大きい順に対応するパター
ン部分について順次繰り返すことにより着色層を形成す
る工程と、（Ｃ）少なくとも１箇所のパターン部分の感
光性塗膜を現像除去して露出した導電層上及び／又は着
色層を形成していない部分の導電層上に、選択的に金属
層を形成する工程とを含むことを特徴とするカラーフィ
ルターの製造法が提供される。

【００１２】以下、本発明をさらに詳細に説明する。

【００１３】本発明においては、まず表面に透明な導電
層を有する透明基板上にポジ型感光性塗膜を形成し、少
なくとも光透過率が３段階に異なるパターンを有するポ
ジマスクを通して露光する（以下、（Ａ）工程という）
。

【００１４】本発明に使用される表面に透明な導電層を
有する透明基板は、その表面に導電層を有し、かつ透明
な板状のものであれば特に制限されず、例えばガラス、
プラスチック板、その他の板状物の表面に透明な導電層
を形成した基板等が挙げられる。基板の表面はカラーフ
ィルターの性能上、平滑であることが望ましく、必要に
よっては表面を研磨して使用することもできる。

【００１５】該導電層の材料としては例えば、酸化スズ
、酸化インジウムまたは酸化アンチモン等を成分とする
材料が挙げられる。また導電層の形成方法は特に制限さ
れず、例えばスプレー法、ＣＶＤ法、スパッタリング法
、真空蒸着法等の公知の方法が挙げられる。また市販の
、透明導電層を有する透明基板を使用してもよい。該基
板は、カラーフィルターの性能上、できる限り透明度の
高いものを用いることが望ましい。

【００１６】前記透明基板上に形成するポジ型感光性塗
膜の形成方法は、特に限定されないが、通常はポジ型感
光性塗料を公知の方法、例えば電着法、吹き付け法、浸
漬塗装法、ロールコート法、スクリーン印刷法、スピン
コーターなどで塗装する方法等で、基板上に塗布するこ
とにより形成することができる。

【００１７】前記ポジ型感光性塗膜を形成するためのポ
ジ型感光性塗料としては、塗膜形成能と感光性を有する
樹脂（以下、ポジ型感光性塗料用樹脂という）及び必要
により染料および／または顔料等を有機溶媒や水などに
分散あるいは溶解した塗料等を挙げることができる。

【００１８】本発明において好ましく使用されるポジ型
感光性塗料用樹脂としては、露光部分が現像液によって
溶出されるものであれば特に限定されるものではなく、
例えばキノンジアジド基を有する樹脂、ジアゾメルドラ
ム酸又はニトロベンジルエステル等を含有する樹脂若し
くはこれらの樹脂を有する樹脂組成物等を好ましく挙げ
ることができ、具体的には例えばアクリル樹脂、エポキ
シ樹脂、ウレタン樹脂、ポリブタジエン樹脂等に、アミ
ノ基、アンモニウム、スルホニウム等のオニウム基と水
酸基とを導入し、更にキノンジアジドスルホン酸化合物
をエステル化反応により付加した樹脂で、蟻酸、酢酸、
プロピオン酸、乳酸などの酸あるいは酸性物質で水に可
溶化および／または分散される樹脂等のキノンジアジド
基を有するカチオン性の樹脂組成物；アクリル樹脂、ポ
リエステル樹脂、マレイン化油樹脂、ポリブタジエン樹
脂、エポキシ樹脂等にカルボキシル基等と水酸基とを導
入し、更にキノンジアジドスルホン酸化合物をエステル
化反応により付加した樹脂で、トリエチルアミン、ジエ
チルアミン、ジメチルエタノールアミン、アンモニア等
の塩基性物質で水に可溶化および／または分散される樹
脂等のキノンジアジド基を有するアニオン性の樹脂組成
物；造膜機能を有する樹脂及びヒドロキシル基を有する
化合物と、キノンジアジドスルホン酸誘導体又はイソシ
アナ−ト基を有するキノンジアジド化合物とを反応させ
て得られる樹脂を適宜混合した組成物等を挙げることが
でき、特に工程簡略化や公害防止の点から、水に可溶化
および／または分散しうる樹脂の使用が好ましい。また
前記組成物における混合割合は、露光条件や現像条件に
よって任意選択することができる。

【００１９】前記ポジ型感光性塗料の各成分を分散また
は溶解するために用いる、有機溶媒としては、上述の樹
脂または樹脂組成物を溶解しうるものであればよく、各
種のグリコールエーテル類、例えば、エチレングリコー
ルモノブチルエーテル、エチレングリコールモノヘキシ
ルエーテル、エチレングリコールモノフェニルエーテル
、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレ
ングリコールモノフェニルエーテル、ジエチレングリコ
ールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジメチ
ルエーテル等；ケトン類、例えば、アセトン、メチルエ
チルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノ
ン、イソホロン等；エーテル類、例えば、ジブチルエー
テル、ジオキサン、テトラヒドロフラン等；アルコール
類、例えば、メトキシブタノール、ジアセトンアルコー
ル、ブタノール、イソプロパノール等；炭化水素類、例
えば、トルエン、キシレン、ヘキサン等；エステル類、
例えば、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸２−メトキシエ
チル、酢酸２−メトキシプロピル、安息香酸エチル等；
酸アミド類、例えば、ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−
ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド等を挙げ
ることができ、使用に際しては単独若しくは混合物とし
て用いることができる。

【００２０】またこれらの有機溶媒は、可溶化や分散を
容易にするため、浴安定性の向上のため、平滑塗膜を得
る等のために、前記カチオン性の樹脂またはアニオン性
の樹脂の水溶化時または水分散時において添加すること
もできる。

【００２１】さらにポジ型感光性塗料に、塗膜の平滑性
をよくするレベリング剤、粘度調整剤、消泡剤等の各種
助剤類等を添加してもよい。

【００２２】前記ポジ型感光性塗料の調製は、ポジ型感
光性塗料用樹脂、有機溶媒および／または水、必要に応
じて染料および／または顔料、酸性物質または塩基性物
質、染料あるいは顔料の分散助剤、塗膜の平滑性をよく
するレベリング剤、粘度調整剤、消泡剤等の各種助剤類
等を混合し、一般的に使用されるサンドミル、ロールミ
ル、アトライター等の分散機を用いて充分に分散させる
方法等により得ることができる。このようにして得られ
るポジ型感光性塗料により形成されるポジ型感光性塗膜
の膜厚は特に制限されず、カラーフィルターに要求され
る性能等に応じて適宜選択できるが、乾燥時に通常０．
３〜２０μｍ、好ましくは１〜１５μｍ程度であればよ
い。該膜厚を調整するには、例えばポジ型感光性塗膜を
電着法で形成する場合、電圧、電着時間、液温等の電着
条件を調整することにより制御できるが、通常は後述の
着色塗料の電着塗装と同様の条件で行うことができる。

【００２３】本発明において、前記ポジ型感光性塗膜を
露光するには、少なくとも光透過率が３段階に異なるパ
ターンを有するポジマスクを介して行う必要がある。こ
こで光透過率とは、露光に使用する光線が、該ポジマス
クを透過する前後における強度の比率をいう。また該ポ
ジマスクのパターンの異なる光透過率の段数は、少なく
とも３段階あれば良く、使用する着色塗料の種類の数に
応じて決定でき、各段階間の光透過率の差は露光条件や
後述の現像条件に応じて適宜選択することができる。一
般にはそれぞれの光透過率の相対的な差を大きくする方
が露光量、露光時間の調整が容易となるために好ましい
が、光透過率の差が小さい場合であっても露光量を増大
し、あるいは露光時間を長くすることで同一目的を達成
することができる。従って、光透過率の相対的な差は特
に限定されないが、通常５％以上の有意差を有すること
が好ましい。

【００２４】前記露光は通常紫外線を多量に発生できる
装置を用いて行うことができ、例えば、高圧水銀灯、超
高圧水銀灯、メタルハライドランプ等を光源として用い
ることができ、必要によっては他の放射線を使用しても
よい。露光条件は、用いるポジ型感光性塗料、露光装置
、前記ポジマスク等に応じて適宜選択できる。

【００２５】本発明の（Ａ）工程において、少なくとも
光透過率が３段階に異なるパターンを有するポジマスク
を介して露光を行うことにより、ポジ型感光性塗膜に、
ポジマスクのパターンの光透過率の異なる段階の数と同
数の、異なる露光状態を形成することができる。

【００２６】本発明の製造法では、前記（Ａ）工程に次
いで、該パターン部分のポジ型感光性塗膜を現像除去し
露出した導電層上に着色塗料を電着塗装し着色層を形成
する操作を、ポジマスクの光透過率の大きい順に対応す
るパターン部分について順次繰り返すことにより着色層
を形成する（以下、（Ｂ）工程という）。すなわち、該
（Ｂ）工程では、まずポジマスクの光透過率が最大であ
るパターンに対応する部分のポジ型感光性塗膜を選択的
に現像除去し、露出した導電層上に着色塗料を電着塗装
し着色層を形成し、次いでポジマスクの光透過率が次に
大きいパターンに対応する部分のポジ型感光性塗膜を選
択的に現像除去し、露出した導電層上に着色塗料を電着
塗装し着色層を形成するという工程を順次繰り返すこと
により着色層を形成することができる。

【００２７】前記ポジ型感光性塗膜を選択的に現像除去
する条件は、選択的に除去すべき部分の露光量、使用す
るポジ型感光性塗料の現像液に対する溶解性、現像液の
種類や濃度、さらには現像温度、現像時間によって変わ
りうるものであり、ポジ型感光性塗料の調製に使用する
樹脂等に適した条件を適宜選択すればよい。現像液とし
ては、通常塩基性物質を溶解した水溶液等を使用するこ
とができる。該塩基性物質としては、炭酸ナトリウム、
炭酸水素ナトリウム、メタ珪酸ナトリウム、テトラアル
キルアンモニウムヒドロキシド、水酸化ナトリウム、水
酸化カリウム等を挙げることができ、例えば炭酸ナトリ
ウム水溶液を現像液に使用する場合、炭酸ナトリウム濃
度は通常０．０１〜２５重量％、好ましくは０．０５〜
１５重量％、温度は通常１０〜７０℃、現像時間は通常
５〜６００秒、好ましくは５〜３００秒等の範囲から適
宜選択すれば良い。さらに現像液としてアルコール類、
グリコールエーテル類、ケトン類、塩素化炭化水素類等
の有機溶媒を使用することもできる。またこれらの現像
液には濡れ性改良や消泡のために界面活性剤や消泡剤を
添加してもよく、毒性や作業環境性等の点で水溶液系の
現像液を使用するのが好ましい。

【００２８】次に前記現像後、露出した導電層上に、着
色塗料を電着塗装し、着色層を形成する。

【００２９】該着色塗料は、例えば造膜成分としてカチ
オン性またはアニオン性の樹脂を使用し、着色成分とし
て染料および／または顔料を加え、更に酸性または塩基
性物質を使用して水に溶解および／または分散させた塗
料等を用いることができ、更にまた着色塗料における樹
脂の溶解および／または分散を容易ならしめるため、浴
安定性の向上のため又は平滑塗膜を得る等のために有機
溶媒等を添加してもよい。

【００３０】前記カチオン性の樹脂としては、例えばア
クリル樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、ポリブタジ
エン樹脂、ポリアミド樹脂等に、アミノ基、アンモニウ
ム、スルホニウム等のオニウム基を導入した樹脂で、蟻
酸、酢酸、プロピオン酸、乳酸等の酸あるいは酸性物質
で水に可溶化または分散される樹脂等を挙げることがで
きる。

【００３１】また、前記アニオン性の樹脂としては、例
えばアクリル樹脂、ポリエステル樹脂、マレイン化油樹
脂、ポリブタジエン樹脂、エポキシ樹脂等にカルボキシ
ル基等を導入した樹脂で、トリエチルアミン、ジエチル
アミン、ジメチルエタノールアミン、アンモニア等の塩
基性物質で水に可溶化または分散される樹脂等を挙げる
ことができる。更にまた、着色塗料の造膜成分は光硬化
性を有する樹脂も使用できる。前記光硬化性を有する樹
脂としては、光架橋性のエチレン性二重結合を主鎖及び
／又は側鎖に有する樹脂を好ましく挙げることができ、
具体的にはアクリロイル基、メタクリロイル基等の（メ
タ）アクリロイル基及び／又はシンナモイル基等の官能
基を分子中に有する樹脂を挙げることができる。また前
記光硬化性を有する樹脂を造膜成分として用いる場合に
は、光重合開始剤を併用するのが好ましい。前記光重合
開始剤は、特に限定されるものではなく、公知の化合物
例えば、ベンゾイン及びそのエ−テル類、ベンジルアル
キルケタ−ル類、ベンゾフェノン誘導体、アントラキノ
ン誘導体、チオキサントン誘導体等を挙げることができ
る。この際更に増感剤を添加してもよい。前記光重合開
始剤の添加量は、前記造膜成分１００重量部に対して、
０．０５〜３０重量部の範囲が好ましく、特に好ましく
は０．１〜３０重量部の範囲である。光重合開始剤の添
加量が０．０５重量部未満の場合には、光硬化性が不足
し、３０重量部を超えると硬化が進行しすぎるため塗膜
強度が低下し、更には不経済であるので好ましくない。 更に感光性や粘度を調製する目的で、低分子量の各種（
メタ）アクリレ−ト類を添加してもよい。前記（メタ）
アクリレ−ト類としては、例えば、２−ヒドロキシエチ
ル（メタ）アクリレ−ト、２−フェノキシエチル（メタ
）アクリレ−ト、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロ
ピル（メタ）アクリレ−ト、２−エチルヘキシル（メタ
）アクリレート、トリシクロデカン（メタ）アクリレー
ト、ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、トリメ
チロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリト
ールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラア
クリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレー
ト、トリス（アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレ
ート等が例示され、これらは混合物として使用してもよ
い。

【００３２】（Ｂ）工程において用いる着色塗料は、光
透過率が異なる部分ごとに種類、色相、色濃度、色明暗
の異なるものを使用することが望ましいが、重複して同
じものを用いることもできる。

【００３３】前記着色塗料に使用する染料および／また
は顔料は、目的とする色相に応じ選択されるが、得られ
る塗膜の透明性、塗料の安定性、電着特性、塗膜の耐久
性等について問題の生じないものを選択することが望ま
しく、この点から染料としては、油溶性あるいは分散性
染料、具体的には例えばアゾ系、アントラキノン系、ベ
ンゾジフラノン系、縮合メチン系等が挙げられ、顔料と
しては例えばアゾレーキ系、キナクリドン系、フタロシ
アニン系、イソインドリノン系、アントラキノン系、チ
オインジゴ系等の有機顔料、黄鉛、酸化鉄、クロムバー
ミリオン、クロムグリーン、群青、紺青、コバルトブル
ー、コバルトグリーン、エメラルドグリーン、チタンホ
ワイト、カーボンブラック等の無機顔料を挙げることが
できる。また目的とする色相に応じ、上記染料および／
または顔料を、その性状を損なわない限りにおいて、２
種類以上混合して用いることもできる。

【００３４】前記着色塗料の調製は、樹脂、染料および
／または顔料、酸性物質または塩基性物質および必要に
より有機溶剤や、染料あるいは顔料の分散助剤、塗膜の
平滑性をよくするレベリング剤、粘度調整剤、消泡剤等
の各種助剤類等を混合し、一般的に使用されるサンドミ
ル、ロールミル、アトライター等の分散機を用いて充分
に分散させ、その後、水で所定の濃度、好ましくは固形
分含量約４〜３０重量％、特に好ましくは７〜２５重量
％に希釈して電着に適する塗料とする方法等により行な
うことができる。このようにして得られる着色塗料は、
導電層上に電着塗装することによって着色層を形成させ
る。

【００３５】該着色層の膜厚は特に制限されず、カラー
フィルターに要求される性能に応じて適宜選択できるが
、乾燥時に通常０．３〜５μｍ、好ましくは１〜３μｍ
程度であればよい。

【００３６】前記電着塗装の条件は、使用する着色塗料
の種類、目的とする着色層の膜厚に応じて適宜選択され
るが、電圧は通常５〜５００Ｖ、好ましくは１０〜３０
０Ｖの直流であるのが好ましく、電着時間は通常５〜３
００秒、好ましくは１０〜２００秒、液温は通常１０〜
３５℃、好ましくは１５〜３０℃であるのが望ましい。 この際所望の膜厚を得る電着時間が経過したところで通
電を停止し、基板を浴から取り出し、余剰に付着した浴
液を水等でよく洗浄し乾燥することにより着色層を形成
することができる。

【００３７】該乾燥条件は、後工程の条件等により適宜
選択できるが、通常は表面の水分が乾燥し得る条件であ
れば良く、例えば１２０℃以下、好ましくは３０℃〜１
００℃で、通常５分〜１時間、好ましくは１〜３０分程
度乾燥させるのが望ましい。ここで乾燥温度が１２０℃
よりも高いとポジ型感光性塗膜が熱により硬化すること
があり、後の現像作業が困難となるために好ましくない
。

【００３８】本発明においては、少なくとも１箇所のパ
ターン部分の感光性塗膜を現像除去して露出した導電層
上及び／又は着色層を形成していない部分の導電層上に
、選択的に金属層を形成する工程（以下（Ｃ）工程とい
う）。特に前記（Ｂ）工程により得られる着色層のパタ
ーン間に存在する間隙に、選択的に金属層を形成するの
が好ましい。

【００３９】金属層の形成とは、好ましくは、（Ｂ）工
程において着色層を形成した後、少なくとも１箇所のパ
ターン部分及び／又は基板上に残存しているポジ型感光
性塗膜を現像除去し、次いで露出した導電層を電気メッ
キ法や無電解メッキ法等により処理することによって行
なうことができる。これらの処理は、通常使用される各
種のメッキ液を用い、通常の処理条件の中からカラーフ
ィルターに要求される性能に合わせて適宜選択すれば良
い。

【００４０】金属層として使用できる金属としては、銅
、ニッケル、銀、金等をはじめとするメッキ等の処理が
可能な一般の金属材料又は該金属材料の２種以上からな
る合金、更には該金属材料の２種以上をメッキ液中で混
合した金属等を挙げることができる。金属層の厚さは、
カラーフィルターに要求される性能等に応じて適宜選択
できるが、通常は１０ｎｍ〜５μｍ、好ましくは１０ｎ
ｍ〜３μｍ程度であれば良い。なお、該金属層厚を着色
層厚と略一致させるように形成することにより、カラー
フィルターを著しく平坦化することができるので特に好
ましい。

【００４１】本発明の製造法では、前記（Ｃ）工程によ
り、露出された導電層上に、金属層がメッキ等により形
成されるので、例えば着色層間隙にセルフアラインの形
で金属層を形成することができる。このようなカラーフ
ィルターは、前述のコントラストの向上、色純度の向上
等の他に、電極補助線としての機能を合わせ持たせるこ
とも可能となり、大画面ディスプレイにおける信号遅延
やセル内発熱等の低減効果を有する。

【００４２】以上の（Ａ）工程、（Ｂ）工程及び（Ｃ）
工程により目的とするカラーフィルターを製造すること
ができるが、必要により更に加熱・硬化又は光硬化等を
行ない、耐候性や耐薬品性等をより向上させることもで
きる。該加熱・硬化を行なう場合には、例えば温度を通
常１００〜２５０℃、好ましくは１５０〜２５０℃とし
、５分〜１時間、好ましくは１５〜４０分間の条件で行
なえば良い。

【００４３】以下、図１および図２を参照して本発明の
工程を説明するが、本発明はこれに限定されるものでは
ない。

【００４４】図１は、本発明の一実施態様を示す工程図
であり、図２は、本発明に用いるポジマスクの実施態様
のうち光透過率が４段階に異なるポジマスクの拡大模式
図であって、１は光透過率１％の遮光膜相当部分、２は
光透過率１００％の第１の色相当部分、３は光透過率５
０％の第２の色相当部分、４は光透過率２５％の第３の
色相当部分を示す。

【００４５】まず表面に透明な導電層を有する透明基板
上にポジ型感光性塗膜を形成し、乾燥した基板を、例え
ば図２に示されるポジマスクを介して露光後、第１回目
の現像を行い、ポジマスクの光透過率が最も大きい第１
の色相当部分２に該当する部分の導電層を露出させ、第
１の色の着色塗料を入れた電着浴で電着塗装後、水洗す
る。

【００４６】次いで第２回目の現像（第１回目の現像と
は条件が異なる）を行い、ポジマスクの光透過率が２番
目に大きい第２の色相当部分３に該当する部分の導電層
を露出させ、第２の色の着色塗料を入れた電着浴で電着
塗装し、水洗する。

【００４７】さらに第３回目の現像（第１回目および第
２回目の現像とは条件が異なる）を行い、ポジマスクの
光透過率が３番目に大きい第３の色相当部分４に該当す
る部分の導電層を露出させ、第３の色の着色塗料を入れ
た電着浴で電着塗装後、水洗・乾燥し、着色層を形成す
る。

【００４８】次いで、第４回目の現像（第１回目、第２
回目及び第３回目の現像とは条件が異なる）を行ない、
ポジマスクの光透過率が最小の遮光膜相当部分に該当す
る部分の導電層を露出させ、メッキ等により金属層を形
成することによって、本発明のカラーフィルターを得る
ことができる。

【００４９】本発明においては、ポジ型感光性塗料とし
てカチオン性樹脂を水に溶解および／または分散させた
塗料を用い、電着法で塗装を行い、アニオン性樹脂を用
いて調製した着色塗料により着色層を形成する方法また
はこれとは逆にポジ型感光性塗料としてアニオン性樹脂
を水に溶解および／または分散させた方法を用い、カチ
オン性樹脂により調製した着色塗料を用いて着色層を形
成する方法等が特に好ましい。

【００５０】

【発明の効果】本発明のカラーフィルターの製造法は、
高度な微細加工技術を必要とせず、着色層のパターン形
状の自由度を大きくすることができ、一回の露光ですべ
てのパターニングが可能で、非透光性膜の形成も容易で
あり、更に大型化への対処も容易である。従ってカラー
フィルターを、簡便に、しかも大量生産することができ
るので工業的にも極めて有用である。

【００５１】

【実施例】以下に本発明を合成例および実施例によって
具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるもの
ではない。

【００５２】

【合成例１】カチオン性ポジ型感光性樹脂（Ａ−１）の
合成 不飽和化合物（ａ−１）の合成 グリシド−ル１４８部、ジブチル錫ジラウリレ−ト０．
８部、ヒドロキノンモノメチルエ−テル０．２部及び２
−エトキシエチルアセテ−ト８２部を、温度計、撹拌装
置、還流冷却管、ガス導入管及び滴下漏斗が装着された
１リットルのセパラブルフラスコに仕込み、５０℃に昇
温した。次いで系内に空気を吹き込みながらメタクリロ
イルオキシエチルイソシアナ−ト３１９部を１時間かけ
て滴下し、赤外線吸収スペクトルでイソシアナ−ト基の
吸収がほとんど無くなるまで反応を行った後、４−ヒド
ロキシ安息香酸２７６部を追加し、１１０℃に昇温した
。酸価が５以下、エポキシ当量が１１０００以上である
ことを確認して反応を終了し、不飽和化合物（ａ−１）
を得た。

【００５３】カチオン性ポジ型感光性樹脂（Ａ−１）の
合成 温度計、撹拌装置、還流冷却管および滴下漏斗の付いた
１リットルのセパラブルフラスコに、ジエチレングリコ
−ルモノエチルエ−テル２３８部を仕込み、１３０℃に
昇温した。次いでこれに、前記（ａ−１）１４５部、イ
ソブチルメタクリレ−ト８３部、エチルアクリレ−ト１
６７部、エチルメタクリレ−ト７８部、ジメチルアミノ
エチルメタクリレ−ト４１部及びｔ−ブチルペルオキシ
−２−エチルヘキサノエ−ト１２部を混合した溶液を３
時間かけて滴下し、３０分経過した後ジエチレングリコ
−ルモノエチルエーテル２５部とｔ−ブチルペルオキシ
−２−エチルヘキサノエ−ト２部との混合溶液を３０分
かけて滴下した。次いで同温度にて２時間保持して、反
応を終了した。得られたアクリル樹脂系溶液５００部を
温度計、撹拌装置、還流冷却管、窒素導入管および滴下
漏斗を備えた３リットルのセパラブルフラスコに取り、
更にアセトン１５７０部及び１，２−ナフトキノンジア
ジド−５−スルホニルクロリド６０．１部を加えて室温
でよく撹拌した後、トリエチルアミン２６．７部を１時
間かけて滴下し、更に２時間反応させた。得られた溶液
を濾過して不純物を除去した後、約２０倍量のよく撹拌
された水に約１時間かけて滴下し、析出した樹脂を回収
し、減圧下にて水分を除去して、茶褐色のカチオン性ポ
ジ型感光性樹脂（Ａ−１）を得た。

【００５４】

【合成例２】アニオン性ポジ型感光性樹脂（Ａ−２）の
合成 アニオン性樹脂（ａ−２）の合成 「日石ポリブタジエンＢ−１０００」（日本石油化学（
株）製、商品名、数平均分子量１，０００、沃素価４３
０、１，２−結合６５％）１，０００ｇ、無水マレイン
酸７５１ｇ、キシレン１０ｇおよびトリメチルハイドロ
キノン５．０ｇを、温度計、撹拌装置、還流冷却管およ
び窒素吹き込み管を付けた３リットルのセパラブルフラ
スコに仕込み、窒素下にて１９０℃で５時間反応させた
。次いで未反応無水マレイン酸およびキシレンを留去さ
せ、全酸価４８０ｍｇＫＯＨ／ｇのマレイン化ポリブタ
ジエンを得た。

【００５５】次に還流冷却管を付けた２リットルのセパ
ラブルフラスコに、前記マレイン化ポリブタジエン５０
０ｇ、フェノキシエタノ−ル２１８ｇ及びジエチレング
リコ−ルジメチルエ−テル２０５ｇを仕込み、均一に溶
解させてから、窒素気流下で１３０℃にて３時間反応さ
せた。次いで同温にてベンジルアミン６１ｇを３０分か
けて滴下した後、１６５℃に昇温し、同温にて７時間反
応を行い、半エステル基およびイミド基を有するアニオ
ン性樹脂（ａ−２）溶液を得た。

【００５６】感光性樹脂（ａ−３）の合成「日石ポリブ
タジエンＢ−１０００」（日本石油化学（株）製、商品
名、数平均分子量１，０００、沃素価４３０、１，２−
結合６５％）１，０００ｇ、無水マレイン酸３８８ｇ、
キシレン１０ｇおよびトリメチルハイドロキノン３．０
ｇを、温度計、撹拌装置、還流冷却管および窒素吹き込
み管を付けた３リットルのセパラブルフラスコに仕込み
、窒素下にて１９０℃で５時間反応させた。次いで未反
応無水マレイン酸およびキシレンを留去させ、全酸価３
２０ｍｇＫＯＨ／ｇのマレイン化ポリブタジエンを得た
。

【００５７】次に温度計、撹拌装置、還流冷却管及び窒
素吹き込み管を付けた２リットルのセパラブルフラスコ
に、前記マレイン化ポリブタジエン５００ｇ、フェノキ
シエタノ−ル３００ｇを仕込み、均一に溶解させてから
、窒素気流下で１３０℃にて３時間反応させた。次いで
室温まで冷却した後、２−（２−アミノエチルアミノ）
エタノ−ル１４９ｇを１時間かけて滴下した後、１２５
℃に昇温し、同温にて４時間反応を行い、イミド基を有
するポリアミン樹脂溶液を得た。

【００５８】別に還流冷却管を付けた５リットルのセパ
ラブルフラスコに、１，２−ナフトキノンジアジドスル
ホニルクロリド２６９ｇ、ジオキサン１９００ｇ及び「
キョ−ワ−ド１０００」（協和化学工業（株）製、商品
名）３００ｇを仕込み、前記ポリアミン樹脂溶液６４５
ｇを３０℃にて２時間かけて滴下し、同温にて更に５時
間反応を行い、得られた溶液を濾過した後、フェノキシ
エタノ−ル４４０ｇを加え、減圧下にてジオキサンを除
去し、感光性樹脂（ａ−３）を得た。

【００５９】得られた樹脂（ａ−３）溶液は、溶液１０
０ｇあたり１５０ｍｇ当量のナフトキノンジアジド基を
含有し、不揮発分は６０．０重量％であった。

【００６０】アニオン性ポジ型感光性樹脂（Ａ−２）の
合成 前記（ａ−２）樹脂溶液７５０ｇ及び感光性樹脂（ａ−
３）溶液６７０ｇを十分に混合した後、トリエチルアミ
ン６０ｇを加えて十分に中和し、アニオン性ポジ型感光
性樹脂（Ａ−２）溶液を得た。

【００６１】

【合成例３】半エステル化物（Ａ−３）溶液の合成「日
石ポリブタジエンＢ−１０００」（日本石油化学（株）
製、商品名、数平均分子量１，０００、沃素価４３０、
１，２−結合６５％）１，０００ｇ、無水マレイン酸５
５４ｇ、キシレン１０ｇおよびトリメチルハイドロキノ
ン３．０ｇを、温度計、撹拌装置、還流冷却管および窒
素吹き込み管を付けた３リットルのセパラブルフラスコ
に仕込み、窒素下にて１９０℃で５時間反応させた。次
いで未反応無水マレイン酸およびキシレンを留去させ、
全酸価４００ｍｇＫＯＨ／ｇのマレイン化ポリブタジエ
ンを得た。

【００６２】次に還流冷却管を付けた３リットルのセパ
ラブルフラスコに、前記マレイン化ポリブタジエン１，
０００ｇ、ジエチレングリコールジメチルエーテル４６
１．８ｇ、Ｎ，Ｎ−ジメチルベンジルアミン３．０ｇお
よびベンジルアルコール３８５．５ｇを仕込み、均一に
溶解させてから、窒素気流下、１２０℃で２時間反応さ
せ、半エステル化物（Ａ−３）溶液を得た。得られた半
エステル化物（Ａ−３）溶液の全酸価は１０９．３ｍｇ
ＫＯＨ／ｇであり、不揮発分は７５．０重量％であった
。

【００６３】

【合成例４】カチオン性樹脂（Ａ−４）の合成アミン付
加エポキシ化ポリブタジエン（ａ−４）の合成エポキシ
化液状ポリブタジエン（日本石油化学（株）製、商品名
「Ｅ−１００−８］，数平均分子量１０００、オキシラ
ン酸素量８％）１０００ｇを、温度計、撹拌装置及び還
流冷却管の付いた２リットルのセパラブルフラスコに仕
込み、系内を窒素置換した後、メチルエタノ−ルアミン
２３１．２ｇを加え、１７０℃にて５時間反応を行った
。次いで減圧下にて、未反応のメチルエタノ−ルアミン
を留去し、アミン価が２３０．４ｍｍｏｌ／１００ｇの
アミン付加エポキシ化ポリブタジエン（ａ−４）を得た
。

【００６４】不飽和基含有イソシアネ−ト（ａ−５）の
合成 温度計、撹拌装置、還流冷却管及び滴下漏斗の付いた加
熱及び冷却可能な２リットルの丸底フラスコに、２，４
−トリレンジイソシアナ−ト４３５．５ｇ及びジエチレ
ングリコ−ルジメチルエ−テル２６６．１ｇを仕込み、
４０℃に加熱した後、２−ヒドロキシエチルアクリレ−
ト３６２．８ｇを滴下し、同時に２００ｐｐｍのパラベ
ンゾキノンも添加した。この際２−ヒドロキシエチルア
クリレ−トの滴下により発熱がみられるが、必要に応じ
て冷却し同温に保った。２−ヒドロキシエチルアクリレ
−トの滴下終了後、７０℃に昇温し、同温にて３時間反
応させ、赤外線吸収スペクトル分析によりイソシアナ−
ト基の吸収強度が反応開始前のほぼ１／２になったこと
を確認した後、冷却し不飽和基含有イソシアナ−ト化合
物（ａ−５）を得た。

【００６５】カチオン性樹脂（Ａ−４）の合成２リット
ルのセパラブルフラスコ中にて、前記（ａ−４）５００
ｇをジエチレングリコ−ルジメチルエ−テル１６６．７
ｇに溶解し、次いでこれに前記（ａ−５）７１３．４ｇ
（前記（ａ−４）中のヒドロキシル基１当量に対してイ
ソシアナ−ト基０．８当量）を４０℃にて滴下し、更に
同温にて１時間反応させて、赤外線吸収スペクトル分析
によりイソシアナ−ト基の吸収が消失したことを確認し
、反応を終了して、（ａ−４）に（ａ−５）を付加した
カチオン性樹脂（Ａ−４）を得た。

【００６６】

【合成例５】ポジ型感光性塗料（Ｂ−１）の調製合成例
１で得られたカチオン性ポジ型感光性樹脂（Ａ−１）５
００ｇをメチルエチルケトン３３３．３ｇに溶解した混
合物に、中和剤として酢酸１１．７ｇを加えて充分に撹
拌し再度均一化した後、脱イオン水をゆっくりと加えな
がら高速ミキサーで激しくかき混ぜながら水分散させて
固形分濃度１５重量％のポジ型感光性塗料（Ｂ−１）水
溶液（カチオン電着型）を調製した。

【００６７】

【合成例６】ポジ型感光性塗料（Ｂ−２）の調製合成例
１で得られた感光性樹脂（Ａ−１）５００ｇを固形分濃
度が４０重量％となるようにメチルエチルケトンで希釈
し、ポジ型感光性塗料溶液（Ｂ−２）を調製した。

【００６８】

【合成例７】黒色ポジ型感光性塗料（Ｂ−３）の調製合
成例２で得られたアニオン性ポジ型感光性樹脂（Ａ−２
）溶液５００ｇに、脱イオン水をゆっくりと加えながら
高速ミキサーで激しくかき混ぜながら水分散させて、固
形分濃度１５重量％のポジ型感光性塗料（Ｂ−３）水溶
液（アニオン電着型）を調製した。

【００６９】

【合成例８】着色塗料（Ｃ−１，Ｃ−２，Ｃ−３）の調
製 半エステル化物（Ａ−３）溶液および顔料を撹拌下に混
合し、実験室用三本ロールミル（小平製作所製）にて、
顔料粒径が０．３μｍ以下となるまで分散した。粒径の
測定は、コールターカウンターＮ４（コールターカウン
ター社製）を用いた。次いで得られた分散混合物に、中
和剤である酢酸を加えて充分に撹拌し再度均一化した後
、脱イオン水をゆっくりと加えながら高速ミキサーで激
しくかき混ぜながら水分散させて固形分濃度１０重量％
の着色塗料（Ｃ−１，Ｃ−２，Ｃ−３）を調製した。 得られた３色の着色塗料（アニオン電着型）水溶液の組
成を表１に示す（表１中の数値はいずれも重量部である
）。

【００７０】

【表１】

【００７１】

【合成例９】着色塗料（Ｃ−４，Ｃ−５，Ｃ−６）の調
製 カチオン性樹脂（Ａ−４）溶液、光重合開始剤および顔
料を撹拌下に混合し、実験室用三本ロールミル（小平製
作所製）にて、顔料粒径が０．２μｍ以下となるまで分
散した。粒径の測定はコールターカウンターＮ４（コー
ルターカウンター社製）を用いた。得られた分散混合物
に、中和剤である酢酸を加えて充分に撹拌し、再度均一
化した後、脱イオン水をゆっくりと加えながら高速ミキ
サーで激しくかき混ぜながら水分散させて、固形分濃度
１０重量％の着色塗料（Ｃ−４，Ｃ−５，Ｃ−６）を調
製した。得られた３色の着色塗料（カチオン電着型）水
溶液の組成を表２に示す（表２中の数値はいずれも重量
部である）。

【００７２】

【表２】

【００７３】

【実施例１】膜厚８０ｎｍのＩＴＯ（インジウム−錫酸
化物）膜を表面に有する厚さ１．１ｍｍのパイレックス
ガラス基板（以下原板１と称す）を陰極とし、ポジ型感
光性塗料（Ｂ−１）水溶液を入れたステンレススチール
製ビーカーを陽極として、直流電圧４０Ｖ、２５℃の条
件で６０秒間電着した。原板１をイオン交換水で洗浄し
た後、８０℃で５分間乾燥、冷却したところ粘着性のな
い膜厚２μｍの均一塗膜が形成された。

【００７４】次いで図２に示す光透過率が４段階に異な
るパターンを有するポジマスクを該塗膜上に密着し、高
圧水銀ランプを有するＵＶ露光装置（（株）オーク製作
所製、商品名「ＪＬ−３３００」）を使用して２００ｍ
Ｊ／ｃｍ２の紫外線を照射した。

【００７５】次に濃度０．３重量％のメタ珪酸ナトリウ
ム水溶液で現像したところ、ポジマスクの光透過率の最
も高い部分に相当するポジ型感光性塗料が選択的に除去
され、ＩＴＯ膜が露出された。水洗、乾燥後、原板１を
陽極とし、着色塗料（Ｃ−１）に入れたステンレススチ
ール製ビーカーを陰極として、直流電圧２５Ｖ、２５℃
の条件で３分間電着した。原板１をイオン交換水で洗浄
した後、８０℃で５分間乾燥し、常温で粘着性を示さな
い膜厚２μｍの赤色の着色層を形成した。次いで１．３
重量％のメタ珪酸ナトリウム水溶液で現像したところ、
赤色の着色層および遮光膜に相当する部分のポジ型感光
性塗料には何の変化は認められず、ポジマスクの光透過
率が２番目に高い部分に相当するポジ型感光性塗料が選
択的に除去された。

【００７６】次に水洗、乾燥後、原板１を陽極とし、着
色塗料（Ｃ−２）を入れたステンレススチール製ビーカ
ーを陰極として、直流電圧２５Ｖ、２５℃の条件で３分
間電着した。原板１をイオン交換水で洗浄したところ、
先に形成した赤色の着色層および遮光膜に相当する部分
のポジ型感光性塗料には全く変化が見られず、緑色の着
色層が形成された。８０℃で５分間乾燥し、次いで３．
０重量％のメタ珪酸ナトリウム水溶液で現像したところ
、赤色および緑色の着色層に変化は認められず、また遮
光膜となる部分のポジ型感光性塗料にも変化は認められ
ず、ポジマスクの光透過率が３番目に高い部分に相当す
るポジ型感光性塗料が選択的に除去された。

【００７７】次いで水洗、乾燥後、原板１を陽極とし、
着色塗料（Ｃ−３）を入れたステンレススチール製ビー
カーを陰極として、直流電圧２５Ｖ、２５℃の条件で３
分間電着した。原板１をイオン交換水で洗浄したところ
、先に形成した赤色、緑色の着色層および遮光膜となる
部分に相当する部分のポジ型感光性塗膜には全く変化が
見られず、青色の着色層が形成された。そして８０℃で
５分間乾燥した。

【００７８】次いで７．０重量％のメタ珪酸ナトリウム
水溶液で現像したところ、着色層には変化が認められず
、遮光膜に相当する部分の感光性塗膜のみが選択的に除
去された。露出されたＩＴＯ面を陰極とし、４５℃のニ
ッケルメッキ浴中にて０．１Ａ／ｃｍ２の電流密度で３
分間、電気メッキを行なった。水洗・乾燥して非透光製
（遮光製）のニッケル層及び着色層を有する原板２を得
た。

【００７９】次いで硬化を完全に行なわせるため、１７
５℃で３０分間焼付けた。硬化後の各着色層およびニッ
ケル層の膜厚はいずれも１．９μｍであり、透明性に優
れた均一な着色層を有するカラーフィルターが得られた
。

【００８０】

【実施例２】実施例１で使用したものと同一のガラス基
板（以下原板３と称す）を陽極とし、黒色ポジ型感光性
塗料（Ｂ−３）水溶液を入れたステンレススチール製ビ
ーカーを陰極として、直流電圧４５Ｖ、２５℃の条件で
２分間電着した。原板３をイオン交換水で洗浄した後、
８０℃で５分間乾燥したところ、粘着性のない膜厚１．
８μｍの均一塗膜が形成された。

【００８１】次いで図２に示す光透過率が４段階に異な
るパターンを有するポジマスクを該塗膜上に密着し実施
例１で用いたＵＶ露光装置を使用して２００ｍＪ／ｃｍ
２の紫外線を照射した。濃度０．１重量％の炭酸ナトリ
ウム水溶液で現像したところ、ポジマスクの光透過率が
最大である部分のポジ型感光性塗料が選択的に除去され
、ＩＴＯ膜が露出された。

【００８２】次に水洗、乾燥後、原板３を陰極とし、着
色塗料（Ｃ−４）を入れたステンレススチール製ビーカ
ーを陽極として、直流電圧３０Ｖ、２５℃の条件で３分
間電着した。原板３をイオン交換水で洗浄した後、８０
℃で５分間乾燥し、赤色の着色層を形成した。次いで１
．５重量％のメタ珪酸ナトリウム水溶液で現像したとこ
ろ、赤色の着色層には何の変化も認められず、ポジマス
クの光透過率が２番目に高い部分のポジ型感光性塗料が
選択的に除去された。

【００８３】次に水洗、乾燥後、原板３を陰極とし、着
色塗料（Ｃ−５）を入れたステンレススチール製ビーカ
ーを陽極として、直流電圧３０Ｖ、２５℃の条件で３分
間電着した。原板３をイオン交換水で洗浄したところ、
先に形成した赤色の着色層には全く変化が見られず、緑
色の着色層が形成された。８０℃で５分間乾燥し、次い
で４重量％のメタ珪酸ナトリウム水溶液で現像したとこ
ろ、赤色および緑色の着色層に変化は認められず、また
遮光膜となる部分のポジ型感光性塗料にも変化は認めら
れず、ポジマスクの光透過率が３番目に高い部分に相当
するポジ型感光性塗料が選択的に除去された。

【００８４】次いで水洗、乾燥後、原板３を陰極とし、
着色塗料（Ｃ−６）を入れたステンレススチール製ビー
カーを陽極として、直流電圧３０Ｖ、２５℃の条件で３
分間電着した。原板３をイオン交換水で洗浄したところ
、先に形成した赤色、緑色の着色層および遮光層に相当
する部分のポジ型感光性塗膜には全く変化が見られず、
青色の着色層が形成された。そして８０℃で５分間乾燥
した。

【００８５】次いで７．０重量％のメタ珪酸ナトリウム
水溶液で現像したところ、着色層には変化が認められず
、遮光膜に相当する部分の感光性塗膜のみが選択的に除
去された。露出されたＩＴＯ面を陰極とし、４５℃の銅
メッキ浴中にて０．１Ａ／ｃｍ２の電流密度で３分間、
電気メッキを行なった。水洗・乾燥して非透光製（遮光
製）の銅層及び着色層を有する原板４を得た。

【００８６】硬化を完全に行なわせるため、１７５℃で
３０分間焼付けた。硬化後の各着色層および銅層の膜厚
はいずれも１．８μｍであり、透明性に優れた均一な着
色層を有するカラーフィルターが得られた。

【００８７】

【実施例３】実施例１で使用したものと同一の基板にポ
ジ型感光性塗料溶液（Ｂ−２）をスピンコ−ト法にて塗
装、風乾し、８０℃にて５分間乾燥したところ、粘着性
のない膜厚１．９μｍの均一塗膜を形成した。

【００８８】次いで図２に示すポジマスクを該塗膜面上
に密着させ、高圧水銀ランプを有するＵＶ露光装置（（
株）オ−ク製作所製、商品名「ＪＬ−３３００］）を使
用して、２００ｍＪ／ｃｍ２の紫外線を照射した後、現
像、電着及びメッキ工程は、実施例１と同様にして、膜
厚１．９μｍの透明性に優れた均一な着色層を有するカ
ラ−フィルタ−を得た。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施態様を示す工程図。

【図２】本発明の実施例１、２および３で使用したポジ
マスクの拡大模式図。

【符号の説明】

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　（Ａ）表面に透明な導電層を有する透
   明基板上に、ポジ型感光性塗膜を形成し、少なくとも光
   透過率が３段階に異なるパターンを有するポジマスクを
   介して露光する工程と、（Ｂ）該パターン部分のポジ型
   感光性塗膜を現像除去し露出した導電層上に着色塗料を
   電着塗装し着色層を形成する操作を、ポジマスクの光透
   過率の大きい順に対応するパターン部分について順次繰
   り返すことにより着色層を形成する工程と、（Ｃ）少な
   くとも１箇所のパターン部分の感光性塗膜を現像除去し
   て露出した導電層上及び／又は着色層を形成していない
   部分の導電層上に、選択的に金属層を形成する工程とを
   含むことを特徴とするカラーフィルターの製造法。