JPH0717737A - 光ファイバ母材の製造装置 - Google Patents
光ファイバ母材の製造装置Info
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 種棒１１上にスート１３を堆積させ成長させ
ていく場合に、バーナー１２と種棒１１との相対的位置
関係を堆積部分１４の成長とともに変化させる。 【構成】 種棒１１の先端とバーナー１２の先端は、と
もに反応容器１５に包囲される。種棒１１はその軸を中
心に回転し、バーナー１２は種棒１１の先端にスートを
堆積させる。このスート１３の堆積部分１４が成長して
いく時、反応容器１５を支持する駆動部１９が反応容器
１５を移動させ、種棒１１とバーナー１２との相対的位
置関係を常に一定に保つ。シール部１６は適当に伸縮
し、種棒１１の反応容器１５内部での移動を許容する。
ていく場合に、バーナー１２と種棒１１との相対的位置
関係を堆積部分１４の成長とともに変化させる。 【構成】 種棒１１の先端とバーナー１２の先端は、と
もに反応容器１５に包囲される。種棒１１はその軸を中
心に回転し、バーナー１２は種棒１１の先端にスートを
堆積させる。このスート１３の堆積部分１４が成長して
いく時、反応容器１５を支持する駆動部１９が反応容器
１５を移動させ、種棒１１とバーナー１２との相対的位
置関係を常に一定に保つ。シール部１６は適当に伸縮
し、種棒１１の反応容器１５内部での移動を許容する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、よく知られたＶＡＤ法
により光ファイバ母材を製造する場合に、光ファイバ母
材とバーナーとの位置関係を制御するように構成した光
ファイバ母材の製造装置に関する。
により光ファイバ母材を製造する場合に、光ファイバ母
材とバーナーとの位置関係を制御するように構成した光
ファイバ母材の製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバ製造のための母材を得るため
に、種棒上にスートを垂直方向に堆積成長させるＶＡＤ
法が広く採用されている。図２に、ＶＡＤ法による光フ
ァイバ母材の製造方法説明図を示す。図に示すように、
種棒１はその軸を中心に一定の速度で回転されている。
この先端部分に斜めに傾斜させたバーナー２が配置され
ている。このバーナー２は多重管構造とされ、四塩化け
い素、四塩化ゲルマニウム、水素、酸素等を火炎によっ
て化学反応させ、種棒１の上にゲルマニウム含有のスー
ト１３を堆積成長させる。即ち、この堆積部分４には所
定のゲルマニウム濃度分布を持つ円柱状の石英多孔質母
材が成長する。
に、種棒上にスートを垂直方向に堆積成長させるＶＡＤ
法が広く採用されている。図２に、ＶＡＤ法による光フ
ァイバ母材の製造方法説明図を示す。図に示すように、
種棒１はその軸を中心に一定の速度で回転されている。
この先端部分に斜めに傾斜させたバーナー２が配置され
ている。このバーナー２は多重管構造とされ、四塩化け
い素、四塩化ゲルマニウム、水素、酸素等を火炎によっ
て化学反応させ、種棒１の上にゲルマニウム含有のスー
ト１３を堆積成長させる。即ち、この堆積部分４には所
定のゲルマニウム濃度分布を持つ円柱状の石英多孔質母
材が成長する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
なＶＡＤ法を用いた光ファイバ母材の製造には次のよう
な装置が使用される。図３に、従来の光ファイバ母材の
製造装置断面図を示す。図に示すように、この装置は種
棒１を受け入れて、反応容器５によりスート３の堆積部
分４を包囲し、バーナー２を支持固定した構成のもので
ある。このように、堆積部分４を外界から遮断した状態
で、スート３の堆積処理が実行される。なお、上記種棒
１は図示しない駆動装置によって、その軸を中心に矢印
のように回転させられる。従って、反応容器５を貫通す
る部分は種棒１の回転を許容したまま反応容器５の内部
を密閉できるような構成とされている。もちろん、バー
ナー２も密閉状態で支持固定される。
なＶＡＤ法を用いた光ファイバ母材の製造には次のよう
な装置が使用される。図３に、従来の光ファイバ母材の
製造装置断面図を示す。図に示すように、この装置は種
棒１を受け入れて、反応容器５によりスート３の堆積部
分４を包囲し、バーナー２を支持固定した構成のもので
ある。このように、堆積部分４を外界から遮断した状態
で、スート３の堆積処理が実行される。なお、上記種棒
１は図示しない駆動装置によって、その軸を中心に矢印
のように回転させられる。従って、反応容器５を貫通す
る部分は種棒１の回転を許容したまま反応容器５の内部
を密閉できるような構成とされている。もちろん、バー
ナー２も密閉状態で支持固定される。
【０００４】しかしながら、図２に示したように、種棒
１の先端に形成された堆積部分４は次第に成長し、その
半径も増大する。この場合に、図３に示したように、バ
ーナー２は反応容器５の一部に固定されているため、堆
積部分４とバーナー２との位置関係は堆積部分４の成長
とともに微妙に変化する。ところが、この位置関係は母
材の構成を決める上で極めて重要なパラメータであり、
母材の製造中に変動すれば、初期状態と堆積密度が変化
し、組成が不均一になって、目的とする特性の母材を製
造することができない。これを解決するには、図３に示
したバーナー２を反応容器５の内部で、堆積部分の成長
とともに移動させることが考えられるが、この部分は極
めて高温になるため、バーナー２の微妙な位置制御をす
る高耐熱性のメカニズムの設計は容易でない。
１の先端に形成された堆積部分４は次第に成長し、その
半径も増大する。この場合に、図３に示したように、バ
ーナー２は反応容器５の一部に固定されているため、堆
積部分４とバーナー２との位置関係は堆積部分４の成長
とともに微妙に変化する。ところが、この位置関係は母
材の構成を決める上で極めて重要なパラメータであり、
母材の製造中に変動すれば、初期状態と堆積密度が変化
し、組成が不均一になって、目的とする特性の母材を製
造することができない。これを解決するには、図３に示
したバーナー２を反応容器５の内部で、堆積部分の成長
とともに移動させることが考えられるが、この部分は極
めて高温になるため、バーナー２の微妙な位置制御をす
る高耐熱性のメカニズムの設計は容易でない。
【０００５】本発明は以上の点に着目してなされたもの
で、種棒上にスートを堆積させ成長させていく場合に、
バーナーと種棒との相対的位置関係を堆積部分の成長と
ともに変化させることができる光ファイバ母材の製造装
置を提供すること目的とするものである。
で、種棒上にスートを堆積させ成長させていく場合に、
バーナーと種棒との相対的位置関係を堆積部分の成長と
ともに変化させることができる光ファイバ母材の製造装
置を提供すること目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明光ファイバ母材の
製造装置は、所定の組成のスートを種棒上に送り堆積さ
せるバーナーと、前記種棒をシール部を通じて受け入れ
て前記スート堆積部分を包囲して保護するとともに、前
記バーナーを所定位置に支持固定した反応容器とを備
え、前記シール部は、前記種棒を貫通させて前記反応容
器内外を隔離したまま、種棒の軸方向と軸に直交する方
向に、種棒と前記反応容器との相対的な位置ずれを許容
する伸縮構造とされ、前記種棒の堆積部分の成長ととも
に、前記バーナーと種棒との相対的位置関係を補正する
よう前記反応容器の位置を移動させる駆動部とを備えた
ことを特徴とするものである。
製造装置は、所定の組成のスートを種棒上に送り堆積さ
せるバーナーと、前記種棒をシール部を通じて受け入れ
て前記スート堆積部分を包囲して保護するとともに、前
記バーナーを所定位置に支持固定した反応容器とを備
え、前記シール部は、前記種棒を貫通させて前記反応容
器内外を隔離したまま、種棒の軸方向と軸に直交する方
向に、種棒と前記反応容器との相対的な位置ずれを許容
する伸縮構造とされ、前記種棒の堆積部分の成長ととも
に、前記バーナーと種棒との相対的位置関係を補正する
よう前記反応容器の位置を移動させる駆動部とを備えた
ことを特徴とするものである。
【０００７】
【作用】種棒の先端とバーナーの先端は、ともに反応容
器に包囲される。種棒はその軸を中心に回転し、バーナ
ーは種棒の先端にスートを堆積させる。このスートの堆
積部分が成長していく時、反応容器を支持する駆動部が
反応容器を移動させ、種棒とバーナーとの相対的位置関
係を常に一定に保つ。シール部は適当に伸縮し、種棒の
反応容器内部での移動を許容する。
器に包囲される。種棒はその軸を中心に回転し、バーナ
ーは種棒の先端にスートを堆積させる。このスートの堆
積部分が成長していく時、反応容器を支持する駆動部が
反応容器を移動させ、種棒とバーナーとの相対的位置関
係を常に一定に保つ。シール部は適当に伸縮し、種棒の
反応容器内部での移動を許容する。
【０００８】
【実施例】以下、本発明を図の実施例を用いて詳細に説
明する。図１は、本発明の光ファイバ母材の製造装置実
施例を示す断面図である。図に示すように、光ファイバ
母材を堆積させる種棒１１は垂直に吊り下げられ、図示
しない装置によってその軸を中心に矢印のように回転可
能に支持されている。この種棒１１の先端部分を包囲し
保護するとともに、バーナー１２を図の右下部分に支持
固定した反応容器１５が設けられている。上記種棒１１
は石英の棒等から成り、反応容器１５も石英等を主材料
として構成される。バーナー１２は先程説明した通り多
重管構造とされ、四塩化けい素や四塩化ゲルマニウム、
水素、酸素等を火炎中で化学反応させるためのものであ
る。
明する。図１は、本発明の光ファイバ母材の製造装置実
施例を示す断面図である。図に示すように、光ファイバ
母材を堆積させる種棒１１は垂直に吊り下げられ、図示
しない装置によってその軸を中心に矢印のように回転可
能に支持されている。この種棒１１の先端部分を包囲し
保護するとともに、バーナー１２を図の右下部分に支持
固定した反応容器１５が設けられている。上記種棒１１
は石英の棒等から成り、反応容器１５も石英等を主材料
として構成される。バーナー１２は先程説明した通り多
重管構造とされ、四塩化けい素や四塩化ゲルマニウム、
水素、酸素等を火炎中で化学反応させるためのものであ
る。
【０００９】また、反応容器１５の内部には隔壁１７が
配置され、バーナー１２からの輻射熱を遮断して、反応
容器１５の上部を比較的低い温度に保つよう構成してい
る。一方、反応容器１５の上面には、例えばシリコンゴ
ム等の伸縮可能な材料から成るシール部１６が配置され
ている。種棒１１はこのシール部１６を貫通して反応容
器１５の内部に差し込まれている。更に、本発明ではこ
のような反応容器１５を支持する支持台１８が、駆動部
１９を介して垂直上下方向及び矢印２０の方向にスライ
ドできるような構成とされている。
配置され、バーナー１２からの輻射熱を遮断して、反応
容器１５の上部を比較的低い温度に保つよう構成してい
る。一方、反応容器１５の上面には、例えばシリコンゴ
ム等の伸縮可能な材料から成るシール部１６が配置され
ている。種棒１１はこのシール部１６を貫通して反応容
器１５の内部に差し込まれている。更に、本発明ではこ
のような反応容器１５を支持する支持台１８が、駆動部
１９を介して垂直上下方向及び矢印２０の方向にスライ
ドできるような構成とされている。
【００１０】なお、この駆動部１９は作業者が、例えば
種棒１１とバーナー１２との相対的な位置関係を堆積部
分１４の成長に合わせて観測し、手動で反応容器１５を
スライドさせることができる構成にしてもよいし、また
一定のプログラムを記憶し、製造開始より時間の経過と
ともに自動的に反応容器１５をスライドさせるようなメ
カニズムを持つ構成にしても差し支えない。
種棒１１とバーナー１２との相対的な位置関係を堆積部
分１４の成長に合わせて観測し、手動で反応容器１５を
スライドさせることができる構成にしてもよいし、また
一定のプログラムを記憶し、製造開始より時間の経過と
ともに自動的に反応容器１５をスライドさせるようなメ
カニズムを持つ構成にしても差し支えない。
【００１１】本発明の光ファイバ母材の製造装置は次の
ように動作する。図４は、本発明の装置の時間の経過と
ともに変化する装置の状態を説明する断面図である。図
に示すように、まず製造開始時には種棒１１は反応容器
１５の中心に垂直に吊り下げられ、バーナー１２の先端
に向かうよう配置されている。この状態で製造を開始す
ると、スートの堆積と成長によって、種棒１１の先端部
分の直径が膨らむ。この場合に、この堆積部分１４とバ
ーナー１２との相対的位置関係を初期状態と同様にする
ために、図１に示した駆動部１９が反応容器１５をスラ
イドさせる。この時、シール部１６はその弾性によって
種棒１１の反応容器１５内部の移動を許容しつつ容器の
密閉を確保する。もちろん、反応容器１５の上下方向の
スライドも許容する。これにより、図に示すように種棒
１１は反応容器１５の中でやや左方向に相対的に移動
し、この状態で堆積処理が進められる。
ように動作する。図４は、本発明の装置の時間の経過と
ともに変化する装置の状態を説明する断面図である。図
に示すように、まず製造開始時には種棒１１は反応容器
１５の中心に垂直に吊り下げられ、バーナー１２の先端
に向かうよう配置されている。この状態で製造を開始す
ると、スートの堆積と成長によって、種棒１１の先端部
分の直径が膨らむ。この場合に、この堆積部分１４とバ
ーナー１２との相対的位置関係を初期状態と同様にする
ために、図１に示した駆動部１９が反応容器１５をスラ
イドさせる。この時、シール部１６はその弾性によって
種棒１１の反応容器１５内部の移動を許容しつつ容器の
密閉を確保する。もちろん、反応容器１５の上下方向の
スライドも許容する。これにより、図に示すように種棒
１１は反応容器１５の中でやや左方向に相対的に移動
し、この状態で堆積処理が進められる。
【００１２】本発明は以上の実施例に限定されない。上
記実施例では反応容器の内部にバーナーを１個設けた例
を示したが、バーナーの数は自由に選択して差し支えな
い。また、反応容器の形状や断熱のための隔壁の位置や
形状も自由に選定することができる。さらに、シール部
は必ずしも弾性を持つゴム等を用いることなく、例えば
金属製のじゃばらや、その他種棒を貫通させる孔を反応
容器１５の上部で自由に移動させることができる構成の
ものであれば何でもよい。
記実施例では反応容器の内部にバーナーを１個設けた例
を示したが、バーナーの数は自由に選択して差し支えな
い。また、反応容器の形状や断熱のための隔壁の位置や
形状も自由に選定することができる。さらに、シール部
は必ずしも弾性を持つゴム等を用いることなく、例えば
金属製のじゃばらや、その他種棒を貫通させる孔を反応
容器１５の上部で自由に移動させることができる構成の
ものであれば何でもよい。
【００１３】
【発明の効果】以上説明した本発明の光ファイバ母材の
製造装置は、反応容器の種棒を貫通させるシール部を種
棒の軸方向と軸に直交する方向に種棒と反応容器との相
対的な位置ずれを許容するような伸縮構造とし、堆積部
分の成長とともにバーナーと種棒との相対的位置関係を
駆動部によって補正するように構成したので、母材の製
造開始時と製造中及び製造終了時の種棒とバーナーとの
位置関係を一定に保つことができる。これにより、母材
の堆積条件が一定になり、体積密度が均一化して特性の
よい母材を製造することができる。しかも体積密度のむ
らによって母材の割れが生じるといった問題もなくな
り、母材の歩止まりも向上する。
製造装置は、反応容器の種棒を貫通させるシール部を種
棒の軸方向と軸に直交する方向に種棒と反応容器との相
対的な位置ずれを許容するような伸縮構造とし、堆積部
分の成長とともにバーナーと種棒との相対的位置関係を
駆動部によって補正するように構成したので、母材の製
造開始時と製造中及び製造終了時の種棒とバーナーとの
位置関係を一定に保つことができる。これにより、母材
の堆積条件が一定になり、体積密度が均一化して特性の
よい母材を製造することができる。しかも体積密度のむ
らによって母材の割れが生じるといった問題もなくな
り、母材の歩止まりも向上する。
【図１】本発明の光ファイバ母材の製造装置実施例を示
す断面図である。
す断面図である。
【図２】一般のＶＡＤ法による光ファイバ母材の製造方
法説明図である。
法説明図である。
【図３】従来の光ファイバ母材の製造装置縦断面図であ
る。
る。
【図４】本発明の光ファイバ母材の製造装置の動作を示
す説明図である。
す説明図である。
１１ 種棒 １２ バーナー １３ スート １４ 堆積部分 １５ 反応容器 １６ シール部 １８ 支持台 １９ 駆動部
Claims (1)
- 【請求項１】 所定の組成のスートを種棒上に送り堆積
させるバーナーと、 前記種棒をシール部を通じて受け入れて前記スート堆積
部分を包囲して保護するとともに、前記バーナーを所定
位置に支持固定した反応容器とを備え、 前記シール部は、前記種棒を貫通させて前記反応容器内
外を隔離したまま、種棒の軸方向と軸に直交する方向
に、種棒と前記反応容器との相対的な位置ずれを許容す
る伸縮構造とされ、 前記種棒の堆積部分の成長とともに、前記バーナーと種
棒との相対的位置関係を補正するよう前記反応容器の位
置を移動させる駆動部とを備えたことを特徴とする光フ
ァイバ母材の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19087393A JPH0717737A (ja) | 1993-07-02 | 1993-07-02 | 光ファイバ母材の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19087393A JPH0717737A (ja) | 1993-07-02 | 1993-07-02 | 光ファイバ母材の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0717737A true JPH0717737A (ja) | 1995-01-20 |
Family
ID=16265178
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19087393A Pending JPH0717737A (ja) | 1993-07-02 | 1993-07-02 | 光ファイバ母材の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0717737A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0861812A1 (en) * | 1997-02-28 | 1998-09-02 | Nikon Corporation | Quartz glass manufacturing apparatus and method |
| KR20110095096A (ko) | 2010-02-17 | 2011-08-24 | 다이요 홀딩스 가부시키가이샤 | 솔더 레지스트 조성물 및 인쇄 배선판 |
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| KR20230049563A (ko) | 2021-10-06 | 2023-04-13 | 닛뽄 가야쿠 가부시키가이샤 | 불포화기 함유 폴리카본산 수지와 그의 제법, 불포화기 함유 폴리카본산 수지를 함유하는 감광성 수지 조성물 및 그의 경화물 |
-
1993
- 1993-07-02 JP JP19087393A patent/JPH0717737A/ja active Pending
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