JPH07151835A - 波形測定方法及び波形測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は荷電ビームを用いた波形測定方法及
び波形測定装置に関し、測定効率を向上させることを目
的とする。 【構成】 波形装置本体３１は、被測定回路を所定の繰
り返し周期を持つ駆動信号で駆動し、上記被測定回路の
所定位置に荷電ビームを照射したことにより得られる信
号を検出する。測定条件入力手段３２は、装置外部より
指定される、時間軸上の複数の測定範囲と各測定範囲で
の測定条件を一度に取り込み、格納する。測定制御手段
３３は、格納された複数の測定範囲及び測定条件に従っ
て、波形測定装置本体３１による荷電ビームの被測定回
路への照射を制御し、記波形測定装置本体３１から供給
される検出信号を測定して、上記複数の測定範囲の波形
を一度に測定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は波形測定方法及び波形測
定装置に係り、特に、荷電ビームを用いて集積回路等の
試料の波形を測定する波形測定方法及び波形測定装置に
関する。

【０００２】この荷電ビームを用いた波形測定装置で
は、より効率的に波形の測定が行えることが必要とされ
ている。

【０００３】

【従来の技術】近年、半導体集積回路等の微細な内部配
線に非接触でプロービングできる特長を有しているた
め、荷電ビームを用いた波形測定装置が、設計検証や不
良解析用のツールとして幅広く用いられてきている。こ
の荷電ビームを用いた波形測定装置は、半導体集積回路
等の微細な内部配線に荷電ビームを照射して、放出され
る二次電子等を検出して、内部配線電圧の時間的な変化
を測定するものである。

【０００４】荷電ビームを用いた波形測定装置（以下、
荷電ビーム波形測定装置と記す）では、周期的に繰り返
される駆動信号を試料である集積回路に印加して、荷電
ビーム波形測定装置の操作者が指定した集積回路内の配
線における信号の波形を測定する。この測定の際、時間
軸上の測定範囲が予め操作者により指定される。

【０００５】図７は、測定する波形の説明図を示す。図
７（Ａ）は、駆動信号と同期した測定用トリガ信号を示
す。測定用トリガ信号は、荷電ビームを集積回路の測定
する配線に照射するタイミングを制御するために用いら
れる。また、図７（Ｂ）は、測定しようとする配線にお
ける信号波形の一例を示す。

【０００６】測定範囲は、初期位相（測定範囲の前端）
と最終位相（測定範囲の後端）とを指定して定められ
る。また、測定範囲内での位相ピッチ（即ち、測定位相
間隔）も指定する。

【０００７】なお、指定された測定範囲での波形の測定
方法としては、初期位相から一定の位相ピッチで最終位
相まで順に位相を変化させて、各位相で配線の信号レベ
ルを測定する方法がある。

【０００８】また別の測定方法としては、位相ピッチは
一定であるが、初期位相から最終位相までの測定範囲の
なかで、信号レベルを測定する位相の順番がランダムで
ある方法（ランダム位相走査方法）がある。この場合、
荷電ビームを照射したときの配線の信号レベルが時間的
にばらつくため、集積回路の配線に荷電ビームを照射す
ることにより生じる帯電の影響を軽減することができ
る。

【０００９】一般的に、荷電ビーム波形測定装置により
検出される信号のレベルは小さい。このため、各測定位
相毎に複数回測定を行い、平均化処理等を行って測定デ
ータを得ている。

【００１０】また、測定範囲については、時間原点（図
７のｔ０）を初期位相として指定測定範囲の波形を測定
する場合と、時間原点から所定時間オフセットした位相
を初期位相として指定測定範囲の波形を測定する場合と
がある。図７（Ｃ）は、時間原点ｔ０から１周期の範囲
を測定して得た波形を示し、図７（Ｄ）は、時間原点ｔ
０からオフセットした時刻ｔ１から１周期終わりｔ０₁
までの範囲を測定して得た波形を示す。

【００１１】指定測定範囲内で測定できるデータ数（即
ち、設定できる位相の数）の上限は、例えばハード上の
制約から決まっており、測定範囲が広い程、設定できる
位相ピッチの最小値は長くなり時間分解能は下がる。

【００１２】このため、信号の立ち上がりや立ち下がり
部分等を、時間分解能を上げて測定したい場合は、狭い
測定範囲を指定して時間分解能を上げて測定を行う。こ
の場合、時間原点よりオフセットした初期位相から測定
範囲を指定する場合が多い。

【００１３】図８は、１周期より狭い測定範囲を時間分
解能を上げて測定する場合の説明図を示す。図８（Ａ）
は、測定用トリガ信号を示し、図８（Ｂ）は、測定しよ
うとする配線における信号波形を示し、また、測定範囲
の例を、時刻ｔ２〜ｔ２Ｅと時刻ｔ３〜ｔ３Ｅの２か所
の太線で示す。

【００１４】図８（Ｃ）は、測定範囲を時刻ｔ２（初期
位相）〜ｔ２Ｅ（最終位相）とした場合に、測定波形を
表示装置の画面Ｄ₁ に表示した様子を示す。図８（Ｃ）
では、波形の立ち上がり部分が時間分解能を上げて測定
された結果が表示されている。

【００１５】同様に、図８（Ｄ）は、測定範囲を時刻ｔ
３（初期位相）〜ｔ３Ｅ（最終位相）とした場合に、測
定波形を表示装置の画面Ｄ₂ に表示した様子を示す。図
８（Ｄ）では、波形の立ち上がり、及び立ち下がり部分
が時間分解能を上げて測定された結果が表示されてい
る。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】前記の従来の荷電ビー
ム波形測定装置では、一度に一つの測定範囲しか指定す
ることができない。このため、図８（Ｂ）のように、初
期位相の異なる複数の測定範囲について測定を行いたい
場合は、各測定範囲毎に、波形測定のための各種操作、
測定条件の設定と測定結果の取得を、繰り返し行う必要
があり、測定に要する時間が長く、測定効率が良くない
という問題がある。

【００１７】本発明は、上記の点に鑑みてなされたもの
で、一度に複数の測定範囲を指定して測定でき、効率的
に測定のできる波形測定方法及び波形測定装置を提供す
ることを目的とする。

【００１８】

【課題を解決するための手段】図１は本発明装置の原理
構成図を示す。本発明の波形装置本体３１は、被測定回
路を所定の繰り返し周期を持つ駆動信号で駆動し、上記
被測定回路の所定位置に荷電ビームを照射したことによ
り得られる信号を検出する。

【００１９】測定条件入力手段３２は、装置外部より指
定される、時間軸上の複数の測定範囲と前記各測定範囲
での測定条件を一度に取り込み、格納する。

【００２０】測定制御手段３３は、上記格納された複数
の測定範囲及び測定条件に従って、上記波形測定装置本
体３１による荷電ビームの被測定回路への照射を制御
し、上記波形測定装置本体３１から供給される検出信号
を測定して、上記複数の測定範囲の波形を一度に測定す
る。

【００２１】

【作用】本発明では、時間軸上の複数の測定範囲と各測
定範囲での測定条件を一度に取り込み、格納し、前記格
納された複数の測定範囲及び測定条件に従って、上記複
数の測定範囲の波形を一度に測定する。このため、各測
定範囲毎に、波形測定のための各種操作、測定条件の指
定、測定結果の取得を繰り返す必要が無く、測定に要す
る時間を短縮して、測定効率を向上させることを可能と
する。

【００２２】

【実施例】図２は本発明の一実施例の電子ビームテスタ
の構成図を示す。本実施例では、荷電ビームを用いる波
形測定装置の一例として、電子ビームテスタの場合で説
明する。波形測定装置本体は、電子ビーム鏡筒部１３及
び試料室１１からなる。

【００２３】荷電ビーム制御回路１４により制御される
電子銃１より電子ビームが出射される。電子銃１より出
射された電子ビームは、第１レンズ２、第２レンズ５、
第３レンズ９により、試料である集積回路１０上に縮小
投影される。

【００２４】サブブランカ３とメインブランカ４は、位
相制御回路１５によりブランキング制御用パルスを供給
されて制御される。サブブランカ３、メインブランカ４
により、電子ビームは、ブランキング制御用パルスのレ
ベルに応じて、対物絞り２１の穴を通過する位置か又は
穴から外れる位置に偏向される。従って、対物絞り２１
の穴を通過した電子ビームは、ブランキング制御用パル
スに対応したパルスビームとなる。

【００２５】走査偏向器６は、位置決め制御回路１６に
より制御されて、集積回路１０上の測定する配線に照射
する電子ビームの位置決めを行う。エネルギー分析器８
は、集積回路１０から放出された二次電子のエネルギー
を分析するためのもので、二次電子を集めて、二次電子
検出器７に導く。二次電子検出器７は、二次電子を検出
して検出信号を信号処理回路１７に供給する。信号処理
回路１７は、供給された検出信号を増幅した後、信号処
理を行い、測定データを生成する。

【００２６】集積回路駆動回路１９は、集積回路１０を
動作させるためのものであり、所定の繰り返し周期を持
つ駆動信号を集積回路に供給する。同時に、この駆動信
号に同期しており、周期が上記繰り返し周期と同一であ
る基準トリガ信号を、位相制御回路１５に供給してい
る。位相制御回路１５では、基準トリガ信号そのまま、
又は、基準トリガ信号を分周した信号を、測定用トリガ
信号とする。

【００２７】集積回路１０は、試料室１１内の可動ステ
ージ２２上に載置されており、可動ステージ２２により
所定位置に位置決めされている。ステージ２２は、図示
しないステージ制御回路により制御される。また、電子
ビーム鏡筒部１３は、真空排気装置（図示せず）により
真空排気されている。

【００２８】ＣＰＵ（中央処理装置）１２は、荷電ビー
ム制御回路１４、位相制御回路１５、位置決め制御回路
１６、信号処理回路１７、集積回路駆動回路１９、表示
装置１８等、電子ビームテスタ全体の制御を行う。また
ＣＰＵ１２は、各測定位相において、信号処理回路１７
から検出信号の測定データを供給されて、この測定デー
タを読み込む。ＣＰＵ１２は、この読み込んだ測定デー
タを基に、測定数値、測定波形等の表示用データを生成
して表示装置１８に供給する。表示装置１８は、ＣＰＵ
１２から表示用データを供給されて、測定数値、測定波
形等を表示する。

【００２９】入力装置２３は、操作者が電子ビームテス
タの操作を行うためのものである。操作者は、入力装置
２３を用いて、各種操作用コマンドの入力、測定条件の
入力等を行う。入力された操作用コマンド、測定条件等
のデータは、ＣＰＵ１２に取り込まれる。

【００３０】次に、本実施例における波形測定手順につ
いて説明する。図３は、本実施例で、ＣＰＵ１２により
実行される波形測定手順を示すフローチャートである。
また、図４は、測定対象信号と測定範囲の説明図を示
す。図４（Ａ）は、集積回路１０に供給される駆動信号
に同期した測定用トリガ信号を示す。図４（Ｂ）は、集
積回路１０上の測定する配線における測定対象信号の一
例を示す。

【００３１】図３のフローチャートで、ステップ１０１
が測定条件入力手段３２であり、ステップ１０３〜ステ
ップ１０９が測定制御手段３３である。また、ステップ
１１０が表示手段３４である。

【００３２】ステップ１０１では、１番目からＮ番目ま
でのＮ個の測定範囲の、初期位相（測定範囲の前端）ｔ
ｉ、位相ピッチ（測定位相の間隔）ｐ_i 、及び最終位相
（測定範囲の後端）ｔｉＥ（又は、測定範囲内のデータ
数）が、操作者により入力装置２３を介して指定され
る。この指定された１番目からＮ番目までのＮ個の測定
範囲の、初期位相ｔｉ、位相ピッチｐ_i 、及び最終位相
ｔｉＥ（又は、測定範囲内のデータ数）を取り込み、Ｃ
ＰＵ１２内蔵のメモリの所定位置に格納する。ここで、
ｉは、１〜Ｎの整数である。

【００３３】図４（Ｂ）では、１番目の測定範囲ｔ１〜
ｔ１Ｅと位相ピッチｐ₁ 、２番目の測定範囲ｔ２〜ｔ２
Ｅと位相ピッチｐ₂ 、及びＮ番目の測定範囲ｔＮ〜ｔＮ
Ｅと位相ピッチｐ_N が指定された状態を示している。

【００３４】ステップ１０２では、測定用トリガ信号の
周期を設定する。集積回路駆動回路１９から位相制御回
路１５に供給される基準トリガ信号の周期は、駆動信号
の繰り返し周期に一致している。位相制御回路１５で
は、基準トリガ信号を基に生成した測定用トリガ信号の
周期を、測定の基準周期とする。指定された測定範囲
が、基準トリガ信号の１周期内であるときは、基準トリ
ガ信号を、そのまま、測定用トリガ信号とする。

【００３５】また、指定された測定範囲が、基準トリガ
信号の隣接する２周期にかかっている場合がある。この
ような場合には、位相制御回路１５を制御して、基準ト
リガ信号を分周した測定用トリガ信号を生成させる。こ
の分周により、測定用トリガ信号の周期内に、上記指定
された測定範囲が入るようにする。この場合、測定用ト
リガ信号の周期は、駆動信号の繰り返し周期（即ち、基
準トリガ信号の周期）の整数倍となる。

【００３６】上記の測定用トリガ信号の周期の設定によ
り、測定用トリガ信号の周期毎に同じ位相で測定した複
数のデータを用いて平均化処理等を正しく行うことがで
きる。

【００３７】ステップ１０３〜ステップ１０９では、Ｃ
ＰＵ１２は、格納された１番目からＮ番目までのＮ個の
測定範囲の、初期位相ｔｉ、位相ピッチｐ_i 、及び最終
位相ｔｉＥ（又は、測定範囲内のデータ数）に従って、
各位相において、測定対象信号を測定する。

【００３８】ステップ１０３では、現在何番目の測定範
囲かを示すカウンタｉを１とする。ステップ１０４で
は、各測定範囲内での位相を可変するためのカウンタｊ
を０とする。

【００３９】ステップ１０５では、位相制御回路１５を
制御して、測定位相を、ｔｉ＋ｊ・ｐ_i に設定する。即
ち、各周期の測定位相ｔｉ＋ｊ・ｐ_i で、パルスビーム
が集積回路１０の測定する配線に照射されるようにす
る。測定範囲の最初の測定では、ｊ＝０で、測定位相は
初期位相ｔｉとなる。

【００４０】この設定した測定位相ｔｉ＋ｊ・ｐ_i にお
いて、測定対象信号を測定する。より具体的には、各周
期の測定位相ｔｉ＋ｊ・ｐ_i において信号処理回路１７
が検出信号から生成した測定データを、ＣＰＵ１２が、
複数周期にわたって、所定回数取り込み、平均化処理を
行って、測定位相ｔｉ＋ｊ・ｐ_i における測定データと
する。

【００４１】ステップ１０６では、カウンタｊをプラス
１する。ステップ１０７では、次の測定位相ｔｉ＋ｊ・
ｐ_i を最終位相ｔｉＥと比較して、現在の測定範囲の最
終位相ｔｉＥにおける測定が終了したかどうかを判断す
る。ｔｉ＋ｊ・ｐ_i ≦ｔｉＥの場合は、最終位相ｔｉＥ
における測定が終了していないので、ステップ１０５に
戻って現在の測定範囲に置ける測定を続ける。ｔｉ＋ｊ
・ｐ_i ＞ｔｉＥの場合は、最終位相ｔｉＥにおける測定
が終了しているので、ステップ１０８に進む。

【００４２】ステップ１０８では、１番目〜Ｎ番目の全
部の測定範囲の測定が終了したかどうかを判断する。ｉ
＜Ｎの場合には、全測定範囲の測定が終了していないの
で、ステップ１０９でカウンタｉをプラス１して、ステ
ップ１０４に戻り、次の測定範囲の測定を続ける。ｉ＝
Ｎの場合は、全測定範囲の測定が終了しているので、ス
テップ１１０に進む。

【００４３】ステップ１１０では、得られた測定データ
を用いて、表示装置１８に、各測定範囲の測定波形を表
示する。図５は、表示装置に表示される測定波形の例を
示す。図５では、図４の１番目の測定範囲ｔ１〜ｔ１Ｅ
の測定波形Ｗ１と、２番目の測定範囲ｔ２〜ｔ２Ｅの測
定波形Ｗ２を、表示装置１８の１画面Ｄ₁₁に同時に表示
した状態を示している。測定波形の表示方法としては、
各測定範囲の波形を、複数の画面に別々に表示すること
も可能である。また、各測定範囲の測定波形の容量が、
表示装置１８の表示容量を越えた場合には、自動的に、
複数の画面に各測定波形を別々に表示するようにしても
よい。

【００４４】なお、図３の測定手順においては、１番目
〜Ｎ番目の測定範囲は、必ずしも時間順に並んでいなく
ともよい。

【００４５】上記のように、本実施例では、複数の測定
範囲と各測定範囲での測定条件を、初期位相、最終位
相、位相ピッチ（又は、データ数）として一度に取り込
んで格納する。この格納された初期位相、最終位相、位
相ピッチ（又は、データ数）に従って、上記複数の測定
範囲の波形を一度に測定し、測定波形を表示する。この
ため、従来装置と異なり、各測定範囲毎に、波形測定の
ための装置の各種操作、測定条件の指定、測定結果の取
得を繰り返す必要が無く、測定に要する時間を短縮し
て、測定効率を向上させることができる。

【００４６】また、複数の測定範囲の測定波形を、１画
面に表示する方式の場合には、各測定範囲の波形を容易
に比較検討することができる。また、複数の測定範囲の
各測定波形を、複数の画面に別々に表示する方式の場合
には、所望の測定範囲の波形を選択して、選択した波形
を詳細に表示することができる。

【００４７】図６は、本実施例における別の波形測定手
順を示すフローチャートである。図６のフローチャート
で、ステップ２０１が測定条件入力手段３２であり、ス
テップ２０３〜ステップ２０７が測定制御手段３３であ
る。また、ステップ２０８が表示手段３４である。

【００４８】ステップ２０１では、図３のステップ１０
１と同様に、指定された１番目からＮ番目までのＮ個の
測定範囲の、初期位相ｔｉ、位相ピッチｐ_i 、及び最終
位相ｔｉＥ（又は、測定範囲内のデータ数）を取り込
み、ＣＰＵ１２内蔵のメモリの所定位置に格納する。こ
こで、ｉは、１〜Ｎの整数である。

【００４９】ステップ２０２では、図３のステップ１０
２と同様に、必要な場合には、基準トリガ信号を分周し
て測定用トリガ信号とし、測定用トリガ信号の周期を設
定する。これにより、測定用トリガ信号の周期毎に同じ
位相で測定した複数のデータを用いて平均化処理等を正
しく行うことができる。

【００５０】ステップ２０３では、複数の測定範囲の測
定する全位相を、時間的に一連の測定順に並べて、測定
位相ｔＡ１〜ｔＡＭとする。即ち、測定位相ｔ１〜ｔ１
Ｅ、ｔ２〜ｔ２Ｅ、・・・、ｔＮ〜ｔＮＥが、測定位相
ｔＡ１〜ｔＡＭに対応する。

【００５１】ステップ２０４では、測定位相全体の測定
順を示すカウンタｍを１とする。ステップ２０５では、
測定位相をｔＡｍに設定して、測定位相ｔＡｍにおい
て、測定対象信号を測定する。即ち、測定位相ｔＡｍ
で、パルスビームを集積回路１０の測定する配線に照射
させて、信号処理回路１７が検出信号から生成した測定
データを、ＣＰＵ１２が複数周期にわたって所定回数取
り込み、平均化処理を行って測定位相ｔＡｍにおける測
定データとする。

【００５２】ステップ２０６では、カウンタｍをプラス
１する。ステップ２０７では、最後の測定位相ｔＡＭで
の測定を終了したかどうかを判断する。ｍ≦Ｍの場合
は、最後の測定位相ｔＡＭでの測定を終了していないの
で、ステップ２０５に戻り、次の測定位相での測定を続
ける。ｍ＞Ｍの場合は、最後の測定位相ｔＡＭでの測定
を終了しているので、ステップ２０８に進む。

【００５３】ステップ２０８では、得られた測定データ
を用いて、図３のステップ１１０と同様に、表示装置１
８に、各測定範囲の測定波形を表示する。

【００５４】図６の測定手順の場合も、図３の測定手順
と同様に、複数の測定範囲の波形を一度に測定し、測定
波形を表示するため、従来装置と異なり、各測定範囲毎
に、波形測定のための装置の各種操作、測定条件の指
定、測定結果の取得を繰り返す必要が無く、測定に要す
る時間を短縮して、測定効率を向上させることができ
る。また、全部の測定位相ｔＡ１〜ｔＡＭを予め算出し
ておくため、測定実行時の処理を簡単にすることができ
る。

【００５５】なお、また、別の測定手順として、測定位
相ｔ１〜ｔ１Ｅ、ｔ２〜ｔ２Ｅ、・・・、ｔＮ〜ｔＮＥ
を、時間順ではなく、ランダムな順で選択して測定する
方法も可能である。この場合、電子ビームを照射したと
きの集積回路１０の配線の信号レベルが時間的にばらつ
くため、配線に電子ビームを照射することにより生じる
帯電の影響を軽減することができる。

【００５６】

【発明の効果】上述の如く、本発明によれば、時間軸上
の複数の測定範囲と各測定範囲での測定条件を一度に取
り込み、格納し、前記格納された複数の測定範囲及び測
定条件に従って、上記複数の測定範囲の波形を一度に測
定するため、各測定範囲毎に、波形測定のための各種操
作、測定条件の指定、測定結果の取得を繰り返す必要が
無く、測定に要する時間を短縮して、測定効率を向上さ
せることができる特長を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の原理構成図である。

【図２】本発明の一実施例の電子ビームテスタの構成図
である。

【図３】本実施例における波形測定手順を示すフローチ
ャートである。

【図４】測定対象信号と測定範囲の説明図である。

【図５】表示波形の説明図である。

【図６】本実施例における別の波形測定手順を示すフロ
ーチャートである。

【図７】測定する波形の説明図である。

【図８】時間分解能を上げて測定する場合の説明図であ
る。

【符号の説明】

１ 電子銃 ２ 第１レンズ ３ サブブランカ ４ メインブランカ ５ 第２レンズ ６ 走査偏向器 ７ 二次電子分析器 ８ エネルギー分析器 ９ 第３レンズ １０ 集積回路 １１ 試料室 １２ ＣＰＵ １３ 電子ビーム鏡筒部 １４ 荷電ビーム制御回路 １５ 位相制御回路 １６ 位置決め制御回路 １７ 信号処理回路 １８ 表示装置 １９ 集積回路駆動回路 ２１ 対物絞り ２２ 可動ステージ ２３ 入力装置 ３１ 波形測定装置本体 ３２ 測定条件入力手段 ３３ 測定制御手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 久保田 裕美 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定の繰り返し周期を持つ駆動信号で駆
   動される被測定回路（１０）の所定位置に荷電ビームを
   照射したことにより得られる信号を検出して、上記被測
   定回路（１０）の所定位置の波形を測定する波形測定方
   法において、 装置外部より指定される、時間軸上の複数の測定範囲と
   前記各測定範囲での測定条件を一度に取り込み、格納
   し、 上記格納された複数の測定範囲及び測定条件に従って、
   上記複数の測定範囲の波形を一度に測定することを特徴
   とする波形測定方法。
2. 【請求項２】 前記測定範囲及び測定条件として、前記
   測定範囲の前端の位相、前記測定範囲の後端の位相、及
   び、上記測定範囲内での測定位相の間隔を指定されるこ
   とを特徴とする請求項１記載の波形測定方法。
3. 【請求項３】 所定の繰り返し周期を持つ駆動信号で駆
   動される被測定回路（１０）の所定位置に荷電ビームを
   照射したことにより得られる信号を検出して、上記被測
   定回路（１０）の所定位置の波形を測定する波形測定装
   置において、 被測定回路（１０）を上記駆動信号で駆動し、上記被測
   定回路の所定位置に荷電ビームを照射したことにより得
   られる信号を検出する波形装置本体（３１）と、 装置外部より指定される、時間軸上の複数の測定範囲と
   前記各測定範囲での測定条件を一度に取り込み、格納す
   る測定条件入力手段（３２）と、 上記格納された複数の測定範囲及び測定条件に従って、
   上記波形測定装置本体（３１）による荷電ビームの被測
   定回路（１０）への照射を制御し、上記波形測定装置本
   体（３１）から供給される検出信号を測定して、上記複
   数の測定範囲の波形を一度に測定する測定制御手段（３
   ３）とを有することを特徴とする波形測定装置。
4. 【請求項４】 前記測定範囲及び測定条件として、前記
   測定範囲の前端の位相、前記測定範囲の後端の位相、及
   び、上記測定範囲内での測定位相の間隔を指定されるこ
   とを特徴とする請求項３記載の波形測定装置。