JPH0718988Y2 - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
- Publication number
- JPH0718988Y2 JPH0718988Y2 JP1602689U JP1602689U JPH0718988Y2 JP H0718988 Y2 JPH0718988 Y2 JP H0718988Y2 JP 1602689 U JP1602689 U JP 1602689U JP 1602689 U JP1602689 U JP 1602689U JP H0718988 Y2 JPH0718988 Y2 JP H0718988Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- output
- pressure sensor
- positive
- outputs
- Prior art date
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔考案の分野〕 本考案は正圧及び負圧の圧力を検出するようにした圧力
センサに関するものである。
センサに関するものである。
通常圧力センサは大気圧を基準としてより高い圧力を正
圧，低い圧力を負圧として表現しており、圧力センサに
おいても正圧用及び負圧用の圧力センサが用いられてい
る。そして正圧用の圧力センサは、第３図（ａ）に示す
ように設定圧p1よりも印加された圧力が高くなれば、例
えば電磁バルブ等を起動させるためにオン状態とするの
が一般的である。又負圧用の圧力センサでは第３図
（ｂ）に示すように物体を吸着して真空度が上がったと
きに物体を移動させるために、一般的に設定圧p2より圧
力が低くなれば出力をオン状態とするようにしている。
従って通常正圧用及び負圧用の２種類のセンサが使用さ
れている。
圧，低い圧力を負圧として表現しており、圧力センサに
おいても正圧用及び負圧用の圧力センサが用いられてい
る。そして正圧用の圧力センサは、第３図（ａ）に示す
ように設定圧p1よりも印加された圧力が高くなれば、例
えば電磁バルブ等を起動させるためにオン状態とするの
が一般的である。又負圧用の圧力センサでは第３図
（ｂ）に示すように物体を吸着して真空度が上がったと
きに物体を移動させるために、一般的に設定圧p2より圧
力が低くなれば出力をオン状態とするようにしている。
従って通常正圧用及び負圧用の２種類のセンサが使用さ
れている。
しかるにこのような圧力センサにおいては、正圧用及び
負圧用の２種類のセンサが必要であり種類が増加すると
いう欠点があった。そして正圧と負圧にかかわらず任意
の圧力を設定することができる圧力センサとする場合に
は、第４図（ａ）に示すように設定圧を越えれば出力を
オンとするように構成すれば、正圧側では第３図（ａ）
と同等な出力が得られるが負圧側では出力が反転する。
又第４図（ｂ）に示すように設定圧を越えれば出力をオ
フとするように構成すれば、負圧側では第３図（ｂ）と
同等な出力が得られるが正圧側では通常の使用状態と異
なる出力が得られる。従ってこのような圧力センサでは
何らかの方法で出力を反転する必要があり、構造が複雑
になるという欠点があった。又正圧及び負圧にかかわら
ず一つの可変抵抗器で圧力を設定する場合には、正圧用
及び負圧用の専用圧力センサに比べて分解能が低下する
という欠点もあった。
負圧用の２種類のセンサが必要であり種類が増加すると
いう欠点があった。そして正圧と負圧にかかわらず任意
の圧力を設定することができる圧力センサとする場合に
は、第４図（ａ）に示すように設定圧を越えれば出力を
オンとするように構成すれば、正圧側では第３図（ａ）
と同等な出力が得られるが負圧側では出力が反転する。
又第４図（ｂ）に示すように設定圧を越えれば出力をオ
フとするように構成すれば、負圧側では第３図（ｂ）と
同等な出力が得られるが正圧側では通常の使用状態と異
なる出力が得られる。従ってこのような圧力センサでは
何らかの方法で出力を反転する必要があり、構造が複雑
になるという欠点があった。又正圧及び負圧にかかわら
ず一つの可変抵抗器で圧力を設定する場合には、正圧用
及び負圧用の専用圧力センサに比べて分解能が低下する
という欠点もあった。
本考案はこのような従来の圧力センサの問題点に鑑みて
なされたものであって、機種数を増加させることなく所
定の出力状態を得ると共に分解能も低下させずに圧力を
設定できるようにすることを技術的課題とする。
なされたものであって、機種数を増加させることなく所
定の出力状態を得ると共に分解能も低下させずに圧力を
設定できるようにすることを技術的課題とする。
本考案は正圧及び負圧の圧力を検出するようにした圧力
センサであって、圧力測定部に連通したダイヤフラム型
の圧力センサチップと、ブリッジ接続されたセンサチッ
プの両端の出力差を増幅することにより正圧側の圧力変
化分を出力する第１の増幅器と、ダイヤフラムのブリッ
ジ回路の出力を反転増幅することにより負圧側の圧力変
化を出力する第２の増幅器と、第1,第２の増幅器の出力
を切換えるスイッチ回路と、スイッチ回路の出力と所定
の設定値とを比較する比較器と、を有することを特徴と
するものである。
センサであって、圧力測定部に連通したダイヤフラム型
の圧力センサチップと、ブリッジ接続されたセンサチッ
プの両端の出力差を増幅することにより正圧側の圧力変
化分を出力する第１の増幅器と、ダイヤフラムのブリッ
ジ回路の出力を反転増幅することにより負圧側の圧力変
化を出力する第２の増幅器と、第1,第２の増幅器の出力
を切換えるスイッチ回路と、スイッチ回路の出力と所定
の設定値とを比較する比較器と、を有することを特徴と
するものである。
このような特徴を有する本考案によれば、圧力センサチ
ップより得られるブリッジ回路の両端の出力差を増幅す
る第１の増幅器及びその出力を反転増幅する第２の増幅
器を用いて夫々正圧用及び負圧用の増幅器としており、
これらの信号をスイッチによって切換えるようにしてい
る。そして切換えられた圧力信号を比較器に与え所定の
閾値レベルと比較することによって物体検知信号を出力
するようにしている。
ップより得られるブリッジ回路の両端の出力差を増幅す
る第１の増幅器及びその出力を反転増幅する第２の増幅
器を用いて夫々正圧用及び負圧用の増幅器としており、
これらの信号をスイッチによって切換えるようにしてい
る。そして切換えられた圧力信号を比較器に与え所定の
閾値レベルと比較することによって物体検知信号を出力
するようにしている。
そのため本考案によれば、正圧及び負圧用の圧力センサ
とする必要はなくスイッチの切換えによっていずれの機
能をも有するようにすることができる。又従来の正負圧
共用の圧力センサに比べて設定用可変抵抗器の分解能を
大きくすることが可能となるだけでなく、正圧用及び負
圧用に適した出力を得ることができるという効果が得ら
れる。
とする必要はなくスイッチの切換えによっていずれの機
能をも有するようにすることができる。又従来の正負圧
共用の圧力センサに比べて設定用可変抵抗器の分解能を
大きくすることが可能となるだけでなく、正圧用及び負
圧用に適した出力を得ることができるという効果が得ら
れる。
〔実施例の説明〕 第１図は本考案の一実施例による圧力センサの構成を示
す回路図である。本図において電源端には定電圧回路1,
定電流回路２を介して圧力センサチップ３が接続され
る。圧力センサチップ３は図示のようにブリッジ接続さ
れた抵抗から成りダイヤフラム型に構成されており、図
示しない圧力導入パイプ２によって導かれた圧力によっ
てダイヤフラム状のブリッジ回路の抵抗値が湾曲状態に
よって変化するため、ブリッジの両端の電圧を圧力信号
として取り出すことができる。さて圧力センサチップの
ブリッジ回路の一方の端子ａは演算増幅器４の非反転増
幅端と演算増幅器５の反転増幅端に接続され、他方の端
子ｂは演算増幅器４の反転入力端と演算増幅器５の非反
転入力端に接続されている。演算増幅器４はブリッジ型
の圧力センサチップ３の両端の出力差を増幅することに
より正圧側の圧力変化分を出力する第１の増幅器であ
る。又演算増幅器５はブリッジ回路の出力を反転増幅す
ることにより負圧側の圧力変化を出力する第２の増幅器
である。これらの出力は夫々スイッチ回路６に与えられ
る。スイッチ回路６はこれらの出力を切換えるものであ
って、その出力は比較器７に与えられる。定電圧回路１
の定電圧は抵抗R1,可変抵抗VR2及び抵抗R3で分圧され、
可変抵抗VR2の中点の電圧が基準値として比較器７に与
えられる。比較器７はスイッチ回路６から選択された信
号を所定の閾値で弁別して出力を与えるものである。
す回路図である。本図において電源端には定電圧回路1,
定電流回路２を介して圧力センサチップ３が接続され
る。圧力センサチップ３は図示のようにブリッジ接続さ
れた抵抗から成りダイヤフラム型に構成されており、図
示しない圧力導入パイプ２によって導かれた圧力によっ
てダイヤフラム状のブリッジ回路の抵抗値が湾曲状態に
よって変化するため、ブリッジの両端の電圧を圧力信号
として取り出すことができる。さて圧力センサチップの
ブリッジ回路の一方の端子ａは演算増幅器４の非反転増
幅端と演算増幅器５の反転増幅端に接続され、他方の端
子ｂは演算増幅器４の反転入力端と演算増幅器５の非反
転入力端に接続されている。演算増幅器４はブリッジ型
の圧力センサチップ３の両端の出力差を増幅することに
より正圧側の圧力変化分を出力する第１の増幅器であ
る。又演算増幅器５はブリッジ回路の出力を反転増幅す
ることにより負圧側の圧力変化を出力する第２の増幅器
である。これらの出力は夫々スイッチ回路６に与えられ
る。スイッチ回路６はこれらの出力を切換えるものであ
って、その出力は比較器７に与えられる。定電圧回路１
の定電圧は抵抗R1,可変抵抗VR2及び抵抗R3で分圧され、
可変抵抗VR2の中点の電圧が基準値として比較器７に与
えられる。比較器７はスイッチ回路６から選択された信
号を所定の閾値で弁別して出力を与えるものである。
次に本実施例の動作について説明する。圧力センサチッ
プは前述したように図示しない圧力測定部に連通してお
り、印加された圧力に応じてダイヤフラムの抵抗値が変
化することによってその両端に圧力変化に対応した電圧
を得るものであって、それらの出力は夫々演算増幅器４
及び５に与えられる。演算増幅器４及び５は印加された
圧力に対して夫々第２図（ａ），（ｂ）に示すような信
号を出力する。即ち演算増幅器４は正圧側で圧力に対し
て一定の勾配で変化する特性を有しており、演算増幅器
５の出力は負圧に対して所定の勾配で変化する特性を有
している。従ってスイッチ回路６によりこれらの出力を
切換えることによって正圧用及び負圧用の圧力センサと
して使用することができる。この場合には可変抵抗器VR
2で設定した圧力に対して正圧用圧力センサとして用い
る場合には圧力が高くなければオンとなり、負圧用圧力
センサでは設定圧力より低くなればオン状態となる。従
って正圧用及び負圧用の圧力センサとして用いてもよ
く、第３図（ａ），（ｂ）に示すグラフと同一の出力形
態を得ることができる。
プは前述したように図示しない圧力測定部に連通してお
り、印加された圧力に応じてダイヤフラムの抵抗値が変
化することによってその両端に圧力変化に対応した電圧
を得るものであって、それらの出力は夫々演算増幅器４
及び５に与えられる。演算増幅器４及び５は印加された
圧力に対して夫々第２図（ａ），（ｂ）に示すような信
号を出力する。即ち演算増幅器４は正圧側で圧力に対し
て一定の勾配で変化する特性を有しており、演算増幅器
５の出力は負圧に対して所定の勾配で変化する特性を有
している。従ってスイッチ回路６によりこれらの出力を
切換えることによって正圧用及び負圧用の圧力センサと
して使用することができる。この場合には可変抵抗器VR
2で設定した圧力に対して正圧用圧力センサとして用い
る場合には圧力が高くなければオンとなり、負圧用圧力
センサでは設定圧力より低くなればオン状態となる。従
って正圧用及び負圧用の圧力センサとして用いてもよ
く、第３図（ａ），（ｂ）に示すグラフと同一の出力形
態を得ることができる。
第１図は本考案の一実施例による圧力センサの回路図、
第２図（ａ），第２図（ｂ）はその出力状態を示す図、
第３図（ａ），第３図（ｂ）は従来の正圧用及び負圧用
の圧力センサの出力形態を示す図、第４図（ａ），第４
図（ｂ）は従来の正負圧共用型圧力センサの出力特性を
示す図である。 １……定電圧回路、２……定電流回路、３……ダイヤフ
ラム型圧力センサチップ、4,5……演算増幅器、６……
スイッチ回路、７……比較器
第２図（ａ），第２図（ｂ）はその出力状態を示す図、
第３図（ａ），第３図（ｂ）は従来の正圧用及び負圧用
の圧力センサの出力形態を示す図、第４図（ａ），第４
図（ｂ）は従来の正負圧共用型圧力センサの出力特性を
示す図である。 １……定電圧回路、２……定電流回路、３……ダイヤフ
ラム型圧力センサチップ、4,5……演算増幅器、６……
スイッチ回路、７……比較器
Claims (1)
- 【請求項１】圧力測定部に連通したダイヤフラム型の圧
力センサチップと、 前記ブリッジ接続されたセンサチップの両端の出力差を
増幅することにより正圧側の圧力変化分を出力する第１
の増幅器と、 前記ダイヤフラムのブリッジ回路の出力を反転増幅する
ことにより負圧側の圧力変化を出力する第２の増幅器
と、 前記第1,第２の増幅器の出力を切換えるスイッチ回路
と、 前記スイッチ回路の出力と所定の設定値とを比較する比
較器と、を有することを特徴とする圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1602689U JPH0718988Y2 (ja) | 1989-02-13 | 1989-02-13 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1602689U JPH0718988Y2 (ja) | 1989-02-13 | 1989-02-13 | 圧力センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02107052U JPH02107052U (ja) | 1990-08-24 |
| JPH0718988Y2 true JPH0718988Y2 (ja) | 1995-05-01 |
Family
ID=31228595
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1602689U Expired - Lifetime JPH0718988Y2 (ja) | 1989-02-13 | 1989-02-13 | 圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0718988Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2712701B2 (ja) * | 1990-02-02 | 1998-02-16 | 横河電機株式会社 | 圧力伝送器 |
-
1989
- 1989-02-13 JP JP1602689U patent/JPH0718988Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02107052U (ja) | 1990-08-24 |
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