JPH07176271A - Ｒｆ電源 - Google Patents
Ｒｆ電源Info
- Publication number
- JPH07176271A JPH07176271A JP32195493A JP32195493A JPH07176271A JP H07176271 A JPH07176271 A JP H07176271A JP 32195493 A JP32195493 A JP 32195493A JP 32195493 A JP32195493 A JP 32195493A JP H07176271 A JPH07176271 A JP H07176271A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- klystron
- thyristor
- anode
- power supply
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 励振入力、カソード電圧基準、アノード電圧
基準を個々に設定することにより、クライストロンのコ
レクタ損失を低減させ運転効率の高いＲＦ電源を提供す
る。 【構成】 本発明においては、使用するクライストロン
の特性に従い励振入力に対し、コレクタ損失が小さく効
率のよい最適なカソード電圧、アノード電圧の設定を電
源制御装置で自動的に行うよう構成する。
基準を個々に設定することにより、クライストロンのコ
レクタ損失を低減させ運転効率の高いＲＦ電源を提供す
る。 【構成】 本発明においては、使用するクライストロン
の特性に従い励振入力に対し、コレクタ損失が小さく効
率のよい最適なカソード電圧、アノード電圧の設定を電
源制御装置で自動的に行うよう構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＲＦ電源に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、図２のようなＲＦ電源が知られて
いる。これを説明すると、まず１は交流電源であり、こ
の交流電源１からの交流電力がトランス２の１次側に入
力される。トランス２の２次側にＡＣサイリスタ３が接
続され、電源制御装置４から送信される電圧基準Ｖｃ
REF に従ってＡＣサイリスタ３の点弧角が制御される。
ＡＣサイリスタ３の後段には、トランス５が接続され、
トランス５の２次側に交流を直流に変換する整流器６が
接続され整流器６の直流出力端には、カソード電圧を検
出する分圧抵抗７とクライストロン８が接続されてい
る。またクライストロン８にアノード電圧を与えるアノ
ードモジュレータ９が直流出力側に取り付けられてい
る。電源制御装置４では、電流検出器10からの電流モニ
タ信号Ｉc 、分圧抵抗７からの電圧モニタ信号Ｖｃ、ク
ライストロン８からのクライストロン出力モニタ信号よ
り、コレクタ損失Ｐ1oss＝ＶCMＩCM−ＰOMを算出する。
このとき、コレクタ損失Ｐ1ossがクライストロンのコレ
クタ損失の許容値を越えた場合、ＡＣサイリスタ３に送
信されるカソード電圧基準ＶｃREf 、アノードモジュレ
ータに送信されるアノード電圧基準ＶAREfにリミッタが
かけられコレクタ損失が許容値を越えないように制御さ
れる。
いる。これを説明すると、まず１は交流電源であり、こ
の交流電源１からの交流電力がトランス２の１次側に入
力される。トランス２の２次側にＡＣサイリスタ３が接
続され、電源制御装置４から送信される電圧基準Ｖｃ
REF に従ってＡＣサイリスタ３の点弧角が制御される。
ＡＣサイリスタ３の後段には、トランス５が接続され、
トランス５の２次側に交流を直流に変換する整流器６が
接続され整流器６の直流出力端には、カソード電圧を検
出する分圧抵抗７とクライストロン８が接続されてい
る。またクライストロン８にアノード電圧を与えるアノ
ードモジュレータ９が直流出力側に取り付けられてい
る。電源制御装置４では、電流検出器10からの電流モニ
タ信号Ｉc 、分圧抵抗７からの電圧モニタ信号Ｖｃ、ク
ライストロン８からのクライストロン出力モニタ信号よ
り、コレクタ損失Ｐ1oss＝ＶCMＩCM−ＰOMを算出する。
このとき、コレクタ損失Ｐ1ossがクライストロンのコレ
クタ損失の許容値を越えた場合、ＡＣサイリスタ３に送
信されるカソード電圧基準ＶｃREf 、アノードモジュレ
ータに送信されるアノード電圧基準ＶAREfにリミッタが
かけられコレクタ損失が許容値を越えないように制御さ
れる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来例では、励振入力
Ｐin、カソード電圧基準ＶｃREf （Ｎ）、アノード電圧
基準ＶAREf（Ｎ）をそれぞれ別々に設定していた為、ク
ライストロンのコレクタ損失が大きく効率の悪い運転を
行っていた。また、コレクタ損失を吸収する為のクライ
ストロンの冷却装置にも大きな冷却能力を必要としてい
た。
Ｐin、カソード電圧基準ＶｃREf （Ｎ）、アノード電圧
基準ＶAREf（Ｎ）をそれぞれ別々に設定していた為、ク
ライストロンのコレクタ損失が大きく効率の悪い運転を
行っていた。また、コレクタ損失を吸収する為のクライ
ストロンの冷却装置にも大きな冷却能力を必要としてい
た。
【０００４】本発明はクライストロンのコレクタ損失の
少ない運転を行うことにより、運転効率を上げ、また、
コレクタ損失を少なくしたことによりクライストロンの
冷却装置の冷却能力を小さくできるようなＲＦ電源を提
供することを目的とする。
少ない運転を行うことにより、運転効率を上げ、また、
コレクタ損失を少なくしたことによりクライストロンの
冷却装置の冷却能力を小さくできるようなＲＦ電源を提
供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明では、上記の目的
を達成するために、使用するクライストロンの特性に従
い、励振入力に対し、コレクタ損失が小さく効率の良い
最適なカソード電圧、アノード電圧の設定を電源制御装
置で自動的に行うようにしたことを特徴とする。
を達成するために、使用するクライストロンの特性に従
い、励振入力に対し、コレクタ損失が小さく効率の良い
最適なカソード電圧、アノード電圧の設定を電源制御装
置で自動的に行うようにしたことを特徴とする。
【０００６】
【作用】本発明によれば励振入力に対してカソード電
圧、アノード電圧をクライストロンのコレクタ損失が少
なく効率の良い値になるような制御を行うことによりＲ
Ｆ電源の効率を上げ、また、クライストロン冷却装置の
冷却能力も小さいものにできる。
圧、アノード電圧をクライストロンのコレクタ損失が少
なく効率の良い値になるような制御を行うことによりＲ
Ｆ電源の効率を上げ、また、クライストロン冷却装置の
冷却能力も小さいものにできる。
【０００７】
（実施例の構成）以下、本発明の一実施例を図１を参照
して説明する。図１では従来例であげた図２と比較して
電流検出器10、電流モニタ信号ＩCM、カソード電圧基準
ＶｃREf（Ｎ）、アノード電圧基準ＶAREf（Ｎ）クライ
ストロン出力モニタ信号ＰOMが無くなり、励振入力モニ
タ信号ＰiMが追加されている。
して説明する。図１では従来例であげた図２と比較して
電流検出器10、電流モニタ信号ＩCM、カソード電圧基準
ＶｃREf（Ｎ）、アノード電圧基準ＶAREf（Ｎ）クライ
ストロン出力モニタ信号ＰOMが無くなり、励振入力モニ
タ信号ＰiMが追加されている。
【０００８】（実施例の作用）以下本発明の作用につい
て図１を参照して説明する。まず、励振入力Ｐinがクラ
イストロン８に入力されると、励振入力モニタ信号ＰiM
が電源制御装置４ａに入力される。電源制御装置４ａで
は、予め使用されるクライストロンの特性に従い励振入
力に対し、クライストロンの効率の良いカソード電圧、
アノード電圧が励振入力の関数として設定されている。
従って励振入力モニタ信号ＰiMが電源制御装置４ａに入
力されると、上記の予め設定されている関数によりカソ
ード電圧基準ＶｃREf 、アノード電圧基準ＶAREfが決め
られ、それぞれＡＣサイリスタ３、アノードモジュレー
タ９に送信される。またＶAREfは分圧抵抗７からの電圧
モニタ信号ＶCMを用いてフィードバック制御される。
て図１を参照して説明する。まず、励振入力Ｐinがクラ
イストロン８に入力されると、励振入力モニタ信号ＰiM
が電源制御装置４ａに入力される。電源制御装置４ａで
は、予め使用されるクライストロンの特性に従い励振入
力に対し、クライストロンの効率の良いカソード電圧、
アノード電圧が励振入力の関数として設定されている。
従って励振入力モニタ信号ＰiMが電源制御装置４ａに入
力されると、上記の予め設定されている関数によりカソ
ード電圧基準ＶｃREf 、アノード電圧基準ＶAREfが決め
られ、それぞれＡＣサイリスタ３、アノードモジュレー
タ９に送信される。またＶAREfは分圧抵抗７からの電圧
モニタ信号ＶCMを用いてフィードバック制御される。
【０００９】（実施例の効果）このようにクライストロ
ンの特性に従い励振入力に対してクライストロンの効率
の良いカソード電圧、アノード電圧を設定することによ
り、ＲＦ電源の運転効率が良くなり、更にコレクタ損失
も小さくなる為クライストロン冷却装置の冷却能力も小
さいものにできる。
ンの特性に従い励振入力に対してクライストロンの効率
の良いカソード電圧、アノード電圧を設定することによ
り、ＲＦ電源の運転効率が良くなり、更にコレクタ損失
も小さくなる為クライストロン冷却装置の冷却能力も小
さいものにできる。
【００１０】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ク
ライストロンのコレクタ損失を小さくでき、ＲＦ電源の
効率を向上させることができる。またクライストロン冷
却装置の冷却能力もコレクタ損失が小さくなる為、小さ
いものですむようになる。
ライストロンのコレクタ損失を小さくでき、ＲＦ電源の
効率を向上させることができる。またクライストロン冷
却装置の冷却能力もコレクタ損失が小さくなる為、小さ
いものですむようになる。
【図１】本発明の一実施例を示すＲＦ電源の構成を示す
図
図
【図２】従来のＲＦ電源を示す図
１…交流電源、２…トランス、３…ＡＣサイリスタ、４
…電源制御装置、４ａ…電源制御装置、５…トランス、
６…整流器、７…分圧抵抗、８…クライストロン、９…
アノードモジュレータ、10…電流検出器、ＩCM…電流モ
ニタ信号、ＶCM…電圧モニタ信号、ＰOM…クライストロ
ン出力モニタ信号、ＶｃREf …カソード電圧基準（補正
後）、ＶAREf…アノード電圧基準（補正後）、Ｐin…励
振入力、Ｐout …クライストロン出力、ＶｃREf (N) …
カソード電圧基準、ＶAREf(N) …アノード基準。
…電源制御装置、４ａ…電源制御装置、５…トランス、
６…整流器、７…分圧抵抗、８…クライストロン、９…
アノードモジュレータ、10…電流検出器、ＩCM…電流モ
ニタ信号、ＶCM…電圧モニタ信号、ＰOM…クライストロ
ン出力モニタ信号、ＶｃREf …カソード電圧基準（補正
後）、ＶAREf…アノード電圧基準（補正後）、Ｐin…励
振入力、Ｐout …クライストロン出力、ＶｃREf (N) …
カソード電圧基準、ＶAREf(N) …アノード基準。
Claims (5)
- 【請求項１】 ＲＦ電源において、交流電力を受電する
受電トランスと、前記受電トランスの２次側に接続され
たＡＣサイリスタと、前記ＡＣサイリスタの後段に接続
されたトランスと、前記トランスの２次側に接続された
整流器と、前記整流器の直流出力端のクライストロンに
アノード電圧を与えるアノードモジュレータとクライス
トロンの励振入力に対し、最適なカソード電圧、アノー
ド電圧設定を行い、カソード電圧基準、アノード電圧基
準をＡＣサイリスタ、アノードモジュレータに送信する
電圧制御装置とからなるＲＦ電源。 - 【請求項２】 請求項１記載のＲＦ電源において、受電
トランスとＡＣサイリスタの換わりにＩＶＲ（誘導電圧
調整器）を用いたことを特徴とするＲＦ電源。 - 【請求項３】 請求項１記載のＲＦ電源において、アノ
ードモジュレータの換わりに、アノード分圧抵抗でカソ
ード電圧を分圧することによりクライストロンにアノー
ド電圧を与え、電圧制御装置から送信される電圧基準は
カソード電圧基準のみとしたことを特徴とするＲＦ電
源。 - 【請求項４】 請求項１記載のＲＦ電源において、整流
器のＡＣ側の構成を１次の中性点を引き出したトランス
と、このトランスの中性点に接続されたサイリスタブリ
ッジとこのサイリスタブリッジの直流出力端に接続され
たリアクトルに換え、電圧制御装置から送信されるカソ
ード電圧基準によりサイリスタブリッジを制御すること
を特徴とするＲＦ電源。 - 【請求項５】 請求項１記載のＲＦ電源において、ＡＣ
サイリスタを取り除き、整流器をサイリスタに換え、電
圧制御装置から送信されるカソード電圧基準によりサイ
リスタを制御することを特徴とするＲＦ電源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32195493A JPH07176271A (ja) | 1993-12-21 | 1993-12-21 | Ｒｆ電源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32195493A JPH07176271A (ja) | 1993-12-21 | 1993-12-21 | Ｒｆ電源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07176271A true JPH07176271A (ja) | 1995-07-14 |
Family
ID=18138288
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32195493A Pending JPH07176271A (ja) | 1993-12-21 | 1993-12-21 | Ｒｆ電源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07176271A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107450645A (zh) * | 2017-09-07 | 2017-12-08 | 武汉驭波科技有限公司 | 射频电源 |
-
1993
- 1993-12-21 JP JP32195493A patent/JPH07176271A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107450645A (zh) * | 2017-09-07 | 2017-12-08 | 武汉驭波科技有限公司 | 射频电源 |
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