JPH01197949A - ビーム電流制御方法 - Google Patents

ビーム電流制御方法

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Publication number
JPH01197949A
JPH01197949A JP63023192A JP2319288A JPH01197949A JP H01197949 A JPH01197949 A JP H01197949A JP 63023192 A JP63023192 A JP 63023192A JP 2319288 A JP2319288 A JP 2319288A JP H01197949 A JPH01197949 A JP H01197949A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
voltage
beam current
sub
bias voltage
value
Prior art date
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Pending
Application number
JP63023192A
Other languages
English (en)
Inventor
Hideki Kojima
児島 秀樹
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はビーム電流制御方法、特に、電子ビーム溶接機
のビーム電流制御方法に関する。
〔従来の技術〕
従来のビーム電流制御方法は、交流電圧を絶縁変圧器を
介して直流電圧に変換し、電子銃カソード側に正極、グ
リッド側に負極を接続し、前記絶縁変圧器の一次側に印
加する前記交流電圧を変化させることにより、ビーム電
流値を制御していた。
第2図は従来の一例を説明するための回路図である。
端子1.2には電子ビーム16を遮断させるに充分な大
きさの交流電圧を供給しておく。
この交流電圧は絶縁変圧器5を介して整流器7に加えら
れ、コンデンサ9により平滑化されて直流電圧に変換さ
れ、プラス側がカソード13に。
マイナス側がグリッド14に接続され、グリッド14に
負電圧が供給される。
抵抗11はコンデンサ9の電荷を放電させるなめに設け
られる。抵抗11の値を小さくすると、平滑回路の時定
数が減少し応答特性が向上するが、逆にリップル電圧が
増大する。
一般に、ビーム電流の脈動を押えたいため、応答特性の
方を犠牲にしているが゛、電子ビーム溶接において、溶
接成績を向上させるもう一つの条件は、ビーム電流の立
上りを早くし、立下りはやや遅くすることである。
被加工物18に電子ビーム16を加えるには、端子1,
2に与える交流電圧を減少する。
抵抗11の両端の電圧は、抵抗11とコンデンサ9で決
る時定数で減少し、電子ビーム16が次第に増大して行
く。
電子ビーム16の強度を減少させるには、端子1.2に
与える交流電圧を増大する。整流器7を通じてコンデン
サ9は直ちに充電されるので、電子ビーム16の立下り
は、急速にできる。
〔発明が解決しようとする課題〕
上述した従来のビーム電流制御方法は、抵抗11の値を
大きく選んでいるので、バイアス電圧を急減させビーム
電流を急増させるのに時間がかかる。すなわちビーム電
流の立上りが早くないという欠点があった。
本発明の目的は、ビーム電流の立上りが早く、かつビー
ム電流の脈動を押えられるビーム電流制御方法を提供す
ることにある。
〔課題を解決するための手段〕
本発明のビーム電流制御方法は、第1の絶縁変圧器の出
力電圧を整流・平滑し正直流電圧を発生ずる第1の副バ
イアス電圧回路と、第2の絶縁変圧器の出力電圧を整流
・平滑し負直流電圧を発生する第2の副バイアス電圧回
路と、前記第1の副バイアス電圧回路と前記第2の副バ
イアス電圧回路とを直列に接続した主バイアス電圧回路
とを含むビーム電流制御装置の、 (A)前記正直流電圧が零ボルトになるように、前記第
1の絶縁変圧器の入力電圧を設定する手順、 (B)ビーム電流が零ミリアンペアになる電圧、または
これよりやや高い電圧になるように、前記第2の絶縁変
圧器の入力電圧を設定する手順、<C)前記第1の絶縁
変圧器の入力電圧を増加して、前記第2の副バイアス電
圧回路の負電圧を相殺しながら、前記ビーム電流を増加
させてゆく手順、 (D)前記第1の絶縁変圧器の入力電圧を減少して、前
記第1の副バイアス電圧回路の負電圧の相殺度を低下さ
せながら、前記ビーム電流を減少させてゆき零ミリアン
ペアに戻す手順、とを含んで構成される。
〔実施例〕
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
第1図は本発明の一実施例を説明するための回路図であ
る。
第1図に示すビーム電流制御回路は、絶縁変圧器6.整
流器8.コンデンサ10.抵抗12からなる正電圧発生
回路が追加されている。
端子1.2には電子ビーム16を遮断させるに充分な大
きさの交流電圧を供給しておく。
抵抗11の両端に発生させる負電圧の値は、高圧電源1
つの値を変化させないかぎり一定に保ち、端子3,4に
加える交流電圧を増大させて、抵抗12の両端に発生さ
せる正電圧の値を増大させ前述の負電圧を相殺すること
により、電子ビーム16の値を大きくする。
コンデンサ10の充電は急速に行なえるから、電子ビー
ム16の立上がりを早くできる。
高圧電源1つの値を変化させたことによる、グリッドコ
4のカッ1〜オフ電圧の変化に対応するには、端子1.
2に加える交流電圧をA整するだけでよい。
〔発明の効果〕
本発明のビーム電流制御方法は、電子ビーム電流のリッ
プルを小さくすると同時に、その立上りを急速にできる
という効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す回路図、第2図は従来
の一例を示す回路図である。 1〜4・・・・・・端子、5.6・・・・・・絶縁変圧
器、7゜8・・・・・・整流器、9,10・・・・・・
コンデンサ、11゜12・・・・・・抵抗、13・・・
・・・カソード、14・・・・・・グリッド、15・・
・・・・アノード、16・・・・・・電子ビーム、17
・・・・・・集束コイル、18・・・・・・被加工物。 代理人 弁理士  内 原  晋

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 第1の絶縁変圧器の出力電圧を整流・平滑し正直流電圧
    を発生する第1の副バイアス電圧回路と、第2の絶縁変
    圧器の出力電圧を整流・平滑し負直流電圧を発生する第
    2の副バイアス電圧回路と、前記第1の副バイアス電圧
    回路と前記第2の副バイアス電圧回路とを直列に接続し
    た主バイアス電圧回路とを含むビーム電流制御装置の、
    (A)前記正直流電圧が零ボルトになるように、前記第
    1の絶縁変圧器の入力電圧を設定する手順、 (B)ビーム電流が零ミリアンペアになる電圧、または
    これよりやや高い電圧になるように、前記第2の絶縁変
    圧器の入力電圧を設定する手順、(C)前記第1の絶縁
    変圧器の入力電圧を増加して、前記第2の副バイアス電
    圧回路の負電圧を相殺しながら、前記ビーム電流を増加
    させてゆく手順、 (D)前記第1の絶縁変圧器の入力電圧を減少して、前
    記第1の副バイアス電圧回路の負電圧の相殺度を低下さ
    せながら、前記ビーム電流を減少させてゆき零ミリアン
    ペアに戻す手順、 とを含むことを特徴とするビーム電流制御方法。
JP63023192A 1988-02-02 1988-02-02 ビーム電流制御方法 Pending JPH01197949A (ja)

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