JPH07191306A - 液晶表示装置 - Google Patents
液晶表示装置Info
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- JPH07191306A JPH07191306A JP34690093A JP34690093A JPH07191306A JP H07191306 A JPH07191306 A JP H07191306A JP 34690093 A JP34690093 A JP 34690093A JP 34690093 A JP34690093 A JP 34690093A JP H07191306 A JPH07191306 A JP H07191306A
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- Japan
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- transparent
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- layer
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 液晶セルの変形を防止して、均一なセルギャ
ップを保ち、画像劣化を防止する。 【構成】 単結晶Ｓｉを用いた液晶駆動素子基板１の裏
面のくり抜き部に、両面に電極９、９’を設けた圧電フ
ィルム８を接着し、くり抜き部に透明充填材１０を充填
して透明封止基板３及び弾性封止材１１で封止してなる
液晶パネルにおいて、液晶セルの変形量に応じて圧電フ
ィルムに生じる起電力により該変形量を検知し、本体部
品１４に設けた締付リング１３を調整することにより押
え環１２から枠材１５への圧力を調整し、液晶セルに生
じた変形を矯正する液晶表示装置。
ップを保ち、画像劣化を防止する。 【構成】 単結晶Ｓｉを用いた液晶駆動素子基板１の裏
面のくり抜き部に、両面に電極９、９’を設けた圧電フ
ィルム８を接着し、くり抜き部に透明充填材１０を充填
して透明封止基板３及び弾性封止材１１で封止してなる
液晶パネルにおいて、液晶セルの変形量に応じて圧電フ
ィルムに生じる起電力により該変形量を検知し、本体部
品１４に設けた締付リング１３を調整することにより押
え環１２から枠材１５への圧力を調整し、液晶セルに生
じた変形を矯正する液晶表示装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、テレビジョンやビデオ
カメラのビュウファインダー等に用いられる液晶表示装
置に関する。
カメラのビュウファインダー等に用いられる液晶表示装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】現在、液晶表示装置においては、高精細
な表示を行なうためアクティブマトリクス駆動方式が広
く用いられている。また、液晶表示装置には反射型と透
過型が有るが、いずれも光が画像表示部を透過しうるこ
とが必須条件であるため、駆動回路基板としては一般に
石英基板が用いられ、該基板上に多結晶Ｓｉ層を形成し
て駆動素子を構成していた。
な表示を行なうためアクティブマトリクス駆動方式が広
く用いられている。また、液晶表示装置には反射型と透
過型が有るが、いずれも光が画像表示部を透過しうるこ
とが必須条件であるため、駆動回路基板としては一般に
石英基板が用いられ、該基板上に多結晶Ｓｉ層を形成し
て駆動素子を構成していた。
【０００３】しかしながら、液晶ビューアー等へのより
高品質な画像要求に応じて画面を高精細化し、高速駆動
するためには、多結晶Ｓｉからなる素子では限界があ
り、単結晶Ｓｉからなる素子を搭載した液晶表示装置が
提案されている。
高品質な画像要求に応じて画面を高精細化し、高速駆動
するためには、多結晶Ｓｉからなる素子では限界があ
り、単結晶Ｓｉからなる素子を搭載した液晶表示装置が
提案されている。
【０００４】単結晶Ｓｉからなる駆動回路を構成するに
は、半導体又は導電体基板上に絶縁層を介して単結晶Ｓ
ｉ薄膜が形成される。上記半導体や導電体からなる基板
は不透明であるから、画像表示部のみ該基板をくり抜き
除去して透明化している。基板を除去した画像表示部は
薄膜化しており、物理的強度が低いため、透明充填材を
上記くり抜き部に充填して補強しているが、さらに該透
明充填材表面を液晶セルを構成する基板とは異なる第３
の透明封止基板にて封止及び補強する手段も開示されて
いる。
は、半導体又は導電体基板上に絶縁層を介して単結晶Ｓ
ｉ薄膜が形成される。上記半導体や導電体からなる基板
は不透明であるから、画像表示部のみ該基板をくり抜き
除去して透明化している。基板を除去した画像表示部は
薄膜化しており、物理的強度が低いため、透明充填材を
上記くり抜き部に充填して補強しているが、さらに該透
明充填材表面を液晶セルを構成する基板とは異なる第３
の透明封止基板にて封止及び補強する手段も開示されて
いる。
【０００５】またさらに、液晶パネルの使用環境変化等
による影響で周囲構成部材から上記表示部に変形力が加
わった場合に、液晶層のギャップ変化や駆動素子の変形
による画質劣化を防止するために、充填材の熱膨張率を
上記透明封止基板のシール部材とほぼ等しくしたり、或
いは充填材の体積変化を吸収するための領域を画像表示
部外に設けるなどして温度、圧力等の環境変化に耐久性
を付与する手段も提案されている。
による影響で周囲構成部材から上記表示部に変形力が加
わった場合に、液晶層のギャップ変化や駆動素子の変形
による画質劣化を防止するために、充填材の熱膨張率を
上記透明封止基板のシール部材とほぼ等しくしたり、或
いは充填材の体積変化を吸収するための領域を画像表示
部外に設けるなどして温度、圧力等の環境変化に耐久性
を付与する手段も提案されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記提
案されている手段では、環境変化に応じた充填材の体積
変化による表示部の変形防止は可能であるが、例えば表
示部の反対面に接する液晶層やその他のパネル構成部材
のアセンブリ全体から生じる表示部変形力に対しては効
果がなく、画質劣化防止手段としては限界がある。ま
た、例えば環境変化による充填材体積変化の吸収領域を
画像表示部外に設置する手段では、パネルユニット部が
大型化してしまい、ビューファインダー等小型化が必須
な液晶表示装置に対しては適用できないという問題があ
った。
案されている手段では、環境変化に応じた充填材の体積
変化による表示部の変形防止は可能であるが、例えば表
示部の反対面に接する液晶層やその他のパネル構成部材
のアセンブリ全体から生じる表示部変形力に対しては効
果がなく、画質劣化防止手段としては限界がある。ま
た、例えば環境変化による充填材体積変化の吸収領域を
画像表示部外に設置する手段では、パネルユニット部が
大型化してしまい、ビューファインダー等小型化が必須
な液晶表示装置に対しては適用できないという問題があ
った。
【０００７】本発明の目的は上記問題点に鑑み、液晶表
示部の変形を防止して安定した表示特性を実現すること
にある。
示部の変形を防止して安定した表示特性を実現すること
にある。
【０００８】
【課題を解決するための手段及び作用】本発明は、不透
明基板上に透明絶縁層を介して液晶駆動素子層を有する
液晶駆動素子基板と、透明基板上に透明電極を有する透
明対向基板との間に液晶を挟持してなる液晶パネルの、
表示領域に相当する上記不透明基板を上記透明絶縁層ま
でくり抜き、該くり抜き部に変形可能な透明充填材を配
して透明封止基板で封止してなる液晶表示装置におい
て、上記くり抜き部に露出した透明絶縁層に一対の透明
電極で挟持した可視光透過性の圧電フィルムを設置し、
液晶駆動素子層の変形量に応じて透明封止基板を表示面
に対して垂直方向に移動させる機構を設けたことを特徴
とする液晶表示装置である。
明基板上に透明絶縁層を介して液晶駆動素子層を有する
液晶駆動素子基板と、透明基板上に透明電極を有する透
明対向基板との間に液晶を挟持してなる液晶パネルの、
表示領域に相当する上記不透明基板を上記透明絶縁層ま
でくり抜き、該くり抜き部に変形可能な透明充填材を配
して透明封止基板で封止してなる液晶表示装置におい
て、上記くり抜き部に露出した透明絶縁層に一対の透明
電極で挟持した可視光透過性の圧電フィルムを設置し、
液晶駆動素子層の変形量に応じて透明封止基板を表示面
に対して垂直方向に移動させる機構を設けたことを特徴
とする液晶表示装置である。
【０００９】また本発明は、不透明基板上に透明絶縁層
を介して液晶駆動素子層を有する液晶駆動素子基板と、
透明基板上に透明電極を有する透明対向基板との間に液
晶を挟持してなる液晶パネルの、表示領域に相当する上
記不透明基板を上記透明絶縁層までくり抜き、該くり抜
き部に相当する形状に形成した透明封止基板を積畳して
なる液晶表示装置において、上記くり抜き部に露出した
透明絶縁層に一対の透明電極で挟持した可視光透過性の
圧電フィルムを設置し、液晶駆動素子層の変形量に応じ
て透明封止基板を表示面に対して垂直方向に移動させる
機構を設けたことを特徴とする液晶表示装置である。
を介して液晶駆動素子層を有する液晶駆動素子基板と、
透明基板上に透明電極を有する透明対向基板との間に液
晶を挟持してなる液晶パネルの、表示領域に相当する上
記不透明基板を上記透明絶縁層までくり抜き、該くり抜
き部に相当する形状に形成した透明封止基板を積畳して
なる液晶表示装置において、上記くり抜き部に露出した
透明絶縁層に一対の透明電極で挟持した可視光透過性の
圧電フィルムを設置し、液晶駆動素子層の変形量に応じ
て透明封止基板を表示面に対して垂直方向に移動させる
機構を設けたことを特徴とする液晶表示装置である。
【００１０】本発明は、前記単結晶Ｓｉからなる駆動素
子を搭載した液晶表示装置において優れた効果を奏する
が、単結晶Ｓｉを用いた液晶表示装置に限らず、従来の
多結晶ＳｉやアモルファスＳｉ或いは他の半導体を用い
た液晶表示装置においても本発明を利用することができ
る。
子を搭載した液晶表示装置において優れた効果を奏する
が、単結晶Ｓｉを用いた液晶表示装置に限らず、従来の
多結晶ＳｉやアモルファスＳｉ或いは他の半導体を用い
た液晶表示装置においても本発明を利用することができ
る。
【００１１】本発明は、液晶駆動素子基板側に配置した
圧電フィルムが、表示部の変形に伴って変形する事で該
変形量に応じた電気信号を発生し、該信号の大小に応じ
て表示部保護用の透明封止基板を了め別個に設けた移動
機構を用いて表示パネル面に垂直方向に移動させること
により、該透明封止基板と液晶駆動素子基板との間に位
置する透明充填材を介して上記変形を矯正することで適
正な液晶層厚を維持し、環境変化による画質劣化を防止
するものである。
圧電フィルムが、表示部の変形に伴って変形する事で該
変形量に応じた電気信号を発生し、該信号の大小に応じ
て表示部保護用の透明封止基板を了め別個に設けた移動
機構を用いて表示パネル面に垂直方向に移動させること
により、該透明封止基板と液晶駆動素子基板との間に位
置する透明充填材を介して上記変形を矯正することで適
正な液晶層厚を維持し、環境変化による画質劣化を防止
するものである。
【００１２】
（実施例１）図１に本発明第１の実施例の概略断面図を
示す。同図において１はＳｉ基板でその液晶層に対向す
る表面に絶縁層７、さらにその上に液晶駆動素子層６及
び配向層（不図示）が設置されている。２は透明対向基
板であり、その液晶層対向側表面には画素分割用のブラ
ックマトリクス層（不図示）、共通透明電極（不図
示）、配向層（不図示）等が設けられ、Ｓｉ基板１及び
透明対向基板２の間に液晶４が挟持され、シール材５に
より封止され液晶セルが構成されている。３はＳｉ基板
１のくり抜き部に充填された透明充填材１０を弾性封止
材１１により封止した透明封止基板であり、８はＳｉ基
板１のくり抜き側表面に接着等の手段により設置された
透明圧電フィルムで、その表面には圧電フィルム変形時
に発生する電流を集めるための電極９、９’を有する。
１５は液晶セルを表示装置本体部品に組み込む時の押え
枠で表示開口部を有しており、透明封止基板３の一方の
表面に接して配置されている。
示す。同図において１はＳｉ基板でその液晶層に対向す
る表面に絶縁層７、さらにその上に液晶駆動素子層６及
び配向層（不図示）が設置されている。２は透明対向基
板であり、その液晶層対向側表面には画素分割用のブラ
ックマトリクス層（不図示）、共通透明電極（不図
示）、配向層（不図示）等が設けられ、Ｓｉ基板１及び
透明対向基板２の間に液晶４が挟持され、シール材５に
より封止され液晶セルが構成されている。３はＳｉ基板
１のくり抜き部に充填された透明充填材１０を弾性封止
材１１により封止した透明封止基板であり、８はＳｉ基
板１のくり抜き側表面に接着等の手段により設置された
透明圧電フィルムで、その表面には圧電フィルム変形時
に発生する電流を集めるための電極９、９’を有する。
１５は液晶セルを表示装置本体部品に組み込む時の押え
枠で表示開口部を有しており、透明封止基板３の一方の
表面に接して配置されている。
【００１３】１２は表示部の変形量に応じて液晶セルを
パネル面に垂直方向に微動させるための押え環で、外周
部にネジ溝が切ってあり、パネル組み込み本体部品１４
の締付リング部品１３を回転することで枠材１５を移動
させる機構となっている。１６は液晶セルの透明対向基
板２を表示有効部外周で固定する本体部品１４の突起部
で、押え環１２を締付リング１３を回転させて移動させ
た時に表示部の変形を矯正するような液晶セルの固定枠
となっている。
パネル面に垂直方向に微動させるための押え環で、外周
部にネジ溝が切ってあり、パネル組み込み本体部品１４
の締付リング部品１３を回転することで枠材１５を移動
させる機構となっている。１６は液晶セルの透明対向基
板２を表示有効部外周で固定する本体部品１４の突起部
で、押え環１２を締付リング１３を回転させて移動させ
た時に表示部の変形を矯正するような液晶セルの固定枠
となっている。
【００１４】ここで、液晶駆動素子層６は画素部には画
素電極、該画素電極へ信号を印加するための薄膜トラン
ジスタ（ＴＦＴ）、該ＴＦＴへ信号を送る信号線、ＴＦ
Ｔ駆動用駆動線、画素ＴＦＴを駆動する水平及び垂直シ
フトレジスタからなる。
素電極、該画素電極へ信号を印加するための薄膜トラン
ジスタ（ＴＦＴ）、該ＴＦＴへ信号を送る信号線、ＴＦ
Ｔ駆動用駆動線、画素ＴＦＴを駆動する水平及び垂直シ
フトレジスタからなる。
【００１５】液晶駆動素子層６は図４に示す方法により
製造された単結晶Ｓｉ層により形成される。該単結晶Ｓ
ｉ層は経済性に優れ、大面積に渡り欠陥が著しく少な
く、均一で平坦な極めて優れた結晶性を有している。従
って該単結晶Ｓｉ層により構成した半導体アクティブ素
子は浮遊容量が低減し、高速動作が可能でラッチアップ
現象がなく、耐放射線性に優れ、駆動回路を表示画素と
同一基板上に集積した高性能な液晶表示装置が提供でき
る。以下に図４に従って、本発明に係る単結晶Ｓｉ層の
製造方法の一例を説明する。
製造された単結晶Ｓｉ層により形成される。該単結晶Ｓ
ｉ層は経済性に優れ、大面積に渡り欠陥が著しく少な
く、均一で平坦な極めて優れた結晶性を有している。従
って該単結晶Ｓｉ層により構成した半導体アクティブ素
子は浮遊容量が低減し、高速動作が可能でラッチアップ
現象がなく、耐放射線性に優れ、駆動回路を表示画素と
同一基板上に集積した高性能な液晶表示装置が提供でき
る。以下に図４に従って、本発明に係る単結晶Ｓｉ層の
製造方法の一例を説明する。
【００１６】先ず３００μｍの厚みを持ったＰ型（１０
０）単結晶Ｓｉ基板にＨＦ溶液中において陽極化成処理
を施し、多孔質Ｓｉ基板１０１を形成した。陽極化成処
理条件は以下の通りであった。
０）単結晶Ｓｉ基板にＨＦ溶液中において陽極化成処理
を施し、多孔質Ｓｉ基板１０１を形成した。陽極化成処
理条件は以下の通りであった。
【００１７】印加電圧： ２．６Ｖ 電流密度： ３０ｍＡ・ｃｍ-2 陽極化成溶液： ＨＦ：Ｈ2 Ｏ：Ｃ2 Ｈ5 ＯＨ＝１：
１：１ 時間： ２．４時間 多孔質Ｓｉの厚み： ３００μｍ Ｐｏｒｏｓｉｔｙ： ５６％ こうして得られたＰ型（１００）多孔質Ｓｉ基板１０１
上に減圧ＣＶＤ法によりＳｉエピタキシャル層１０２を
１．０μｍの層厚で成長させる。堆積条件は以下の通り
である。
１：１ 時間： ２．４時間 多孔質Ｓｉの厚み： ３００μｍ Ｐｏｒｏｓｉｔｙ： ５６％ こうして得られたＰ型（１００）多孔質Ｓｉ基板１０１
上に減圧ＣＶＤ法によりＳｉエピタキシャル層１０２を
１．０μｍの層厚で成長させる。堆積条件は以下の通り
である。
【００１８】ソースガス： Ｈ2ＳｉＣｌ2 キャリアガス： Ｈ2 温度： ８５０℃ 圧力： １×１０-2Ｔｏｒｒ 成長速度： ３．３ｎｍ／ｓｅｃ 次にこのエピタキシャル層１０２の表面に１０００Åの
ＳｉＯ2 層１０３を形成し（ａ）プライムウエハーを作
成する。そして、表面に５０００ÅのＳｉＯ2層１０
４、１０００ÅのＳｉ3 Ｎ4 層１０５を形成したもう一
方のＳｉ基板１０７を重ね合わせ、窒素雰囲気中で８０
０℃、０．５時間加熱することにより、２つのＳｉ基板
を強固に貼り合わせた（ｂ）。
ＳｉＯ2 層１０３を形成し（ａ）プライムウエハーを作
成する。そして、表面に５０００ÅのＳｉＯ2層１０
４、１０００ÅのＳｉ3 Ｎ4 層１０５を形成したもう一
方のＳｉ基板１０７を重ね合わせ、窒素雰囲気中で８０
０℃、０．５時間加熱することにより、２つのＳｉ基板
を強固に貼り合わせた（ｂ）。
【００１９】その後、貼り合わせ基板を４９％弗酸とア
ルコール、３０％過酸化水素水との混合液（１０：６：
５０）中で攪拌することなく選択エッチングした。６５
分後には図４（ｃ）に示すように、単結晶Ｓｉをエッチ
ング・ストップ材として、多孔質Ｓｉ基板１０１は選択
エッチングされ、完全に除去された。
ルコール、３０％過酸化水素水との混合液（１０：６：
５０）中で攪拌することなく選択エッチングした。６５
分後には図４（ｃ）に示すように、単結晶Ｓｉをエッチ
ング・ストップ材として、多孔質Ｓｉ基板１０１は選択
エッチングされ、完全に除去された。
【００２０】非多孔質単結晶Ｓｉの上記エッチング液に
対するエッチング速度は極めて低く、６５分後でもエッ
チング深さは５０Å以下であり、多孔質層のエッチング
速度との選択比は１０5 にも達し、非多孔質層における
エッチング量（数十Å）は実用上無視できる程度のもの
である。
対するエッチング速度は極めて低く、６５分後でもエッ
チング深さは５０Å以下であり、多孔質層のエッチング
速度との選択比は１０5 にも達し、非多孔質層における
エッチング量（数十Å）は実用上無視できる程度のもの
である。
【００２１】このように、３００μｍの厚みを持った多
孔質化Ｓｉ基板１０１は除去され、ＳｉＯ2 層１０３上
に１．０μｍの厚みを有する単結晶Ｓｉ層１０２が形成
される。
孔質化Ｓｉ基板１０１は除去され、ＳｉＯ2 層１０３上
に１．０μｍの厚みを有する単結晶Ｓｉ層１０２が形成
される。
【００２２】上記単結晶Ｓｉ層１０２にＴＦＴを形成
し、図１の液晶駆動素子層６を構成するが、液晶駆動素
子層６はＳｉ基板１（図４のＳｉ基板１０７に相当）上
に形成されるため、可視光不透明である。そこで次に可
視光透過可能にするために、表示開口部をエッチングに
よってくり抜く。
し、図１の液晶駆動素子層６を構成するが、液晶駆動素
子層６はＳｉ基板１（図４のＳｉ基板１０７に相当）上
に形成されるため、可視光不透明である。そこで次に可
視光透過可能にするために、表示開口部をエッチングに
よってくり抜く。
【００２３】エッチング液としてはテトラメチルアンモ
ニウムハイドライド（ＴＭＡＨ）水溶液を用いた。エッ
チング条件はＴＭＡＨ２２％水溶液、９０℃、１０時間
である。尚、Ｓｉ基板１としてＳｉ基板上に薄いＳｉＯ
2層及びＳｉ3Ｎ4層からなる積層部を有し、さらにその
上部に単結晶Ｓｉ層が重なった構造（ＳＯＩ構造）のＳ
ｉ基板を用いると、ＳｉＯ2層がエッチングストップ層
となり、なをかつ、エッチングによりメンブレン構造を
とる際にＳｉ3Ｎ4層による応力緩和効果が得られ、メン
ブレン変形を減少出来るので望ましい。（但し、絶縁層
７及び液晶素子駆動層６の応力が比較的小さい場合に
は、図４のＳｉ3Ｎ4層１０５を省いた構造でも良い。）
ここでエッチング液としてＫＯＨ等ＳｉとＳｉＯ2 との
選択比が十分とれるものであれば特に限定されない。
ニウムハイドライド（ＴＭＡＨ）水溶液を用いた。エッ
チング条件はＴＭＡＨ２２％水溶液、９０℃、１０時間
である。尚、Ｓｉ基板１としてＳｉ基板上に薄いＳｉＯ
2層及びＳｉ3Ｎ4層からなる積層部を有し、さらにその
上部に単結晶Ｓｉ層が重なった構造（ＳＯＩ構造）のＳ
ｉ基板を用いると、ＳｉＯ2層がエッチングストップ層
となり、なをかつ、エッチングによりメンブレン構造を
とる際にＳｉ3Ｎ4層による応力緩和効果が得られ、メン
ブレン変形を減少出来るので望ましい。（但し、絶縁層
７及び液晶素子駆動層６の応力が比較的小さい場合に
は、図４のＳｉ3Ｎ4層１０５を省いた構造でも良い。）
ここでエッチング液としてＫＯＨ等ＳｉとＳｉＯ2 との
選択比が十分とれるものであれば特に限定されない。
【００２４】次にＳｉ基板くり抜き部側表示部表面への
透明圧電フィルムの固定方法について説明する。露出し
た表示部のほぼ全面積に相当する大きさに切断した両面
にＩＴＯが被覆してあるポリフッ化ビニリデンのフィル
ムを透明紫外線硬化型接着剤（商品名：スリーボンドＴ
Ｂ３０２１）にて常温で６０秒間ＵＶ照射して接着し
た。また、Ｓｉ基板くり抜き空間への透明充填材の注入
方法は、シリコーン系弾性接着剤を、Ｓｉ基板１の非く
り抜き部の土手上に、ディスペンサーにて所定の充填領
域形状に封口部を残して吐出した後、透明封止基板３を
液晶セルに平行になるように位置出しをしながら貼り合
わせ、上記接着剤を硬化させて充填領域を形成する。次
に予め十分真空脱泡したポリエチレングリコールを注入
口より注入し、注入口をアセトンにて良く拭いて脱脂し
た後、ＵＶ硬化型弾性接着剤（商品名：スリーボンド３
０８０，スリーボンド３０８１）にて封口した。
透明圧電フィルムの固定方法について説明する。露出し
た表示部のほぼ全面積に相当する大きさに切断した両面
にＩＴＯが被覆してあるポリフッ化ビニリデンのフィル
ムを透明紫外線硬化型接着剤（商品名：スリーボンドＴ
Ｂ３０２１）にて常温で６０秒間ＵＶ照射して接着し
た。また、Ｓｉ基板くり抜き空間への透明充填材の注入
方法は、シリコーン系弾性接着剤を、Ｓｉ基板１の非く
り抜き部の土手上に、ディスペンサーにて所定の充填領
域形状に封口部を残して吐出した後、透明封止基板３を
液晶セルに平行になるように位置出しをしながら貼り合
わせ、上記接着剤を硬化させて充填領域を形成する。次
に予め十分真空脱泡したポリエチレングリコールを注入
口より注入し、注入口をアセトンにて良く拭いて脱脂し
た後、ＵＶ硬化型弾性接着剤（商品名：スリーボンド３
０８０，スリーボンド３０８１）にて封口した。
【００２５】本実施例で用いた透明圧電フィルムの他、
例えばポリフッ化ビニルフィルムなどの透明圧電フィル
ムも適用可能であり、また、単層のみでなく複数層から
なる積層フィルムも用いることができる。また、充填領
域部の作製方法としては、上記ディスペンサー方式以外
にも、印刷等により行なうことができる。
例えばポリフッ化ビニルフィルムなどの透明圧電フィル
ムも適用可能であり、また、単層のみでなく複数層から
なる積層フィルムも用いることができる。また、充填領
域部の作製方法としては、上記ディスペンサー方式以外
にも、印刷等により行なうことができる。
【００２６】また、Ｓｉ基板１のくり抜き部へ注入する
透明充填材１０としては、可視光透過性の固体、液体、
気体のいずれもが使用可能であり、固体の場合は例えば
ガラス、ＰＭＭＡ、ＰＣ、シリコーンレジン、フッ素レ
ジン、その他注型性、成形性を有する透明材料を用いる
ことができる。透明充填材が液体の場合には、前記ポリ
エチレングリコールの他、グリセリン等の多価アルコー
ル類、シリコーンオイル、フッ素系オイル、液晶材料等
の透明液体が使用可能であり、気体の場合には乾燥した
大気、Ｎ2 、Ｏ2 ガス等の他、Ｈｅ、Ａｒ等の不活性気
体が使用可能である。
透明充填材１０としては、可視光透過性の固体、液体、
気体のいずれもが使用可能であり、固体の場合は例えば
ガラス、ＰＭＭＡ、ＰＣ、シリコーンレジン、フッ素レ
ジン、その他注型性、成形性を有する透明材料を用いる
ことができる。透明充填材が液体の場合には、前記ポリ
エチレングリコールの他、グリセリン等の多価アルコー
ル類、シリコーンオイル、フッ素系オイル、液晶材料等
の透明液体が使用可能であり、気体の場合には乾燥した
大気、Ｎ2 、Ｏ2 ガス等の他、Ｈｅ、Ａｒ等の不活性気
体が使用可能である。
【００２７】次に透明充填材１０を封止する透明封止基
板３においては、可視光透過性のガラス、プラスチッ
ク、無機塩類結晶体（例えばＮａＣｌ）等の剛性体が適
用可能である。また、弾性封止材１１及び接着剤として
は上記シリコーン系弾性接着剤及びＵＶ硬化型弾性接着
剤の他、変形可能なあらゆる素材が適用可能である。
板３においては、可視光透過性のガラス、プラスチッ
ク、無機塩類結晶体（例えばＮａＣｌ）等の剛性体が適
用可能である。また、弾性封止材１１及び接着剤として
は上記シリコーン系弾性接着剤及びＵＶ硬化型弾性接着
剤の他、変形可能なあらゆる素材が適用可能である。
【００２８】次に透明封止基板３の移動方法は、手動の
鏡筒締付リング方式以外も超音波モータ、ボールネジ、
カム等による自動駆動の他、あらゆる移動機構を用いる
ことができる。
鏡筒締付リング方式以外も超音波モータ、ボールネジ、
カム等による自動駆動の他、あらゆる移動機構を用いる
ことができる。
【００２９】本実施例の液晶表示装置において、周囲温
度、圧力変化等により表示部が変形した場合には、表示
部に固定してある圧電フィルム８が変形してその変形量
に応じた起電流が発生する。該電流は圧電フィルム８上
の電極９、９’を通って電流計（不図示）に集められ、
電流の大小が信号化され、ビジュアルな形で表示装置内
の何れか（不図示）に表示されるように作用する。
度、圧力変化等により表示部が変形した場合には、表示
部に固定してある圧電フィルム８が変形してその変形量
に応じた起電流が発生する。該電流は圧電フィルム８上
の電極９、９’を通って電流計（不図示）に集められ、
電流の大小が信号化され、ビジュアルな形で表示装置内
の何れか（不図示）に表示されるように作用する。
【００３０】観察者は上記のようにして表示された表示
部変形情報に応じた角度だけ締付リング１３を手動で回
転させ、押え環１２を所定の距離移動させて枠材１５の
透明封止基板３への押し当て又は引き離しの圧力を加減
することにより、表示部変形を矯正して液晶セルギャッ
プ変化を元に戻すことにより画質劣化を防止できる。
部変形情報に応じた角度だけ締付リング１３を手動で回
転させ、押え環１２を所定の距離移動させて枠材１５の
透明封止基板３への押し当て又は引き離しの圧力を加減
することにより、表示部変形を矯正して液晶セルギャッ
プ変化を元に戻すことにより画質劣化を防止できる。
【００３１】本発明の液晶表示装置は、液晶駆動素子層
６に作り込まれた液晶駆動素子によって開口部（表示
部）の液晶を駆動し、表示を行なう。液晶セルのシール
材５によて規定された透明対向基板２と液晶駆動素子層
６との隔たり（セルギャップ）は光の透過率、及び画質
に影響を与えるため、全面に均一な表示を行なうために
は、表示部全面においてセルギャップが均一であること
が必要である。
６に作り込まれた液晶駆動素子によって開口部（表示
部）の液晶を駆動し、表示を行なう。液晶セルのシール
材５によて規定された透明対向基板２と液晶駆動素子層
６との隔たり（セルギャップ）は光の透過率、及び画質
に影響を与えるため、全面に均一な表示を行なうために
は、表示部全面においてセルギャップが均一であること
が必要である。
【００３２】本実施例において液晶駆動素子層６の厚さ
は表示部の大きさに対して１／１０００以下と非常に薄
く、変形し易く、さらには割れ易い。そのため本発明に
示すような液晶駆動素子層６の補強及び変形、矯正を行
なう構造の液晶表示装置では、耐久性、信頼性が向上す
るばかりでなく、画質の向上が図れる。
は表示部の大きさに対して１／１０００以下と非常に薄
く、変形し易く、さらには割れ易い。そのため本発明に
示すような液晶駆動素子層６の補強及び変形、矯正を行
なう構造の液晶表示装置では、耐久性、信頼性が向上す
るばかりでなく、画質の向上が図れる。
【００３３】（実施例２）本発明第２の実施例を図２に
示す。本実施例の特徴は、表示部の変形量に応じて透明
封止基板３を垂直方向に微動させるための押え環１２’
を締付リング１３’のネジ溝に組み合わせて回転させる
動作を、表示部変形信号量に従って、押え環１２’に接
触している超音波モータのステータ部品１７を変形駆動
させることで行なう構成と、Ｓｉ基板１のくり抜き部の
透明充填材１０の外部シールをポリエチレンフィルム成
形蛇腹部品１８をＳｉ基板１の外周端部と透明封止基板
３の外周端部にエポキシ系接着剤にて固定した構成にし
たものである。当該特徴以外の構成は実施例１と同様で
あり、本実施例においても実施例１同様に、耐久性、信
頼性が高く、画質が向上する。
示す。本実施例の特徴は、表示部の変形量に応じて透明
封止基板３を垂直方向に微動させるための押え環１２’
を締付リング１３’のネジ溝に組み合わせて回転させる
動作を、表示部変形信号量に従って、押え環１２’に接
触している超音波モータのステータ部品１７を変形駆動
させることで行なう構成と、Ｓｉ基板１のくり抜き部の
透明充填材１０の外部シールをポリエチレンフィルム成
形蛇腹部品１８をＳｉ基板１の外周端部と透明封止基板
３の外周端部にエポキシ系接着剤にて固定した構成にし
たものである。当該特徴以外の構成は実施例１と同様で
あり、本実施例においても実施例１同様に、耐久性、信
頼性が高く、画質が向上する。
【００３４】（実施例３）本発明第３の実施例を図３に
示す。本実施例の特徴は、Ｓｉ基板１のくり抜き形状に
透明封止基板３’を形成して透明充填材を兼ねたもので
あり、表示部変形の矯正を透明封止基板２３を直接表示
部に押し当てて行なうようにしたものである。
示す。本実施例の特徴は、Ｓｉ基板１のくり抜き形状に
透明封止基板３’を形成して透明充填材を兼ねたもので
あり、表示部変形の矯正を透明封止基板２３を直接表示
部に押し当てて行なうようにしたものである。
【００３５】
【発明の効果】以上説明したように本発明の液晶表示装
置においては、圧電フィルムを用いて表示部に生じた変
形を矯正することにより、液晶セルに加わる変形力が常
に解消され、装置としての耐久性、信頼性が向上し、さ
らにセルギャップが常に一定に保たれるため、画質も向
上し、小型で高画質な液晶表示装置が実現する。
置においては、圧電フィルムを用いて表示部に生じた変
形を矯正することにより、液晶セルに加わる変形力が常
に解消され、装置としての耐久性、信頼性が向上し、さ
らにセルギャップが常に一定に保たれるため、画質も向
上し、小型で高画質な液晶表示装置が実現する。
【図１】本発明第１の実施例の概略断面図である。
【図２】本発明第２の実施例の概略断面図である。
【図３】本発明第３の実施例の概略断面図である。
【図４】本発明に係る単結晶Ｓｉ層の形成工程図であ
る。
る。
１ Ｓｉ基板 ２ 透明対向基板 ３、３’ 透明封止基板 ４ 液晶層 ５ シール材 ６ 液晶駆動素子層 ７ 絶縁層 ８ 圧電フィルム ９、９’ 電極 １０ 透明充填材 １１ 弾性封止材 １２、１２’ 押え環 １３、１３’ 締付リング １４ 本体部品 １５ 枠材 １６ 突起部 １７ ステータ １９ 接着剤 １８ 蛇腹部品 ２０ 空隙 １０１ Ｐ型（１００）多孔質Ｓｉ基板 １０２ Ｓｉエピタキシャル層 １０３、１０４ ＳｉＯ2 層 １０５ Ｓｉ3 Ｎ4 層 １０７ Ｓｉ基板
Claims (3)
- 【請求項１】 不透明基板上に透明絶縁層を介して液晶
駆動素子層を有する液晶駆動素子基板と、透明基板上に
透明電極を有する透明対向基板との間に液晶を挟持して
なる液晶パネルの、表示領域に相当する上記不透明基板
を上記透明絶縁層までくり抜き、該くり抜き部に変形可
能な透明充填材を配して透明封止基板で封止してなる液
晶表示装置において、上記くり抜き部に露出した透明絶
縁層に一対の透明電極で挟持した可視光透過性の圧電フ
ィルムを設置し、液晶駆動素子層の変形量に応じて透明
封止基板を表示面に対して垂直方向に移動させる機構を
設けたことを特徴とする液晶表示装置。 - 【請求項２】 不透明基板上に透明絶縁層を介して液晶
駆動素子層を有する液晶駆動素子基板と、透明基板上に
透明電極を有する透明対向基板との間に液晶を挟持して
なる液晶パネルの、表示領域に相当する上記不透明基板
を上記透明絶縁層までくり抜き、該くり抜き部に相当す
る形状に形成した透明封止基板を積畳してなる液晶表示
装置において、上記くり抜き部に露出した透明絶縁層に
一対の透明電極で挟持した可視光透過性の圧電フィルム
を設置し、液晶駆動素子層の変形量に応じて透明封止基
板を表示面に対して垂直方向に移動させる機構を設けた
ことを特徴とする液晶表示装置 - 【請求項３】 液晶駆動素子層が、単結晶Ｓｉで形成さ
れていることを特徴とする請求項１又は２記載の液晶表
示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34690093A JPH07191306A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 液晶表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34690093A JPH07191306A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 液晶表示装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07191306A true JPH07191306A (ja) | 1995-07-28 |
Family
ID=18386585
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34690093A Withdrawn JPH07191306A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 液晶表示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07191306A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1550900A1 (en) * | 2003-12-15 | 2005-07-06 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Liquid crystal on silicon (LCOS) display device having a uniform cell gap |
| JP2012032660A (ja) * | 2010-07-30 | 2012-02-16 | Sharp Corp | 画像表示装置 |
-
1993
- 1993-12-27 JP JP34690093A patent/JPH07191306A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1550900A1 (en) * | 2003-12-15 | 2005-07-06 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Liquid crystal on silicon (LCOS) display device having a uniform cell gap |
| US7535446B2 (en) | 2003-12-15 | 2009-05-19 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Liquid crystal on silicon (LCOS) display device having a uniform cell gap |
| JP2012032660A (ja) * | 2010-07-30 | 2012-02-16 | Sharp Corp | 画像表示装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010306 |