JPH07146244A

JPH07146244A - 光学物品の欠陥観察装置

Info

Publication number: JPH07146244A
Application number: JP31893493A
Authority: JP
Inventors: Yoshio Orihara; 芳男折原
Original assignee: RUKEO KK
Current assignee: RUKEO KK
Priority date: 1993-11-25
Filing date: 1993-11-25
Publication date: 1995-06-06

Abstract

(57)【要約】【目的】光学物品の光学的欠陥の検査を容易で確実にで
きるようにする。【構成】両面が互いに平行な平行平面状の光学物品の光
学的欠陥を観察する光学物品の欠陥観察装置であって、
平行な光束を発する光源と、この光源に向き合って平行
光束を受光するＣＣＤカメラと、このＣＣＤカメラの撮
像した画像を映し出すモニタテレビと、前記光源とＣＣ
Ｄカメラとの間に設けられ前記光学物品の画面を光束に
対し直交する向きに光学物品を載置する載置部とを備え
たことを特徴とする光学物品の欠陥観察装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、光を透過し両面が互い
に平行な平行平面状の光学物品の光学的欠陥（キズ、汚
れ等）を観察できる光学物品の欠陥観察装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、光を透過し、且つ、両面が互い
に平行な平行平面状の光学物品には、製造過程の諸要因
により、光学的欠陥を有する場合がある。この光学的欠
陥としては、例えば、キズ、研磨砂による凹凸となる砂
目、汚れ、異物やゴミの付着、研磨周辺部が平坦でない
面ダレ、部分的にスジ状に密度が異なる脈理、二種の材
料を接触した物品の接着状態の良否等がある。

【０００３】従来、このような光学物品の光学的欠陥を
検査する場合には、人手により光学物品を光源に向けて
目視検査により一般に行われていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来に
おける光学物品の検査方向によれば、上述したように、
光学物品を光源に向けて目視検査により行っていたの
で、コストが嵩むとともに光学的欠陥検査に熟練を要す
る。また、目視によるためにめんどうで見おしとがある
おそれがある。

【０００５】そこで本発明は、光学物品の欠陥を、容易
且つ確実なものとするとともに、熟練を要せずにコスト
の低減を図ることができる光学物品の欠陥観察装置を提
供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明に係る光学物品の
欠陥観察装置は、両面が互いに平行な平行平面状の光学
物品の光学的欠陥を観察する光学物品の欠陥観察装置で
あって、平行な光束を発する光源と、この光源に向き合
って平行光束を受光するＣＣＤカメラと、このＣＣＤカ
メラの撮像した画像を映し出すモニタテレビと、前記光
源とＣＣＤカメラとの間に設けられ前記光学物品の両面
を光束に対し直交する向きに光学物品を載置する載置部
とを備えた構成とされている。

【０００７】

【作用】載置部に両面を光束に対し直交する向きに光学
物品を載置し、光源から光を発すると、光源から発せら
れた平行光束は光学物品を透過したＣＣＤカメラに受光
され、その撮像がモニタテレビの画面に映し出される。

【０００８】光学物品の内部に光学的欠陥が全くない場
合には、モニタテレビの画面には均一な明るさが映し出
される。これに対し、光学物品の内部に光学的欠陥があ
る場合には、光学物品を透過する平行光束が欠陥の種類
によって遮断されたり、屈折されるため、ＣＣＤカメラ
に受光される平行光束にムラが生じ、ＣＣＤカメラの画
素に変化した光エネルギーが付与されることになり、そ
の結果、モニタテレビの画面には欠陥の種類に応じた撮
像が映し出される。したがって、モニタテレビの画面を
見ることにより、光学的欠陥を容易に且つ確実に観察す
ることができる。

【０００９】

【実施例】以下に本発明の一実施例を図面に基づき説明
する。図１は本実施例の欠陥観察装置（１）の概略構成
を示しており、本実施例の欠陥観察装置（１）は、光源
（２）と、平行光速用のレンズ（３）と、ＣＣＤカメラ
（５）と、モニタテレビ（６）と、コントローラ（７）
と、更にレンズ（３）とＣＣＤカメラ（５）との間に設
けられた載置部（４）とにより構成されている。尚、図
中、（８）は被検査対象物品（光学物品）を示す。

【００１０】上記光源（２）は本実施例としては白色点
光源を用いており、この光源（２）にはＣＣＤカメラ
（５）が対向するよう設置され、上記レンズ（３）は光
源（２）からの光を平行光束にしてＣＣＤカメラ（５）
に向け、入射させる。

【００１１】上記ＣＣＤ（固体撮像素子）カメラ（５）
は、平面状の画素を有し全体の画素により撮像し、画素
信号をモニタテレビ（６）に出力し、モニタテレビ
（６）により被検査対象物（８）の撮像部分が映し出さ
れる。上記コントローラ（７）は、光源（２）、レンズ
（３）、ＣＣＤカメラ（５）およびモニタテレビ（６）
を被検査対象物（８）や観察の状況に応じて制御する。

【００１２】上記欠陥観察装置（１）によれば、結像レ
ンズを介在させずに、光源（２）からの均等な明るさの
平行光線束がそのままＣＣＤカメラに受光される。これ
は、ＣＣＤカメラ（５）の全ての画素に同一の光エネル
ギーを与えることになり、被検査対象物（８）のない場
合のモニタテレビ（６）の映像は、影や像らしきものは
映し出されずに、均一な明るさだけが映し出される。

【００１３】次に、レンズ（３）とＣＣＤカメラ（５）
との間の載置部（４）に被欠陥対象である光学物品、す
なわち、互いに表面が平行な平行平面板状のガラス基板
を光束軸に対し直交するようにセットすると、この光学
物品（８）が全く光学欠陥を有しない場合には、光学物
品（８）を透過する平行光束には何ら影響がないので、
モニタテレビ（６）の映像は均一な明るさだけを示す。

【００１４】これに対し、光学物品（８）は何かの光学
的欠陥を有している場合には、光学欠陥の種類によって
は、光学欠陥部分を透過する光線が遮断されたり、屈折
したり、或いは光エネルギーが減衰したりするために、
平行光線の均等状態が崩されることになる。その結果、
ＣＣＤカメラ（５）の画素に入射される光エネルギーの
均等状態が変化することになり、モニタテレビ（６）の
画面には、より明るい部分と暗い部分とのコントラスト
像が映し出されることになり、光学欠陥に応じた映像を
モニタテレビ（６）により観察することができる。

【００１５】例えば、光学欠陥がキズや砂目の場合に
は、キズや砂目に当たる光線が散乱や屈折を生じて光エ
ネルギーが減衰するために、モニタテレビ（６）の画面
には少し暗い影となって映し出される。

【００１６】また、汚れ、異物やゴミの付着の場合に
は、これらの部分に当たる光線は吸収されるために、光
エネルギーが減衰したり遮断されることになる。その結
果、汚れのあるときには、少し暗い影となって映し出さ
れ、異物やゴミが付着しているときには、光線が遮断さ
れることになの、異物やゴミの形状がそのまま鮮明な暗
い影となって映し出される。

【００１７】画ダレの場合には、この部分に当たって通
過した光線の一部が屈折させられることにより、減衰に
よる薄い影と重なり合いにより明るくなった部分とが生
じ、水面の波をうつようなコントラスト模様が映し出さ
れる。

【００１８】更に、脈理がある場合には、脈理の部分で
正常な部分とは屈折率が異なるために、この脈理の部分
に当たって通過した光線が屈折してしまい、本来届くべ
きＣＣＤカメラ（５）の画素でなく近くの画素に届くこ
とになる。このために、この画素には屈折した光線と本
来の直進する光線が重なり合って正常時の約２倍の光エ
ネルギーが取込まれることになり、モニタテレビ（６）
の画面には他の部分よりも極めて明るく映し出される。
これに対し、屈折光線が届かない画素には光エネルギー
が取込まれないので暗く映し出され、全体としては脈理
そのもののすじ状のシルエット状の形が鮮明なコントラ
ストで映し出される。

【００１９】また、二種の材料を接着剤により接着した
構成された接着光学物品の場合にも、接着剤の欠陥の他
に、接着剤中に異物が混入していることを確実に観察す
ることが可能である。

【００２０】この種の接着光学物品は、無色透明で且つ
屈折率が接続する光学素子の屈折率に極めて近い値を有
する接着剤により、複数の光学素子が接着されたもので
ある。この場合、接着剤としては、二液混合型のエポキ
シ系の樹脂、紫外線硬化型の樹脂、シリコン系の樹脂が
用いられる。ところが、上記二液混合型の接着剤の場合
には、混合が不充分であると、接着強度に悪影響を及ぼ
すだけでなく、混合接着剤の屈折率が均一とはならなく
なる。また、上記紫外線硬化型の接着剤の場合にも、硬
化時に紫外光線の照射ムラがあると硬化ムラが生じ、屈
折率が均一とはならなくなる原因となる。

【００２１】そこで、本実施例の欠陥観察装置（１）に
より観察した場合には、屈折率が不均一な部分を有する
と、モニタテレビ（６）の画面に、上記面ダレの場合と
略同様に、屈折率のバラツキのパターンがコントラスト
模様となって映し出される。また、接着剤中にゴミ等の
異物が混入している場合には、上述した汚れ、異物やゴ
ミの付着の場合と同様に、ゴミの形状が暗いくっきりと
した影となって映し出されることになる。

【００２２】このように本実施例の欠陥観察装置におい
ては、光学物品の光学欠陥をモニタテレビに映し出して
観察することができるので、熟練者でなくとも容易に光
学欠陥の検査が可能となる。また、確実に光学的欠陥を
観察できるので、従来の如く見落とすことがなく、検査
効率が向上し、コストの低減を図ることができる。

【００２３】尚、本実施例では光源としては白色点光源
を用いた場合を例に採って説明したが、これに限らず、
レーザ光や赤外線を用いることも可能である。また、被
検査対象物としてガラス材に限らず、水晶製品、プラス
チック平面基板等についても同様に対象とすることがで
きる。

【００２４】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、光
学物品の光学的欠陥を表示装置に確実に映し出すことが
できるので、特に熟練がなくとも光学的欠陥の検査が容
易となり、また確実な観察ができるので、欠陥の見落と
しがなくなり、険阻効果が向上し、コストの低減を図る
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す欠陥観察装置のブロッ
ク構成図である。

【符号の説明】

１欠陥観察装置２光源４載置部５ＣＣＤカメラ６モニタテレビ８光学物品

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】両面が互いに平行な平行平面状の光学物
品の光学的欠陥を観察する光学物品の欠陥観察装置であ
って、平行な光束を発する光源と、この光源に向き合っ
て平行光束を受光するＣＣＤカメラと、このＣＣＤカメ
ラの撮像した画像を映し出すモニタテレビと、前記光源
とＣＣＤカメラとの間に設けられ前記光学物品の画面を
光束に対し直交する向きに光学物品を載置する載置部と
を備えたことを特徴とする光学物品の欠陥観察装置。
【請求項２】前記光源が、レーザ光を発する請求項１
記載の光学物品の欠陥観察装置。
【請求項３】前記光源が、赤外線を発する請求項１記
載の光学物品の欠陥観察装置。