JPH07159127A - 寸法検査方法および寸法検査装置 - Google Patents

寸法検査方法および寸法検査装置

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JPH07159127A
JPH07159127A JP5307619A JP30761993A JPH07159127A JP H07159127 A JPH07159127 A JP H07159127A JP 5307619 A JP5307619 A JP 5307619A JP 30761993 A JP30761993 A JP 30761993A JP H07159127 A JPH07159127 A JP H07159127A
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gauge
image
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JP5307619A
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English (en)
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Shigetaka Goto
成孝 後藤
Minoru Chishima
稔 千島
Haruhiko Takei
晴彦 竹井
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FDK Corp
Original Assignee
FDK Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、被検査物の寸法を検査する寸法検
査方法に関し、被検査物をつかむ部分にゲージを設けて
同一画面上にゲージと被検査物とが納まるようにして当
該ゲージの画素数と被検査物の画素数とから合格・不合
格を検査し、従来のズームレンズを使用可、予め較正す
る必要を無くし、かつ光源の位置や光量やカメラ焦点距
離の変化による影響を無くし、精度良好に被検査物の寸
法の合格・不合格を検査することを目的とする。 【構成】 被検査物1と近傍に配置したゲージ3との両
者を一緒にカメラ4によって撮影して画像を生成し、こ
の生成された画像上で、ゲージ3の画素数と被検査物1
の画素数とから合格・不合格を検査するように構成す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、被検査物の寸法を検査
する寸法検査方法および寸法検査装置に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】従来、立体形状例えば円柱状の被検査物
の寸法検査する場合、バキュームハンドラ42に円柱状
の被検査物43を吸着させる。次に、この吸着させた被
検査物43をカメラで撮影してその画像を図8に示すよ
うに表示し、当該画面上でこの被検査物43の左から右
に向け走査し、白から黒、黒から白に変わる両者の点の
差の画素数Nを求める。次に、カメラの倍率などによる
1画素に相当する予め求めておいた定数Kを、被検査物
の直径に相当する画素数Nに乗算して実際の被検査物の
直径を算出する。この算出した被検査物の直径が規格値
の範囲内のときに合格、範囲外のときに不合格と検査し
ていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従来は、上述したよう
にカメラで撮影した画像上で被検査物の測定しようとす
る画素数を求め、この画素数に予め求めておいた定数を
乗算して実際の被検査物の寸法を算出して合格・不合格
を検査していたため、以下の問題が発生していた。
【0004】(1) ズームレンズを使用した場合、そ
の都度、定数を算出したり、倍率を入力して当該倍率で
実際の被測定物の寸法を算出したりしなければならず、
操作が煩雑であると共に、精度が良くないという問題が
あった。
【0005】(2) 被検査物を照射する光源の位置や
光量が変化すると、画面上における被検査物の画素数が
変化してしまい、その都度、一定になるように露出調整
をしなければならないという問題があった。
【0006】(3) カメラの焦点距離が変化すると、
(1)と同様に倍率の変化として現れて被検査物の画像
上の画素数が変化してしまうので、その都度、焦点合わ
せを行なう煩雑性が生じてしまうという問題があった。
【0007】以上のように煩雑な操作および被測定物の
測定精度が劣化してしまうことを解消することが望まれ
ている。本発明は、これらの問題を解決するために、被
検査物をつかむ部分にゲージを設けて同一画面上にゲー
ジと被検査物とが納まるようにして当該ゲージの画素数
と被検査物の画素数とから合格・不合格を検査し、従来
のズームレンズを使用可、予め較正する必要を無くし、
かつ光源の位置や光量やカメラ焦点距離の変化による影
響を無くし、精度良好に被検査物の寸法の合格・不合格
を検査することを目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】図1は、本発明の原理構
成図を示す。図1において、被検査物1は、寸法を検査
して合格か非合格かを判定するものである。
【0009】ハンドラ2は、被検査物1をつかむもので
ある。このハンドラ2の一部にゲージ3となる所定寸法
の部分が設けられている。ゲージ3は、被検査物1の寸
法を測定する際の基準となる寸法を持ったゲージであっ
て、ここでは、ハンドラ2の一部を所定寸法に予め加工
したものである。
【0010】カメラ4は、被検査物1およびゲージ3を
一緒に撮影して画像を生成するものである。検査手段5
は、カメラ4からの画像中のケージ3の画素数をもとに
被検査物1の画像数から寸法を算出して規定内のときに
合格、規定外のときに不合格と判定したり、上限値およ
び下限値のゲージ3の画素数内に被検査物1の画素数が
あったときに合格、無かったときに不合格と判定したり
などするものである。
【0011】
【作用】本発明は、図1に示すように、カメラ4が被検
査物1と近傍に配置したゲージ3との両者を一緒に撮影
した画像を生成し、検査手段5がこの生成された画像上
でゲージ3の画素数をもとに被検査物1の画素数から実
寸法を算出して規格内のときに合格、規格外のときに不
合格と検査するようにしている。
【0012】また、カメラ4が被検査物1と近傍に配置
した当該被検査物1の寸法の上限値および下限値のゲー
ジ3との両者を一緒に撮影して画像を生成し、検査手段
5が生成された画像上で上限値および下限値のゲージ3
のそれぞれの画素数の範囲内に、被検査物1の画素数が
存在したときに合格、画素数が存在しないときに不合格
と検査するようにしている。
【0013】また、図3に示すように、検査手段5が画
像上で被検査物1およびゲージ3の寸法を測定する予め
設定されたウィンドウ6内で白から黒あるいは黒から白
に変化する部分の座標を算出してその差から被検査物1
およびゲージ3の画素数を測定するようにしている。
【0014】従って、被検査物1をつかむハンドラ2に
ゲージ3を設けて同一画面上にゲージ3と被検査物1と
が納まるようにして当該ゲージ3の画素数と被検査物1
の画素数とから合格・不合格を検査することにより、従
来のズームレンズの使用可、予め較正する必要を無く
し、かつ光源の位置や光量やカメラ焦点距離の変化によ
る影響を受けることなく、精度良好に被検査物1の合格
・不合格を検査することが可能となった。
【0015】
【実施例】次に、図2および図3を用いて本発明の実施
例の構成および動作を順次詳細に説明する。
【0016】図2は、本発明の動作説明フローチャート
を示す。これは、図3のモニタ上の画像に示すように、
ハンドラ2の先端部分に設けたゲージ3をもとに、被検
査物1の寸法を検査する場合のフローチャートである。
【0017】図2において、S1は、カメラ撮影する。
これは、図1のカメラ4がハンドラ2の先端のゲージ3
と被検査物1を一緒に撮影して画像を生成する。S2
は、モニタ上に表示する。これは、S1で撮影した画像
を、例えば図3の実線で示すようにハンドラ2の先端の
ゲージ3および被検査物1をモニタ上に表示する。
【0018】S3は、ゲージの左側ウィンドウ内におい
て、左から右に走査して白から黒に変わる座標値を探
す。これは、図3に示すように、画像上でゲージ3の左
端に設定された点線のウィンドウ61内で、左から右に
走査して白から黒に変わる座標を探して求めることを複
数の走査線について行なう。
【0019】S4は、S3で求めた複数の座標値の平均
値XLを算出する。S5は、同様に、右側のウィンドウ
内についても座標値を探して平均値XRを算出する。こ
れらS4およびS5によって、ゲージ3の左側の座標X
Lおよび右側の座標XRがそれぞれ算出されたこととな
る。
【0020】S6は、被検査物1について同様に各ウィ
ンドウ内で座標値を探して平均値AL、ARを算出す
る。S7は、ゲージの画素数算出する。これは、S4、
S5で算出したゲージ3の右側の座標値XRから左側の
座標値XLを減算した(XR−XL)を画素数として算
出する。
【0021】S8は、被検査物の画素数算出する。これ
は、S6で算出した被検査物1の右側の座標値ARから
左側の座標値ALを減算した(AR−AL)を画素数と
して算出する。
【0022】S9は、被検査物1の実測値を算出する。
これは、S7およびS8で求めた値をもとに図示の下記
の式によって被検査物1の実測値を算出する。 実測値={(AR−AL)/(XR−XL)}×(ゲージの実長) (式1) S10は、被検査物が規格値内か判別する。YESの場
合には、被検査物1が規格内で合格したので、S11で
被検査物1を組み立てる。一方、NOの場合には、被検
査物1が規格外で不合格であったので、S12で規格外
として排出する。
【0023】以上によって、被検査物1を真空吸着する
先端の部分の規定寸法のゲージ3を設けておき、カメラ
4で被検査物1と一緒にゲージ3を撮影して画像を生成
し、この生成した画像上で予め設定したウィンドウ内を
走査してゲージ3の寸法を画素数で算出し、この算出し
たゲージ3の画素数をもとに、予め設定されたウィンド
ウ内を走査して算出した画素数を較正した実測値を(式
1)で算出する。この算出した実測値が規格値内のとき
に合格と判定して組立を行い、一方、規格外のときに不
合格として排出する。これらにより、同一画像内のゲー
ジ3の画素数をもとに被検査物1の寸法検査を行なうた
め、カメラ4の倍率や焦点のずれ、照明の明るさなどの
影響を受けることなく、正確に被検査物1の寸法を実測
して寸法検査することが可能となる。
【0024】図3は、本発明のモニタ上の表示概略図を
示す。これは、図1のカメラ4でハンドラ2の先端部分
のゲージ3および被検査物1を撮影してモニタ上に表示
したものである。ここで、点線の枠は、予め設定したウ
ィンドウ6であって、ここでは、ウィンドウ61からウ
ィンドウ68によって構成され、走査して白から黒に変
化する点の座標値を求め、ゲージ3および被検査物1の
寸法を測定するためのものである。
【0025】(1) ゲージ3の寸法測定: X方向の寸法測定は、ウィンドウ61内で左から右
に走査して白から黒に変わる点の座標値を複数ラインに
ついて求めてその平均値をXLとして算出する。同様
に、ウィンドウ62内で右から左に走査して白から黒に
変わる点の座標値を複数ラインについて求めてその平均
値をXRとして算出する。ゲージ3のX方向の寸法は、
(XR−XL)として算出する。
【0026】 Y方向の寸法測定は、ウィンドウ63
内で下から上に走査して白から黒に変わる点の座標値を
複数ラインについて求めてその平均値をYUとして算出
する。同様に、ウィンドウ64内で上から下に走査して
白から黒に変わる点の座標値を複数ラインについて求め
てその平均値をYDとして算出する。ゲージ3のY方向
の寸法は、(YD−YU)として算出する。
【0027】(2) 被検査物1の寸法測定: X方向の寸法測定は、ウィンドウ65内で左から右
に走査して白から黒に変わる点の座標値を複数ラインに
ついて求めてその平均値をALとして算出する。同様
に、ウィンドウ66内で右から左に走査して白から黒に
変わる点の座標値を複数ラインについて求めてその平均
値をARとして算出する。被検査物1のX方向の寸法
は、(AR−AL)として算出する。
【0028】 Y方向の寸法測定は、ウィンドウ67
内で下から上に走査して白から黒に変わる点の座標値を
複数ラインについて求めてその平均値をBUとして算出
する。同様に、ウィンドウ68内で上から下に走査して
白から黒に変わる点の座標値を複数ラインについて求め
てその平均値をBDとして算出する。被検査物1のY方
向の寸法は、(BD−BU)として算出する。
【0029】(3) (1)および(2)で算出した結
果から、被検査物1の寸法は下記のようになる。 ・被検査物1のX方向の実測値= {(AR−AL)/(XR−XL)}×(ゲージのX方向実長)(式2) ・被検査物1のY方向の実測値= {(BD−BU)/(YD−YU)}×(ゲージのY方向実長)(式3) 次に、図4から図6を用いて本発明の他の実施例の構成
および動作を順次詳細に説明する。
【0030】図4は、本発明の他の動作説明フローチャ
ートを示す。これは、図5のモニタ上の画像に示すよう
に、ハンドラ2の先端部分に設けた上限値および下限値
を持つ2つのゲージ3を設けておき、被検査物1の画素
数がこれらの範囲のときに合格、範囲外のときに不合格
とする場合のフローチャートである。
【0031】図4において、S21は、カメラ撮影す
る。これは、図1のカメラ4がハンドラ2の先端のゲー
ジ3と被検査物1を一緒に撮影して画像を生成する。S
22は、モニタ上に表示する。これは、S21で撮影し
た画像を、例えば図5の実線で示すようにハンドラ2の
先端のゲージ3および被検査物1をモニタ上に表示す
る。
【0032】S23は、ハンドラ2の上段左側のウィン
ドウ内において、左から右に走査して白から黒に変わる
座標値を探す。これは、図5に示すように、画像上でゲ
ージ3の左端に設定された点線のウィンドウ71内で、
左から右に走査して白から黒に変わる座標を探して求め
ることを複数の走査線について行なう。
【0033】S24は、S23で求めた複数の座標値の
平均値L1Lを算出する。S25は、同様に、上段右側
のウィンドウ内で座標値を探して平均値L1Rを算出す
る。これらS24およびS25によって、ゲージ3の上
段の左側の座標L1Lおよび右側の座標L1Rがそれぞ
れ算出されたこととなる。
【0034】S26は、ハンドラの下段のウィンドウに
ついても同様に平均値(L2L、L2R)を算出する。
S27は、被検査物1のウィンドウについても同様に平
均値(L3L、L3R)を算出する。
【0035】S28は、規格上限値の画素数を求める。
これは、規格の上限値の画素数として、S24およびS
25でそれぞれ算出したL1R、L1Lの差の(L1R
−L1L)として算出する。
【0036】S29は、規格下限値の画素数を求める。
これは、規格の下限値の画素数として、S26で算出し
たL2R、L2Lの差の(L2R−L2L)として算出
する。
【0037】S30は、被検査物1の画素数を求める。
これは、被検査物1の画素数として、S27で算出した
L3R、L3Lの差の(L3R−L3L)として算出す
る。S31は、規格内か判別する。これは、図示の下記
の式で表される、被検査物1の画素数が上限値と下限値
の画素数の範囲内にあるか判別する。
【0038】 (L2R−L2L)≦(L3R−L3L)≦(L1R−L1L) (式11) S31のYESの場合には、被検査物1が上限値と下限
値の範囲内で合格したので、S32で被検査物1を組み
立てる。一方、S31でNOの場合には、被検査物1が
上限値と下限値の範囲外で不合格であったので、S33
で規格外として排出する。
【0039】以上によって、被検査物1を真空吸着する
先端の部分の上限値および下限値の2つのゲージ3を設
けておき、カメラ4で被検査物1と一緒にこれら2つの
ゲージ3を撮影して画像を生成し、この生成した画像上
で予め設定したウィンドウ内を走査して2つのゲージ3
の寸法を画素数で算出し、この算出した2つの上限値お
よび下限値のゲージ3の画素数の範囲内に被検査物1の
画素数が存在したときに合格と判定して組立、存在しな
いときに不合格と判定して排出する。これらにより、同
一画像内の2つの上限値および下限値のゲージ3の画素
数の範囲内に、被検査物1の画素数が存在するかの比較
を行なって合格/不合格を判定するため、カメラ4の倍
率や焦点のずれ、照明の明るさなどに影響を受けること
なく、正確に被検査物1の寸法が上限値と下限値の範囲
内にあるかを正確かつ簡単な比較計算で迅速に検査する
ことが可能となる。
【0040】図5は、本発明のモニタ上の他の表示概略
図を示す。これは、図1のカメラ4でハンドラ2の先端
部分の上限値および下限値を持つ2つのゲージ3および
被検査物1を撮影してモニタ上に表示したものである。
ここで、点線の枠は、予め設定したウィンドウ6であっ
て、ここでは、ウィンドウ71からウィンドウ76によ
って構成され、走査して白から黒に変化する点の座標値
を求め、2つのゲージ3および被検査物1の画素数を算
出するためのものである。
【0041】(1) 上限値のゲージ3の画素数の測
定:ウィンドウ71内で左から右に走査して白から黒に
変わる点の座標値を複数ラインについて求めてその平均
値をL1Lとして算出する。同様に、ウィンドウ72内
で右から左に走査して白から黒に変わる点の座標値を複
数ラインについて求めてその平均値をL1Rとして算出
する。上限値のゲージ3の画素数は、(L1R−L1
L)として算出する。
【0042】(2) 下限値のゲージ3の画素数の測
定:同様に、ウィンドウ73内で左から右に走査して白
から黒に変わる点の座標値を複数ラインについて求めて
その平均値をL2Lとして算出する。同様に、ウィンド
ウ74内で右から左に走査して白から黒に変わる点の座
標値を複数ラインについて求めてその平均値をL2Rと
して算出する。下限値のゲージ3の画素数は、(L2R
−L2L)として算出する。
【0043】(3) 被検査物1の画素数の測定:同様
に、ウィンドウ75内で左から右に走査して白から黒に
変わる点の座標値を複数ラインについて求めてその平均
値をL3Lとして算出する。同様に、ウィンドウ76内
で右から左に走査して白から黒に変わる点の座標値を複
数ラインについて求めてその平均値をL3Rとして算出
する。被検査物1の画素数は、(L3R−L3L)とし
て算出する。
【0044】(4) (1)から(3)で算出した結果
から、(式11)を満足するときに合格と判定、満足し
ないときに不合格と判定、即ち被検査物1の画素数が上
限値のゲージ3の画素数よりも小さく、かつ下限値のゲ
ージ3の画素数よりも大きいときに規定値内であって合
格と判定し、それ以外のときは規定値外であって不合格
と判定する。
【0045】図6は、本発明の他の説明図を示す。ここ
では、ハンドラ(真空吸着ハンドラ)2の先端に円柱の
上限値のゲージ2(φDH、直径がDH)と、円柱の下
限値のゲージ2(φDL、直径がDL)とを設け、その
先に真空吸着で被検査物1(φD、直径がD)をつかん
で、カメラ4によって撮影してそのときの画像をモニタ
上に表示したものである。被検査物1が円柱であったの
で、上限値および下限値の2つのゲージ2を円柱にして
ほぼ軸を合わせて真空吸着するように軸合わせしている
ので、既述したようにして、極めて高精度に被検査物1
の画素数が上限値と下限値のゲージ2の画素数の範囲内
に存在するか否かを判別し、検査の合格/不合格を判定
することが可能となる。
【0046】図7は、本発明の寸法検査装置の構成図を
示す。図6の(a)は上面図を示し、図6の(b)は正
面図を示す。これは、被検査物1である部品をボウルフ
ィーダで並べて搬送し、パーツフィーダユニット上の直
進フィーダで一列に並べて直進させる。そして、ピック
アップユニット内で、回転する回転台上のゲージ3付き
のハンドラ2によって部品を真空吸着し、図中で半時計
方向に回転し、センタリングユニットによって部品とハ
ンドラ2のセンタリングを行った後、ライトで照明され
たカメラ4の撮影位置に移動する。この撮影位置にきた
ときにカメラ4で部品およびハンドラ2のゲージ3の部
分の画像を撮影して取り込み、モニタ上に表示すると共
に、既述したように、ゲージ3の画素数をもとに部品
(被検査物1)の画素数が規格値内で合格か規格値外で
不合格かを判定する。そして、合格の場合には部品が回
転してワーク回収箱(良品)の位置にきたときに真空吸
着を外して落とし、一方、不合格の場合には部品が更に
回転してワーク回収箱(不良品)の位置にきたときに真
空吸着を外して落とす。これにより、多数の部品の寸法
が規定の範囲内か検査して合格品と不合格品に精度良好
にエラー無く分けることが可能となる。
【0047】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
被検査物1をつかむハンドラ2にゲージ3を設けて同一
画面上にゲージ3と被検査物1とが納まるようにして当
該ゲージ3の画素数と被検査物1の画素数から合格・不
合格を検査する構成を採用しているため、正確に被検査
物1の寸法が規定範囲内のときに合格、規定範囲外のと
きに不合格と検査することができる。これらにより、 (1) 同一画像上のゲージ3と被検査物1とを比較し
て規定範囲内で合格か、規定範囲外で不合格かを検査し
ているため、高精度かつ再現性良好に検査することがで
きる。
【0048】(2) 倍率が変化するズームレンズを使
用しても従来のように倍率を補正する必要がなく、正確
に被検査物1の合否を検査できる。 (3) 被検査物1を照明する光源の位置や光量変化に
より、従来は大幅にエラーが発生したが、本発明では被
検査物1とゲージ3とが同一画像上であって両者の画像
が同じように変化するので、これらの影響を受けること
がなく、正確に合否を検査できる。
【0049】(4) カメラの焦点距離の変化により、
従来は大幅に画像の大きさが変化してエラーが発生した
が、本発明では被検査物1とゲージ3とが同一画像上で
あって両者の画像が同じように変化するので、これらの
影響を受けることなく、正確に合否を検査できる。
【0050】(5) 被検査物1の寸法が規定範囲内で
合格か、規定範囲外で不合格かを検査するのに、同一画
像上のゲージ3の寸法(画素数)をもとに同一画像上の
被検査物1の寸法(画素数)を較正したり、両者を比較
したりするという簡単な演算処理で正確に検査すること
が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の原理構成図である。
【図2】本発明の動作説明フローチャートである。
【図3】本発明のモニタ上の表示概念図である。
【図4】本発明の他の動作説明フローチャートである。
【図5】本発明のモニタ上の他の表示概念図である。
【図6】本発明の他の説明図である。
【図7】本発明の寸法検査装置の構成図である。
【図8】従来技術の説明図である。
【符号の説明】
1:被検査物 2:ハンドラ 3:ゲージ 4:カメラ 5:検査手段 6、61から68、71から76:ウィンドウ

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】被検査物の寸法を検査する寸法検査方法に
    おいて、 被検査物(1)と近傍に配置したゲージ(3)との両者
    を一緒にカメラ(4)によって撮影して画像を生成し、
    この生成された画像上で、上記ゲージ(3)の画素数を
    もとに、被検査物(1)の画素数から実寸法を算出して
    規格内のときに合格、規格外のときに不合格と検査する
    ことを特徴とする寸法検査方法。
  2. 【請求項2】被検査物の寸法を検査する寸法検査装置に
    おいて、 被検査物(1)をつかむと共に当該つかむ部分に寸法の
    判明したゲージ(3)を持つハンドラ(2)と、 このハンドラ(2)が被検査物(1)をつかんだ状態
    で、被検査物(1)および上記ゲージ(3)の両者を一
    緒に撮影して画像を生成するカメラ(4)と、 この生成された画像上で、上記ゲージ(3)の画素数を
    もとに、被検査物(1)の画素数から実寸法を算出して
    規格内のときに合格、規格外のときに不合格と検査する
    検査手段(5)とを備えたことを特徴とする寸法検査装
    置。
  3. 【請求項3】被検査物の寸法を検査する寸法検査方法に
    おいて、 被検査物(1)と近傍に配置した当該被検査物(1)の
    寸法の上限値および下限値のゲージ(3)との両者を一
    緒にカメラ(4)によって撮影して画像を生成し、この
    生成された画像上で、上記上限値および下限値のゲージ
    (3)のそれぞれの画素数の範囲内に、被検査物(1)
    の画素数が存在したときに合格、被検査物(1)の画素
    数が存在しないときに不合格と検査することを特徴とす
    る寸法検査方法。
  4. 【請求項4】被検査物の寸法を検査する寸法検査装置に
    おいて、 被検査物(1)をつかむと共に当該つかむ部分に寸法の
    上限値および下限値の判明したゲージ(3)を持つハン
    ドラ(2)と、 このハンドラ(2)が被検査物(1)をつかんだ状態
    で、被検査物(1)および上記ゲージ(3)の両者を一
    緒に撮影して画像を生成するカメラ(4)と、 この生成された画像上で、上記上限値および下限値のゲ
    ージ(3)のそれぞれの画素数の範囲内に、被検査物
    (1)の画素数が存在したときに合格、被検査物(1)
    の画素数が存在しないときに不合格と検査する検査手段
    (5)とを備えたことを特徴とする寸法検査装置。
  5. 【請求項5】上記画像上で被検査物(1)およびゲージ
    (3)の画素数を測定する予め設定したウィンドウ
    (6)を設け、このウィンドウ(6)内で白から黒ある
    いは黒から白に変化する部分の座標を算出してその差か
    ら被検査物(1)およびゲージ(3)の画素数を測定す
    ることを特徴とする請求項1から請求項4記載の寸法検
    査方法および寸法検査装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011192792A (ja) * 2010-03-15 2011-09-29 Toppan Printing Co Ltd パターン寸法測定方法
JP2016164575A (ja) * 2016-05-12 2016-09-08 株式会社キーエンス 光学式変位計

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