JPH07191408A - 露光装置 - Google Patents

露光装置

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Publication number
JPH07191408A
JPH07191408A JP34802693A JP34802693A JPH07191408A JP H07191408 A JPH07191408 A JP H07191408A JP 34802693 A JP34802693 A JP 34802693A JP 34802693 A JP34802693 A JP 34802693A JP H07191408 A JPH07191408 A JP H07191408A
Authority
JP
Japan
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unit
mirror
mirror unit
light source
light
Prior art date
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Pending
Application number
JP34802693A
Other languages
English (en)
Inventor
Shoichi Otorii
正一 大鳥井
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Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
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Publication date
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  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 均一な照度分布が得られ、かつ薄型化させた
露光装置を提供する。 【構成】 原稿と感光材とを重ね合わせた状態で載置す
る透光性ガラス板1と、ガラス板1との間で原稿と感光
材とを密着させる気密シートユニット2と、光源ユニッ
ト3と、光源ユニット3からの光を水平に折り返し反射
する第1ミラーユニット4と、第1ミラーユニット4で
反射された光をガラス板1に向けて反射する第2ミラー
ユニット5と、各ミラーユニット4,5の走行機構6と
からなり、第2ミラーユニット5が第1ミラーユニット
4の走行速度の2倍の速度で走行することによって、光
源ユニット3から露光面までの光路長を一定に保ちなが
ら、露光面を走査露光する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、製版等において用いら
れる露光装置に係り、特に、透光性平板上に原稿と感光
材とをそのに順に積層密着させて載置し、この透光性平
板を介して露光用照明光を照射することにより、感光材
に原稿の画像を焼き付ける装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の露光装置としては、例えば図3に
示すような装置が知られている。図3の装置において
は、露光用光源100を内蔵した本体上部に、透光用ガ
ラス板101が設けられている。透光用ガラス板101
の上面に原稿と感光材を重ね合わせた状態で載せ、その
上を気密シート102で覆う。透光用ガラス板101と
気密シート102との間の空間を真空源に連通し、吸引
して原稿と感光材を密着させた状態で、透光用ガラス板
101の直下部に固定配備された光源100を点灯して
露光用照明光を照射する。これによって、感光材に原稿
の画像が焼き付けられる。
【0003】また、図4に示すような装置も知られてい
る。図4の装置においては、透光用ガラス板107の上
面に原稿と感光材を重ね合わせた状態で載せ、その上を
気密シート108で覆い、透光用ガラス板107と気密
シート108との間の空間を吸引して原稿と感光材を密
着させる。この状態で、上部にハニカムボード106を
設けた光源109を点灯して平行光線を照射しながら走
行させることによって、原稿の画像が感光材に焼き付け
られる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た露光装置には、つぎのような問題点がある。 (1) 光源100を固定した前者の露光装置は、透光
用ガラス板101の全面にわたり均一な照度を得るため
に、光源100から透光用ガラス板101までの光路長
をある程度長くする必要がある。そのため、装置自体が
大きな中空構造となり、広い設置スペースが必要とな
る。また、装置が大きいので梱包や輸送等の物流面に関
しても効率の悪いものである。
【0005】(2) 光源109を走行させる後者の露
光装置は、複数個のランプを線状に並べて1つの散光面
光源が作られている。その照度分布はランプ自体の照度
ムラに左右される。特にランプ個々の初期照度のバラツ
キや、使用中の照度劣化によるランプ個々のバラツキ等
により照度分布に大きなムラが発生する。また、ハニカ
ムボード106は均一な散光面光源の中から垂直方向の
光のみを通過させるフィルタの働きをしているので、こ
のハニカムボード106により光量が低下し、露光効率
を非常に悪くしている。
【0006】また、光源ユニット105は複数のランプ
やハニカムボード106等で構成されて大型化している
ので、これを走行させるために、光源ユニット106の
駆動機構が大掛かりなものが必要になる。また、光源1
09に必要な配線や光源109の冷却装置も光源109
とともに走行させる必要があり、配線処理が複雑になる
ばかりでなく、光源109部を冷却するための排熱処理
も複雑になる。
【0007】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、均一な照度分布が得られ、かつ薄型化
させた露光装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために次のような構成をとる。すなわち、透光性
平板上に原稿と感光材とをその順に積層密着させて載置
し、前記透光性平板を介して露光用照明光を照射するこ
とにより、前記感光材に前記原稿の画像を焼き付ける露
光装置において、前記透光性平板の下方に固定配備さ
れ、前記透光性平板に略沿った線状の露光用照明光を照
射する光源ユニットと、前記光源ユニットからの照明光
を前記透光性板に向けて反射する第1ミラーおよび前記
第1ミラーで反射された照明光を前記透光性板に略沿っ
た方向に反射する第2ミラーを備えた第1ミラーユニッ
トと、前記第1ミラーユニットからの照明光を前記透光
性平板に向けて反射する第2ミラーユニットと、前記第
1ミラーユニットを前記透光性平板に略沿って走行させ
るとともに、前記第2ミラーユニットを前記第1ミラー
ユニットと同方向で、かつ、第1ミラーユニットの2倍
の速度で走行させるミラーユニット走行手段とを備えた
ものである。
【0009】
【作用】本発明の作用は次のとおりである。光源ユニッ
トから照射された線状の照明光は第1ミラーユニットの
第1ミラーおよび第2ミラーでその順に反射されて透光
性平板に沿って進む。この反射光が、さらに第2ミラー
ユニットによって透光性平板に向けて反射されることに
より、透光性平板上で原稿と密着載置されている感光材
が露光される。第1,第2ミラーユニットは、ミラーユ
ニット走行手段によって、透光性平板に沿って同方向に
移動されるとともに、第2ミラーユニットの速度が第1
ミラーユニットの2倍の速度で移動することにより、光
源から透光性平板までの光路長が一定に保たれるので、
感光材の全面が均一な光量で走査露光される。また、第
1,第2ミラーユニットで得られる照射光の光路は、透
光性平板に沿って折り返し形成されているので、比較的
長い光路長を確保しつつ、装置の薄型化が図られる。
【0010】
【実施例】次に、本発明の一実施例を図面に基づいて詳
細に説明する。図1は、本実施例に係る露光装置の全体
概略正面図であり、図2は、図1におけるA−A矢視断
面図である。まず、実施例の露光装置の概略構成を説明
する。偏平な箱状ハウジング1aの上部に原稿と感光材
とをその順に重ね合わせて載置するための透光性ガラス
板1が設けられている。このガラス板1の上部側方に原
稿と感光材とを密着させるための水平移動可能な気密シ
ートユニット2が配備されている。ハウジング1a内の
下方側部には線状の露光用照明光を水平照射する光源ユ
ニット3が設けられている。さらにハウジング1a内に
は、光源ユニット3から照射された光を2枚のミラー4
1,42で反射する第1ミラーユニット4と、第1ミラ
ーユニット4からの光をガラス板1に向けて反射する第
2ミラーユニット5とが備えられている。第1,第2ミ
ラーユニット4,5は、ミラーユニット走行機構6によ
って、ガラス板1に沿って同方向で、かつ、第2ミラー
ユニット5の速度が第1ミラーユニット4の速度の2倍
になるように水平移動される。以下、各部の構成を詳細
に説明する。
【0011】透光性ガラス板1は、その周縁部が全周に
わたり支持部材11によって支持されている。支持部材
11は、ガラス板1との気密性を高めるために、ガラス
板1の下面周縁に密着したヘラ状部分12を備えてい
る。ガラス板1と支持部材11との間には吸引溝13が
設けられている。この吸引溝13には複数個の吸気孔1
4が設けられている。吸気孔14に図示しない真空ポン
プ等が連通され、真空ポンプにより吸気孔14を介して
吸引溝13の内部が吸引される。
【0012】気密シートユニット2は、細長い『コ』の
字状のケース2a内にゴム等の柔軟な遮光性の気密シー
ト21を巻回した巻き取りローラ22を備えている。こ
の気密シート21の一端はハウジング1aの上部一端側
に連結固定されている。ケース2a内には、気密シート
21をガラス板1上に引き延ばす際に、気密シート21
を押圧するスクイジローラ23も配備されている。図示
しない駆動機構によって、気密シートユニット2を図1
の左方向へ水平移動させることにより、気密シート21
がローラ22から繰り出されてガラス板1上に引き延ば
され、図1の右方向に戻ることにより、気密シート21
がローラ22に巻き取り収納される。
【0013】光源ユニット3は、水銀ランプやメタルハ
ラインドランプ等の点状光源である光源31を備えてい
る。光源31の後部には光を集光させる反射板32が配
備されている。光源31からの光はガラスファイバ33
を介してロッドインテグレータ34に入射し、ここで線
状光に成形される。この線状光はレンズ35およびスリ
ット板36を介して、ガラス板1と略平行に水平照射さ
れる。光源ユニット3の下部には、光源31を空冷する
ための冷却ファン37が配備されている。
【0014】第1ミラーユニット4は、光源ユニット3
から水平に照射された光を上方へ反射する第1ミラー4
1と、第1ミラー41で反射された光を再び光源側へ折
り返して水平に反射する第2ミラー42と、第1ミラー
41と第2ミラー42とを支持する第1フレーム43と
を具備する。第2ミラーユニット5は、第2ミラー42
で反射された光を上方へ反射する第3ミラー51と、第
3ミラー51を支持する第2ミラーフレーム52とを具
備する。
【0015】つぎに、図2を参照して、第1ミラーユニ
ット4と第2ミラーユニット5とを移動させるミラーユ
ニット走行機構6の構成を説明する。図2に示すよう
に、矢印で示したミラーユニットの走行方向に、一対の
ガイドシャフト61が軸支され、このガイドシャフト6
1に第1ミラーユニット4と第2ミラーユニット5との
それぞれの両端が摺動自在に挿通されている。走行方向
と直交するように駆動軸62と従動軸63がそれぞれ回
動自在に軸支され、この駆動軸62の一端(図2の右上
端)に駆動モータ6aの回転軸が連動連結されている。
【0016】駆動軸62の両端部に一対の第2駆動スプ
ロケット64と、一対の第1駆動スプロケット65とが
同軸に固設されている。また、従動軸63の両端部に一
対の第2従動スプロケット66と、一対の第1従動スプ
ロケット67とが同軸に固設されている。第1駆動スプ
ロケット65と第1従動スプロケット67とに無端状の
第1チェーン68が架設され、この第1チェーン68に
第1ミラーユニット4の第1フレーム43が連結されて
いる。第2駆動スプロケット64と第2従動スプロケッ
ト66とに無端状の第2チェーン69が架設され、この
第2チェーン69に第2ミラーユニット5の第2フレー
ム52が連結されている。なお、第2ミラーユニット5
を第1ミラーユニット4の走行速度の2倍の速度で走行
させるために、第2駆動スプロケット64と第1駆動ス
プロケット65の歯数の比は、2:1に設定され、第2
従動スプロケット66と第1従動スプロケット67の歯
数の比も同様に、2:1に設定されている。
【0017】駆動モータ6aは、露光制御部8からの駆
動信号により回転速度が制御される。感光材は、その感
度に応じて、適正露光量が異なる。感光材への適正露光
量は、光源31の照度、第1,第2ミラーユニット4,
5の移動速度、走査回数の3つの要素によって決定する
ことができる。ただし、本実施例では、走査回数を1回
として、露光制御部8が、使用される感光材に応じて予
め規定された適正露光量と光源31の照度とに基づき、
第1,第2ミラーユニット4,5の移動速度、すなわち
駆動モータ6aの回転速度を制御することにより、適正
露光量になるようにしている。このように、各ミラーユ
ニット4,5の移動速度を変えることにより、露光量の
調整が容易で、かつ正確に行うことができる。
【0018】以下、本実施例装置を用いた露光動作につ
いて説明する。 (1) 原稿と感光材とを重ね合わせて透光性ガラス板
1の上に載置し、気密シートユニット2の図示しない駆
動モータを駆動させる。気密シートユニット2が移動さ
れることにより、気密シート21が原稿と感光材との上
に引き延ばされ、スクイジローラ23により気密シート
21と透光ガラス板1との間の空気がしごかれながら真
空排気される。これにより、透光ガラス板1と気密シー
ト21との間で原稿と感光材が密着される。
【0019】(2) 露光量等の露光条件を、図示しな
い入力装置へ入力することにより、露光制御部8が適正
露光量に応じて駆動モータ6aの回転速度を設定する。
【0020】(3) 以上のセッティングが完了する
と、露光が開始される。すなわち、光源31が点灯され
るとともに、駆動モータ6aが駆動されることにより、
第1,第2ミラーユニット4,5がガラス板1に沿って
同方向に水平移動される。これにより、光源ユニット3
から照射された線状光が、第1ミラーユニット4のミラ
ー41,42で順に反射され、さらに第2ミラーユニッ
ト5のミーラ51で反射されることにより、ガラス板1
を介して感光材が線状光により走査露光される。このと
き、光源ユニット3から感光材に至る光路長は、各ミラ
ーユニット4,5で折り曲げ形成されているので比較的
長く、しかも、第2ミラーユニット5は第1ミラーユニ
ット4に対して2倍の速度で移動するので、前記光路長
は走査域全体にわたって一定になる。その結果、走査域
全体にわたって均一な照度分布を得ることができる。
【0021】(4) 焼き付けが終わると、気密シート
ユニット2を図1の右方向へ移動させることにより、気
密シート21が巻き取りローラ22に巻回され、巻き取
られる。そして、ガラス板1上から露光済みの原稿と感
光材とを取り出し、次の原稿と感光材とを載置すること
が可能になる。
【0022】なお、上記実施例では、光源に水銀ランプ
等の点状光源を用いたが、本発明はこれに限定されるも
のではなく、例えば、蛍光灯等の管状光源とし、ガラス
ファイバ33やロッドインテグレータ34を削除しても
よい。
【0023】また、ミラーユニットの駆動機構にスプロ
ケットやチェーンを用いたが、これに限定されるもので
はなく、第2ミラーユニット5を第1ミラーユニット4
の走行速度の2倍の速度で走行させる機構であれば、例
えば、プーリーとワイヤー等を用いたものでもよい。
【0024】さらに、上記実施例では、第1ミラーユニ
ット4と第2ミラーユニット5とを光源ユニット3に近
づける方向に走行させながら焼き付けを行う場合につい
て説明したが、これとは逆に、第1ミラーユニット4と
第2ミラーユニット5とを光源ユニット3から遠ざける
方向に走行させながら焼き付けを行う構成としてもよ
い。
【0025】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の露光装置によれば、次のような効果がある。 (1) 光源ユニットからの線状光を第1,第2ミラー
ユニットで水平に折り返して感光材を走査露光している
ので、比較的長い光路長を、光源から透光性平板までの
狭い空間内に実現することができる。結果、装置全体を
薄く構成することができる。
【0026】(2) 上述したように光路長が長く、し
かも、第2ミラーユニットが第1ミラーユニットに対し
て2倍の速度で移動するので、光路長が走査域全体にわ
たって一定となり、走査域全体にわたって均一な照度分
布を得ることができる。
【0027】(3) 光源ユニットが装置に固定配備さ
れるので、光源に必要な配線の処理が容易で、しかも、
光源部の近辺にファン等を配備するだけで容易に光源部
の排熱処理ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例に係る露光装置の全体概略正
面図である。
【図2】図1におけるA−A矢視断面図である。
【図3】従来装置の全体概略正面図である。
【図4】別の従来装置の全体概略正面図である。
【符号の説明】
1 … 透光性ガラス板 2 … 気密シートユニット 3 … 光源ユニット 4 … 第1ミラーユニット 5 … 第2ミラーユニット 6 … ミラーユニット走行機構 8 … 露光制御部

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 透光性平板上に原稿と感光材とをその順
    に積層密着させて載置し、前記透光性平板を介して露光
    用照明光を照射することにより、前記感光材に前記原稿
    の画像を焼き付ける露光装置において、 前記透光性平板の下方に固定配備され、前記透光性平板
    に略沿った線状の露光用照明光を照射する光源ユニット
    と、 前記光源ユニットからの照明光を前記透光性板に向けて
    反射する第1ミラーおよび前記第1ミラーで反射された
    照明光を前記透光性板に略沿った方向に反射する第2ミ
    ラーを備えた第1ミラーユニットと、 前記第1ミラーユニットからの照明光を前記透光性平板
    に向けて反射する第2ミラーユニットと、 前記第1ミラーユニットを前記透光性平板に略沿って走
    行させるとともに、前記第2ミラーユニットを前記第1
    ミラーユニットと同方向で、かつ、第1ミラーユニット
    の2倍の速度で走行させるミラーユニット走行手段と、 を備えたことを特徴とする露光装置。
JP34802693A 1993-12-24 1993-12-24 露光装置 Pending JPH07191408A (ja)

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JP34802693A JPH07191408A (ja) 1993-12-24 1993-12-24 露光装置

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JP34802693A JPH07191408A (ja) 1993-12-24 1993-12-24 露光装置

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JPH07191408A true JPH07191408A (ja) 1995-07-28

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JP34802693A Pending JPH07191408A (ja) 1993-12-24 1993-12-24 露光装置

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