JPH07159318A - 気体の濃度測定装置 - Google Patents
気体の濃度測定装置Info
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- JPH07159318A JPH07159318A JP31167093A JP31167093A JPH07159318A JP H07159318 A JPH07159318 A JP H07159318A JP 31167093 A JP31167093 A JP 31167093A JP 31167093 A JP31167093 A JP 31167093A JP H07159318 A JPH07159318 A JP H07159318A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 色素レーザを用いないという利点を持ちなが
ら、１台分の設備およびスペースで、消費電力の無駄が
なく、迅速に切り替えて２種以上の気体の濃度を測定す
ることができる気体濃度測定装置を提供する。 【構成】 可変波長レーザ光を発生する第１のレーザ光
手段１０と、固定波長レーザ光を発生する第２のレーザ
光手段１３と、前記第１または第２のレーザ光手段のい
ずれか一方の光軸中に配置された可動ミラー１４ａおよ
び非線形光学素子１９と、前記第１または第２のレーザ
光手段の他方の光軸中に配置されたダイクロイックミラ
ー１５ａと、前記可動ミラーが光軸中にあるとき前記第
１または第２のレーザ光手段により発生され該可動ミラ
ーにより反射されるレーザ光を前記ダイクロイックミラ
ーに導くミラー構成の光学系とを備える。
ら、１台分の設備およびスペースで、消費電力の無駄が
なく、迅速に切り替えて２種以上の気体の濃度を測定す
ることができる気体濃度測定装置を提供する。 【構成】 可変波長レーザ光を発生する第１のレーザ光
手段１０と、固定波長レーザ光を発生する第２のレーザ
光手段１３と、前記第１または第２のレーザ光手段のい
ずれか一方の光軸中に配置された可動ミラー１４ａおよ
び非線形光学素子１９と、前記第１または第２のレーザ
光手段の他方の光軸中に配置されたダイクロイックミラ
ー１５ａと、前記可動ミラーが光軸中にあるとき前記第
１または第２のレーザ光手段により発生され該可動ミラ
ーにより反射されるレーザ光を前記ダイクロイックミラ
ーに導くミラー構成の光学系とを備える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はレーザ光を用いた気体の
濃度測定装置に関する。
濃度測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、環境汚染の問題が大きく取り上げ
られているが、中でも大気汚染は大きなテーマとなって
いる。ＮＯX やＳＯX は汚染気体の中でも特に重要なも
のであるが、従来これらの汚染気体や特定の重要な注目
気体の濃度を測定するのにレーザレーダが用いられてい
る。レーザレーダによる気体の濃度測定は、レーザを用
いて測定対象気体の吸収波長のレーザ光を発生せしめ、
気体によるレーザ光の吸収度合いを検出することにより
気体の濃度を測定しようとするものであり、測定対象気
体に吸収される固有の波長（たとえばＮＯ2 では４５０
ｎｍ、Ｏ3 では３００ｎｍ）のレーザ光を発生するレー
ザが用いられる。
られているが、中でも大気汚染は大きなテーマとなって
いる。ＮＯX やＳＯX は汚染気体の中でも特に重要なも
のであるが、従来これらの汚染気体や特定の重要な注目
気体の濃度を測定するのにレーザレーダが用いられてい
る。レーザレーダによる気体の濃度測定は、レーザを用
いて測定対象気体の吸収波長のレーザ光を発生せしめ、
気体によるレーザ光の吸収度合いを検出することにより
気体の濃度を測定しようとするものであり、測定対象気
体に吸収される固有の波長（たとえばＮＯ2 では４５０
ｎｍ、Ｏ3 では３００ｎｍ）のレーザ光を発生するレー
ザが用いられる。
【０００３】レーザには、利用するレーザ媒質によって
気体レーザ、液体レーザ、固体レーザ、半導体レーザな
どがあり、用途に応じて用いられているが、たとえば環
境による影響を比較的受けにくい固体レーザの一種のＮ
ｄ：ＹＡＧ（ネオジウム：イットリウム・アルミニウム
・ガーネット）レーザは発振波長が１０６４ｎｍの製品
が代表的なものであり、１３１９ｎｍ等の波長も発振す
るが、いずれにせよ離散的な波長しか得られないため
に、たとえ非線形光学素子と組み合せても特定の気体以
外の測定対象気体の吸収帯波長を発生させることはでき
ない。
気体レーザ、液体レーザ、固体レーザ、半導体レーザな
どがあり、用途に応じて用いられているが、たとえば環
境による影響を比較的受けにくい固体レーザの一種のＮ
ｄ：ＹＡＧ（ネオジウム：イットリウム・アルミニウム
・ガーネット）レーザは発振波長が１０６４ｎｍの製品
が代表的なものであり、１３１９ｎｍ等の波長も発振す
るが、いずれにせよ離散的な波長しか得られないため
に、たとえ非線形光学素子と組み合せても特定の気体以
外の測定対象気体の吸収帯波長を発生させることはでき
ない。
【０００４】これに対して従来、発振波長が自由に選択
できるレーザの一例として色素レーザが知られており、
一例としてＮＯ2 の濃度測定にこの色素レーザが用いら
れている（１９８１年発行、「応用物理」第５０巻、第
９号、第９２３頁〜第９２８頁）。色素レーザは使われ
る色素の種類を選択し、共振器中に置かれたプリズムや
回折格子に当てるレーザ光の角度を調整することによっ
て発振波長を紫外域から近赤外域の範囲で選択すること
ができるので多くの測定対象気体の吸収波長のレーザ光
を発生させることができる。
できるレーザの一例として色素レーザが知られており、
一例としてＮＯ2 の濃度測定にこの色素レーザが用いら
れている（１９８１年発行、「応用物理」第５０巻、第
９号、第９２３頁〜第９２８頁）。色素レーザは使われ
る色素の種類を選択し、共振器中に置かれたプリズムや
回折格子に当てるレーザ光の角度を調整することによっ
て発振波長を紫外域から近赤外域の範囲で選択すること
ができるので多くの測定対象気体の吸収波長のレーザ光
を発生させることができる。
【０００５】ところが、色素レーザに用いられる色素は
周囲を汚したり、手や衣服を強力に染色したり、取り扱
いが厄介なために準備に時間がかかるとともに、メンテ
ナンス性が悪い。色素レーザは時間経過とともに劣化す
るので色素を適時新しいものと交換する必要がある。ま
た色素材料によっては人体に有害なものもある。さら
に、測定対象気体が変わると、吸収波長も異なるのでそ
の都度波長を変える必要があるが、１つの色素で発振可
能な波長域はある有限の範囲であるから発振波長をその
範囲を越えて変えたい場合には色素を別の種類のものに
交換しなければならない。そのため、準備に要する時間
やメンテナンス性の点で不都合である。また色素レーザ
を用いたレーザレーダはポンプやタンクを必要とするの
で装置が大きくなり、それだけ場所を取るという問題も
ある。
周囲を汚したり、手や衣服を強力に染色したり、取り扱
いが厄介なために準備に時間がかかるとともに、メンテ
ナンス性が悪い。色素レーザは時間経過とともに劣化す
るので色素を適時新しいものと交換する必要がある。ま
た色素材料によっては人体に有害なものもある。さら
に、測定対象気体が変わると、吸収波長も異なるのでそ
の都度波長を変える必要があるが、１つの色素で発振可
能な波長域はある有限の範囲であるから発振波長をその
範囲を越えて変えたい場合には色素を別の種類のものに
交換しなければならない。そのため、準備に要する時間
やメンテナンス性の点で不都合である。また色素レーザ
を用いたレーザレーダはポンプやタンクを必要とするの
で装置が大きくなり、それだけ場所を取るという問題も
ある。
【０００６】そこで本発明者は平成５年１１月８日付け
で、色素レーザを用いずに測定対象気体の吸収帯波長の
レーザ光を発生することができ、扱いや準備が簡単で、
構成が簡潔なレーザを組み込んだ気体の濃度測定装置に
ついて特許出願をした。
で、色素レーザを用いずに測定対象気体の吸収帯波長の
レーザ光を発生することができ、扱いや準備が簡単で、
構成が簡潔なレーザを組み込んだ気体の濃度測定装置に
ついて特許出願をした。
【０００７】この濃度測定装置によれば、色素レーザを
用いずに、ＹＡＧレーザのような固体レーザとチタンサ
ファイアレーザのような波長可変固体レーザを用いるの
で汚れの心配がなくて取扱いが簡単になり、したがって
測定の準備に時間もかからず、交換の必要がなく、メン
テナンス性にも優れている。またポンプやタンクが不要
であるので装置や設備にスペースを取らないという長所
がある。
用いずに、ＹＡＧレーザのような固体レーザとチタンサ
ファイアレーザのような波長可変固体レーザを用いるの
で汚れの心配がなくて取扱いが簡単になり、したがって
測定の準備に時間もかからず、交換の必要がなく、メン
テナンス性にも優れている。またポンプやタンクが不要
であるので装置や設備にスペースを取らないという長所
がある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで上記先願に係
る濃度測定装置でたとえば工場からの排煙に含まれるＮ
Ｏ2 、ＳＯ2 など何種類かの気体の濃度を測定しようと
すると、この装置で発生するレーザ光の発振波長はレー
ザと非線形光学素子との組み合わせで決まるので、吸収
波長が異なる気体ごとに異なる光学系の装置を別々に用
意しなければならない。しかしながら濃度測定装置を別
々に用意するとシステムが大規模になり、場所をとり、
ＹＡＧレーザを水冷するためのホースや給水設備などの
冷却設備も余計に必要になる。またレーザを駆動するに
は大電流が必要であるので電源設備の用意、見直しが必
要になる。さらにレーザは安定動作に入るまでにある程
度の時間を必要とするので、短時間のうちに測定対象気
体を変えて濃度測定を行おうとするには、あらかじめ別
のシステムを稼働して待機しておかなければならないと
いう問題がある。
る濃度測定装置でたとえば工場からの排煙に含まれるＮ
Ｏ2 、ＳＯ2 など何種類かの気体の濃度を測定しようと
すると、この装置で発生するレーザ光の発振波長はレー
ザと非線形光学素子との組み合わせで決まるので、吸収
波長が異なる気体ごとに異なる光学系の装置を別々に用
意しなければならない。しかしながら濃度測定装置を別
々に用意するとシステムが大規模になり、場所をとり、
ＹＡＧレーザを水冷するためのホースや給水設備などの
冷却設備も余計に必要になる。またレーザを駆動するに
は大電流が必要であるので電源設備の用意、見直しが必
要になる。さらにレーザは安定動作に入るまでにある程
度の時間を必要とするので、短時間のうちに測定対象気
体を変えて濃度測定を行おうとするには、あらかじめ別
のシステムを稼働して待機しておかなければならないと
いう問題がある。
【０００９】本発明は上記の点にかんがみてなされたも
ので、色素レーザを用いないという利点を持ちながら、
１台分の設備およびスペースで、消費電力の無駄がな
く、迅速に切り替えて２種以上の気体の濃度を測定する
ことができる気体濃度測定装置を提供することを目的と
する。
ので、色素レーザを用いないという利点を持ちながら、
１台分の設備およびスペースで、消費電力の無駄がな
く、迅速に切り替えて２種以上の気体の濃度を測定する
ことができる気体濃度測定装置を提供することを目的と
する。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を達
成するために、一態様によれば、可変波長レーザ光を発
生する第１のレーザ光発生手段と、固定波長レーザ光を
発生する第２のレーザ光発生手段と、該第２のレーザ光
発生手段の光軸中に出入可能に配置された可動ミラーお
よび固定配置された非線形光学素子と、前記第１のレー
ザ光発生手段の光軸中に配置されたダイクロイックミラ
ーと、前記可動ミラーが光軸中にあるときは前記第２の
レーザ光発生手段により発生され前記可動ミラーにより
反射されるレーザ光を前記ダイクロイックミラーに導
き、前記可動ミラーが光軸中にないときは前記第２のレ
ーザ光発生手段により発生されるレーザ光を前記非線形
光学素子を介して前記ダイクロイックミラーに導くミラ
ー構成の光学系とを備え、前記ダイクロイックミラーに
より前記第１および第２のレーザ光発生手段から発生す
るレーザ光を光軸を合わせて合成し、前記可動ミラーを
切り替えることによって異なる所定波長のレーザ光を選
択的に発生するレーザ光発生光学系と、測定対象気体か
らの反射レーザ光を受光する受光手段と、該受光手段に
より受光した反射レーザ光を光電変換する光電変換手段
と、該光電変換手段からの受光信号データを記録する記
録手段と、該記録手段に記録された受光信号データに基
づいて測定対象気体の濃度を演算する演算手段とで気体
の濃度測定装置を構成した。
成するために、一態様によれば、可変波長レーザ光を発
生する第１のレーザ光発生手段と、固定波長レーザ光を
発生する第２のレーザ光発生手段と、該第２のレーザ光
発生手段の光軸中に出入可能に配置された可動ミラーお
よび固定配置された非線形光学素子と、前記第１のレー
ザ光発生手段の光軸中に配置されたダイクロイックミラ
ーと、前記可動ミラーが光軸中にあるときは前記第２の
レーザ光発生手段により発生され前記可動ミラーにより
反射されるレーザ光を前記ダイクロイックミラーに導
き、前記可動ミラーが光軸中にないときは前記第２のレ
ーザ光発生手段により発生されるレーザ光を前記非線形
光学素子を介して前記ダイクロイックミラーに導くミラ
ー構成の光学系とを備え、前記ダイクロイックミラーに
より前記第１および第２のレーザ光発生手段から発生す
るレーザ光を光軸を合わせて合成し、前記可動ミラーを
切り替えることによって異なる所定波長のレーザ光を選
択的に発生するレーザ光発生光学系と、測定対象気体か
らの反射レーザ光を受光する受光手段と、該受光手段に
より受光した反射レーザ光を光電変換する光電変換手段
と、該光電変換手段からの受光信号データを記録する記
録手段と、該記録手段に記録された受光信号データに基
づいて測定対象気体の濃度を演算する演算手段とで気体
の濃度測定装置を構成した。
【００１１】また本発明の別の態様によれば、可変波長
レーザ光を発生する第１のレーザ光発生手段と、固定波
長レーザ光を発生する第２のレーザ光発生手段と、該第
１のレーザ光発生手段の光軸中に出入可能に配置された
可動ミラーおよび固定配置された非線形光学素子と、前
記第２のレーザ光発生手段の光軸中に配置されたダイク
ロイックミラーと、前記可動ミラーが光軸中にあるとき
は前記第１のレーザ光発生手段により発生され前記可動
ミラーにより反射されるレーザ光を前記ダイクロイック
ミラーに導き、前記可動ミラーが光軸中にないときは前
記第１のレーザ光発生手段により発生されるレーザ光を
前記非線形光学素子を介して前記ダイクロイックミラー
に導くミラー構成の光学系とを備え、前記ダイクロイッ
クミラーにより前記第１および第２のレーザ光発生手段
から発生するレーザ光を光軸を合わせて合成し、前記可
動ミラーを切り替えることによって異なる所定波長のレ
ーザ光を選択的に発生するレーザ光発生光学系と、測定
対象気体からの反射レーザ光を受光する受光手段と、該
受光手段により受光した反射レーザ光を光電変換する光
電変換手段と、該光電変換手段からの受光信号データを
記録する記録手段と、該記録手段に記録された受光信号
データに基づいて測定対象気体の濃度を演算する演算手
段とにより気体の濃度測定装置を構成した。
レーザ光を発生する第１のレーザ光発生手段と、固定波
長レーザ光を発生する第２のレーザ光発生手段と、該第
１のレーザ光発生手段の光軸中に出入可能に配置された
可動ミラーおよび固定配置された非線形光学素子と、前
記第２のレーザ光発生手段の光軸中に配置されたダイク
ロイックミラーと、前記可動ミラーが光軸中にあるとき
は前記第１のレーザ光発生手段により発生され前記可動
ミラーにより反射されるレーザ光を前記ダイクロイック
ミラーに導き、前記可動ミラーが光軸中にないときは前
記第１のレーザ光発生手段により発生されるレーザ光を
前記非線形光学素子を介して前記ダイクロイックミラー
に導くミラー構成の光学系とを備え、前記ダイクロイッ
クミラーにより前記第１および第２のレーザ光発生手段
から発生するレーザ光を光軸を合わせて合成し、前記可
動ミラーを切り替えることによって異なる所定波長のレ
ーザ光を選択的に発生するレーザ光発生光学系と、測定
対象気体からの反射レーザ光を受光する受光手段と、該
受光手段により受光した反射レーザ光を光電変換する光
電変換手段と、該光電変換手段からの受光信号データを
記録する記録手段と、該記録手段に記録された受光信号
データに基づいて測定対象気体の濃度を演算する演算手
段とにより気体の濃度測定装置を構成した。
【００１２】
【作用】本発明は以上の構成によって、可動ミラーを切
り替えることにより非線形光学素子を第１または第２の
レーザ光手段から発生するレーザ光の光路に入れたり光
軸から外したりして異なる波長のレーザ光を選択的に発
生させることができる。
り替えることにより非線形光学素子を第１または第２の
レーザ光手段から発生するレーザ光の光路に入れたり光
軸から外したりして異なる波長のレーザ光を選択的に発
生させることができる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明を図面に基づいて説明する。
【００１４】図１は本発明による気体の濃度測定装置の
一実施例のブロック線図である。この実施例は一例とし
てＮＯ2 とＯ3 の濃度を切り替えて測定するものであ
る。なお、ＮＯ2 の吸収波長として４４７．９ｎｍを、
またＯ3 の吸収波長として３０８ｎｍを選択した。
一実施例のブロック線図である。この実施例は一例とし
てＮＯ2 とＯ3 の濃度を切り替えて測定するものであ
る。なお、ＮＯ2 の吸収波長として４４７．９ｎｍを、
またＯ3 の吸収波長として３０８ｎｍを選択した。
【００１５】図において破線で囲んだ部分が、測定対象
気体であるＮＯ2 の吸収波長である４４７．９ｎｍのレ
ーザ光と非吸収波長である４４６．５ｎｍのレーザ光お
よびＯ3 の吸収波長である３０８ｎｍのレーザ光と非吸
収波長である３３０ｎｍのレーザ光とを切り替えて発生
するレーザ光発生光学系１である。このレーザ光発生光
学系１は、ＹＡＧレーザ１０と、入力レーザ光の波長
を、 １／２にして出力する第２高調波発生用の非線形光学素
子（たとえばＫＤ* Ｐ）１１と、チタンサファイアレー
ザ１２と、もうひとつのＹＡＧレーザ１３と、ＹＡＧレ
ーザ１３の光軸に入れたり光軸から外したり切り替え可
能な可動ミラー１４ａと、可動ミラー１４ａによる反射
レーザ光を直進させるダイクロイックミラー１５ｂと、
チタンサファイアレーザ１２からのレーザ光とＹＡＧレ
ーザ１３からのレーザ光とを同一光路に光軸合わせする
ダイクロイックミラー１５ａと、入力レーザ光の波長か
ら、 の関係によって新たな波長を得る非線形光学素子（たと
えばＫＤＰ）１６と、必要な波長のレーザ光のみを取り
出すペランブロッカプリズム１７と、その出力レーザ光
を反射するミラー１８と、ＹＡＧレーザ１３の光軸上で
可動ミラー１４ａのさらに先の位置に設けられた非線形
光学素子１９（ＫＤ* Ｐ）と、非線形光学素子１９を通
過したレーザ光を直角に反射する２枚のミラー２０、２
１とにより構成されており、２つのＹＡＧレーザ１０と
１３の同期をとるための信号を発生するパルスジェネレ
ータ２２が設けられている。
気体であるＮＯ2 の吸収波長である４４７．９ｎｍのレ
ーザ光と非吸収波長である４４６．５ｎｍのレーザ光お
よびＯ3 の吸収波長である３０８ｎｍのレーザ光と非吸
収波長である３３０ｎｍのレーザ光とを切り替えて発生
するレーザ光発生光学系１である。このレーザ光発生光
学系１は、ＹＡＧレーザ１０と、入力レーザ光の波長
を、 １／２にして出力する第２高調波発生用の非線形光学素
子（たとえばＫＤ* Ｐ）１１と、チタンサファイアレー
ザ１２と、もうひとつのＹＡＧレーザ１３と、ＹＡＧレ
ーザ１３の光軸に入れたり光軸から外したり切り替え可
能な可動ミラー１４ａと、可動ミラー１４ａによる反射
レーザ光を直進させるダイクロイックミラー１５ｂと、
チタンサファイアレーザ１２からのレーザ光とＹＡＧレ
ーザ１３からのレーザ光とを同一光路に光軸合わせする
ダイクロイックミラー１５ａと、入力レーザ光の波長か
ら、 の関係によって新たな波長を得る非線形光学素子（たと
えばＫＤＰ）１６と、必要な波長のレーザ光のみを取り
出すペランブロッカプリズム１７と、その出力レーザ光
を反射するミラー１８と、ＹＡＧレーザ１３の光軸上で
可動ミラー１４ａのさらに先の位置に設けられた非線形
光学素子１９（ＫＤ* Ｐ）と、非線形光学素子１９を通
過したレーザ光を直角に反射する２枚のミラー２０、２
１とにより構成されており、２つのＹＡＧレーザ１０と
１３の同期をとるための信号を発生するパルスジェネレ
ータ２２が設けられている。
【００１６】一方、測定対象気体であるＮＯ2 またはＯ
3 の存在する領域を通過し、光軸上のエアロゾル（ち
り、ほこり、水滴）によって散乱されたレーザ光を凹面
鏡２４および２５で受光するカセグレン型望遠鏡２と、
絞り３を通ったレーザ光からＮＯ2 測定用の送信波長で
ある４４７．９ｎｍおよび４４６．５ｎｍ付近の双方の
波長またはＯ3 測定用の送信波長である３０８ｎｍおよ
び３３０ｎｍ付近の双方の波長を通過させる切り替え式
の干渉フィルタ４と、極めて弱いレーザ光出力を光電変
換し受光信号として出力する光電子増倍管５と、微弱な
受光信号を高い増幅率で増幅するプリアンプ６と、増幅
された受光信号の波形全体をＡ／Ｄ交換により記録する
トランジェントレコーダ７と、トランジェントレコーダ
７のデータを処理して気体の濃度を演算するパソコン８
と、演算結果を表示するディスプレイ９とが設けられて
いる。
3 の存在する領域を通過し、光軸上のエアロゾル（ち
り、ほこり、水滴）によって散乱されたレーザ光を凹面
鏡２４および２５で受光するカセグレン型望遠鏡２と、
絞り３を通ったレーザ光からＮＯ2 測定用の送信波長で
ある４４７．９ｎｍおよび４４６．５ｎｍ付近の双方の
波長またはＯ3 測定用の送信波長である３０８ｎｍおよ
び３３０ｎｍ付近の双方の波長を通過させる切り替え式
の干渉フィルタ４と、極めて弱いレーザ光出力を光電変
換し受光信号として出力する光電子増倍管５と、微弱な
受光信号を高い増幅率で増幅するプリアンプ６と、増幅
された受光信号の波形全体をＡ／Ｄ交換により記録する
トランジェントレコーダ７と、トランジェントレコーダ
７のデータを処理して気体の濃度を演算するパソコン８
と、演算結果を表示するディスプレイ９とが設けられて
いる。
【００１７】レーザ光発生光学系１の非線形光学素子１
６の出力側には、この非線形光学素子１６から出力する
レーザ光を検出するフォトダイオード２６が設けられて
おり、その出力信号はトランジェントレコーダ７にトリ
ガー信号として入力されるようになっている。
６の出力側には、この非線形光学素子１６から出力する
レーザ光を検出するフォトダイオード２６が設けられて
おり、その出力信号はトランジェントレコーダ７にトリ
ガー信号として入力されるようになっている。
【００１８】次に本実施例によるＮＯ2 とＯ3 の濃度測
定について説明する。
定について説明する。
【００１９】まずＮＯ2 の濃度を測定するために、可動
ミラー１４ａを図中に実線で示すようにＹＡＧレーザ１
３の光路に入れておく。レーザ光発生光学系１のパルス
ジェネレータ２２によりＹＡＧレーザ１０および１３を
同期して駆動させる（たとえば１秒間に１０パルスの割
合で）。ＹＡＧレーザ１０および１３からは１０６４ｎ
ｍのレーザ光が発生する。ＹＡＧレーザ１０から出力し
たレーザ光は非線形光学素子１１（ＫＤ* Ｐ）により１
／２波長の５３２ｎｍのレーザ光に変換され、チタンサ
ファイアレーザ１２を駆動する。チタンサファイアレー
ザ１２では内部共振器の回折格子の角度をレーザパルス
１発ごとに切り替えて発生するレーザ光の波長を７７
３．５ｎｍと７６９．４ｎｍに交互に切り替える。
ミラー１４ａを図中に実線で示すようにＹＡＧレーザ１
３の光路に入れておく。レーザ光発生光学系１のパルス
ジェネレータ２２によりＹＡＧレーザ１０および１３を
同期して駆動させる（たとえば１秒間に１０パルスの割
合で）。ＹＡＧレーザ１０および１３からは１０６４ｎ
ｍのレーザ光が発生する。ＹＡＧレーザ１０から出力し
たレーザ光は非線形光学素子１１（ＫＤ* Ｐ）により１
／２波長の５３２ｎｍのレーザ光に変換され、チタンサ
ファイアレーザ１２を駆動する。チタンサファイアレー
ザ１２では内部共振器の回折格子の角度をレーザパルス
１発ごとに切り替えて発生するレーザ光の波長を７７
３．５ｎｍと７６９．４ｎｍに交互に切り替える。
【００２０】一方、ＹＡＧレーザ１３から出力する波長
１０６４ｎｍのレーザ光は可動ミラー１４ａにより反射
され、ダイクロイックミラー１５ｂを通過してダイクロ
イックミラー１５ａにより、チタンサファイアレーザ１
２から出力する上記２波長のレーザ光と光軸合わせされ
てもうひとつの非線形光学素子１６（ＫＤＰ）に送られ
る。非線形光学素子１６は、チタンサファイアレーザ１
２から出力する波長７７３．５ｎｍのレーザ光に対して
は４４７．９ｎｍに変換したレーザ光を、また波長７６
９．４ｎｍのレーザ光に対しては４４６．５ｎｍに変換
したレーザ光を交互に出力する。非線形光学素子１６か
らの出力には変換前の波長である７７３．５ｎｍもしく
は７６９．４ｎｍと１０６４ｎｍのレーザ光が含まれて
いるので、ペランブロッカプリズム１７を通すことによ
ってＮＯ2 の測定に必要な波長（４４７．９ｎｍおよび
４４６．５ｎｍ）のレーザ光だけを取り出し、ミラー１
８で反射させて前方の測定対象領域に向けて出射させ
る。
１０６４ｎｍのレーザ光は可動ミラー１４ａにより反射
され、ダイクロイックミラー１５ｂを通過してダイクロ
イックミラー１５ａにより、チタンサファイアレーザ１
２から出力する上記２波長のレーザ光と光軸合わせされ
てもうひとつの非線形光学素子１６（ＫＤＰ）に送られ
る。非線形光学素子１６は、チタンサファイアレーザ１
２から出力する波長７７３．５ｎｍのレーザ光に対して
は４４７．９ｎｍに変換したレーザ光を、また波長７６
９．４ｎｍのレーザ光に対しては４４６．５ｎｍに変換
したレーザ光を交互に出力する。非線形光学素子１６か
らの出力には変換前の波長である７７３．５ｎｍもしく
は７６９．４ｎｍと１０６４ｎｍのレーザ光が含まれて
いるので、ペランブロッカプリズム１７を通すことによ
ってＮＯ2 の測定に必要な波長（４４７．９ｎｍおよび
４４６．５ｎｍ）のレーザ光だけを取り出し、ミラー１
８で反射させて前方の測定対象領域に向けて出射させ
る。
【００２１】測定対象領域からの散乱レーザ光はカセグ
レン型望遠鏡２で受光され、凹面鏡２４および２５で反
射されて絞り３を通して干渉フィルタ４でＮＯ2 測定用
の送信波長である４４７．９ｎｍおよび４４６．５ｎｍ
付近の双方の波長だけを透過させる。干渉フィルタ４を
通過した光は光電子増倍管５によって光電変換され、プ
リアンプ６により増幅されてトランジェントレコーダ７
に入力される。トランジェントレコーダ７では、フォト
ダイオード２６からの出力信号をトリガー信号としてＡ
／Ｄ変換を行ない、レーザ光発生光学系１から出射され
る１つのレーザ光パルスによる散乱光に対して図２に示
すような波形が記録される。トランジェントレコーダ７
に記録されたデータはＧＰＩＢケーブルを介してパソコ
ン８に転送され、そこで次のような濃度計算が行われ
る。
レン型望遠鏡２で受光され、凹面鏡２４および２５で反
射されて絞り３を通して干渉フィルタ４でＮＯ2 測定用
の送信波長である４４７．９ｎｍおよび４４６．５ｎｍ
付近の双方の波長だけを透過させる。干渉フィルタ４を
通過した光は光電子増倍管５によって光電変換され、プ
リアンプ６により増幅されてトランジェントレコーダ７
に入力される。トランジェントレコーダ７では、フォト
ダイオード２６からの出力信号をトリガー信号としてＡ
／Ｄ変換を行ない、レーザ光発生光学系１から出射され
る１つのレーザ光パルスによる散乱光に対して図２に示
すような波形が記録される。トランジェントレコーダ７
に記録されたデータはＧＰＩＢケーブルを介してパソコ
ン８に転送され、そこで次のような濃度計算が行われ
る。
【００２２】ＮＯ2 によりレーザ光が吸収されたときの
散乱光データ（波長が４４７．９ｎｍのレーザ光）と吸
収されないときの散乱光データ（波長が４４６．５ｎｍ
のレーザ光）との比を細かな多数の経過時間についてと
り、それを距離で微分することにより濃度が得られる。
この場合、距離は、レーザ光が光の速度で大気中を伝播
することから経過時間に基づいて容易に算出できる。
散乱光データ（波長が４４７．９ｎｍのレーザ光）と吸
収されないときの散乱光データ（波長が４４６．５ｎｍ
のレーザ光）との比を細かな多数の経過時間についてと
り、それを距離で微分することにより濃度が得られる。
この場合、距離は、レーザ光が光の速度で大気中を伝播
することから経過時間に基づいて容易に算出できる。
【００２３】次にもう１つの気体であるＯ3 の濃度を測
定するには、可動ミラー１４ａをＹＡＧレーザ１３の光
路から鎖線で示す位置に外す。ＮＯ2 の場合と同様にパ
ルスジェネレータ２２によりＹＡＧレーザ１０と１３を
駆動すると、ＹＡＧレーザ１３からのレーザ光は破線で
示すように進行し、非線形光学素子１９により１／２波
長とされ、ミラー２０、２１で反射されてダイクロイッ
クミラー１５ｂにより直角に屈折され、ダイクロイック
ミラー１５ａによりチタンサファイアレーザ１２から出
力する上記２波長のレーザ光と光軸合わせされてもうひ
とつの非線形光学素子１６（ＫＤＰ）に送られる。レー
ザ光のその後については上述したＮＯ2の場合と同じで
ある。こうしてＯ3 に吸収される３０８ｎｍと吸収され
ない３３０ｎｍのレーザ光とが得られる。散乱レーザ光
を受光してＯ3 の濃度を算出する処理については上述し
たＮＯ3 の場合と同じである。
定するには、可動ミラー１４ａをＹＡＧレーザ１３の光
路から鎖線で示す位置に外す。ＮＯ2 の場合と同様にパ
ルスジェネレータ２２によりＹＡＧレーザ１０と１３を
駆動すると、ＹＡＧレーザ１３からのレーザ光は破線で
示すように進行し、非線形光学素子１９により１／２波
長とされ、ミラー２０、２１で反射されてダイクロイッ
クミラー１５ｂにより直角に屈折され、ダイクロイック
ミラー１５ａによりチタンサファイアレーザ１２から出
力する上記２波長のレーザ光と光軸合わせされてもうひ
とつの非線形光学素子１６（ＫＤＰ）に送られる。レー
ザ光のその後については上述したＮＯ2の場合と同じで
ある。こうしてＯ3 に吸収される３０８ｎｍと吸収され
ない３３０ｎｍのレーザ光とが得られる。散乱レーザ光
を受光してＯ3 の濃度を算出する処理については上述し
たＮＯ3 の場合と同じである。
【００２４】本発明による第２の実施例としてＳＯ2 と
ＮＯの濃度を測定する濃度測定装置を図３に示す。
ＮＯの濃度を測定する濃度測定装置を図３に示す。
【００２５】この実施例のレーザ光発生光学系１は、図
１に示した第１の実施例のレーザ光発生光学系１のチタ
ンサファイアレーザ１２の出力側に非線形光学素子（Ｋ
ＤＰ）２７を配置した点でのみ異なっており、その他の
点はすべて同じである。
１に示した第１の実施例のレーザ光発生光学系１のチタ
ンサファイアレーザ１２の出力側に非線形光学素子（Ｋ
ＤＰ）２７を配置した点でのみ異なっており、その他の
点はすべて同じである。
【００２６】まずＳＯ2 の測定に際しては、可動ミラー
１４ａをＹＡＧレーザ１３の光路に入れ、チタンサファ
イアレーザ１２から８３５．８０ｎｍと８３２．８９ｎ
ｍのレーザ光を交互に出力させる。チタンサファイアレ
ーザ１２から出力するレーザ光は非線形光学素子２７に
より１／２波長とされる。
１４ａをＹＡＧレーザ１３の光路に入れ、チタンサファ
イアレーザ１２から８３５．８０ｎｍと８３２．８９ｎ
ｍのレーザ光を交互に出力させる。チタンサファイアレ
ーザ１２から出力するレーザ光は非線形光学素子２７に
より１／２波長とされる。
【００２７】一方、ＹＡＧレーザ１３から出力される波
長１０６４ｎｍのレーザ光は可動ミラー１４ａで反射さ
れ、ダイクロイックミラー１５ｂを通過し、ダイクロイ
ックミラー１５ａによって非線形光学素子２７からのレ
ーザ光と光軸合わせされ、もう１つの非線形光学素子１
６に向けられる。その後のレーザ光の光路ならびに波長
の変化については第１の実施例と同じである。その結
果、レーザ光発生装置からは２４９ｎｍ〜３１６ｎｍの
レーザ光が発生する。この波長範囲は、ＳＯ2 の吸収波
長である３００．０５ｎｍと非吸収波長である２９９．
３０ｎｍをカバーするものである。 もう１つの気体で
あるＮＯを測定するには、レーザ光発生光学系１のミラ
ー１４ａをＹＡＧレーザ１３の光路から外し、チタンサ
ファイアレーザ１２から７７４．１２ｎｍと７９０．６
８ｎｍのレーザ光を交互に出力させる。ＹＡＧレーザ１
３からのレーザ光は非線形光学素子１９で１／２波長と
され、ミラー２０、２１で反射され、ダイクロイックミ
ラー１５ｂで直角に屈折され、ダイクロイックミラー１
５ａによりチタンサファイアレーザ１２からのレーザ光
と光軸合わせされる。その後については前述したと同じ
である。その結果、レーザ光発生光学系１からは２１０
ｎｍ〜２４５ｎｍのレーザ光が出力される。この波長範
囲は、ＮＯの吸収波長である２２４．０５ｎｍと非吸収
波長である２２６．８０ｎｍをカバーするものである。
長１０６４ｎｍのレーザ光は可動ミラー１４ａで反射さ
れ、ダイクロイックミラー１５ｂを通過し、ダイクロイ
ックミラー１５ａによって非線形光学素子２７からのレ
ーザ光と光軸合わせされ、もう１つの非線形光学素子１
６に向けられる。その後のレーザ光の光路ならびに波長
の変化については第１の実施例と同じである。その結
果、レーザ光発生装置からは２４９ｎｍ〜３１６ｎｍの
レーザ光が発生する。この波長範囲は、ＳＯ2 の吸収波
長である３００．０５ｎｍと非吸収波長である２９９．
３０ｎｍをカバーするものである。 もう１つの気体で
あるＮＯを測定するには、レーザ光発生光学系１のミラ
ー１４ａをＹＡＧレーザ１３の光路から外し、チタンサ
ファイアレーザ１２から７７４．１２ｎｍと７９０．６
８ｎｍのレーザ光を交互に出力させる。ＹＡＧレーザ１
３からのレーザ光は非線形光学素子１９で１／２波長と
され、ミラー２０、２１で反射され、ダイクロイックミ
ラー１５ｂで直角に屈折され、ダイクロイックミラー１
５ａによりチタンサファイアレーザ１２からのレーザ光
と光軸合わせされる。その後については前述したと同じ
である。その結果、レーザ光発生光学系１からは２１０
ｎｍ〜２４５ｎｍのレーザ光が出力される。この波長範
囲は、ＮＯの吸収波長である２２４．０５ｎｍと非吸収
波長である２２６．８０ｎｍをカバーするものである。
【００２８】このように可動ミラー１４ａの切り替えだ
けで異なる波長のレーザ光を簡単に発生することができ
る。散乱レーザ光を受光してＳＯ2 およびＮＯの濃度を
算出する処理については上述した実施例と同じである。
けで異なる波長のレーザ光を簡単に発生することができ
る。散乱レーザ光を受光してＳＯ2 およびＮＯの濃度を
算出する処理については上述した実施例と同じである。
【００２９】図４はＳＯ2 とＮＯ2 の濃度測定を行う本
発明による第３の実施例を示す。
発明による第３の実施例を示す。
【００３０】測定対象気体からの散乱レーザ光を受光し
て濃度を演算する系は図１に示した実施例と同じである
ので省略し、それとは異なるレーザ光発生光学系につい
てだけ示す。図中、図１と同じ参照数字は同じ構成部分
を示すものとする。
て濃度を演算する系は図１に示した実施例と同じである
ので省略し、それとは異なるレーザ光発生光学系につい
てだけ示す。図中、図１と同じ参照数字は同じ構成部分
を示すものとする。
【００３１】この実施例のレーザ光発生光学系１におい
ては、チタンサファイアレーザ１２の出力側に切替式の
可動ミラー１４ａと、非線形光学素子１９（ＫＤ* Ｐ）
と、ダイクロイックミラー１５ｂとを同一光軸上に配置
するとともに、可動ミラー１４ａからの反射光を直角に
反射するミラー２０ｂと、またミラー２０ｂの反射光を
直角に反射するミラー２０ａとを配置したことである。
またＹＡＧレーザ１３の光軸上には２つのレーザ光の光
軸を合わせるためのダイクロイックミラー１５ａが配置
されている。
ては、チタンサファイアレーザ１２の出力側に切替式の
可動ミラー１４ａと、非線形光学素子１９（ＫＤ* Ｐ）
と、ダイクロイックミラー１５ｂとを同一光軸上に配置
するとともに、可動ミラー１４ａからの反射光を直角に
反射するミラー２０ｂと、またミラー２０ｂの反射光を
直角に反射するミラー２０ａとを配置したことである。
またＹＡＧレーザ１３の光軸上には２つのレーザ光の光
軸を合わせるためのダイクロイックミラー１５ａが配置
されている。
【００３２】この実施例の動作も上述した実施例とほぼ
同じであるので簡単に説明すると、まずＮＯ2 を測定す
るために、可動ミラー１４ａをチタンサファイアレーザ
１２の光路に入れる。チタンサファイアレーザ１２から
は７７３．５ｎｍと７６９．４ｎｍのレーザ光が出力さ
れる。チタンサファイアレーザ１２からのレーザ光は可
動ミラー１４ａで反射され、さらにミラー２０ｂ、２０
ａで反射され、ダイクロイックミラー１５ｂを通過して
ダイクロイックミラー１５ａによりＹＡＧレーザ１３か
らの１０６４ｎｍのレーザ光と光軸合わせされて非線形
光学素子１６に送られる。その結果、レーザ光発生光学
系１からは４２０ｎｍ〜４９０ｎｍのレーザ光が出射す
る。このレーザ光はＮＯ2 の吸収波長である４４７．９
ｎｍと非吸収波長である４４６．５ｎｍをカバーする。
同じであるので簡単に説明すると、まずＮＯ2 を測定す
るために、可動ミラー１４ａをチタンサファイアレーザ
１２の光路に入れる。チタンサファイアレーザ１２から
は７７３．５ｎｍと７６９．４ｎｍのレーザ光が出力さ
れる。チタンサファイアレーザ１２からのレーザ光は可
動ミラー１４ａで反射され、さらにミラー２０ｂ、２０
ａで反射され、ダイクロイックミラー１５ｂを通過して
ダイクロイックミラー１５ａによりＹＡＧレーザ１３か
らの１０６４ｎｍのレーザ光と光軸合わせされて非線形
光学素子１６に送られる。その結果、レーザ光発生光学
系１からは４２０ｎｍ〜４９０ｎｍのレーザ光が出射す
る。このレーザ光はＮＯ2 の吸収波長である４４７．９
ｎｍと非吸収波長である４４６．５ｎｍをカバーする。
【００３３】次にＳＯ2 を測定するには、可動ミラー１
４ａをチタンサファイアレーザ１２の光路から外し、チ
タンサファイアレーザ１２から８３５．８０ｎｍと８３
２．８９ｎｍのレーザ光を交互に出力する。チタンサフ
ァイアレーザ１２からのレーザ光は非線形光学素子１９
により１／２波長とされ、ミラー２０ｂで直角に屈折さ
れた後ダイクロイックミラー１５ａによりＹＡＧレーザ
１３からの１０６４ｎｍのレーザ光と光軸合わせされて
もう１つの非線形光学素子１６に送られる。その結果、
レーザ光光学系１から２４９ｎｍ〜３１６ｎｍのレーザ
光が出射する。このレーザ光はＳＯ2 の吸収波長である
３００．０５ｎｍと非吸収波長である２９９．３０ｎｍ
をカバーする。
４ａをチタンサファイアレーザ１２の光路から外し、チ
タンサファイアレーザ１２から８３５．８０ｎｍと８３
２．８９ｎｍのレーザ光を交互に出力する。チタンサフ
ァイアレーザ１２からのレーザ光は非線形光学素子１９
により１／２波長とされ、ミラー２０ｂで直角に屈折さ
れた後ダイクロイックミラー１５ａによりＹＡＧレーザ
１３からの１０６４ｎｍのレーザ光と光軸合わせされて
もう１つの非線形光学素子１６に送られる。その結果、
レーザ光光学系１から２４９ｎｍ〜３１６ｎｍのレーザ
光が出射する。このレーザ光はＳＯ2 の吸収波長である
３００．０５ｎｍと非吸収波長である２９９．３０ｎｍ
をカバーする。
【００３４】このように可動ミラー１４ａの切り替えだ
けで異なる２波長のレーザ光を簡単に発生することがで
きる。散乱レーザ光を受光してＳＯ2 とＮＯ2 の濃度を
算出する処理については上述した実施例と同じである。
けで異なる２波長のレーザ光を簡単に発生することがで
きる。散乱レーザ光を受光してＳＯ2 とＮＯ2 の濃度を
算出する処理については上述した実施例と同じである。
【００３５】図５は上で説明した実施例のレーザ光発生
光学系により切り替えて発生可能なレーザ光の波長領域
とそれが濃度測定に適用可能な気体の種類を示す。
光学系により切り替えて発生可能なレーザ光の波長領域
とそれが濃度測定に適用可能な気体の種類を示す。
【００３６】上記実施例では固体レーザとしてＹＡＧレ
ーザを用い、波長可変固体レーザとしてチタンサファイ
アレーザを用いたが、本発明はこれらのレーザに限らず
他のレーザを用いても実現できることはもちろんであ
る。また本発明により発生されるレーザ光の用途は濃度
測定に限られるものではない。
ーザを用い、波長可変固体レーザとしてチタンサファイ
アレーザを用いたが、本発明はこれらのレーザに限らず
他のレーザを用いても実現できることはもちろんであ
る。また本発明により発生されるレーザ光の用途は濃度
測定に限られるものではない。
【００３７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
経時変化を受けにくく、無害でかつ扱い易い固体レーザ
を用いて簡単な切り替え操作で異なる気体の濃度測定に
必要な異なる波長の２種以上のレーザ光を発生させるこ
とができる。そのためにコンパクトな構成の装置で２種
以上の気体の濃度を短時間で容易に測定することができ
る。また固体レーザを用いているので測定の準備が簡単
で時間もかからず、色素レーザのように交換の必要がな
く、メンテナンス性にも優れていることはもちろんであ
る。またポンプやタンクが不要であるので装置や設備に
スペースを取らない。
経時変化を受けにくく、無害でかつ扱い易い固体レーザ
を用いて簡単な切り替え操作で異なる気体の濃度測定に
必要な異なる波長の２種以上のレーザ光を発生させるこ
とができる。そのためにコンパクトな構成の装置で２種
以上の気体の濃度を短時間で容易に測定することができ
る。また固体レーザを用いているので測定の準備が簡単
で時間もかからず、色素レーザのように交換の必要がな
く、メンテナンス性にも優れていることはもちろんであ
る。またポンプやタンクが不要であるので装置や設備に
スペースを取らない。
【図１】本発明による気体の濃度測定装置の第１の実施
例のブロック図である。
例のブロック図である。
【図２】図１に示した実施例において受光される反射レ
ーザ光の波形を示す。
ーザ光の波形を示す。
【図３】本発明による気体の濃度測定装置の第２の実施
例のレーザ光発生光学系のブロック図である。
例のレーザ光発生光学系のブロック図である。
【図４】本発明による気体の濃度測定装置の第３の実施
例のレーザ光発生光学系のブロック図である。
例のレーザ光発生光学系のブロック図である。
【図５】本発明の実施例のレーザ光発生光学系により発
生されるレーザ光の波長領域を示す。
生されるレーザ光の波長領域を示す。
１ レーザ光発生光学系 ２ カセグレン型望遠鏡 ３ 絞り ４ 干渉フィルタ ５ 光電子増倍管 ６ プリアンプ ７ トランジェントレコーダ ８ パソコン ９ ディスプレイ １０、１３ ＹＡＧレーザ １１、１６、１９、２７ 非線形光学素子 １２ チタンサファイアレーザ １４ａ、１８、２０ａ、２０ｂ ２１、ミラー １５ａ、１５ｂ ダイクロイックミラー １７ ペランブロッカプリズム ２２ パルスジェネレータ ２４、２５ 凹面鏡 ２６ フォトダイオード
Claims (4)
- 【請求項１】 可変波長レーザ光を発生する第１のレー
ザ光発生手段と、固定波長レーザ光を発生する第２のレ
ーザ光発生手段と、該第２のレーザ光発生手段の光軸中
に出入可能に配置された可動ミラーおよび固定配置され
た非線形光学素子と、前記第１のレーザ光発生手段の光
軸中に配置されたダイクロイックミラーと、前記可動ミ
ラーが光軸中にあるときは前記第２のレーザ光発生手段
により発生され前記可動ミラーにより反射されるレーザ
光を前記ダイクロイックミラーに導き、前記可動ミラー
が光軸中にないときは前記第２のレーザ光発生手段によ
り発生されるレーザ光を前記非線形光学素子を介して前
記ダイクロイックミラーに導くミラー構成の光学系とを
備え、前記ダイクロイックミラーにより前記第１および
第２のレーザ光発生手段から発生するレーザ光を光軸を
合わせて合成し、前記可動ミラーを切り替えることによ
って異なる所定波長のレーザ光を選択的に発生するレー
ザ光発生光学系と、 測定対象気体からの反射レーザ光を受光する受光手段
と、 該受光手段により受光した反射レーザ光を光電変換する
光電変換手段と、 該光電変換手段からの受光信号データを記録する記録手
段と、 該記録手段に記録された受光信号データに基づいて測定
対象気体の濃度を演算する演算手段とを有することを特
徴とする気体の濃度測定装置。 - 【請求項２】 可変波長レーザ光を発生する第１のレー
ザ光発生手段と、固定波長レーザ光を発生する第２のレ
ーザ光発生手段と、該第１のレーザ光発生手段の光軸中
に出入可能に配置された可動ミラーおよび固定配置され
た非線形光学素子と、前記第２のレーザ光発生手段の光
軸中に配置されたダイクロイックミラーと、前記可動ミ
ラーが光軸中にあるときは前記第１のレーザ光発生手段
により発生され前記可動ミラーにより反射されるレーザ
光を前記ダイクロイックミラーに導き、前記可動ミラー
が光軸中にないときは前記第１のレーザ光発生手段によ
り発生されるレーザ光を前記非線形光学素子を介して前
記ダイクロイックミラーに導くミラー構成の光学系とを
備え、前記ダイクロイックミラーにより前記第１および
第２のレーザ光発生手段から発生するレーザ光を光軸を
合わせて合成し、前記可動ミラーを切り替えることによ
って異なる所定波長のレーザ光を選択的に発生するレー
ザ光発生光学系と、 測定対象気体からの反射レーザ光を受光する受光手段
と、 該受光手段により受光した反射レーザ光を光電変換する
光電変換手段と、 該光電変換手段からの受光信号データを記録する記録手
段と、 該記録手段に記録された受光信号データに基づいて測定
対象気体の濃度を演算する演算手段とを有することを特
徴とする気体の濃度測定装置。 - 【請求項３】 前記第１のレーザ光発生手段が、固定波
長レーザと、非線形光学素子と、可変波長レーザとによ
り構成され、前記第２のレーザ光発生手段が固定波長レ
ーザにより構成された請求項１または請求項２に記載の
気体の濃度測定装置。 - 【請求項４】 前記第１のレーザ光発生手段の出力側に
第２の非線形光学素子が配置された請求項３に記載の気
体の濃度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31167093A JP3247782B2 (ja) | 1993-12-13 | 1993-12-13 | 気体の濃度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31167093A JP3247782B2 (ja) | 1993-12-13 | 1993-12-13 | 気体の濃度測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07159318A true JPH07159318A (ja) | 1995-06-23 |
| JP3247782B2 JP3247782B2 (ja) | 2002-01-21 |
Family
ID=18020070
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31167093A Expired - Fee Related JP3247782B2 (ja) | 1993-12-13 | 1993-12-13 | 気体の濃度測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3247782B2 (ja) |
-
1993
- 1993-12-13 JP JP31167093A patent/JP3247782B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3247782B2 (ja) | 2002-01-21 |
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