JPH07174076A - ポンプ - Google Patents
ポンプInfo
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- JPH07174076A JPH07174076A JP6105738A JP10573894A JPH07174076A JP H07174076 A JPH07174076 A JP H07174076A JP 6105738 A JP6105738 A JP 6105738A JP 10573894 A JP10573894 A JP 10573894A JP H07174076 A JPH07174076 A JP H07174076A
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- JP
- Japan
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- pump
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- drive member
- bellows
- pair
- Prior art date
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B15/00—Pumps adapted to handle specific fluids, e.g. by selection of specific materials for pumps or pump parts
- F04B15/04—Pumps adapted to handle specific fluids, e.g. by selection of specific materials for pumps or pump parts the fluids being hot or corrosive
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
- F04B43/08—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having tubular flexible members
- F04B43/10—Pumps having fluid drive
- F04B43/113—Pumps having fluid drive the actuating fluid being controlled by at least one valve
- F04B43/1136—Pumps having fluid drive the actuating fluid being controlled by at least one valve with two or more pumping chambers in parallel
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S417/00—Pumps
- Y10S417/01—Materials digest
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Reciprocating Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 構成が簡単で、かつ、ポンプを構成する全て
の部品が耐腐食性材料から成るポンプを提供すること。 【構成】 第１と第２の端部を有するシャフト（２０）
と、シャフト（２０）の端部（２７）の各々に取着され
た一対の駆動部材（３０）であって、一対の駆動部材
（３０）の各々がベロー（３６）を備えている駆動部材
（３０）と、駆動部材（３０）を覆うように設けられた
一対の本体部材（４５）であって、該一対の本体部材
（４５）の各々が、駆動部材（３０）と共にポンプ室
（７１、７２）を形成する内部を有する本体部材（４
５）と、先ず駆動部材の一方のベローに圧力を付与し、
次いで、他方の駆動部材のベローに圧力を付与する手段
（６５）とを具備する。
の部品が耐腐食性材料から成るポンプを提供すること。 【構成】 第１と第２の端部を有するシャフト（２０）
と、シャフト（２０）の端部（２７）の各々に取着され
た一対の駆動部材（３０）であって、一対の駆動部材
（３０）の各々がベロー（３６）を備えている駆動部材
（３０）と、駆動部材（３０）を覆うように設けられた
一対の本体部材（４５）であって、該一対の本体部材
（４５）の各々が、駆動部材（３０）と共にポンプ室
（７１、７２）を形成する内部を有する本体部材（４
５）と、先ず駆動部材の一方のベローに圧力を付与し、
次いで、他方の駆動部材のベローに圧力を付与する手段
（６５）とを具備する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はポンプに関し、特に、本
発明は簡単で小型の往復、２室、圧縮空気駆動式のポン
プに関する。ポンプの構成の強度がポンプ全体を耐腐食
性材料から形成することを容易にする。
発明は簡単で小型の往復、２室、圧縮空気駆動式のポン
プに関する。ポンプの構成の強度がポンプ全体を耐腐食
性材料から形成することを容易にする。
【０００２】
【従来の技術】複動式のダイヤフラムポンプが周知とな
っている。この種のポンプは米国特許公報第４７０８６
０１号、４８１７５０３号、５１０８２７０号に開示さ
れている。上記の開示されたポンプは、一対の可撓性ダ
イヤフラムを圧縮空気により駆動する。各々のダイヤフ
ラムが吸込口から流体をポンプ室内に吸い込み、そして
吐出口から吐き出す。上記ポンプは水、薬品、食品その
他の材料を含む様々な流体を供給するために広範に利用
されている。
っている。この種のポンプは米国特許公報第４７０８６
０１号、４８１７５０３号、５１０８２７０号に開示さ
れている。上記の開示されたポンプは、一対の可撓性ダ
イヤフラムを圧縮空気により駆動する。各々のダイヤフ
ラムが吸込口から流体をポンプ室内に吸い込み、そして
吐出口から吐き出す。上記ポンプは水、薬品、食品その
他の材料を含む様々な流体を供給するために広範に利用
されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】周知のダイヤフラムポ
ンプは、小さな金属のフィティングや固定具を含み複雑
な構成をしている。この複雑な構成はポンプの分解、組
立を難しくする。これにより、定期的なメンテナンス、
オーバーホールが難しくなる。従って、少ないメンテナ
ンスでよいポンプを提供する必要がある。更に、分解、
組立が容易で、メンテナンスを容易にするポンプが望ま
しい。
ンプは、小さな金属のフィティングや固定具を含み複雑
な構成をしている。この複雑な構成はポンプの分解、組
立を難しくする。これにより、定期的なメンテナンス、
オーバーホールが難しくなる。従って、少ないメンテナ
ンスでよいポンプを提供する必要がある。更に、分解、
組立が容易で、メンテナンスを容易にするポンプが望ま
しい。
【０００４】複動式のダイヤフラムポンプは腐食性流体
への適用がある。これらの流体は、少ない需要に対して
構成されたポンプで一般的に使用される金属部品を攻撃
し腐食させる。この種のポンプでは、通常、吐出される
材料と接触する一部または全ての部品（濡れ部品）は、
科学的に不活性な材料で被覆されている。米国特許公報
第４８１７５０３号は、構成部品の一部が耐腐食性材料
から成るポンプを開示している。
への適用がある。これらの流体は、少ない需要に対して
構成されたポンプで一般的に使用される金属部品を攻撃
し腐食させる。この種のポンプでは、通常、吐出される
材料と接触する一部または全ての部品（濡れ部品）は、
科学的に不活性な材料で被覆されている。米国特許公報
第４８１７５０３号は、構成部品の一部が耐腐食性材料
から成るポンプを開示している。
【０００５】然しながら、濡れ部品が耐腐食性材料によ
り形成され或いは被覆されていても、ポンプの他の部位
や外部には金属部品が含まれている。ポンプ本体に管を
保持する固定具やフィッティングに金属材料が使用され
ることが多い。これは、典型的に柔軟なプラスチックに
より形成される耐腐食性部品よりも、金属材料が非常に
強度が高く、かつ、加工が容易であるためと考えられ
る。
り形成され或いは被覆されていても、ポンプの他の部位
や外部には金属部品が含まれている。ポンプ本体に管を
保持する固定具やフィッティングに金属材料が使用され
ることが多い。これは、典型的に柔軟なプラスチックに
より形成される耐腐食性部品よりも、金属材料が非常に
強度が高く、かつ、加工が容易であるためと考えられ
る。
【０００６】露出する金属部品を、通常、作動流体と接
触しない外側の部位にのみ有するポンプにも適用範囲が
ある。然しながら、上記ポンプは半導体製造への適用に
は問題がある。この適用では、溶解力と酸化力とを有す
る腐食性の高い薬品中に対して、非常に高い純度を維持
しなければならない必要がある。
触しない外側の部位にのみ有するポンプにも適用範囲が
ある。然しながら、上記ポンプは半導体製造への適用に
は問題がある。この適用では、溶解力と酸化力とを有す
る腐食性の高い薬品中に対して、非常に高い純度を維持
しなければならない必要がある。
【０００７】注意を払っても、製造行程においてポンプ
からの漏洩を完全に防止することは本質的に不可能であ
る。少量の薬品が漏洩すると、露出された固定具その他
の金属部品に直ちに接触する。これにより、金属部品は
腐食され、腐食して溶解して物質がポンプ内に戻り系を
汚染する。多くの適用において、これは問題とはならな
い。と言うのは、汚染物質は相対的に少量であり、超純
度の薬品は絶対的な要件ではないからである。
からの漏洩を完全に防止することは本質的に不可能であ
る。少量の薬品が漏洩すると、露出された固定具その他
の金属部品に直ちに接触する。これにより、金属部品は
腐食され、腐食して溶解して物質がポンプ内に戻り系を
汚染する。多くの適用において、これは問題とはならな
い。と言うのは、汚染物質は相対的に少量であり、超純
度の薬品は絶対的な要件ではないからである。
【０００８】半導体製造業では、然しながら、少量の汚
染物質が重大事となる。近時では、単一のシリコンチッ
プ上に多数の電子部品が製造され、こうしたチップを大
量に自動製造工程（サイクルまたはラン）で製造され
る。通常、製造工程が終了して個々のチップが試験され
るまで、汚染によるチップの失敗は検知されない。こう
した状況において、腐食された金属が流体系へ戻る汚染
源がたった１つあっても多大な損害が生じる。更に、製
造ラインが停止し、汚染源を特定して系をパージするま
で多大な遅れを生じる。こうした理由から、ポンプを構
成する全ての部品が耐腐食性材料から成るポンプを提供
する必要がある。
染物質が重大事となる。近時では、単一のシリコンチッ
プ上に多数の電子部品が製造され、こうしたチップを大
量に自動製造工程（サイクルまたはラン）で製造され
る。通常、製造工程が終了して個々のチップが試験され
るまで、汚染によるチップの失敗は検知されない。こう
した状況において、腐食された金属が流体系へ戻る汚染
源がたった１つあっても多大な損害が生じる。更に、製
造ラインが停止し、汚染源を特定して系をパージするま
で多大な遅れを生じる。こうした理由から、ポンプを構
成する全ての部品が耐腐食性材料から成るポンプを提供
する必要がある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明では、複動式のポ
ンプが提供される。本発明の１つの特徴によれば、従来
のポンプで使用されている可撓性を有するダイヤフラム
に代えて、一対の伸縮可能なベローが圧縮空気の供給を
受けて駆動される。伸縮可能なベローを使用することに
より、１回の行程で吐出される流体の流量が増加する。
従って、ポンプの周波数を低減することが可能となる。
これにより、ベローや、内部シール、ポンプの他の構成
部品の損耗が著しく低減される。従って、運用寿命が従
来の複動式ダイヤフラムポンプと比較して著しく長くな
る。更に、ベローポンプにより供給される流体内のパル
ス状の圧力変動の周波数および振幅が、従来のダイヤフ
ラムポンプと比較して低下する。
ンプが提供される。本発明の１つの特徴によれば、従来
のポンプで使用されている可撓性を有するダイヤフラム
に代えて、一対の伸縮可能なベローが圧縮空気の供給を
受けて駆動される。伸縮可能なベローを使用することに
より、１回の行程で吐出される流体の流量が増加する。
従って、ポンプの周波数を低減することが可能となる。
これにより、ベローや、内部シール、ポンプの他の構成
部品の損耗が著しく低減される。従って、運用寿命が従
来の複動式ダイヤフラムポンプと比較して著しく長くな
る。更に、ベローポンプにより供給される流体内のパル
ス状の圧力変動の周波数および振幅が、従来のダイヤフ
ラムポンプと比較して低下する。
【００１０】本発明の他の特徴によれば、単純で強度の
高い新規な構成によりポンプが組み立てられる。この構
成では、ポンプコアに取着された一対の回転可能な本体
リングが、一対の駆動部材および本体部材をポンプコア
に固定する。駆動部材と本体部材とにより一対のポンプ
室が形成され、このポンプ室を通して流体が吐出され
る。この新規な構成は、駆動部材としてダイヤフラムを
使用する従来のポンプでも使用できるかもしれないが、
本発明の好ましい実施例では伸縮可能なベローを使用し
ている。本発明の他の特徴では、流体のための吐出管お
よび吸込管は、回転自在に設けられた固定リングにより
固定される。
高い新規な構成によりポンプが組み立てられる。この構
成では、ポンプコアに取着された一対の回転可能な本体
リングが、一対の駆動部材および本体部材をポンプコア
に固定する。駆動部材と本体部材とにより一対のポンプ
室が形成され、このポンプ室を通して流体が吐出され
る。この新規な構成は、駆動部材としてダイヤフラムを
使用する従来のポンプでも使用できるかもしれないが、
本発明の好ましい実施例では伸縮可能なベローを使用し
ている。本発明の他の特徴では、流体のための吐出管お
よび吸込管は、回転自在に設けられた固定リングにより
固定される。
【００１１】構成が単純であるので、点検、清掃、メン
テナンスのためにポンプの分解、組立が容易であるとの
利点を有している。ポンプの強度が高くなるように構成
されているので、ポンプ全体を耐腐食性の高い材料、典
型的には有機ポリマーを使用して形成することが可能で
ある。この特徴は、高純度に維持され高い腐食性を有す
る材料を使用する半導体製造業などの必要とされる適用
では特に望ましい。
テナンスのためにポンプの分解、組立が容易であるとの
利点を有している。ポンプの強度が高くなるように構成
されているので、ポンプ全体を耐腐食性の高い材料、典
型的には有機ポリマーを使用して形成することが可能で
ある。この特徴は、高純度に維持され高い腐食性を有す
る材料を使用する半導体製造業などの必要とされる適用
では特に望ましい。
【００１２】
【実施例】図１に本発明のポンプの好ましい実施例を図
示する。図１においてポンプ１０は概ね対称形状をして
おり、ポンプコア１５を中心として両側に等価の部品が
配設されている。以下の説明ではポンプの片側の構成に
ついてのみ説明するが、反対側の構成も同様である。以
下、図１のポンプの断面図である図２をも参照して本発
明の実施例を説明するが、同様の部品は同じ参照番号が
付されている。
示する。図１においてポンプ１０は概ね対称形状をして
おり、ポンプコア１５を中心として両側に等価の部品が
配設されている。以下の説明ではポンプの片側の構成に
ついてのみ説明するが、反対側の構成も同様である。以
下、図１のポンプの断面図である図２をも参照して本発
明の実施例を説明するが、同様の部品は同じ参照番号が
付されている。
【００１３】ポンプ１０はポンプコア１５を中心として
構成されている。回転可能な本体リング１８が、背板２
５によりポンプコアに保持されている。背板２５は、プ
ラスチックのネジ（図示せず）によりポンプコアに取り
付けられている。このプラスチックネジは背板２５を貫
通してポンプコアにねじ込まれている。本体リング１８
は、ポンプコアを貫通する中心軸線の回りに回転可能に
構成されている。
構成されている。回転可能な本体リング１８が、背板２
５によりポンプコアに保持されている。背板２５は、プ
ラスチックのネジ（図示せず）によりポンプコアに取り
付けられている。このプラスチックネジは背板２５を貫
通してポンプコアにねじ込まれている。本体リング１８
は、ポンプコアを貫通する中心軸線の回りに回転可能に
構成されている。
【００１４】シャフト２０が、ポンプコア１５を貫通し
て摺動自在に設けられている。シャフト２０は、４つの
Ｏリング２２（図２参照）を貫通して摺動する。Ｏリン
グ２２はシャフトとポンプコアとの間をシールする。シ
ャフト２０は、長手方向に円滑でシャフトとＯリング２
２との間の積極的なシールが維持される。
て摺動自在に設けられている。シャフト２０は、４つの
Ｏリング２２（図２参照）を貫通して摺動する。Ｏリン
グ２２はシャフトとポンプコアとの間をシールする。シ
ャフト２０は、長手方向に円滑でシャフトとＯリング２
２との間の積極的なシールが維持される。
【００１５】シャフト２０は、また、背板２５を貫通し
て延設されている。後述するように、背板２５は空気室
の背面を形成している。シャフト２０の両側の端部２７
の直径は、図２に示すように典型的に、シャフトの残り
の部分の直径よりも大きく形成されている。シャフト２
０の左端２７は、また図１においてポンプの左側に図示
されている。シャフト２０の両側の端部２７の外周には
ネジ部２８が形成されており、ネジ部２８は駆動部材３
０と係合する。
て延設されている。後述するように、背板２５は空気室
の背面を形成している。シャフト２０の両側の端部２７
の直径は、図２に示すように典型的に、シャフトの残り
の部分の直径よりも大きく形成されている。シャフト２
０の左端２７は、また図１においてポンプの左側に図示
されている。シャフト２０の両側の端部２７の外周には
ネジ部２８が形成されており、ネジ部２８は駆動部材３
０と係合する。
【００１６】駆動部材３０は概ねカップ状の形状をして
おり、エンドキャップ３２と、フランジ状のベース３４
とを具備している。エンドキャップ３２とベース３４
は、伸縮自在のベロー３６により連結されている。駆動
部材３０のベース３４は、後述するように背板２５に保
持されている。駆動部材と背板との間はＯリング３８に
よりシールされている。背板２５と駆動部材３０の内部
の組合せにおいて空気室４０（図２参照）が形成され、
空気室４０の内部の空気圧によりベロー３６が伸長す
る。
おり、エンドキャップ３２と、フランジ状のベース３４
とを具備している。エンドキャップ３２とベース３４
は、伸縮自在のベロー３６により連結されている。駆動
部材３０のベース３４は、後述するように背板２５に保
持されている。駆動部材と背板との間はＯリング３８に
よりシールされている。背板２５と駆動部材３０の内部
の組合せにおいて空気室４０（図２参照）が形成され、
空気室４０の内部の空気圧によりベロー３６が伸長す
る。
【００１７】駆動部材３０のエンドキャップ３２は、ネ
ジ部２８によりシャフト２０の端部２７に取着されてい
る（図２参照）。駆動部材３０の各々のベース３４はポ
ンプコア１５に固着されている。駆動部材３０のベロー
３６が伸長すると、他方のベローはシャフト２０により
引かれて収縮する。図１、２において、左側のベローが
伸長状態で図示されており、右側のベローが収縮状態で
図示されている。
ジ部２８によりシャフト２０の端部２７に取着されてい
る（図２参照）。駆動部材３０の各々のベース３４はポ
ンプコア１５に固着されている。駆動部材３０のベロー
３６が伸長すると、他方のベローはシャフト２０により
引かれて収縮する。図１、２において、左側のベローが
伸長状態で図示されており、右側のベローが収縮状態で
図示されている。
【００１８】ポンプの本体部材４５が駆動部材３０を覆
うように設けられており、本体部材４５と駆動部材３０
との間はＯリング４７によりシールされている。図１に
示すように、本体部材４５はカップ４８とベース４９と
具備している。ベース４９のリムには外ネジ（図示せ
ず）が形成されており、この外ネジが本体リング１８の
内ネジと係合する。本体リングを回転させることにより
本体部材４５のベース４９が駆動部材３０のベース３４
に対して固定される。こうして、本体部材４５および駆
動部材３０が、本体リング１８に固定される。メンテナ
ンスまたは点検に際して、本体リング１８を単に回転さ
せることにより、本体部材４５は取り外される。次い
で、ネジを外すようにして駆動部材３０がシャフト２０
の端部２７から取り外される。
うように設けられており、本体部材４５と駆動部材３０
との間はＯリング４７によりシールされている。図１に
示すように、本体部材４５はカップ４８とベース４９と
具備している。ベース４９のリムには外ネジ（図示せ
ず）が形成されており、この外ネジが本体リング１８の
内ネジと係合する。本体リングを回転させることにより
本体部材４５のベース４９が駆動部材３０のベース３４
に対して固定される。こうして、本体部材４５および駆
動部材３０が、本体リング１８に固定される。メンテナ
ンスまたは点検に際して、本体リング１８を単に回転さ
せることにより、本体部材４５は取り外される。次い
で、ネジを外すようにして駆動部材３０がシャフト２０
の端部２７から取り外される。
【００１９】吐出管５０と吸込管５２が、本体部材の外
面に取りつけられている。各々の管は、中心連結部５３
と、端部に設けられた固定リング５４とを有している。
固定リング５４には内ネジが形成されており、本体部材
の連結部５５に螺着される。本体部材４５の連結部５５
にはボール弁５６が収納されている。ボール弁５６はＯ
リング５７と、弁座５８と、ボール５９とを具備してい
る。図示する実施例では、吸込管５２は、更に、ポンプ
を平坦面に取り付けるために一対の取付部６０を備えて
いる。
面に取りつけられている。各々の管は、中心連結部５３
と、端部に設けられた固定リング５４とを有している。
固定リング５４には内ネジが形成されており、本体部材
の連結部５５に螺着される。本体部材４５の連結部５５
にはボール弁５６が収納されている。ボール弁５６はＯ
リング５７と、弁座５８と、ボール５９とを具備してい
る。図示する実施例では、吸込管５２は、更に、ポンプ
を平坦面に取り付けるために一対の取付部６０を備えて
いる。
【００２０】ポンプは、更に、シャトル弁６５を具備し
ている。シャトル弁６５は２本のプラスチックのネジ６
７によりポンプコア１５に取り付けられている。シャト
ル弁６５には、空気入口６８を介して圧縮空気が供給さ
れる。シャトル弁６５は、一方の側のポンプから他方の
側のポンプへ圧縮空気の供給を切り換える。
ている。シャトル弁６５は２本のプラスチックのネジ６
７によりポンプコア１５に取り付けられている。シャト
ル弁６５には、空気入口６８を介して圧縮空気が供給さ
れる。シャトル弁６５は、一方の側のポンプから他方の
側のポンプへ圧縮空気の供給を切り換える。
【００２１】以下、図２を参照してポンプの作用を説明
する。ポンプの一方の側の駆動部材３０の内部により形
成される空気室４０に圧縮空気が接続されている。先
ず、図２において、左側の空気室に圧縮空気が供給され
ると仮定する。駆動部材３０のエンドキャップ３２が外
方に駆動されると左側のベローが伸長し、シャフト２０
により右側の駆動部材が引かれて右側のベローが収縮す
る。
する。ポンプの一方の側の駆動部材３０の内部により形
成される空気室４０に圧縮空気が接続されている。先
ず、図２において、左側の空気室に圧縮空気が供給され
ると仮定する。駆動部材３０のエンドキャップ３２が外
方に駆動されると左側のベローが伸長し、シャフト２０
により右側の駆動部材が引かれて右側のベローが収縮す
る。
【００２２】右側の駆動部材が右側の本体部材４５から
引かれることにより、ポンプの右側のポンプ室７１内部
に真空が形成される。ポンプの右側上部のボール５９が
弁座５８に当接、シールして、吐出管５０が右側のポン
プ室７１から遮断される。同時に、吸引管５２から右側
下部の弁を介して流体が右側のポンプ室７１に吸引され
る。
引かれることにより、ポンプの右側のポンプ室７１内部
に真空が形成される。ポンプの右側上部のボール５９が
弁座５８に当接、シールして、吐出管５０が右側のポン
プ室７１から遮断される。同時に、吸引管５２から右側
下部の弁を介して流体が右側のポンプ室７１に吸引され
る。
【００２３】左側の駆動部材が左傘のポンプ室７２の内
部に完全に伸長すると、シャトルがシャトル年内部を摺
動して、圧縮空気の供給が右側の空気室４０へ切り換わ
る。これにより、ポンプの右側の駆動部材３０が右側の
ポンプ室７１へ伸長し、同時に左側の駆動部材が収縮さ
れる。右側のポンプ室７１の流体が、ポンプの右側上部
のボール弁を会して吐出管５０へ押し出される。この
間、右側下部のボール弁が吸込管５２を閉鎖する。同時
に、吸込管５２から左側のポンプ室７２に新たな流体が
吸い込まれる。左側の空気室内の空気は、ポンプコア１
５の後側に排気される。ポンプコアの後側に排気される
空気の排気音を低減するために、１つあるいは複数のマ
フラー７５（図１参照）が設けられている。このように
して、ポンプの左側ポンプ室と右側ポンプ室とにおいて
交互に流体が吸い込まれ、吐出される。
部に完全に伸長すると、シャトルがシャトル年内部を摺
動して、圧縮空気の供給が右側の空気室４０へ切り換わ
る。これにより、ポンプの右側の駆動部材３０が右側の
ポンプ室７１へ伸長し、同時に左側の駆動部材が収縮さ
れる。右側のポンプ室７１の流体が、ポンプの右側上部
のボール弁を会して吐出管５０へ押し出される。この
間、右側下部のボール弁が吸込管５２を閉鎖する。同時
に、吸込管５２から左側のポンプ室７２に新たな流体が
吸い込まれる。左側の空気室内の空気は、ポンプコア１
５の後側に排気される。ポンプコアの後側に排気される
空気の排気音を低減するために、１つあるいは複数のマ
フラー７５（図１参照）が設けられている。このように
して、ポンプの左側ポンプ室と右側ポンプ室とにおいて
交互に流体が吸い込まれ、吐出される。
【００２４】本発明による複動式ベローポンプは、従来
の複動ダイヤフラムポンプよりも多くの点で優れてい
る。第１に、駆動部材のベローが伸長することにより、
従来の同等の大きさのポンプにおいて使用されているダ
イヤフラムの一回の変形による吐出量よりも非常に多量
の流体を吐出することができる。つまり、所定の流量に
対して、シャフト２０はより少ない回数ポンプコア１５
を往復すればよい。従って、シャフト２０の周囲のＯリ
ング２２の損耗は、従来の構成よりも非常に緩やかであ
り、少ないメンテナンスで済む。同様に、往復回数が低
減されるボール弁５６およびシャトル弁６５における損
耗も低減される。同容量のダイヤフラムポンプと比較し
て、吐出される流体の圧力変動の周波数および振幅が低
下する。
の複動ダイヤフラムポンプよりも多くの点で優れてい
る。第１に、駆動部材のベローが伸長することにより、
従来の同等の大きさのポンプにおいて使用されているダ
イヤフラムの一回の変形による吐出量よりも非常に多量
の流体を吐出することができる。つまり、所定の流量に
対して、シャフト２０はより少ない回数ポンプコア１５
を往復すればよい。従って、シャフト２０の周囲のＯリ
ング２２の損耗は、従来の構成よりも非常に緩やかであ
り、少ないメンテナンスで済む。同様に、往復回数が低
減されるボール弁５６およびシャトル弁６５における損
耗も低減される。同容量のダイヤフラムポンプと比較し
て、吐出される流体の圧力変動の周波数および振幅が低
下する。
【００２５】本発明のポンプの他の利点は、簡単な構造
を有し少ない部品から簡単に組み立てられる点である。
ボール弁５６と本体部材４５と駆動部材３０とを含めて
吐出管５０および吸込管５２は、全て工具を使用するこ
となくポンプコア１５から取り外すことが可能である。
ポンプを完全に分解するために必要な工具はドライバー
だけである。ポンプの組み立て、分解は、従来の構成の
ように多数の理異さ名クランプやフィティングを使用せ
ず簡単である。
を有し少ない部品から簡単に組み立てられる点である。
ボール弁５６と本体部材４５と駆動部材３０とを含めて
吐出管５０および吸込管５２は、全て工具を使用するこ
となくポンプコア１５から取り外すことが可能である。
ポンプを完全に分解するために必要な工具はドライバー
だけである。ポンプの組み立て、分解は、従来の構成の
ように多数の理異さ名クランプやフィティングを使用せ
ず簡単である。
【００２６】更に、ポンプの連結部の強度を高くするこ
とにより、ポンプ全体を耐腐食性の材料で製造可能とす
る。既述の通り、これは、半導体工業の分野で実際に高
い需要のある最も重要な点である。従来の構成と比較し
て、本体部材または吐出管、吸込管をポンプに固定する
ために金属のクランプは必要ではなく、回転自在に設け
られた本体リング１８に、大型のネジまたは充分な強度
を有する他の固定手段を設けることができる。同様に、
固定リング５４にも大型のネジを形成することが可能で
ある。
とにより、ポンプ全体を耐腐食性の材料で製造可能とす
る。既述の通り、これは、半導体工業の分野で実際に高
い需要のある最も重要な点である。従来の構成と比較し
て、本体部材または吐出管、吸込管をポンプに固定する
ために金属のクランプは必要ではなく、回転自在に設け
られた本体リング１８に、大型のネジまたは充分な強度
を有する他の固定手段を設けることができる。同様に、
固定リング５４にも大型のネジを形成することが可能で
ある。
【００２７】一例として示した実施例では、本体部材４
５と、吐出管５０と、吸込管５２はペルフルオロアルコ
キシ（ＰＦＡ）から形成される。弁座５８と、ボール５
９と、駆動部材３０はポリテトラフルオロエチレン（Ｐ
ＴＦＥ）から形成される。本体リング１８と、ポンプコ
ア１５と、背板２５はポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤ
Ｆ）から形成される。シャフト２０はポリエーテルケト
ン（ＰＥＥＫ）から成形される。Ｏリング２２、３８、
４７、５７はフッ化エチレンプロピレン共重合体（ＦＥ
Ｐ）から形成される。耐腐食性を機械的強度および成形
性と共に合わせ持つ他の材料を上記に列挙した材料と置
換してもよい。
５と、吐出管５０と、吸込管５２はペルフルオロアルコ
キシ（ＰＦＡ）から形成される。弁座５８と、ボール５
９と、駆動部材３０はポリテトラフルオロエチレン（Ｐ
ＴＦＥ）から形成される。本体リング１８と、ポンプコ
ア１５と、背板２５はポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤ
Ｆ）から形成される。シャフト２０はポリエーテルケト
ン（ＰＥＥＫ）から成形される。Ｏリング２２、３８、
４７、５７はフッ化エチレンプロピレン共重合体（ＦＥ
Ｐ）から形成される。耐腐食性を機械的強度および成形
性と共に合わせ持つ他の材料を上記に列挙した材料と置
換してもよい。
【００２８】本発明の好ましい実施例を説明したが、本
発明の本質を逸脱することなく構成を変更することがで
きる。特に、本体リングを使用して本体部材をポンプコ
アに取り付ける方法は、複動ダイヤフラムポンプでも使
用することができる。更に、ポンプの単純な構成や、容
易に分解できる構成は、金属により構成されている従来
のポンプでも有効である。
発明の本質を逸脱することなく構成を変更することがで
きる。特に、本体リングを使用して本体部材をポンプコ
アに取り付ける方法は、複動ダイヤフラムポンプでも使
用することができる。更に、ポンプの単純な構成や、容
易に分解できる構成は、金属により構成されている従来
のポンプでも有効である。
【図１】本発明の好ましい実施例によるポンプの分解斜
視図である。
視図である。
【図２】図１に示したポンプの側断面図である。
１０…ポンプ １８…本体リング ２０…シャフト ２７…シャフトの端部 ３０…駆動部材 ３６…ベロー ４５…本体部材 ６５…シャトル弁 ７１…ポンプ室 ７２…ポンプ室
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成６年１１月３０日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、複動式のポン
プ、すなわち、第１と第２の端部を有するシャフトと、
前記シャフトの端部の各々に取着された一対の駆動部材
であって、一対の駆動部材の各々がベローを備えている
駆動部材と、前記駆動部材を覆うように設けられた一対
の本体部材であって、該一対の本体部材の各々が、駆動
部材と共にポンプ室を形成する内部を有する本体部材
と、先ず駆動部材の一方のベローに圧力を付与し、次い
で、他方の駆動部材のベローに圧力を付与する手段とを
具備するポンプを要旨としている。更に、本発明は、第
１と第２の端部を有するシャフトと、一対の本体リング
と、前記シャフトの端部の各々に取着された一対の駆動
部材であって、一対の駆動部材の各々がベローを備えて
いる駆動部材と、一対の本体部材であって、該一対の本
体部材の各々が内部と外部とを有し、前記駆動部材を覆
うように設けられており、かつ、前記本体リングの各々
を回転させることによりポンプに取着され或いは取り外
される本体部材と、駆動部材の一方と他方に交互に圧力
を付与する手段とを具備するポンプを要旨としている。
本発明の１つの特徴によれば、従来のポンプで使用され
ている可撓性を有するダイヤフラムに代えて、一対の伸
縮可能なベローが圧縮空気の供給を受けて駆動される。
伸縮可能なベローを使用することにより、１回の行程で
吐出される流体の流量が増加する。従って、ポンプの周
波数を低減することが可能となる。これにより、ベロー
や、内部シール、ポンプの他の構成部品の損耗が著しく
低減される。従って、運用寿命が従来の複動式ダイヤフ
ラムポンプと比較して著しく長くなる。更に、ベローポ
ンプにより供給される流体内のパルス状の圧力変動の周
波数および振幅が、従来のダイヤフラムポンプと比較し
て低下する。
プ、すなわち、第１と第２の端部を有するシャフトと、
前記シャフトの端部の各々に取着された一対の駆動部材
であって、一対の駆動部材の各々がベローを備えている
駆動部材と、前記駆動部材を覆うように設けられた一対
の本体部材であって、該一対の本体部材の各々が、駆動
部材と共にポンプ室を形成する内部を有する本体部材
と、先ず駆動部材の一方のベローに圧力を付与し、次い
で、他方の駆動部材のベローに圧力を付与する手段とを
具備するポンプを要旨としている。更に、本発明は、第
１と第２の端部を有するシャフトと、一対の本体リング
と、前記シャフトの端部の各々に取着された一対の駆動
部材であって、一対の駆動部材の各々がベローを備えて
いる駆動部材と、一対の本体部材であって、該一対の本
体部材の各々が内部と外部とを有し、前記駆動部材を覆
うように設けられており、かつ、前記本体リングの各々
を回転させることによりポンプに取着され或いは取り外
される本体部材と、駆動部材の一方と他方に交互に圧力
を付与する手段とを具備するポンプを要旨としている。
本発明の１つの特徴によれば、従来のポンプで使用され
ている可撓性を有するダイヤフラムに代えて、一対の伸
縮可能なベローが圧縮空気の供給を受けて駆動される。
伸縮可能なベローを使用することにより、１回の行程で
吐出される流体の流量が増加する。従って、ポンプの周
波数を低減することが可能となる。これにより、ベロー
や、内部シール、ポンプの他の構成部品の損耗が著しく
低減される。従って、運用寿命が従来の複動式ダイヤフ
ラムポンプと比較して著しく長くなる。更に、ベローポ
ンプにより供給される流体内のパルス状の圧力変動の周
波数および振幅が、従来のダイヤフラムポンプと比較し
て低下する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２８】本発明の好ましい実施例を説明したが、本
発明の本質を逸脱することなく構成を変更することがで
きる。特に、本体リングを使用して本体部材をポンプコ
アに取り付ける方法は、複動ダイヤフラムポンプでも使
用することができる。更に、ポンプの単純な構成や、容
易に分解できる構成は、金属により構成されている従来
のポンプでも有効である。また、本発明は、以下の特徴
を以て実施することができる。 ａ．駆動部材の各々が伸縮可能なベローを具備する請求
項２に記載のポンプ。 ｂ．駆動部材の各々にネジ部が形成されており、前記シ
ャフトの各々の端部に形成されたネジ部に螺着されるこ
とによりシャフトに連結される請求項２に記載のポン
プ。 ｃ．本体部材の各々が前記本体リングに螺着されること
により、ポンプに取着される請求項２に記載のポンプ。 ｄ．前記耐腐食性材料がフッ化ポリマーを含む請求項４
に記載のポンプ。
発明の本質を逸脱することなく構成を変更することがで
きる。特に、本体リングを使用して本体部材をポンプコ
アに取り付ける方法は、複動ダイヤフラムポンプでも使
用することができる。更に、ポンプの単純な構成や、容
易に分解できる構成は、金属により構成されている従来
のポンプでも有効である。また、本発明は、以下の特徴
を以て実施することができる。 ａ．駆動部材の各々が伸縮可能なベローを具備する請求
項２に記載のポンプ。 ｂ．駆動部材の各々にネジ部が形成されており、前記シ
ャフトの各々の端部に形成されたネジ部に螺着されるこ
とによりシャフトに連結される請求項２に記載のポン
プ。 ｃ．本体部材の各々が前記本体リングに螺着されること
により、ポンプに取着される請求項２に記載のポンプ。 ｄ．前記耐腐食性材料がフッ化ポリマーを含む請求項４
に記載のポンプ。
Claims (11)
- 【請求項１】 第１と第２の端部を有するシャフトと、 前記シャフトの端部の各々に取着された一対の駆動部材
であって、一対の駆動部材の各々がベローを備えている
駆動部材と、 前記駆動部材を覆うように設けられた一対の本体部材で
あって、該一対の本体部材の各々が、駆動部材と共にポ
ンプ室を形成する内部を有する本体部材と、 先ず駆動部材の一方のベローに圧力を付与し、次いで、
他方の駆動部材のベローに圧力を付与する手段とを具備
するポンプ。 - 【請求項２】 第１と第２の端部を有するシャフトと、 一対の本体リングと、 前記シャフトの端部の各々に取着された一対の駆動部材
であって、一対の駆動部材の各々がベローを備えている
駆動部材と、 一対の本体部材であって、該一対の本体部材の各々が内
部と外部とを有し、前記駆動部材を覆うように設けられ
ており、かつ、前記本体リングの各々を回転させること
によりポンプに取着され或いは取り外される本体部材
と、 駆動部材の一方と他方に交互に圧力を付与する手段とを
具備するポンプ。 - 【請求項３】 駆動部材の各々が伸縮可能なベローを具
備する請求項２に記載のポンプ。 - 【請求項４】 駆動部材の各々にネジ部が形成されてお
り、前記シャフトの各々の端部に形成されたネジ部に螺
着されることによりシャフトに連結される請求項２に記
載のポンプ。 - 【請求項５】 本体部材の各々が前記本体リングに螺着
されることにより、ポンプに取着される請求項２に記載
のポンプ。 - 【請求項６】 ポンプが、更に、吐出管と吸込管とを具
備しており、 吐出管と吸込管の各々は、一対の本体部材の両者の内部
に連通し、かつ、回転可能に設けられた固定リングによ
り本体部材の外部に取着されている請求項２に記載のポ
ンプ。 - 【請求項７】 前記吐出管と吸込管は、固定リングを本
体部材に螺着することにより本体部材の外部に取着され
る請求項６に記載のポンプ。 - 【請求項８】 全体が耐腐食性材料が形成されている請
求項１から７の何れか１項に記載のポンプ。 - 【請求項９】 前記耐腐食性材料が有機ポリマーを含む
請求項７に記載のポンプ。 - 【請求項１０】 前記耐腐食性材料がフッ化ポリマーを
含む請求項７に記載のポンプ。 - 【請求項１１】 前記耐腐食性材料が、ペルフルオロア
ルコキシ、ポリテトラフルオロエチレン、ポリフッ化ビ
ニリデン、ポリエーテルケトン、フッ化エチレンプロピ
レン共重合体から成る群から選択される請求項７に記載
のポンプ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US063626 | 1993-05-19 | ||
| US08/063,626 US5480292A (en) | 1993-05-19 | 1993-05-19 | Dual chamber pump |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07174076A true JPH07174076A (ja) | 1995-07-11 |
| JP2991323B2 JP2991323B2 (ja) | 1999-12-20 |
Family
ID=22050455
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6105738A Expired - Fee Related JP2991323B2 (ja) | 1993-05-19 | 1994-05-19 | ポンプ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US5480292A (ja) |
| EP (1) | EP0625639B1 (ja) |
| JP (1) | JP2991323B2 (ja) |
| DE (1) | DE69404222T2 (ja) |
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