JPH0714217A - 光ディスクの保護膜塗布用スピナー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 光ディスクの反射膜の表面に保護膜を塗布す
る際に、ミストが光ディスクの読取面に付着することを
未然に防止すること。 【構成】 エアー吹出口６４から吹き出すミスト吹き飛
ばし用エアーを光ディスク１の下面１ｂに直接吹き付け
るようにして、光ディスク１の下面１ｂに沿って光ディ
スク１の内周側から外周側へ吹き出すエアーを整流させ
ることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、光ディスクの製造装置
に適用される光ディスクの保護膜塗布用スピナーに関す
るものであって、特に、光ディスクの反射膜の表面に紫
外線硬化型の保護膜を塗布する際のミストの回収を確実
に行うための装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】まず、図１１によって、光ディスク製造
装置の概要を説明する。

【０００３】光ディスク１は射出成形機１０によって順
次射出成形された後、ディスク取出機１１によって最初
のディスク搬送装置１２へ順次取り出される。

【０００４】このディスク搬送装置１２は、回転搬送機
１３によって光ディスク１をディスク取出機１１から受
け取った後、直線搬送機１４によって光ディスク１の信
号面を上向きにして１ピッチづつ矢印方向に順次搬送す
る。

【０００５】なお、次工程以降の都合で、光ディスク１
を搬送できない時には、ストッカー１５に光ディスク１
をストックする。

【０００６】そして、光ディスク１は直線搬送機１４か
ら次の直線搬送機１６へ順次受け継がれて１ピッチづつ
矢印方向に順次搬送されるが、これらの直線搬送機１
４、１６によって光ディスク１の信号面を上向きに搬送
する工程中に、エアブローによって光ディスク１の信号
面の静電気が除去される。

【０００７】そして、この直線搬送機１６で順次搬送さ
れてきた光ディスク１はディスク取出反転機１７によっ
て矢印方向に取り出されると共に、光ディスク１の信号
面が下向きに反転されてアルミ反射膜成膜機１８へ順次
供給される。

【０００８】そして、このアルミ反射膜成膜機１８では
スパッタリング法により、光ディスク１の信号面にアル
ミニウムの反射膜を成膜する。

【０００９】そして、反射膜が成膜された光ディスク１
はアルミ反射膜成膜機１８からディスク取出反転機１７
によって矢印方向に取り出されると共に、光ディスク１
の信号面が再び上向きに反転されて次の直線搬送機１９
へ供給される。・

【００１０】そして、反射膜が形成された光ディスク１
がこの直線搬送機１９によって矢印方向に順次搬送され
て、保護膜機２０へ順次供給される。

【００１１】そして、保護膜機２０は、最初にスピナー
２１により光ディスク１の反射膜の上面に紫外線硬化型
の合成樹脂である保護膜を塗布し、次に、ＵＶ照射機２
２によって、その保護膜上に紫外線を照射して、その保
護膜を硬化し、光ディスク１を完成する。

【００１２】この際、保護膜機２０では、回転搬送機２
３、及びターンテーブル２４によって光ディスク１を矢
印方向に順次搬送しながら上記の工程を順次行い、完成
された光ディスク１を次の回転搬送機２５によって矢印
方向に順次取り出してストッカー２６にストックする。

【００１３】そして、ストッカー２６にストックされた
光ディスク１が回転搬送機２５によってレーベル印刷機
２７の直線搬送機２８へ順次供給される。

【００１４】そして、直線搬送機２８によって光ディス
ク１が１ピッチづつ矢印方向に順次搬送される際、ま
ず、バーコードリーダ２９によってバーコードの照合が
行われる。そして、バーコードリーダ２９を通過した光
ディスク１はディスク取出機３０によってレーベル印刷
機２７のターンテーブル３１上に順次供給される。

【００１５】このターンテーブル３１は１１ステーショ
ンであり、３ステップ送りで光ディスク１を矢印方向に
順次搬送しながら、最初に、３つのプリントステーショ
ン３２で、３色のインクの重ね印刷法によってレーベル
の印刷を順次行う。

【００１６】そして、レーベルが印刷された光ディスク
１をターンテーブル３１によって矢印方向に順次搬送し
ながらＵＶ照射機３３によって紫外線を照射して、レー
ベルを印刷したインクの乾燥、硬化を行った後、印刷面
検査機３４でレーベル印刷面の検査を行う。

【００１７】そして、レーベル印刷面の検査が終了した
光ディスク１をディスク取出機３５によって信号面検査
機３６へ順次取り出して、光ディスク１の信号面の検査
を行い、信号面の検査が終了した光ディスク１をディス
ク取出機３５によって直線搬送機２８へ戻して、最終段
のスピンドルスタッカー３７へ順次送り込む。

【００１８】次に、図１２によって、保護膜機２０の概
要を説明する。

【００１９】この保護膜機２０では、直線搬送機１９に
よってディスク供給位置３８に矢印方向から供給された
光ディスク１を回転搬送機２３の複数のヘッド２３ａで
順次吸着して、一対のスピナー２１に矢印方向に供給す
る。

【００２０】そして、一対のスピナー２１によってスピ
ンコート法により反射膜の上面に保護膜が塗布された光
ディスク１を回転搬送機２３の複数のヘッド２３ａで順
次吸着して、次のターンテーブル２４上へ矢印方向から
順次供給する。

【００２１】このターンテーブル２４上に６個のディス
クトレー２が等間隔で６ステーションに分割されて取り
付けられていて、テーンテーブル２４が１ステーション
づつ間欠的に回転することによって、これら６個のディ
スクトレー２上に光ディスク１が順次供給される。

【００２２】そして、ディスクトレー２上に供給された
光ディスク１がターンテーブル２４の矢印方向への間欠
的な回転によってＵＶ照射機２２の下を順次通過して、
紫外線が照射され、保護膜が硬化される。

【００２３】そして、保護膜が硬化した光ディスク１を
次の回転搬送機２５のヘッド２５ａが吸着して一対のス
トッカー２６に矢印方向へ順次取り出す。

【００２４】そして、回転搬送機２５は次のレーベル印
刷機２７の直線搬送機２８へのディスク排出位置４０へ
光ディスク１を矢印方向に順次取り出すが、前工程やス
ピナー２１で不良が発生した光ディスク１はリジェクタ
ー４１によって、ターンテーブル２４から取り出してリ
ジェクトポール４２へ排出する。

【００２５】次に、図１３〜図１７によって、従来のス
ピナー２１を説明する。

【００２６】まず、ベース４４にスピンドルハウジング
４５が垂直に固着され、スピンドルハウジング４５内に
垂直なスピンドル４６が複数のベアリング４７によって
回転自在に取り付けられている。そして、スピンドルハ
ウジング４５の下端に固着したスピンドルモータ４８と
スピンドル４６の下端とがカップリング４９によって連
結されている。

【００２７】そして、スピンドル４６の上端にスピンド
ルヘッド５０が固着されていて、そのスピンドルヘッド
５０の外周に同心円形状に配置されたチャンバー５１が
ベース４４上に固着されている。

【００２８】このチャンバー５１はチャンバー下カバー
５２と、チャンバー上カバー５３と、チャンバー内カバ
ー５４とによって構成されている。そして、チャンバー
上カバー５３の中央部には円形のディスク出入口５５が
スピンドルヘッド５０と同心円形状に形成されている。

【００２９】そして、チャンバー下カバー５２の外周５
２ａで円周上の２箇所に排気口５６が１８０°間隔で形
成されていて、これらには排気ダクト５７が接続されて
いる。また、チャンバー下カバー５２の外周５２ａで円
周上の１箇所に保護膜液回収口５８が形成されている。

【００３０】そして、スピンドルハウジング４５に形成
されたバキューム供給口５９がスピンドル４６の中心に
沿って形成されたバキューム通路６０を通してスピンド
ルヘッド５０の複数のバキューム口６１に接続されてい
る。

【００３１】また、スピンドルハウジング４５に形成さ
れたエアー供給口６２がスピンドルハウジング４５に形
成されたエアー通路６３を通じてスピンドルハウジング
４５の上端に形成された複数のエアー吹出口６４に接続
されている。そして、このエアー吹出口６４はスピンド
ルヘッド５０より相当に低い位置で、チャンバー下カバ
ー５２内周５２ａと、スピンドル４６との間に上向きに
形成されている。

【００３２】そして、このエアー吹出口６４は、チャン
バー下カバー５２の内周５２ｂとスピンドル４６との間
の隙間６５を通してチャンバー下カバー５２の内周５２
ｂとチャンバー内カバー５４の内周５４ａとの間に環状
に形成された保護膜液溜り６６に接続されている。そし
て、保護膜液溜り６６はチャンバー内カバー５４の内周
５４ａの下端に形成された複数個の流出穴６７を通して
保護膜液回収口５８に接続されている。

【００３３】そして、保護膜液溜り６６がスピンドルヘ
ッド５０上に水平に吸着される光ディスク１の下面であ
る読取面１ｂと、チャンバー内カバー５４の上面５４ｂ
との間に形成される隙間６８の内周に接続されている。

【００３４】そして、チャンバー５１のディスク出入口
５５の内周側の上部に保護膜液供給ノズル６９が下向き
に配置されている。

【００３５】次に、このスピナー２１による光ディスク
１への保護膜塗布工程を説明する。

【００３６】まず、スピナー２１はスピンコート法によ
り、光ディスク１の反射膜１ａの上面に紫外線硬化型の
合成樹脂によって保護膜を塗布するが、そのスピンコー
ト開始前（光ディスク１の装着前）に、保護膜液供給ノ
ズル６９から一定量の保護膜液７０ａをチャンバー５１
内に捨て打ちする。

【００３７】この捨て打ちされた保護膜液７０ａはチャ
ンバー下カバー５２の保護膜液溜り６６で溜められた
後、流下穴６７を通り、チャンバー下カバー５２の上面
であるほぼ階段状の流下面５２ｃ上を外周５２ａ側に流
下して保護膜液回収口５８に回収される。

【００３８】この後に、光ディスク１が上面である反射
膜１ａを上向きにした状態でディスク出入口５５からチ
ャンバー５１内に挿入されてスピンドルヘッド５０上に
水平に装着される。

【００３９】この際、光ディスク１の中心穴１ｃがスピ
ンドルヘッド５０のセンターリング用ハブ５０ａの外周
に嵌合され、バキューム供給口５９、バキューム通路６
０及び複数のバキューム口６１を通して吸引されるバキ
ュームによって光ディスク１がスピンドルヘッド５０上
に吸着される。

【００４０】次に、図１７の（Ａ）に示すように、保護
膜液供給ノズル６９から保護膜液７０を光ディスク１の
反射膜１ａ上に一定量供給しながら、ピンドルモータ４
８によってスピンドル４６及びスピンドルヘッド５０と
一体に光ディスク１を低速で１回転させて、保護膜液７
０を光ディスク１の反射膜１ａ上の内周側に一周させ
る。

【００４１】次に、図１７の（Ｂ）に示すように、スピ
ンドルモータ４８によってスピンドル４５及びスピンド
ルヘッド５０と一体に光ディスク１を高速で数回転し
て、遠心力によって、保護膜液２０を光ディスク１の反
射膜１ａ上で外周側に向けて薄く拡散するようにして、
反射膜１ａの表面全体に保護膜液７０をほぼ均一の厚さ
に塗布する。

【００４２】この際、図１６に示すように、エアー供給
口６２に供給されたエアー７１をエアー通路６３を通し
て複数のエアー吹出口６４から矢印方向に吹き出し、こ
のエアー７１を隙間６５及び保護膜液溜り６６を通して
光ディスク１の下面である読取面１ｂとチャンバー内カ
バー５４の上面５４ｂとの間の隙間６８を通して光ディ
スク１の内周側から外周側に向けて吹き出す。

【００４３】そして、図１７の（Ｃ）に示すように、光
ディスク１の高速回転による遠心力と、エアー７１とに
よって、光ディスク１の外周に集った余分な保護膜液７
０を光ディスク１の外周から外方にミスト状に吹き飛ば
す。

【００４４】そして、チャンバー５１内に吹き飛ばされ
て浮遊する保護膜液のミストは一対の排気口５６から排
気ダスト５７に排気される。

【００４５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来は、チャ
ンバー下カバー５２やチャンバー内カバー５４をステン
レス板の絞り加工によって成形していたために形状が一
定せず、特に、チャンバー内カバー５４の上面５４ｂが
光ディスク１の下面である読取面１ｂに対して平行にな
っていない。複数のエアー吹出口６４から吹き出したエ
アー７１を隙間６５及び保護膜液溜り６６を経由して光
ディスク１の読取面１ｂとチャンバー内カバー５４の上
面５４ｂとの間の隙間６８内に吹き出す方式は、エアー
７１が乱流となってしまう。

【００４６】このため従来は、図１７の（Ｃ）に示すよ
うに、保護膜液７０を光ディスク１の外周からミスト状
に吹き飛ばすエアー７１が乱流になってしまい、図１７
の（Ｄ）に示すように、保護膜液７０が光ディスク１の
外周から下面である読取面１ｂへ回り込んで付着し、読
取面１ｂが汚れて不良品になり易かった。

【００４７】また、従来は、図１６に示すように、光デ
ィスク１の下面である読取面１ｂとチャンバー内カバー
５４の上面５４ｂとの間の隙間６８が外周に至るに従っ
て次第に広くなるように設計していたために、この隙間
６８の広くなった外周付近で、ミストの跳ね返りによっ
て、ミストが光ディスク１の読取面１ｂに付着して汚
れ、不良品になり易かった。

【００４８】また、従来は、図１５に斜線で示すよう
に、チャンバー５１内に吹き飛ばされて浮遊する保護膜
液７０のミストのうち、一対の排気口５６に近い領域
Ａ、Ｂ部分のミストは容易に排気されるものの、一対の
排気口５６から遠い領域Ｃ、Ｄ部分のミストは排気され
にくく、チャンバー５１内にいつまでも浮遊していた。

【００４９】このため従来は、チャンバー５１内に多量
のミストが浮遊してしまい、これらのミストが光ディス
ク１の塗布済みの保護膜７０の上面や読取面１ｂに付着
して汚れてしまい、不良品になり易かった。

【００５０】本発明は、上記の問題を解決するためにな
されたものであって、光ディスクの反射膜の表面に保護
膜を塗布する際に、ミストが光ディスクの読取面に付着
することを未然に防止することができる光ディスクの保
護膜塗布用スピナーを提供することを目的としている。

【００５１】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの本発明の第１の発明は、光ディスクの反射膜の表面
に紫外線硬化型の保護膜を塗布する光ディスクの保護膜
塗布用スピナーにおいて、ミスト吹き飛ばし用エアーを
光ディスクの下面に直接吹き付けられるように、エアー
吹出口を光ディスクの下面の近傍に設けたものである。
また、第２の発明は、光ディスクの反射膜の表面に紫外
線硬化型の保護膜を塗布する光ディスクの保護膜塗布用
スピナーにおいて、ミスト吹き飛ばし用エアーの吹出口
をスピンドルヘッドに形成して光ディスクの下面に近接
させたものである。また、第３の発明は、光ディスクの
反射膜の表面に紫外線硬化型の保護膜を塗布する光ディ
スクの保護膜塗布用スピナーにおいて、チャンバー内の
排気口の上部に保護膜液のミストの迂回用の邪魔板を設
けたものである。

【００５２】

【作用】上記のように構成された本発明の第１の発明
は、エアー吹出口から吹き出すミスト吹き飛ばし用エア
ーを光ディスクの下面に直接吹き付けることができるの
で、光ディスクの下面に沿って光ディスクの内周側から
外周側へ吹き出すエアーが整流となる。

【００５３】また、第２の発明は、エアー吹出口をスピ
ンドルヘッドに形成したので、エアーを光ディスクの下
面に直接吹き付けることができて、光ディスクの下面に
沿って光ディスクの内周側から外周側へ吹き出すエアー
が整流となる。

【００５４】また、第３の発明は、チャンバー内の排気
口の上部に設けられた邪魔板によって、チャンバー内に
浮遊する保護膜液のミストをチャンバー内の全域におい
て均一に排気することができる。

【００５５】

【実施例】以下、本発明を適用した光ディスクの保護膜
塗布用スピナーの実施例を図１〜図１０を参照して説明
する。なお、図１１〜図１７と同一構造部には同一の符
号を付して説明の重複を省く。

【００５６】まず、図５及び図６に全体を示すように、
チャンバー５１を構成するチャンバー下カバー５２、チ
ャンバー上カバー５３及びチャンバー下カバー５４はア
ルミダイキャスト等にて成形されている。

【００５７】そして、チャンバー下カバー５２の外周５
２ａで円周上の２箇所に排気口５６が１８０°間隔で形
成され、これら一対の排気口５６の中間位置の２箇所に
保護膜液回収口５８が１８０°間隔で形成されている。

【００５８】そして、従来、チャンバー下カバー５２の
内周５２ｂとチャンバー内カバー５４の内周５４ａとの
間に形成されていた保護膜液溜り６６が除去され、その
代りに、チャンバー下カバー５２の上面である流下面５
２ｃが内周５２ｂから外周５２ａにかけて下向きでほぼ
階段状の傾斜面に形成され、チャンバー内カバー５４の
内周５４ａと、上記流下面５２ｃとの間には環状の隙間
７３が形成されている。なお、チャンバー内カバー５４
は外周５４ｃの複数箇所でチャンバー下カバー５２上に
一体に接続されて支持されている。

【００５９】従って、上述したスピンコート法によって
光ディスク１の反射面１ａの表面に保護膜液７０を塗布
する前に、図１に示すように、保護膜液供給ノズル６９
からチャンバー下カバー５２の内周５２ｂ上に捨て打ち
された保護膜液７０ａは環状の隙間７３を通り、傾斜面
に形成されているチャンバー下カバー５２の流下面５２
ｃ上を外周５２ａ側に向けて矢印ｂ方向にスムーズに流
下して、１８０°間隔で配置されている２箇所の保護膜
液回収口５８に速やかに回収されるように構成されてい
る。

【００６０】次に、図１及び図２によって、エアー吹出
口の第１実施例を説明する。

【００６１】エアー供給口６２にエアー通路６３を通し
て接続された複数のエアー吹出口６４がスピンドルヘッ
ド５０の外周とチャンバー下カバー５２の内周５２ｂと
の間に斜め上方、外方に向けて形成されている。

【００６２】また、チャンバー内カバー５４の上面５４
ｂがスピンドルヘッド５０に水平に装着される光ディス
ク１の内周から外周に至るまで、その光ディスク１の下
面である読取面１ｂに対して完全な平行に形成されてい
る。従って、これらの間の隙間６８が内周から外周まで
全域において均一に形成されている。

【００６３】従って、前述したスピンコート法によって
光ディスク１の反射面の表面に保護膜液７０を塗布する
際に、図１及び図２に示すように、複数のエアー吹出口
６４から矢印ｃ方向に吹き出したエアーを矢印ｄで示す
ように光ディスク１の読取面１ｂに直接吹き付けるよう
にして、隙間６８内にスムーズに吹き込んで、この隙間
６８内を光ディスク１の内周側から外周側に向けて矢印
ｅ方向にスムーズに吹き出すことができる。

【００６４】この結果、複数のエアー吹出口６４から矢
印ｃ方向に吹き出されたエアーが従来のように乱流にな
らず、整流となって隙間６８内を矢印ｄ、ｅ方向にスム
ーズに高速で流れるため、図１６の（Ｃ）で示したエア
ー７１による保護膜液７０のミスト状の吹き飛ばし作用
を確実に行え、図１７の（Ｄ）で示したような光ディス
ク１の読取面７０への保護膜液７０の回り込みを未然に
防止できて、良製品を製造できる。

【００６５】また、隙間６８が内周から外周まで全域に
おいて均一に形成されているので、従来のように隙間６
８の広くなった外周付近で、ミストの跳ね返りによっ
て、ミストが光ディスク１の読取面１ｂに付着するよう
なことも未然に防止することができて、良製品を製造で
きる。

【００６６】次に、図３によって、エアー吹出口の第２
実施例を説明する。

【００６７】複数のエアー吹出口６４をスピンドルヘッ
ド５０の外周で隙間６８とほぼ同じ高さ位置にほぼ水平
な放射状に形成し、これらのエアー吹出口６４をスピン
ドル４６に形成したエアー通路７４を通して図１及び図
２に示したスピンドルハウジング４５のエアー通路６３
に接続したものである。

【００６８】この場合は、複数のエアー吹出口６４をス
ピンドルヘッド５０及び光ディスク１と一緒に回転させ
ながら、光ディスク１の読取面１ｂに最も近い位置から
読取面１ｂに沿って矢印ｃ方向に放射状にエアーを吹き
出してそのままエアーを隙間６８内にスムーズに吹き込
むことができるので、エアーｃの整流効果が高く、光デ
ィスク１の読取面１ｂへの保護膜液７０の回り込みをよ
り一層確実に防止できる。

【００６９】この際、図４に示すように、エアー供給口
６２を有するエアー供給ユニット７５をスピンドルヘッ
ド５０のセンターリング用ハブ５０ａに上方から接合、
離間自在に連結して、スピンドルヘッド５０に形成した
エアー通路７４にエアー供給口６２を上方から接続する
ようにして複数のエアー吹出口６４から矢印ｃ方向に放
射状にエアーを吹き出すようにしても良い。

【００７０】次に、図５〜図７によって、邪魔板の第１
実施例を説明する。

【００７１】チャンバー５１内で、一対の排気口５６の
上部に保護膜液のミストの迂回用の邪魔板７６が設けら
れている。

【００７２】この邪魔板７６は環状で水平に形成されて
いて、チャンバー５１内で外周壁５１ａとチャンバー内
カバー５４の外周５４ｃとの間に形成されている環状の
チャンバー内空間５１ｂ内に水平に配置されている。こ
の際、邪魔板７６は、チャンバー下カバー５２の外周５
２ａ上に一体に形成された複数のスタンド７７上に水平
に載置され、複数のビス７８によって固定されている。

【００７３】そして、この邪魔板７６の内外周とチャン
バー５１の外周壁５１ａ及びチャンバー内カバー５４の
内周５４ａとの間には内外２重の環状隙間７９が形成さ
れている。

【００７４】また、チャンバー内空間５１ｂ内の排気ミ
ストをより一層均一に排気できるように、邪魔板７６に
は、一対の排気口５６から最も遠い位置であるこれら排
気口５６間の中間位置に相当する部分に多数の通気口８
０が形成されている。

【００７５】このように、チャンバー５１内で、一対の
排気口５６の上部に保護膜液のミストの迂回用の邪魔板
７６を設けることにより、前述したスピンコート法によ
って光ディスク１の反射面１ａの表面に保護膜液７０を
塗布する際に、チャンバー５１内に吹き飛ばされて浮遊
する保護膜液７０のミストを、そのチャンバー５１内の
全域において均一に排気することができる。

【００７６】即ち、一対の排気ダクト５７によって一対
の排気口５６からチャンバー５１内の排気を行う際、一
対の排気口５６の上部が邪魔板７６によって覆われてい
るので、図１４で示したような、一対の排気口５６に近
い領域Ａ、Ｂ部分で邪魔板７６の上部に浮遊する保護膜
液７０のミストはその邪魔板７６の内外周を迂回するよ
うにして、一対の排気口５６に排気されることになる。

【００７７】従って、図１５で示した一対の排気口５６
から遠い領域Ａ、Ｂ部分のミストの排気は従来に比べて
制限される。

【００７８】一方、一対の排気口５６間の中間位置では
邪魔板７６に多数の通気口８０が形成されているので、
図１５で示したような、一対の排気口５６から遠い領域
Ｃ、Ｄ部分で邪魔板７６の上部に浮遊するミストは多数
の通気口８０を通って一対の排気口５６に短絡状に排気
される。

【００７９】従って、図１５で示した一対の排気口５６
から近い領域Ａ、Ｄ部分のミストの排気が制限される分
だけ、遠い領域Ｃ、Ｄ部分のミストを一対の排気口５６
にスムーズに排気することができて、チャンバー５１内
に浮遊するミストを、そのチャンバー５１内の全域にお
いて均一に排気することができる。

【００８０】そして、この結果、チャンバー５１内に浮
遊するミストが光ディスク１の塗布済みの保護膜７０の
上面や読取面１ｂに付着して、不良品を発生することを
未然に防止することができる。

【００８１】なお、環状の邪魔板７６の断面形状は、図
８の（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）（Ｄ）に示すように、平坦状、
山形状、円弧状その他の各種の形状に変更可能である。

【００８２】また、図９によって邪魔板の第２実施例を
説明する。

【００８３】一対の排気口５６の上部のみに一対の邪魔
板７６を設けても良く、その際の邪魔板７６の断面形状
も、図１０の（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）（Ｄ）に示すように、
平坦状、台形状、山形状、円弧状その他の各種形状に変
更可能である。

【００８４】以上、本発明の実施例に付き述べたが、本
発明は上記の実施例に限定されることなく、本発明の技
術的思想に基づいて各種の変更が可能である。

【００８５】

【発明の効果】以上のように構成された本発明の光ディ
スクの保護膜塗布用スピナーは次のような効果を奏す
る。

【００８６】第１の発明は、エアー吹出口から吹き出す
ミスト吹き飛ばし用エアーを光ディスクの下面に直接吹
き付けるようにして、光ディスクの下面に沿って光ディ
スクの内周側から外周側へ吹き出すエアーが整流となる
ようにしたので、光ディスクの反射膜の表面に保護膜を
塗布する際に、ミストが光ディスクの下面である読取面
に付着することを未然に防止することができて、光ディ
スクの品質を向上することができ、高い歩留りが得られ
る。

【００８７】この際、チャンバー内カバーの上面を光デ
ィスクの外周に至るまで、その光ディスクの下面と平行
に形成することにより、エアーの整流効果を高くし、ミ
ストが光ディスクの読取面に付着することをより一層確
実に防止できる。

【００８８】第２の発明は、エアー吹出口をスピンドル
ヘッドに形成して、エアーを光ディスクの下面に直接吹
き付けることができるようにして、光ディスクの下面に
沿って光ディスクの内周側から外周側へ吹き出すエアー
が整流となるようにしたので、ミストが光ディスクの下
面である読取面に付着することを未然に防止することが
できて、光ディスクの品質を向上することができ、高い
歩留りが得られる。

【００８９】第３の発明は、チャンバー内の排気口の上
部に設けられた邪魔板によって、チャンバー内に浮遊す
る保護膜液のミストをチャンバー内の全域において均一
に排気することができるようにしたので、ミストが舞い
上って光ディスクの上下両面に付着することを未然に防
止することができて、光ディスクの品質を向上すること
ができ、高い歩留りが得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の光ディスクの保護膜塗布用スピナーの
実施例を説明するエアー吹出口部分の第１実施例を示す
断面側面図である。

【図２】図１の要部の拡大断面側面図である。

【図３】同上のエアー吹出口部分の第２実施例を示す断
面側面図である。

【図４】同上の第２実施例の変形例を示す断面側面図で
ある。

【図５】同上の光ディスクの保護膜塗布用スピナーの全
体を示す一部切欠き側面図である。

【図６】図５のＡ−Ａ矢視での断面平面図である。

【図７】図５の邪魔板の第１実施例の斜視図である。

【図８】同上の邪魔板の第１実施例の変形例を示す斜視
図である。

【図９】同上の邪魔板の第２実施例を示す斜視図であ
る。

【図１０】同上の邪魔板の第２実施例の変形例を示す斜
視図である。

【図１１】光ディスク製造装置全体の平面図である。

【図１２】保護膜機全体の平面図である。

【図１３】従来の光ディスクの保護膜塗布用スピナーの
一部切欠き側面図である。

【図１４】図１３の平面図である。

【図１５】図１３のＢ−Ｂ矢視での断面平面図である。

【図１６】図１３の要部の拡大断面側面図である。

【図１７】光ディスクの反射面へのスピンコート法によ
る保護膜の塗布工程を説明する断面側面図である。

【符号の説明】

１ 光ディスク １ａ 光ディスクの反射面（上面） １ｂ 光ディスクの読取面（下面） ２１ スピナー ４５ スピンドルハウジング ４６ スピンドル ４８ スピンドルモータ ５０ スピンドルヘッド ５１ チャンバー ５１ｂ チャンバー内空間 ５２ チャンバー下カバー ５２ａ チャンバー下カバーの外周 ５２ｂ チャンバー下カバーの内周 ５２ｃ チャンバー下カバーの上面 ５３ チャンバー上カバー ５４ チャンバー内カバー ５４ａ チャンバー内カバーの内周 ５４ｂ チャンバー内カバーの流下面（上面） ５４ｃ チャンバー内カバーの外周 ５６ 排気口 ５８ 保護膜液回収口 ６４ エアー吹出口 ６８ チャンバー内カバーの上面と光ディスクの下面
との間の隙間 ６９ 保護膜液供給ノズル ７０ 保護膜液 ７１ エアー ７６ 邪魔板 ７９ 環状の隙間 ８０ 通気口

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】光ディスクの反射膜の表面に紫外線硬化型
   の保護膜を塗布する光ディスクの保護膜塗布用スピナー
   において、 ミスト吹き飛ばし用エアーを光ディスクの下面に直接吹
   き付けられるように、エアー吹出口を光ディスクの下面
   の近傍に設けたことを特徴とする光ディスクの保護膜塗
   布用スピナー。
2. 【請求項２】チャンバー内カバーの上面を光ディスクの
   外周に至るまで、その光ディスクの下面と平行に形成し
   たことを特徴とする請求項１記載の光ディスクの保護膜
   塗布用スピナー。
3. 【請求項３】光ディスクの反射膜の表面に紫外線硬化型
   の保護膜を塗布する光ディスクの保護膜塗布用スピナー
   において、 ミスト吹き飛ばし用エアーの吹出口をスピンドルヘッド
   に形成して光ディスクの下面に近接させたことを特徴と
   する光ディスクの保護膜塗布用スピナー。
4. 【請求項４】光ディスクの反射膜の表面に紫外線硬化型
   の保護膜を塗布する光ディスクの保護膜塗布用スピナー
   において、 チャンバー内の排気口の上部に保護膜液のミストの迂回
   用の邪魔板を設けたことを特徴とする光ディスクの保護
   膜塗布用スピナー。