JPH07193179A - リードフレーム - Google Patents

リードフレーム

Info

Publication number
JPH07193179A
JPH07193179A JP5332534A JP33253493A JPH07193179A JP H07193179 A JPH07193179 A JP H07193179A JP 5332534 A JP5332534 A JP 5332534A JP 33253493 A JP33253493 A JP 33253493A JP H07193179 A JPH07193179 A JP H07193179A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resin
lead
tab
frame
semiconductor device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5332534A
Other languages
English (en)
Inventor
Eiji Ono
栄治 大野
Hiroshi Shimoji
博 下地
Toshimitsu Momoi
敏光 桃井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Renesas Eastern Japan Semiconductor Inc
Original Assignee
Hitachi Tokyo Electronics Co Ltd
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Tokyo Electronics Co Ltd, Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Tokyo Electronics Co Ltd
Priority to JP5332534A priority Critical patent/JPH07193179A/ja
Publication of JPH07193179A publication Critical patent/JPH07193179A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • H01L2224/48247Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/491Disposition
    • H01L2224/4912Layout
    • H01L2224/49171Fan-out arrangements
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation

Landscapes

  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 樹脂封止型半導体装置の組立プロセスでの歩
留まりを高めることが可能なリードフレームを提供する
ことにある。 【構成】 枠体2Aで周囲を規定された領域内に、前記
枠体2Aにタブ吊りリード2Eを介して一体化されたタ
ブ2Dを有するリードフレーム2において、前記タブ吊
りリード2Eの板厚の方向の外形寸法Fをその板厚tに
比べて大きく構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、リードフレームに関
し、特に、樹脂封止型半導体装置の組立プロセスで使用
されるリードフレームに適用して有効な技術に関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】樹脂封止型半導体装置として、タブ(ダ
イパッド)のペレット塔載面上に半導体ペレットを塔載
した樹脂封止型半導体装置がある。この種の樹脂封止型
半導体装置は一般的に以下の組立プロセスで形成され
る。
【0003】まず、枠体で周囲を規定された領域内に、
前記枠体に一体化されたアウターリード、前記アウター
リードに一体化されたインナーリード、前記枠体に一体
化されたタブ吊りリード及びこのタブ吊りリードに一体
化されたタブ等を有するリードフレームを用意する。次
に、前記リードフレームのタブのペレット塔載面上に半
導体ペレットを塔載(ペレットボンディング)する。次
に、前記リードフレームのインナーリードと半導体ペレ
ットの外部端子(ボンディングパッド)とをボンディン
グワイヤで電気的に接続する。次に、前記半導体ペレッ
ト、インナーリード、ボンディングワイヤ、タブ吊りリ
ード及びタブ等を樹脂封止体で封止する。この樹脂封止
体はトランスファモールド法に基づいて成形される。次
に、前記リードフレームの枠体からアウターリード及び
タブ吊りリードを切断し、前記アウターリードを所定の
形状(例えばガルウィング形状)に成形する。これによ
り、タブのペレット塔載面上に半導体ペレットを塔載す
る樹脂封止型半導体装置がほぼ完成する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明者は、前述の樹
脂封止型半導体装置について以下の問題点を見出した。
【0005】前記樹脂封止型半導体装置の組立プロセス
において、半導体ペレット、インナーリード、ボンディ
ングワイヤ、タブ及びタブ吊りリード等をトランスファ
モールド法に基づいて成形される樹脂封止体で封止する
際、キャビティ内に供給された樹脂の流動でタブが上下
方向に変動する。このため、タブやボンディングワイヤ
等が樹脂封止体から露出し、樹脂封止型半導体装置の組
立プロセスでの歩留まりが低下するという問題があっ
た。この現象は、特に、樹脂の肉厚が薄いTSOP(
in mall ut-line ackage)型のパッケージ構造を
採用する樹脂封止型半導体装置において顕著になる。
【0006】本発明の目的は、樹脂封止型半導体装置の
組立プロセスでの歩留まりを高めることが可能なリード
フレームを提供することにある。
【0007】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らか
になるであろう。
【0008】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
【0009】枠体で周囲を規定された領域内に、前記枠
体にタブ吊りリードを介して一体化されたタブを有する
リードフレームにおいて、前記タブ吊りリードの板厚の
方向の外形寸法をその板厚に比べて大きく構成する。
【0010】
【作用】上述した手段によれば、タブ吊りリードの機械
的強度を高めることができるので、樹脂封止型半導体装
置の組立プロセス中の封止工程において、樹脂の流動に
よるタブの変動を防止することができる。この結果、タ
ブやボンディングワイヤ等が樹脂封止体から露出するの
を防止できるので、樹脂封止型半導体装置の組立プロセ
スでの歩留まりを高めることができる。
【0011】
【実施例】以下、本発明の構成について、実施例ととも
に説明する。なお、実施例を説明するための全図におい
て、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り
返しの説明は省略する。
【0012】本発明の一実施例である樹脂封止型半導体
装置の概略構成を図1(樹脂封止体の上部を除去した状
態の平面図)、図2(図1に示すA−A切断線で切った
断面図)及び図3(図1に示すB−B切断線で切った断
面図)に示す。
【0013】図1、図2及び図3に示すように、樹脂封
止型半導体装置はTSOP型のパッケージ構造で構成さ
れる。この樹脂封止型半導体装置は、タブ2Dのペレッ
ト塔載面上に半導体ペレット3を塔載する。
【0014】前記半導体ペレット3は例えば平面が方形
状の単結晶珪素基板を主体に構成される。この半導体ペ
レット3の素子形成面には例えばDRAM、SRAM等
の回路システムが塔載される。また、半導体ペレット3
の素子形成面側には複数の外部端子(ボンディングパッ
ド)BPが配列される。
【0015】前記半導体ペレット3の外部端子BPは、
ボンディングワイヤ4を介してインナーリード2Bに電
気的に接続される。ボンディングワイヤ4としては、例
えばアルミニウム(Al)ワイヤ、金(Au)ワイヤを
使用する。ボンディングワイヤ4は例えば熱圧着に超音
波振動を併用したボンディング法によりボンディングさ
れる。
【0016】前記タブ2Dは平面形状が方形状に形成さ
れる。このタブ2Dには、方形状の対向する2辺(短
辺)の夫々にタブ吊りリード2Eが一体化される。つま
り、本実施例の樹脂封止型半導体装置は、2つのタブ吊
りリード2Eでタブ2Dを支持する。
【0017】前記半導体ペレット3、インナーリード2
B、ボンディングワイヤ4、タブ2D及びタブ吊りリー
ド2E等は樹脂封止体1で封止される。この樹脂封止体
1はトランスファモールド法に基づいて成形された樹脂
1Aで成形される。この樹脂1Aは、低応力化を図るた
めに例えばフェノール系硬化剤、シリコーンゴム及びフ
ィラーが添加された絶縁性のエポキシ系樹脂で形成され
る。
【0018】前記樹脂封止体1は平面形状が方形状で形
成される。この樹脂封止体1の外部には、方形状の互い
に対向する2辺(長辺)の夫々の辺側に複数のアウター
リード2Cが配列される。アウターリード2Cはインナ
ーリード2Bに一体化される。このアウターリード2C
は、前述のように、半導体ペレット3、インナーリード
2C、ボンディングワイヤ4、タブ2D及びタブ吊りリ
ード2E等を樹脂封止体1で封止した後、タブ吊りリー
ド2Eと共に、リードフレームから切断され、ガルウィ
ング形状に成形される。
【0019】このように構成される本実施例の樹脂封止
型半導体装置は、組立プロセスにおいて、図4(平面
図)に示すリードフレーム2を使用する。リードフレー
ム2は、枠体2Aで周囲を規定された領域内に、インナ
ーリード2B、アウターリード2C、タブ2D及びタブ
吊りリード2E等を有する。インナーリード2Bはアウ
ターリード2Cに一体化される。アウターリード2Cは
枠体2Aに一体化される。タブ2Dはタブ吊りリード2
Eに一体化される。タブ吊りリード2Eは枠体2Aに一
体化される。つまり、タブ2Dは、2つのタブ吊りリー
ド2Eによる2点で枠体2Aに支持される。
【0020】前記タブ吊りリード2Eは、図5(図4に
示すC−C切断線で切った拡大断面図)に示すように、
プレス加工が施され、断面形状がV字形状で形成され
る。このプレス加工はタブ吊りリード2Eの延在方向に
沿って施されている。つまり、タブ吊りリード2Eの板
厚の方向の外形寸法Fはその板厚tに比べて大きく構成
される。このように、タブ吊りリード2Eの板厚の方向
の外形寸法Fをその板厚tに比べて大きく構成すること
により、タブ吊りリード2Eの断面二次モーメントを増
加でき、タブ吊りリード2Eの機械的強度を高めること
ができるので、外力によるタブ2Dの変動を防止でき
る。
【0021】なお、前記タブ吊りリード2Eは、図6
(断面図)に示すように、断面形状をU字形状で形成し
てもよい。また、タブ吊りリード2Eは、図7(断面
図)に示すように、リード幅方向の中央部にタブ吊りリ
ード2Eの延在方向に沿って凹み若しくは溝を設けた構
成にしてもよい。
【0022】次に、前記樹脂封止型半導体装置の組立プ
ロセスについて簡単に説明する。
【0023】まず、前述のリードフレーム2を準備す
る。
【0024】次に、前記リードフレーム2のタブ2Dの
ペレット塔載面上に半導体ペレット3を塔載(ペレット
ボンディング)する。
【0025】次に、前記リードフレーム2のインナーリ
ード2Bと半導体ペレット3の外部端子BPとをボンデ
ィングワイヤ4で電気的に接続する。
【0026】次に、前記半導体ペレット3、インナーリ
ード2B、ボンディングワイヤ4、タブ2D及びタブ吊
りリード2E等を樹脂封止体1で封止する。この樹脂封
止体1はトランスファモールド法に基づいて成形され
る。トランスファモールド法は図8に示すように、成形
金型5の上型5Aと下型5Bとの間にリードフレーム2
を配置すると共に、上型5Aと下型5Bとで形成される
キャビティ6内に半導体ペレット3、インナーリード2
B、ボンディングワイヤ4、タブ2D及びタブ吊りリー
ド2E等を配置した後、ゲート7からキャビティ内に樹
脂1Aを供給し、キャビティ6内に配置された前述のも
のを樹脂1Aからなる樹脂封止体1で封止する。この
時、タブ吊りリード2Eの機械的強度は高められている
ので、キャビティ6内に供給された樹脂1Aの流動によ
るタブ2Dの変動を防止できる。
【0027】次に、前記リードフレーム2の枠体2Aか
らアウターリード2C、タブ吊りリード2Eの夫々を切
断し、前記アウターリード2Cを所定の形状(ガルウィ
ング形状)に成形する。これにより、本実施例の樹脂封
止型半導体装置がほぼ完成する。
【0028】このように、枠体2Aで周囲を規定された
領域内に、前記枠体2Aにタブ吊りリード2Eを介して
一体化されるタブ2Dを有するリードフレーム2におい
て、前記タブ吊りリード2Eの板厚の方向の外形寸法F
をその板厚tに比べて大きく構成する。この構成によ
り、タブ吊りリード2Eの断面二次モーメントを増加で
き、タブ吊りリード2Eの機械的強度を高めることがで
きるので、樹脂封止型半導体装置の組立プロセス中の封
止工程において、樹脂1Aの流動によるタブ2Dの変動
を防止することができる。この結果、タブ2Dやボンデ
ィングワイヤ4等が樹脂封止体1から露出するのを防止
できるので、樹脂封止型半導体装置の組立プロセスでの
歩留まりを高めることができる。
【0029】また、樹脂1Aの流動によるタブ2Dの変
動を防止できるので、タブ2Dの変動によるボンディン
グワイヤ4のループ形状の変形を防止できる。この結
果、ボンディングワイヤ4間の短絡を防止できるので、
樹脂封止型半導体装置の電気的信頼性を高めることがで
きる。
【0030】以上、本発明者によってなされた発明を、
前記実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は、前
記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱し
ない範囲において種々変更可能であることは勿論であ
る。
【0031】例えば、本発明は、4つのタブ吊りリード
でタブを枠体に支持するリードフレームに適用できる。
【0032】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記のとおりである。
【0033】樹脂封止型半導体装置の組立プロセスでの
歩留まりを高めることが可能なリードフレームを提供で
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施例である樹脂封止型半導体装
置の樹脂封止体の上部を除去した状態の平面図。
【図2】 図1に示すA−A切断線で切った断面図。
【図3】 図1に示すB−B切断線で切った断面図。
【図4】 前記樹脂封止型半導体装置の組立プロセスに
使用されるリードフレームの平面図。
【図5】 図4に示すC−C切断線で切った拡大断面
図。
【図6】 本発明の変形例を示す断面図。
【図7】 本発明の変形例を示す断面図。
【図8】 前記樹脂封止型半導体装置の組立プロセス中
の封止工程を説明するための成形金型の要部断面図。
【符号の説明】
1…樹脂封止体、1A…樹脂、2…リードフレーム、2
A…枠体、2B…インナーリード、2C…アウターリー
ド、2D…タブ、2E…タブ吊りリード、3…半導体ペ
レット、4…ボンディングワイヤ、5…成形金型、5A
…上型、5B…下金、6…キャビティ、7…ゲート。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 桃井 敏光 東京都青梅市藤橋3丁目3番地2 日立東 京エレクトロニクス株式会社内

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 枠体で周囲を規定された領域内に、前記
    枠体にタブ吊りリードを介して一体化されたタブを有す
    るリードフレームにおいて、前記タブ吊りリードの板厚
    の方向の外形寸法をその板厚に比べて大きく構成したこ
    とを特徴とするリードフレーム。
JP5332534A 1993-12-27 1993-12-27 リードフレーム Pending JPH07193179A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5332534A JPH07193179A (ja) 1993-12-27 1993-12-27 リードフレーム

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5332534A JPH07193179A (ja) 1993-12-27 1993-12-27 リードフレーム

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH07193179A true JPH07193179A (ja) 1995-07-28

Family

ID=18256000

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5332534A Pending JPH07193179A (ja) 1993-12-27 1993-12-27 リードフレーム

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH07193179A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013024561A1 (ja) * 2011-08-12 2013-02-21 シャープ株式会社 発光装置
JP2016105506A (ja) * 2016-02-24 2016-06-09 シャープ株式会社 発光装置

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013024561A1 (ja) * 2011-08-12 2013-02-21 シャープ株式会社 発光装置
JP2013041951A (ja) * 2011-08-12 2013-02-28 Sharp Corp 発光装置
CN103636013A (zh) * 2011-08-12 2014-03-12 夏普株式会社 发光装置
US9331254B2 (en) 2011-08-12 2016-05-03 Sharp Kabushiki Kaisha Light emitting device
US9537072B2 (en) 2011-08-12 2017-01-03 Sharp Kabushiki Kaisha Light emitting device, lead frame and resin cavity molding package
CN109786536A (zh) * 2011-08-12 2019-05-21 日亚化学工业株式会社 发光装置
CN109786536B (zh) * 2011-08-12 2021-09-28 日亚化学工业株式会社 发光装置
JP2016105506A (ja) * 2016-02-24 2016-06-09 シャープ株式会社 発光装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8836101B2 (en) Multi-chip semiconductor packages and assembly thereof
JPH08222681A (ja) 樹脂封止型半導体装置
JPH11260856A (ja) 半導体装置及びその製造方法並びに半導体装置の実装構造
US20040080031A1 (en) Window-type ball grid array semiconductor package with lead frame as chip carrier and method for fabricating the same
US6639306B2 (en) Semiconductor package having a die pad with downward-extended tabs
JPH08264569A (ja) 樹脂封止型半導体装置の製造方法
JP3259377B2 (ja) 半導体装置
JPH07193179A (ja) リードフレーム
JP3036339B2 (ja) 半導体装置
JPH0621305A (ja) 半導体装置
JP2001177007A (ja) 半導体装置及びその製造方法
JP2000150725A (ja) 半導体装置およびその製造方法
JPH10116953A (ja) リードフレーム及びこれを用いた半導体装置
KR0172020B1 (ko) Tab 시스템의 플라스틱 봉지 반도체 장치
KR100819794B1 (ko) 리드프레임 및, 그것을 이용한 반도체 패키지 제조 방법
JP3747991B2 (ja) 半導体装置の製造方法
JPH08162596A (ja) リードフレーム及び半導体装置
KR19990086280A (ko) 반도체 패키지
JPH11330343A (ja) 樹脂封止型半導体装置
KR100460072B1 (ko) 반도체패키지
JPH06132475A (ja) 半導体パッケージ
JPS61194861A (ja) 樹脂封止型半導体装置
JPH1168015A (ja) リードフレームおよびそれを用いた半導体装置ならびにその製造方法
JP2002368184A (ja) マルチチップ半導体装置
KR950000516B1 (ko) 반도체 조립장치