JPH07174535A - 表面形状測定装置 - Google Patents
表面形状測定装置Info
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- JPH07174535A JPH07174535A JP32006793A JP32006793A JPH07174535A JP H07174535 A JPH07174535 A JP H07174535A JP 32006793 A JP32006793 A JP 32006793A JP 32006793 A JP32006793 A JP 32006793A JP H07174535 A JPH07174535 A JP H07174535A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 測定可能な面積が限られている表面形状測定
器を用いて広い面積の被測定体の表面形状を測定するこ
とができる表面形状測定装置を提供する。 【構成】 被測定体の面を複数の領域に分割して測定す
る場合において、各測定領域の測定時に互いに隣接する
領域との間に重畳部分を設け、重畳部分における形状特
性の差を差分算出手段１２Ａによって求め、形状特性の
差から１次近似特性を１次近似特性算出手段１２Ｂによ
って算出し、算出した１次近似特性を一方の測定領域の
形状特性に１次近似特性加算手段１２Ｃによって加算
し、１次近似特性加算手段で加算した結果を記憶する記
憶手段１３Ａに記憶する構成とした。
器を用いて広い面積の被測定体の表面形状を測定するこ
とができる表面形状測定装置を提供する。 【構成】 被測定体の面を複数の領域に分割して測定す
る場合において、各測定領域の測定時に互いに隣接する
領域との間に重畳部分を設け、重畳部分における形状特
性の差を差分算出手段１２Ａによって求め、形状特性の
差から１次近似特性を１次近似特性算出手段１２Ｂによ
って算出し、算出した１次近似特性を一方の測定領域の
形状特性に１次近似特性加算手段１２Ｃによって加算
し、１次近似特性加算手段で加算した結果を記憶する記
憶手段１３Ａに記憶する構成とした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は加工体等の表面の凹凸
を精度よく測定することに利用することができる表面形
状測定装置に関する。
を精度よく測定することに利用することができる表面形
状測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図９に表面の凹凸形状を測定する場合等
に利用するレーザ干渉計の概略の構成を示す。図中１は
レーザ光源を示す。このレーザ光源１から出射されたレ
ーザ光２はビームスプリッタ３で９０°曲げられレンズ
４で平行光に変換され透過型エレメント５を透過して被
測定体６に照射される。被測定体６で反射したレーザ光
は再び透過型エレメント５に戻り、透過型エレメント５
で反射した光と出合い干渉が起こる。この干渉は透過型
エレメント５の面から被測定体６の面までの距離差によ
って変化する。従って干渉の強弱によって透過型エレメ
ント５の面と被測定体６の面までの距離差、つまり被測
定体６の面の凹凸を測定できることとなる。このことか
ら、透過型エレメント５の面を基準面と呼んでいる。
に利用するレーザ干渉計の概略の構成を示す。図中１は
レーザ光源を示す。このレーザ光源１から出射されたレ
ーザ光２はビームスプリッタ３で９０°曲げられレンズ
４で平行光に変換され透過型エレメント５を透過して被
測定体６に照射される。被測定体６で反射したレーザ光
は再び透過型エレメント５に戻り、透過型エレメント５
で反射した光と出合い干渉が起こる。この干渉は透過型
エレメント５の面から被測定体６の面までの距離差によ
って変化する。従って干渉の強弱によって透過型エレメ
ント５の面と被測定体６の面までの距離差、つまり被測
定体６の面の凹凸を測定できることとなる。このことか
ら、透過型エレメント５の面を基準面と呼んでいる。
【０００３】干渉像はビームスプリッタ３を直進し、Ｃ
ＩＤ（チャージ・インデクション・デバイス）カメラ７
に結像する。透過型エレメント５は例えばピエゾ素子５
Ａにより光軸方向に振動が与えられる。透過型エレメン
ト５が光軸方向に移動することにより干渉縞が移動す
る。ＣＩＤカメラ７は例えば２４４×３８８個の受光素
子を持つイメージセンサで構成され、各受光素子で受光
する光の強度から干渉縞を読込む。
ＩＤ（チャージ・インデクション・デバイス）カメラ７
に結像する。透過型エレメント５は例えばピエゾ素子５
Ａにより光軸方向に振動が与えられる。透過型エレメン
ト５が光軸方向に移動することにより干渉縞が移動す
る。ＣＩＤカメラ７は例えば２４４×３８８個の受光素
子を持つイメージセンサで構成され、各受光素子で受光
する光の強度から干渉縞を読込む。
【０００４】受光素子の各１個ずつが被測定体６に照射
された光の領域内の各点に対応し、受光素子の配列の密
度が被測定体６の表面の凹凸を測定する分解能となる。
干渉縞が移動することにより、隣接する受光素子の相互
間の位相を知ることができ、被測定体６の面の各点の凹
凸形状データが算出される。
された光の領域内の各点に対応し、受光素子の配列の密
度が被測定体６の表面の凹凸を測定する分解能となる。
干渉縞が移動することにより、隣接する受光素子の相互
間の位相を知ることができ、被測定体６の面の各点の凹
凸形状データが算出される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】レーザ光を用いた表面
形状測定器は原理的に図９に示した構造であるため、測
定可能な面積は透過型エレメント５の面積で決められ有
限である。つまり、１度に測定できる面積には限りがあ
る。このため、大きい面積を持つ被測定体の表面の凹凸
形状を測定するには、測定領域を移動させ、各移動位置
毎に測定を行なう。例えば図１０に示すように測定可能
な領域Ａに対してこの領域Ａより数倍長い形状を持つ被
測定体６の凹凸形状を求めるには、領域Ａ，Ｂ，Ｃ，
Ｄ，Ｅ，のように複数回にわたって測定を繰返し、各測
定可能な領域Ａ〜Ｅ毎に凹凸形状データを取込む。
形状測定器は原理的に図９に示した構造であるため、測
定可能な面積は透過型エレメント５の面積で決められ有
限である。つまり、１度に測定できる面積には限りがあ
る。このため、大きい面積を持つ被測定体の表面の凹凸
形状を測定するには、測定領域を移動させ、各移動位置
毎に測定を行なう。例えば図１０に示すように測定可能
な領域Ａに対してこの領域Ａより数倍長い形状を持つ被
測定体６の凹凸形状を求めるには、領域Ａ，Ｂ，Ｃ，
Ｄ，Ｅ，のように複数回にわたって測定を繰返し、各測
定可能な領域Ａ〜Ｅ毎に凹凸形状データを取込む。
【０００６】このように複数の領域Ａ〜Ｅで求めて凹凸
形状データの間には連続性を持たないから、各領域Ａ〜
Ｅで求めて凹凸形状データをつなぎ合せて被測定体６の
全体の凹凸形状特性を得ることができない不都合があ
る。つまり、被測定体６の表面の端から端までの連続し
た累積値が規定した許容値に入っているか否か等の評価
を行なうことができない不都合がある。
形状データの間には連続性を持たないから、各領域Ａ〜
Ｅで求めて凹凸形状データをつなぎ合せて被測定体６の
全体の凹凸形状特性を得ることができない不都合があ
る。つまり、被測定体６の表面の端から端までの連続し
た累積値が規定した許容値に入っているか否か等の評価
を行なうことができない不都合がある。
【０００７】この発明の目的は１度の測定により測定で
きる面積が有限であってもその測定可能な面より大きい
面の凹凸形状を連続した面として評価することができる
凹凸形状測定装置を提供しようとするものである。
きる面積が有限であってもその測定可能な面より大きい
面の凹凸形状を連続した面として評価することができる
凹凸形状測定装置を提供しようとするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明では被測定体の
表面を複数回に分けて凹凸形状を測定する形状測定装置
において、隣接する測定領域相互の間に重畳部分を設け
ると共にこの重畳部分の各凹凸形状特性の差を求める差
分算出手段と、この差分算出手段で算出した差分特性か
ら１次近似特性を求める１次近似特性算出手段と、この
１次近似特性算出手段で算出して１次近似特性をつなぎ
合せるべき隣接する領域の形状特性に加算する１次近似
特性加算手段と、この１次近似特性加算手段で加算した
結果を記憶する記憶器によって構成して、形状測定装置
を提案するものである。
表面を複数回に分けて凹凸形状を測定する形状測定装置
において、隣接する測定領域相互の間に重畳部分を設け
ると共にこの重畳部分の各凹凸形状特性の差を求める差
分算出手段と、この差分算出手段で算出した差分特性か
ら１次近似特性を求める１次近似特性算出手段と、この
１次近似特性算出手段で算出して１次近似特性をつなぎ
合せるべき隣接する領域の形状特性に加算する１次近似
特性加算手段と、この１次近似特性加算手段で加算した
結果を記憶する記憶器によって構成して、形状測定装置
を提案するものである。
【０００９】
【作用】この発明の構成によれば隣接する第１の測定領
域と第２の測定領域の間に重畳部を設け、この重畳部分
の凹凸形状特性の差を求め、その差の特性から１次近似
特性を求めたが、この１次近似特性は第１の測定領域と
第２の測定領域の傾むきの差を表わしている。この傾む
きの差を第２の測定領域の凹凸形状特性に加算すること
により、第２の測定領域の傾むきを第１の測定領域の傾
むきに合致させることができる。第３の測定領域の凹凸
形状特性を第２の凹凸形状特性につなぐ場合も第２の測
定領域と第３の測定領域の間に設けた重畳部分で差を求
め、この差の特性から１次近似特性を算出し、この算出
結果を第３の測定領域の凹凸形状特性に加えればよい。
域と第２の測定領域の間に重畳部を設け、この重畳部分
の凹凸形状特性の差を求め、その差の特性から１次近似
特性を求めたが、この１次近似特性は第１の測定領域と
第２の測定領域の傾むきの差を表わしている。この傾む
きの差を第２の測定領域の凹凸形状特性に加算すること
により、第２の測定領域の傾むきを第１の測定領域の傾
むきに合致させることができる。第３の測定領域の凹凸
形状特性を第２の凹凸形状特性につなぐ場合も第２の測
定領域と第３の測定領域の間に設けた重畳部分で差を求
め、この差の特性から１次近似特性を算出し、この算出
結果を第３の測定領域の凹凸形状特性に加えればよい。
【００１０】このようにしてこの発明によれば隣接する
測定領域毎に測定した凹凸形状特性を順次つなぎ合せる
ことができるから、被測定体の表面の面積が測定可能な
領域より大きくても、その全面積内の連続した凹凸形状
特性を得ることができる。よってこの凹凸形状特性によ
り、被測定体の表面の全体の凹凸を評価することができ
る。
測定領域毎に測定した凹凸形状特性を順次つなぎ合せる
ことができるから、被測定体の表面の面積が測定可能な
領域より大きくても、その全面積内の連続した凹凸形状
特性を得ることができる。よってこの凹凸形状特性によ
り、被測定体の表面の全体の凹凸を評価することができ
る。
【００１１】
【実施例】図１にこの発明の実施例を示す。図１に示す
７は図９に示したと同じＣＩＤカメラを示す。このＣＩ
Ｄカメラ７から例えば２４０×３８３個の受光素子の各
受光データがＡＤ変換器８を介してこの発明による表面
形状測定装置９に入力される。この発明による表面形状
測定装置９は例えばコンピュータによって構成すること
ができる。コンピュータはよく知られているように、中
央演算処理装置１１と、この中央演算処理装置１１を動
作させるためのプログラム等を収納したＲＯＭ１２と、
入力されたデータを一時記憶したり、演算結果を一時記
憶する等の動作を行なうＲＡＭ１３と、入力ポート１
４、出力ポート１５とによって構成される。
７は図９に示したと同じＣＩＤカメラを示す。このＣＩ
Ｄカメラ７から例えば２４０×３８３個の受光素子の各
受光データがＡＤ変換器８を介してこの発明による表面
形状測定装置９に入力される。この発明による表面形状
測定装置９は例えばコンピュータによって構成すること
ができる。コンピュータはよく知られているように、中
央演算処理装置１１と、この中央演算処理装置１１を動
作させるためのプログラム等を収納したＲＯＭ１２と、
入力されたデータを一時記憶したり、演算結果を一時記
憶する等の動作を行なうＲＡＭ１３と、入力ポート１
４、出力ポート１５とによって構成される。
【００１２】入力ポート１４にはＡＤ変換器８が接続さ
れ、このＡＤ変換器８からＣＩＤカメラ７の各受光素子
の受光データが時分割されて線順次信号として入力され
る。中央演算処理装置１１はこの線順次に取込んだ各受
光素子のデータをＲＡＭ１３（又は外部に接続したフロ
ッピーディスク或はバードデイスク）等に取込まれる。
従って図２に示した測定可能領域Ａ〜Ｅの各凹凸形状デ
ータは予め測定され、これら外部記憶装置（特に図示し
ない）或は内蔵したＲＡＭ１３に記憶されているものと
する。記憶されている凹凸形状データを選択して読出す
ことにより例えば図２に示すＡ−Ａ′線上の凹凸形状特
性を求めることができる。図３に測定領域Ａ，Ｂ，Ｃに
おけるＡ−Ａ′線上の凹凸形状特性ｙ＝ｆ1 （ｘ），ｙ
＝ｆ2 （ｘ），ｙ＝ｆ3 （ｘ）を示す。
れ、このＡＤ変換器８からＣＩＤカメラ７の各受光素子
の受光データが時分割されて線順次信号として入力され
る。中央演算処理装置１１はこの線順次に取込んだ各受
光素子のデータをＲＡＭ１３（又は外部に接続したフロ
ッピーディスク或はバードデイスク）等に取込まれる。
従って図２に示した測定可能領域Ａ〜Ｅの各凹凸形状デ
ータは予め測定され、これら外部記憶装置（特に図示し
ない）或は内蔵したＲＡＭ１３に記憶されているものと
する。記憶されている凹凸形状データを選択して読出す
ことにより例えば図２に示すＡ−Ａ′線上の凹凸形状特
性を求めることができる。図３に測定領域Ａ，Ｂ，Ｃに
おけるＡ−Ａ′線上の凹凸形状特性ｙ＝ｆ1 （ｘ），ｙ
＝ｆ2 （ｘ），ｙ＝ｆ3 （ｘ）を示す。
【００１３】この発明では各測定可能領域Ａ〜Ｅで測定
した凹凸形状特性の互に隣接する領域の間に図２に示す
ように重畳部分ＡＢ，ＢＣ，ＣＤ，ＤＥを設けると共
に、この重畳部分ＡＢ，ＢＣ，ＣＤ，ＤＥにおいて、こ
の重畳部分ＡＢ，ＢＣ，ＣＤ，ＤＥ内の特定した線上の
凹凸形状特性（図２ではＡ−Ａ′線上の凹凸形状特性の
差を算出する差分算出手段１２Ａと、この差分算出手段
１２Ａで算出した差分特性から１次近似特性を算出する
１次近似特性算出手段１２Ｂと、この１次近似特性算出
手段１２Ｂで算出した１次近似特性を隣接する測定可能
領域の凹凸形状データに加算する手段１２Ｃと、この加
算結果を記憶する記憶手段１３Ａとを設けた構造とした
ものである。
した凹凸形状特性の互に隣接する領域の間に図２に示す
ように重畳部分ＡＢ，ＢＣ，ＣＤ，ＤＥを設けると共
に、この重畳部分ＡＢ，ＢＣ，ＣＤ，ＤＥにおいて、こ
の重畳部分ＡＢ，ＢＣ，ＣＤ，ＤＥ内の特定した線上の
凹凸形状特性（図２ではＡ−Ａ′線上の凹凸形状特性の
差を算出する差分算出手段１２Ａと、この差分算出手段
１２Ａで算出した差分特性から１次近似特性を算出する
１次近似特性算出手段１２Ｂと、この１次近似特性算出
手段１２Ｂで算出した１次近似特性を隣接する測定可能
領域の凹凸形状データに加算する手段１２Ｃと、この加
算結果を記憶する記憶手段１３Ａとを設けた構造とした
ものである。
【００１４】差分算出手段１２Ａは図２に示すように測
定可能領域ＡとＢの間に設けられる重畳部分ＡＢ内にお
いて、領域Ａの凹凸形状特性ｙ＝ｆ1 （ｘ）と、領域Ｂ
の凹凸形状特性ｙ＝ｆ2 （ｘ）の差分特性Ｙ1 （図４）
を求める。 Ｙ1 ＝ｆ1 （ｘ）−ｆ2 （ｘ） この差分特性Ｙ1 について１次近似特性算出手段１２Ｂ
で１次の多項式近似を行ない、１次近似特性ｙ＝ｇ
2 （ｘ）（図５）を求める。
定可能領域ＡとＢの間に設けられる重畳部分ＡＢ内にお
いて、領域Ａの凹凸形状特性ｙ＝ｆ1 （ｘ）と、領域Ｂ
の凹凸形状特性ｙ＝ｆ2 （ｘ）の差分特性Ｙ1 （図４）
を求める。 Ｙ1 ＝ｆ1 （ｘ）−ｆ2 （ｘ） この差分特性Ｙ1 について１次近似特性算出手段１２Ｂ
で１次の多項式近似を行ない、１次近似特性ｙ＝ｇ
2 （ｘ）（図５）を求める。
【００１５】１次近似特性ｙ＝ｇ2 （ｘ）に測定領域Ｂ
の形状特性ｙ＝ｆ2 （ｘ）を近似特性加算手段１２Ｃで
加算し、その加算結果をＲＡＭ１３に設けた記憶手段１
３Ａに記憶する。図５に測定領域Ａの凹凸形状特性ｙ＝
ｆ1 （ｘ）と、測定領域Ｂの凹凸形状特性ｙ＝ｆ
2 （ｘ）をつなぎ合せた特性ｙ＝Ｆ2 （ｘ）を示す。次
に測定領域Ｃの凹凸形状特性ｙ＝ｆ3 （ｘ）をつなぎ合
せる場合について説明する。図６に示した測定領域Ｂの
補正された特性ｙ＝Ｆ2 （ｘ）から測定領域Ｃの凹凸形
状特性ｙ＝ｆ3 （ｘ）を減算し差分特性Ｙ2 （図６）を
求める。
の形状特性ｙ＝ｆ2 （ｘ）を近似特性加算手段１２Ｃで
加算し、その加算結果をＲＡＭ１３に設けた記憶手段１
３Ａに記憶する。図５に測定領域Ａの凹凸形状特性ｙ＝
ｆ1 （ｘ）と、測定領域Ｂの凹凸形状特性ｙ＝ｆ
2 （ｘ）をつなぎ合せた特性ｙ＝Ｆ2 （ｘ）を示す。次
に測定領域Ｃの凹凸形状特性ｙ＝ｆ3 （ｘ）をつなぎ合
せる場合について説明する。図６に示した測定領域Ｂの
補正された特性ｙ＝Ｆ2 （ｘ）から測定領域Ｃの凹凸形
状特性ｙ＝ｆ3 （ｘ）を減算し差分特性Ｙ2 （図６）を
求める。
【００１６】Ｙ2 ＝Ｆ2 （ｘ）−ｆ3 （ｘ） この差分特性Ｙ2 について１次近似特性算出手段１２Ｂ
で１次の多項式近似を行ない、１次近似特性ｙ＝ｇ
3 （ｘ）（図７）を求める。１次近似特性ｙ＝ｇ
3 （ｘ）に測定領域Ｃの形状特性ｙ＝ｆ3 （ｘ）を近似
特性加算手段１２Ｃで加算し、その加算結果をＲＡＭ１
３に設けて記憶手段１３Ａに記憶する。図７に測定領域
Ｃの凹凸特性ｙ＝ｆ3 （ｘ）をつなぎ合せた総合凹凸特
性ｙ＝Ｆ3 （ｘ）を示す。
で１次の多項式近似を行ない、１次近似特性ｙ＝ｇ
3 （ｘ）（図７）を求める。１次近似特性ｙ＝ｇ
3 （ｘ）に測定領域Ｃの形状特性ｙ＝ｆ3 （ｘ）を近似
特性加算手段１２Ｃで加算し、その加算結果をＲＡＭ１
３に設けて記憶手段１３Ａに記憶する。図７に測定領域
Ｃの凹凸特性ｙ＝ｆ3 （ｘ）をつなぎ合せた総合凹凸特
性ｙ＝Ｆ3 （ｘ）を示す。
【００１７】記憶手段１３Ａに記憶した総合凹凸特性ｙ
＝Ｆ3 （ｘ）は必要に応じて出力ポート１５からモニタ
１６又はプリンタ１７に出力し、表示することができ
る。
＝Ｆ3 （ｘ）は必要に応じて出力ポート１５からモニタ
１６又はプリンタ１７に出力し、表示することができ
る。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれば
各測定領域Ａ〜Ｅで測定した各領域内の凹凸特性ｙ＝ｆ
1 （ｘ），ｙ＝ｆ2 （ｘ），ｙ＝ｆ3 （ｘ）・・・をつ
なぎ合せることができる。この結果、被測定体６の面の
端から端までの累積凹凸特性を求めることができるか
ら、被測定体６の表面の評価を正確に行なうことができ
る。
各測定領域Ａ〜Ｅで測定した各領域内の凹凸特性ｙ＝ｆ
1 （ｘ），ｙ＝ｆ2 （ｘ），ｙ＝ｆ3 （ｘ）・・・をつ
なぎ合せることができる。この結果、被測定体６の面の
端から端までの累積凹凸特性を求めることができるか
ら、被測定体６の表面の評価を正確に行なうことができ
る。
【００１９】尚、上述の説明では被測定体６上のＡ−
Ａ′線上の凹凸特性についてだけを説明したが、図８に
示すように、Ａ１−Ａ′１線上、Ａ２−Ａ′２線上、Ａ
３−Ａ′３線上及びＢ１−Ｂ′１線上、Ｂ２−Ｂ′２線
上の各凹凸特性について求めることもできる。この場合
各線上の凹凸形状特性について、それぞれの線が交差す
る参照面上のポイントで同じ値になるように、適宜それ
ぞれの形状特性入力偏差しまたは傾きを加える。例えば
Ａ１−Ａ′１線上の凹凸形状特性を基準にすれば、Ｂ１
−Ｂ′１線上の凹凸形状特性はＡ１−Ａ′１とＢ１−
Ｂ′１が交差するポイントでの形状データの差を加えた
特性に修正する。これをＡ１−Ａ′１線と、Ｂ２−Ｂ′
２線、Ａ２−Ａ′２線と、Ｂ１−Ｂ′１，Ａ３−Ａ′３
とＢ１−Ｂ′１に対して順次実行し、最後にＡ２−Ａ′
２とＢ２−Ｂ′２，Ａ３−Ａ′３とＢ２−Ｂ′２に対し
て矛盾を解消するように、Ａ２−Ａ′２，Ａ３−Ａ′３
に対して１次特性成分を加える。但し、このとき加えら
れた１次特性成分はＢ１−Ｂ′１と交差するポイントの
形状データの値を変えないものとする。
Ａ′線上の凹凸特性についてだけを説明したが、図８に
示すように、Ａ１−Ａ′１線上、Ａ２−Ａ′２線上、Ａ
３−Ａ′３線上及びＢ１−Ｂ′１線上、Ｂ２−Ｂ′２線
上の各凹凸特性について求めることもできる。この場合
各線上の凹凸形状特性について、それぞれの線が交差す
る参照面上のポイントで同じ値になるように、適宜それ
ぞれの形状特性入力偏差しまたは傾きを加える。例えば
Ａ１−Ａ′１線上の凹凸形状特性を基準にすれば、Ｂ１
−Ｂ′１線上の凹凸形状特性はＡ１−Ａ′１とＢ１−
Ｂ′１が交差するポイントでの形状データの差を加えた
特性に修正する。これをＡ１−Ａ′１線と、Ｂ２−Ｂ′
２線、Ａ２−Ａ′２線と、Ｂ１−Ｂ′１，Ａ３−Ａ′３
とＢ１−Ｂ′１に対して順次実行し、最後にＡ２−Ａ′
２とＢ２−Ｂ′２，Ａ３−Ａ′３とＢ２−Ｂ′２に対し
て矛盾を解消するように、Ａ２−Ａ′２，Ａ３−Ａ′３
に対して１次特性成分を加える。但し、このとき加えら
れた１次特性成分はＢ１−Ｂ′１と交差するポイントの
形状データの値を変えないものとする。
【図１】この発明による表面形状測定装置の一実施例を
示すブロック図。
示すブロック図。
【図２】この発明の動作を説明するための平面図。
【図３】この発明の動作を説明するための特性曲線図。
【図４】図３と同様の特性曲線図。
【図５】図３と同様の特性曲線図。
【図６】図３と同様の特性曲線図。
【図７】図３と同様の特性曲線図。
【図８】この発明による測定装置を利用した他の測定方
法を説明するための平面図。
法を説明するための平面図。
【図９】レーザ光を利用した干渉計の原理を説明するた
めの図。
めの図。
【図１０】従来の技術の不都合を説明するための平面
図。
図。
１ レーザ光源 ２ レーザ光 ３ ビームスプリッタ ４ レンズ ５ 透過型エレメント ６ 被測定体 ７ ＣＩＤカメラ ８ ＡＤ変換器 ９ 表面形状測定装置 １１ 中央演算処理装置 １２ ＲＯＭ １２Ａ 差分算出手段 １２Ｂ １次近似特性算出手段 １２Ｃ １次近似特性加算手段 １３ ＲＡＭ １３Ａ 記憶手段 １４ 入力ポート １５ 出力ポート
Claims (1)
- 【請求項１】 レーザ光を透明な基準面を介して上記基
準面の面積より大きい面積を持つ被測定体に照射し、被
測定体からの反射光と、上記基準面における反射光との
位相差に応じて上記基準面と被測定体の面との間の距離
を測定し、被測定体の面の凹凸を測定する表面形状測定
装置において、 上記基準面の面積が被測定面の面積より小さく、被測定
体の面を複数の領域に分割して測定する場合において、
各測定領域の測定時に互に隣接する領域との間に重畳部
分を設けると共に、この重畳部分における形状特性の差
を求める差分算出手段と、形状特性の差から１次近似特
性を算出する１次近似特性算出手段と、１次近似特性を
一方の測定領域の形状特性に加える１次近似特性加算手
段と、この１次近似特性加算手段で加算した結果を記憶
する記憶手段を設けたことを特徴とする表面形状測定装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32006793A JPH07174535A (ja) | 1993-12-20 | 1993-12-20 | 表面形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32006793A JPH07174535A (ja) | 1993-12-20 | 1993-12-20 | 表面形状測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07174535A true JPH07174535A (ja) | 1995-07-14 |
Family
ID=18117357
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32006793A Pending JPH07174535A (ja) | 1993-12-20 | 1993-12-20 | 表面形状測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07174535A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003014449A (ja) * | 2001-06-29 | 2003-01-15 | Mitsutoyo Corp | 表面性状測定装置の校正方法 |
| JP2008533439A (ja) * | 2005-02-01 | 2008-08-21 | テイラー・ホブソン・リミテッド | 測定器具 |
| JP2012112705A (ja) * | 2010-11-22 | 2012-06-14 | Kosaka Laboratory Ltd | 表面形状測定方法 |
-
1993
- 1993-12-20 JP JP32006793A patent/JPH07174535A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003014449A (ja) * | 2001-06-29 | 2003-01-15 | Mitsutoyo Corp | 表面性状測定装置の校正方法 |
| JP4634657B2 (ja) * | 2001-06-29 | 2011-02-16 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定装置の校正方法 |
| JP2008533439A (ja) * | 2005-02-01 | 2008-08-21 | テイラー・ホブソン・リミテッド | 測定器具 |
| US8296098B2 (en) | 2005-02-01 | 2012-10-23 | Taylor Hobson Limited | Metrological instrument |
| JP2012112705A (ja) * | 2010-11-22 | 2012-06-14 | Kosaka Laboratory Ltd | 表面形状測定方法 |
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