JPH07198477A - レーザセンサ - Google Patents
レーザセンサInfo
- Publication number
- JPH07198477A JPH07198477A JP33567893A JP33567893A JPH07198477A JP H07198477 A JPH07198477 A JP H07198477A JP 33567893 A JP33567893 A JP 33567893A JP 33567893 A JP33567893 A JP 33567893A JP H07198477 A JPH07198477 A JP H07198477A
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- JP
- Japan
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- laser
- prism mirror
- laser sensor
- laser beams
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Geophysics And Detection Of Objects (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ピッチの狭い多数のポイントをセンシングす
るレーザセンサを提供する。 【構成】 複数のレーザ発振器１、２、３と、複数の設
置角度の異なるミラーからなり、複数の前記レーザ発振
器１、２、３から出射された複数のレーザ光５、６、７
をその光軸を一平面上に並べかつ、互いの光軸の間隔を
所定のピッチ１３にするように反射するプリズムミラー
４と、前記プリズムミラー４により反射された複数の前
記レーザ光５、６、７を検知する検知器９、１０、１１
とを有する。
るレーザセンサを提供する。 【構成】 複数のレーザ発振器１、２、３と、複数の設
置角度の異なるミラーからなり、複数の前記レーザ発振
器１、２、３から出射された複数のレーザ光５、６、７
をその光軸を一平面上に並べかつ、互いの光軸の間隔を
所定のピッチ１３にするように反射するプリズムミラー
４と、前記プリズムミラー４により反射された複数の前
記レーザ光５、６、７を検知する検知器９、１０、１１
とを有する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、プリズムミラーを用い
て間隔の狭い多数のポイントをセンシングするレーザセ
ンサに関する。
て間隔の狭い多数のポイントをセンシングするレーザセ
ンサに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のセンサは、図５に示すよ
うに、レーザ発振器１、２、３を並列に配置し、前記レ
ーザ発振器１、２、３から出射されるレーザ光５、６、
７を検知する検知器９、１０、１１も同様に並列に配置
していた。
うに、レーザ発振器１、２、３を並列に配置し、前記レ
ーザ発振器１、２、３から出射されるレーザ光５、６、
７を検知する検知器９、１０、１１も同様に並列に配置
していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この従来のセンサにお
いては、多数のポイントを検知するために設置される複
数のレーザ発振器を並列に配置するために、それぞれの
レーザ発振器から出射されるレーザ光の互いの光軸間隔
は、設置するレーザ発振器の装置の大きさにより限定さ
れてしまい、所望の光軸間隔が得られず、間隔の狭い多
数のポイントを検知することができなかった。
いては、多数のポイントを検知するために設置される複
数のレーザ発振器を並列に配置するために、それぞれの
レーザ発振器から出射されるレーザ光の互いの光軸間隔
は、設置するレーザ発振器の装置の大きさにより限定さ
れてしまい、所望の光軸間隔が得られず、間隔の狭い多
数のポイントを検知することができなかった。
【０００４】例えば、図４に示すように、ＩＣの前記レ
ーザ光の光軸方向に対し回転方向のズレを検知する場
合、３本のレーザ光をそのＩＣの上面に等間隔で通過さ
せ、各レーザ光が遮断されるか否かでそのＩＣのズレを
検知する。つまり、ＩＣの幅Ａの間に３本のレーザ光を
通過させなければならない。しかしながら、この従来の
レーザセンサでは、レーザ発振器の大きさによる制限の
ためにこのような狭ピッチのセンシングはできなかっ
た。
ーザ光の光軸方向に対し回転方向のズレを検知する場
合、３本のレーザ光をそのＩＣの上面に等間隔で通過さ
せ、各レーザ光が遮断されるか否かでそのＩＣのズレを
検知する。つまり、ＩＣの幅Ａの間に３本のレーザ光を
通過させなければならない。しかしながら、この従来の
レーザセンサでは、レーザ発振器の大きさによる制限の
ためにこのような狭ピッチのセンシングはできなかっ
た。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、本発明のレーザセンサは、複数のレーザ発振器
と、複数の設置角度の異なるミラーからなり、複数の前
記レーザ発振器から出射された複数のレーザ光をその光
軸を一平面上に並べかつ、互いの光軸の間隔を所定のピ
ッチにするように反射するプリズムミラーと、前記プリ
ズムミラーにより反射された複数の前記レーザ光を検知
する検知器とを有する。
めに、本発明のレーザセンサは、複数のレーザ発振器
と、複数の設置角度の異なるミラーからなり、複数の前
記レーザ発振器から出射された複数のレーザ光をその光
軸を一平面上に並べかつ、互いの光軸の間隔を所定のピ
ッチにするように反射するプリズムミラーと、前記プリ
ズムミラーにより反射された複数の前記レーザ光を検知
する検知器とを有する。
【０００６】
【実施例】次に、本発明のレーザセンサの一実施例につ
いて図面を参照して詳細に説明する。
いて図面を参照して詳細に説明する。
【０００７】図１は、本発明の一実施例を示す構成図で
あり、レーザ発振器１、２、３は、所定の場所に設置さ
れ、その光軸径が１ｍｍ程度であるレーザ光５、６、７
をプリズムミラー４に向けて出力する。前記プリズムミ
ラー４は、複数のミラーからなる多面体であり、前記レ
ーザ発振器１、２、３から出力されたレーザ光５、６、
７を測定対象物１２の方向に異なるミラーにおいて反射
し、そのレーザ光５、６、７の同一平面上における光軸
のピッチ１３が所定の間隔となるようにする。プリズム
ミラー８は、前記プリズム４と同様に複数のミラーから
なる多面体であり、前記プリズム４において反射され、
前記測定対象物１２の上面を通過したレーザ光５、６、
７を所定の方向に反射する。検出器９、１０、１１は、
前記プリズムミラー８において反射されたレーザ光５、
６、７を検出する。
あり、レーザ発振器１、２、３は、所定の場所に設置さ
れ、その光軸径が１ｍｍ程度であるレーザ光５、６、７
をプリズムミラー４に向けて出力する。前記プリズムミ
ラー４は、複数のミラーからなる多面体であり、前記レ
ーザ発振器１、２、３から出力されたレーザ光５、６、
７を測定対象物１２の方向に異なるミラーにおいて反射
し、そのレーザ光５、６、７の同一平面上における光軸
のピッチ１３が所定の間隔となるようにする。プリズム
ミラー８は、前記プリズム４と同様に複数のミラーから
なる多面体であり、前記プリズム４において反射され、
前記測定対象物１２の上面を通過したレーザ光５、６、
７を所定の方向に反射する。検出器９、１０、１１は、
前記プリズムミラー８において反射されたレーザ光５、
６、７を検出する。
【０００８】次に、本発明のレーザセンサの動作につい
て図１を用いて説明する。
て図１を用いて説明する。
【０００９】レーザ発振器１、２、３から出射されたレ
ーザ光５、６、７がプリズムミラー４において同一平面
上におけるそれぞれの光軸のピッチが所定の間隔となる
ように反射される。そのレーザ光５、６、７はプリズム
ミラー８においてそれぞれ所定の方向に反射され、その
反射されたレーザ光の進行方向に配置された検知器９、
１０、１１において検知される。
ーザ光５、６、７がプリズムミラー４において同一平面
上におけるそれぞれの光軸のピッチが所定の間隔となる
ように反射される。そのレーザ光５、６、７はプリズム
ミラー８においてそれぞれ所定の方向に反射され、その
反射されたレーザ光の進行方向に配置された検知器９、
１０、１１において検知される。
【００１０】ここで、前記測定対象物１２が正常な位置
に配置されていれば、前記レーザ光５、６、７は全て前
記検知器９、１０、１１において検知される。ところ
が、前記測定対象物１２の位置が僅かにずれることによ
って、前記レーザ光５、６、７のうちのいずれかまたは
全てのレーザ光が遮断され、その結果、遮断されたレー
ザ光５または６または７は前記検知器９または１０また
は１１において検知されず、その結果から、前記測定対
象物１２の位置がずれていることが検知される。
に配置されていれば、前記レーザ光５、６、７は全て前
記検知器９、１０、１１において検知される。ところ
が、前記測定対象物１２の位置が僅かにずれることによ
って、前記レーザ光５、６、７のうちのいずれかまたは
全てのレーザ光が遮断され、その結果、遮断されたレー
ザ光５または６または７は前記検知器９または１０また
は１１において検知されず、その結果から、前記測定対
象物１２の位置がずれていることが検知される。
【００１１】上記実施例においては、３つのレーザ発振
器を用いた３つポイントの検知を行う場合について説明
したが、プリズムミラーを構成するミラーの設置角度お
よびその枚数を変えれば、レーザ発振器の大きさに左右
されず、任意の数のポイントの検知を行うことができ
る。
器を用いた３つポイントの検知を行う場合について説明
したが、プリズムミラーを構成するミラーの設置角度お
よびその枚数を変えれば、レーザ発振器の大きさに左右
されず、任意の数のポイントの検知を行うことができ
る。
【００１２】次に、本発明のレーザセンサをＩＣ成形装
置に適用した一実施例について図１、図２を用いて説明
する。
置に適用した一実施例について図１、図２を用いて説明
する。
【００１３】図２は、本発明のレーザセンサをＩＣ成形
装置に適用した場合の一実施例を示す構成図であり、レ
ーザ発振器１、２、３、プリズムミラー４、プリズムミ
ラー８および検知器９、１０、１１を有するレーザセン
サの構成は前述の通りであるので重複部分の説明は省略
する。
装置に適用した場合の一実施例を示す構成図であり、レ
ーザ発振器１、２、３、プリズムミラー４、プリズムミ
ラー８および検知器９、１０、１１を有するレーザセン
サの構成は前述の通りであるので重複部分の説明は省略
する。
【００１４】吸着部１７は、図示しない収納機構に収納
されたＩＣ１８を吸着し取り出す。前記吸着部が設置さ
れた搬送ハンド１６は吸着された前記ＩＣ１８を下金型
１５上に載置する。上金型１４は、上下に駆動し、前記
ＩＣ１８を載置した前記下金型１５と接合することでそ
のＩＣを成形する。ここで、前記レーザセンサは、前記
下金型１５上に載置された前記ＩＣの位置のズレを検知
する。警報部１９は検知部９または１０または１１にお
ける検知に基づいて警報を発する。
されたＩＣ１８を吸着し取り出す。前記吸着部が設置さ
れた搬送ハンド１６は吸着された前記ＩＣ１８を下金型
１５上に載置する。上金型１４は、上下に駆動し、前記
ＩＣ１８を載置した前記下金型１５と接合することでそ
のＩＣを成形する。ここで、前記レーザセンサは、前記
下金型１５上に載置された前記ＩＣの位置のズレを検知
する。警報部１９は検知部９または１０または１１にお
ける検知に基づいて警報を発する。
【００１５】次に、本発明のレーザセンサをＩＣ成形装
置に適用した一実施例の動作について、図１、図２、図
３および図４を用いて説明する。
置に適用した一実施例の動作について、図１、図２、図
３および図４を用いて説明する。
【００１６】まず、図示しない収納機構に収納されるＩ
Ｃ１８を吸着部１７で吸着することにより取り出し、搬
送ハンド１６を駆動させて、この吸着されたＩＣ１８を
下金型１５上に載置する。
Ｃ１８を吸着部１７で吸着することにより取り出し、搬
送ハンド１６を駆動させて、この吸着されたＩＣ１８を
下金型１５上に載置する。
【００１７】次に、レーザ発振器１、２、３から出射さ
れたレーザ光５、６、７は、プリズムミラー４により反
射されて、前記下金型１５上に載置されたＩＣ１８の上
面を通過する。この際、前記ＩＣ１８の位置がずれてい
る場合は、このレーザ光５または６または７が遮断され
る。ここで、図３は、測定対象物である前記ＩＣ１８の
位置がずれる場合の状態を示し、図４は、前記ＩＣ１８
と前記レーザ光５、６、７との位置関係を示す。図３に
示すような３つのＩＣのズレの状態を検知するために
は、図４に示すようにＩＣ１８の幅Ａの中に３本のレー
ザ光を通過させなければならず、例えば、図３（ａ）に
示すようにずれている場合は、レーザ光５が遮断され、
検知器９においてこのレーザ光５は検知されない。同様
に図３（ｃ）の場合は、レーザ光７が遮断され、検知器
１１においてこのレーザ光７は検知されない。
れたレーザ光５、６、７は、プリズムミラー４により反
射されて、前記下金型１５上に載置されたＩＣ１８の上
面を通過する。この際、前記ＩＣ１８の位置がずれてい
る場合は、このレーザ光５または６または７が遮断され
る。ここで、図３は、測定対象物である前記ＩＣ１８の
位置がずれる場合の状態を示し、図４は、前記ＩＣ１８
と前記レーザ光５、６、７との位置関係を示す。図３に
示すような３つのＩＣのズレの状態を検知するために
は、図４に示すようにＩＣ１８の幅Ａの中に３本のレー
ザ光を通過させなければならず、例えば、図３（ａ）に
示すようにずれている場合は、レーザ光５が遮断され、
検知器９においてこのレーザ光５は検知されない。同様
に図３（ｃ）の場合は、レーザ光７が遮断され、検知器
１１においてこのレーザ光７は検知されない。
【００１８】次に、前記ＩＣ１８の位置がずれていない
場合は、上金型１４が下方に駆動し、前記下金型１５と
接合する。前記ＩＣ１８は、前記上金型１４と下金型１
５とが接合することにより成形される。
場合は、上金型１４が下方に駆動し、前記下金型１５と
接合する。前記ＩＣ１８は、前記上金型１４と下金型１
５とが接合することにより成形される。
【００１９】また、前記ＩＣ１８の位置がずれており、
前記レーザ光５または６または７が遮断されたことによ
り、検知器９、１０、１１のいずれかがレーザ光を検知
できなかった場合、警報部１９は前記ＩＣ１８の位置が
ずれている旨の警報を発する。
前記レーザ光５または６または７が遮断されたことによ
り、検知器９、１０、１１のいずれかがレーザ光を検知
できなかった場合、警報部１９は前記ＩＣ１８の位置が
ずれている旨の警報を発する。
【００２０】ここで、前記ＩＣ１８の位置がずれている
と検知された場合に、前記上金型の駆動を停止させても
よい。
と検知された場合に、前記上金型の駆動を停止させても
よい。
【００２１】上記実施例においては、本発明のレーザセ
ンサをＩＣ成形装置に適用した場合について説明した
が、本発明のレーザセンサの適用例はこの限りではな
く、微少な測定対象物がレーザ光の光軸に対して回転方
向の位置ずれを検知する場合に適用すると効果的であ
る。
ンサをＩＣ成形装置に適用した場合について説明した
が、本発明のレーザセンサの適用例はこの限りではな
く、微少な測定対象物がレーザ光の光軸に対して回転方
向の位置ずれを検知する場合に適用すると効果的であ
る。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のレーザセ
ンサは、プリズムミラーを介した反射光を用いて測定対
象物を検知するために、そのレーザセンサの大きさと関
係なく間隔の狭い多数のポイントを検知することができ
る。
ンサは、プリズムミラーを介した反射光を用いて測定対
象物を検知するために、そのレーザセンサの大きさと関
係なく間隔の狭い多数のポイントを検知することができ
る。
【図１】本発明の一実施例の構成を示す図。
【図２】本発明のレーザセンサを適用したＩＣ成形装置
の一実施例の構成をを示す図。
の一実施例の構成をを示す図。
【図３】測定対象物の一実施例を示す図。
【図４】ＩＣのズレの状態を示す図。
【図５】従来の狭ピッチで多数の点をセンシングするセ
ンサの一実施例の構成を示す図。
ンサの一実施例の構成を示す図。
１、２、３ レーザ発振器 ４、８ プリズムミラー ５、６、７ レーザ光 ９、１０、１１ 検出器 １２ 測定対象物 １３ ピッチ １４ 上金型 １５ 下金型 １６ 搬送ハンド １７ 吸着部 １８ ＩＣ １９ 警報部
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０１Ｖ 8/14 8/20 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｆ 23/50 Ｂ Ｈ０１Ｓ 3/00 Ｆ
Claims (6)
- 【請求項１】 複数のレーザ発振器と、 複数の設置角度の異なるミラーからなり、複数の前記レ
ーザ発振器から出射された複数のレーザ光をその光軸を
一平面上に並べかつ、互いの光軸の間隔を所定のピッチ
にするように反射する第１のプリズムミラーと、 前記第１のプリズムミラーにより反射された複数の前記
レーザ光を検知する検知器とを有することを特徴とする
レーザセンサ。 - 【請求項２】 複数の設置角度の異なるミラーからな
り、前記第１のプリズムミラーにより反射された複数の
前記レーザ光を所定の方向に反射する第２のプリズムミ
ラーを有し、 前記検知部は、前記第２のプリズムミラーにより所定の
方向に反射された複数の前記レーザ光の進行方向にそれ
ぞれ設置され、それぞれのレーザ光を検知することを特
徴とする前記請求項１に記載のレーザセンサ。 - 【請求項３】 前記レーザ発振器は、前記第１のプリズ
ムミラーにより反射されてなる複数の前記レーザ光同士
の光軸の間隔ピッチよりも、充分に広い間隔で設置され
ることを特徴とする前記請求項１または２に記載のレー
ザセンサ。 - 【請求項４】 前記レーザ発振器より出射されるレーザ
光の光軸径は１ｍｍ以下であることを特徴とする前記請
求項１または２または３に記載のレーザセンサ。 - 【請求項５】 接合することによりＩＣを成形する上金
型および下金型と、 前記ＩＣを前記下金型上に載置する搬送手段と、 前記下金型上に載置されたＩＣのその光軸方向に対し回
転する方向へのズレを検知する前記請求項１または２ま
たは３または４に記載のレーザセンサと、 前記レーザセンサにより前記下金型上に載置されたＩＣ
がずれていると検知された場合に警報を発する警報手段
とを有することを特徴とするＩＣ成形装置。 - 【請求項６】 前記請求項４に記載のレーザセンサによ
り前記下金型上に載置されたＩＣがずれていると検知さ
れた場合に、前記上金型の駆動を停止することを特徴と
する前記請求項５に記載のＩＣ成形装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33567893A JP2655478B2 (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | レーザセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33567893A JP2655478B2 (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | レーザセンサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07198477A true JPH07198477A (ja) | 1995-08-01 |
| JP2655478B2 JP2655478B2 (ja) | 1997-09-17 |
Family
ID=18291286
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33567893A Expired - Lifetime JP2655478B2 (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | レーザセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2655478B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20220129094A (ko) * | 2020-02-12 | 2022-09-22 | 크나프 아게 | 적어도 2개의 반사광 배리어 장치를 포함하는 광 배리어 시스템 |
-
1993
- 1993-12-28 JP JP33567893A patent/JP2655478B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20220129094A (ko) * | 2020-02-12 | 2022-09-22 | 크나프 아게 | 적어도 2개의 반사광 배리어 장치를 포함하는 광 배리어 시스템 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2655478B2 (ja) | 1997-09-17 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19970422 |