JPH07119708B2 - 光学デイスク検査装置 - Google Patents
光学デイスク検査装置Info
- Publication number
- JPH07119708B2 JPH07119708B2 JP61268166A JP26816686A JPH07119708B2 JP H07119708 B2 JPH07119708 B2 JP H07119708B2 JP 61268166 A JP61268166 A JP 61268166A JP 26816686 A JP26816686 A JP 26816686A JP H07119708 B2 JPH07119708 B2 JP H07119708B2
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- JP
- Japan
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- signal
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- optical disc
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/9506—Optical discs
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Analytical Chemistry (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はプリフォーマット部に微小ピットを有する光学
ディスクにおけるピット以外の凹凸の欠陥を検出するこ
とができる光学ディスク検査装置に関するものである。
ディスクにおけるピット以外の凹凸の欠陥を検出するこ
とができる光学ディスク検査装置に関するものである。
光学ディスクはプリフォーマット部に微小ピットを有
し、記録領域にブルグルーブがありユーザはこの記録領
域にデータを記録している。このような光学ディスクの
記録領域に凹凸の欠陥があると、再生時にデータのビッ
トエラーが生じる。
し、記録領域にブルグルーブがありユーザはこの記録領
域にデータを記録している。このような光学ディスクの
記録領域に凹凸の欠陥があると、再生時にデータのビッ
トエラーが生じる。
第４図は光学ディスクの微小欠陥を検出する従来の欠陥
検査装置の概略を示している。第４図において、19は被
測定物であり、11はレーザ光照射装置で、12はこのレー
ザ光照射装置11より照射されるレーザ光である。13はレ
ーザ光12を平行光にするコリメートレンズ、14はハーフ
ミラーで15はコリメートされたレーザ光12を被測定物19
の表面に微小スポットとして絞る対物レンズである。被
測定物19の表面上に欠陥のない場合には、反射光はその
まま対物レンズ15に戻り、ハーフミラー14と集光レンズ
17を介して光検出器18に入る。しかし、被測定物19の表
面に欠陥があると、散乱光16のように散乱が生じるた
め、光検出器18に入射する光量が減少する。この光検出
器18の出力を増幅した後、設定電圧値と比較することに
よって欠陥の有無を検出することができる。
検査装置の概略を示している。第４図において、19は被
測定物であり、11はレーザ光照射装置で、12はこのレー
ザ光照射装置11より照射されるレーザ光である。13はレ
ーザ光12を平行光にするコリメートレンズ、14はハーフ
ミラーで15はコリメートされたレーザ光12を被測定物19
の表面に微小スポットとして絞る対物レンズである。被
測定物19の表面上に欠陥のない場合には、反射光はその
まま対物レンズ15に戻り、ハーフミラー14と集光レンズ
17を介して光検出器18に入る。しかし、被測定物19の表
面に欠陥があると、散乱光16のように散乱が生じるた
め、光検出器18に入射する光量が減少する。この光検出
器18の出力を増幅した後、設定電圧値と比較することに
よって欠陥の有無を検出することができる。
しかし、前述の従来技術ではプリフォーマットされたプ
リピットを有する光学ディスクに対して、プリピットに
よってレーザ光は散乱を受け光検出器に入射する光量は
減少するため、プリフォーマット部のプリピットをあた
かもディスク上の欠陥のごとく検出してしまうという問
題点を有する。そこで本発明はこのような問題点を解決
するもので、その目的とするところはプリフォーマット
されたプリピットを有する光学ディスクの記録領域の凹
凸や傷等の欠陥を検出する光学ディスク検査装置を提供
するところにある。
リピットを有する光学ディスクに対して、プリピットに
よってレーザ光は散乱を受け光検出器に入射する光量は
減少するため、プリフォーマット部のプリピットをあた
かもディスク上の欠陥のごとく検出してしまうという問
題点を有する。そこで本発明はこのような問題点を解決
するもので、その目的とするところはプリフォーマット
されたプリピットを有する光学ディスクの記録領域の凹
凸や傷等の欠陥を検出する光学ディスク検査装置を提供
するところにある。
中心から周端方向へ放射状に伸びる細幅のプリフォーマ
ット部と記録領域とを含むデータ領域と、前記プリフォ
ーマット部に対しプリフォーマット部の幅と同一幅を有
する放射状の位置情報領域と、を有する光学ディスクを
検査する光学ディスク検査装置であって、 前記データ領域の情報を検出し第１の出力信号を出力す
る第１の検出手段と、 前記位置情報領域の情報を検出し第２の出力信号を出力
する第２の検出手段と、 前記第１、第２の出力信号を処理する信号処理部と、を
有し、 前記第１、第２の検出手段は、 互いに前記プリフォーマット部と、該プリフォーマット
部に対応する前記位置情報領域のそれぞれの検出タイミ
ングが一致するように配置され、 前記第２の検出手段は、前記第２の出力信号に基づき、
前記第１の検出手段のプリフォーマット部の検出タイミ
ングと検出期間に一致する同期信号を出力し、 前記信号処理部は、 前記同期信号が出力されている期間、前記第１の検出手
段の第１の出力信号を通さない手段を備えていることを
特徴とする。
ット部と記録領域とを含むデータ領域と、前記プリフォ
ーマット部に対しプリフォーマット部の幅と同一幅を有
する放射状の位置情報領域と、を有する光学ディスクを
検査する光学ディスク検査装置であって、 前記データ領域の情報を検出し第１の出力信号を出力す
る第１の検出手段と、 前記位置情報領域の情報を検出し第２の出力信号を出力
する第２の検出手段と、 前記第１、第２の出力信号を処理する信号処理部と、を
有し、 前記第１、第２の検出手段は、 互いに前記プリフォーマット部と、該プリフォーマット
部に対応する前記位置情報領域のそれぞれの検出タイミ
ングが一致するように配置され、 前記第２の検出手段は、前記第２の出力信号に基づき、
前記第１の検出手段のプリフォーマット部の検出タイミ
ングと検出期間に一致する同期信号を出力し、 前記信号処理部は、 前記同期信号が出力されている期間、前記第１の検出手
段の第１の出力信号を通さない手段を備えていることを
特徴とする。
本発明の上記の構成によれば、プリピットを有するプリ
フォーマット部分の開始タイミンクグに同期する同期信
号を出力し、この同期信号の出力期間の間欠陥検出のカ
ウント動作を停止し、同期信号の出力の終了と同時に再
び欠陥検出を開始する。したがって、プリピットのある
プリフォーマットの領域は欠陥検出はせず、それに続く
プルグルーブの記録領域のみの欠陥検出ができる。
フォーマット部分の開始タイミンクグに同期する同期信
号を出力し、この同期信号の出力期間の間欠陥検出のカ
ウント動作を停止し、同期信号の出力の終了と同時に再
び欠陥検出を開始する。したがって、プリピットのある
プリフォーマットの領域は欠陥検出はせず、それに続く
プルグルーブの記録領域のみの欠陥検出ができる。
以下本発明の一実施例について第１図、第２図とともに
説明していく。
説明していく。
第１図は本発明の一実施例における信号処理部のブロッ
ク図、第２図は第１図で示される各ブロックの出力信号
波形図である。第１図において、増幅器１に入力される
信号は第４図における光検出器18の出力で、増幅器１で
増幅され、ゲート３に入力される。このとき、同期信号
発振器２からプリピットのあるプリフォーマットの部分
のところだけに同期信号が出力される。ゲート３では、
同期信号発振器２からの同期信号が出力されゲート３に
入力されるとゲート３はゲートを閉じる。このようにし
て、プリピットのあるプリフォーマット部分における欠
陥検出のカウント動作を停止している。ゲート３からの
出力は、プリフォーマット部分を除いたプリグルーブの
ある記録領域だけの欠陥検出信号である。こうした欠陥
検出信号は、比較器４に入力され、この比較器４でゲー
ト３の出力が一定値に達しているかどうかが比較され、
ゲート３の出力が一定値以上であれば比較器４に出力が
生じ、この比較器４の出力がカウンタ５に入力される。
カウンタ５ではクロックパルス発振器６から出力される
クロックパルス数を比較器４からの出力信号に対応する
期間中にカウントすることによって、欠陥長を見積るこ
とができる。
ク図、第２図は第１図で示される各ブロックの出力信号
波形図である。第１図において、増幅器１に入力される
信号は第４図における光検出器18の出力で、増幅器１で
増幅され、ゲート３に入力される。このとき、同期信号
発振器２からプリピットのあるプリフォーマットの部分
のところだけに同期信号が出力される。ゲート３では、
同期信号発振器２からの同期信号が出力されゲート３に
入力されるとゲート３はゲートを閉じる。このようにし
て、プリピットのあるプリフォーマット部分における欠
陥検出のカウント動作を停止している。ゲート３からの
出力は、プリフォーマット部分を除いたプリグルーブの
ある記録領域だけの欠陥検出信号である。こうした欠陥
検出信号は、比較器４に入力され、この比較器４でゲー
ト３の出力が一定値に達しているかどうかが比較され、
ゲート３の出力が一定値以上であれば比較器４に出力が
生じ、この比較器４の出力がカウンタ５に入力される。
カウンタ５ではクロックパルス発振器６から出力される
クロックパルス数を比較器４からの出力信号に対応する
期間中にカウントすることによって、欠陥長を見積るこ
とができる。
第２図に第１図の各ブロックの出力信号波形を示す。
（ａ）は増幅器１の出力で、a0はプリフォーマット部の
プリピットによる信号で、a1が記録領域における欠陥信
号例である。（ｂ）は同期信号発振２の出力、（ｃ）は
ゲート３の出力信号である。ゲート３は、同期信号発振
器２の同期信号がb0のように出力されているときは増幅
器１の出力信号a0を通さず、同期信号発振器２の同期信
号がb1のように出力されていないときは増幅器１の出力
信号a1を通すものである。（ｄ）は比較器４の出力、
（ｅ）はクロスパルス発振器６の出力である。
（ａ）は増幅器１の出力で、a0はプリフォーマット部の
プリピットによる信号で、a1が記録領域における欠陥信
号例である。（ｂ）は同期信号発振２の出力、（ｃ）は
ゲート３の出力信号である。ゲート３は、同期信号発振
器２の同期信号がb0のように出力されているときは増幅
器１の出力信号a0を通さず、同期信号発振器２の同期信
号がb1のように出力されていないときは増幅器１の出力
信号a1を通すものである。（ｄ）は比較器４の出力、
（ｅ）はクロスパルス発振器６の出力である。
ここで、同期信号発振器２の構成としては幾つかある。
例えば、プリフォーマットの先頭の特定パターン（セク
ターマークなどと呼ばれている。）を読み出して、その
前後の一定期間の出力をハイレベルにする方法がある。
或いは、第３図（ａ）（ｂ）に示すように光学ディスク
７の記録領域よりも更に内周部に反射率の低い（又は高
い）領域９をプリフォーマット位置８に対応させて設
け、反射率の低い（又は高い）領域９を光センサ10で読
み出して同期信号を発生させる方法もある。
例えば、プリフォーマットの先頭の特定パターン（セク
ターマークなどと呼ばれている。）を読み出して、その
前後の一定期間の出力をハイレベルにする方法がある。
或いは、第３図（ａ）（ｂ）に示すように光学ディスク
７の記録領域よりも更に内周部に反射率の低い（又は高
い）領域９をプリフォーマット位置８に対応させて設
け、反射率の低い（又は高い）領域９を光センサ10で読
み出して同期信号を発生させる方法もある。
このように本実施例によれば、プリピットを有するプリ
フォーマットされた光学ディスクについて、プリグルー
ブのある記録領域のみの欠陥検出ができるものである。
フォーマットされた光学ディスクについて、プリグルー
ブのある記録領域のみの欠陥検出ができるものである。
本発明の光学ディスク検査装置は、 中心から周端方向へ放射状に伸びる細幅のプリフォーマ
ット部と記録領域とを含むデータ領域と、前記プリフォ
ーマット部に対しプリフォーマット部の幅と同一幅を有
する放射状の位置情報領域と、を有する光学ディスクを
検査する光学ディスク検査装置であって、 前記データ領域の情報を検出し第１の出力信号を出力す
る第１の検出手段と、 前記位置情報領域の情報を検出し第２の出力信号を出力
する第２の検出手段と、 前記第１、第２の出力信号を処理する信号処理部と、を
有し、 前記第１、第２の検出手段は、 互いに前記プリフォーマット部と、該プリフォーマット
部に対応する前記位置情報領域のそれぞれの検出タイミ
ングが一致するように配置され、 前記第２の検出手段は、前記第２の出力信号に基づき、
前記第１の検出手段のプリフォーマット部の検出タイミ
ングと検出期間に一致する同期信号を出力し、 前記信号処理部は、 前記同期信号が出力されている期間、前記第１の検出手
段の第１の出力信号を通さない手段を備えているため、 本願発明では、プリフォーマット部と記録領域の区別が
容易であり、記録領域に存在する欠陥領域に影響されな
い信頼性の高い検査を行うことが可能であるという優れ
た効果を奏する。
ット部と記録領域とを含むデータ領域と、前記プリフォ
ーマット部に対しプリフォーマット部の幅と同一幅を有
する放射状の位置情報領域と、を有する光学ディスクを
検査する光学ディスク検査装置であって、 前記データ領域の情報を検出し第１の出力信号を出力す
る第１の検出手段と、 前記位置情報領域の情報を検出し第２の出力信号を出力
する第２の検出手段と、 前記第１、第２の出力信号を処理する信号処理部と、を
有し、 前記第１、第２の検出手段は、 互いに前記プリフォーマット部と、該プリフォーマット
部に対応する前記位置情報領域のそれぞれの検出タイミ
ングが一致するように配置され、 前記第２の検出手段は、前記第２の出力信号に基づき、
前記第１の検出手段のプリフォーマット部の検出タイミ
ングと検出期間に一致する同期信号を出力し、 前記信号処理部は、 前記同期信号が出力されている期間、前記第１の検出手
段の第１の出力信号を通さない手段を備えているため、 本願発明では、プリフォーマット部と記録領域の区別が
容易であり、記録領域に存在する欠陥領域に影響されな
い信頼性の高い検査を行うことが可能であるという優れ
た効果を奏する。
本発明の応用としては、サブストレート、追記型光ディ
スク、書換え型光ディスク、透過光を検出するPD（フォ
トダイオード）を設置した透過型光ディスク、セクター
サーボ（記録領域にプリグルーブのないもの）方式光デ
ィスクなどがあげられる。
スク、書換え型光ディスク、透過光を検出するPD（フォ
トダイオード）を設置した透過型光ディスク、セクター
サーボ（記録領域にプリグルーブのないもの）方式光デ
ィスクなどがあげられる。
第１図は本発明の一実施例における信号処理部のブロッ
ク図。 第２図（ａ）〜（ｅ）は第１図に示された各ブロックの
出力信号波形図。 第３図（ａ）（ｂ）は本発明の一実施例における同期信
号発生の構成図。 第４図は従来の光学ディスク検査装置の概略図。 １……増幅器 ２……同期信号発振器 ３……ゲート ４……比較器 ５……カウンタ ６……クロックパルス発振器 ７……光学ディスク ８……プリフォーマット部 ９……反射率の低い（又は高い）領域 10……光センサ 11……レーザ光照射装置 12……レーザ光 13……コリメートレンズ 14……ハーフミラー 15……対物レンズ 16……散乱光 17……集光レンズ 18……光検出器 19……被測定物
ク図。 第２図（ａ）〜（ｅ）は第１図に示された各ブロックの
出力信号波形図。 第３図（ａ）（ｂ）は本発明の一実施例における同期信
号発生の構成図。 第４図は従来の光学ディスク検査装置の概略図。 １……増幅器 ２……同期信号発振器 ３……ゲート ４……比較器 ５……カウンタ ６……クロックパルス発振器 ７……光学ディスク ８……プリフォーマット部 ９……反射率の低い（又は高い）領域 10……光センサ 11……レーザ光照射装置 12……レーザ光 13……コリメートレンズ 14……ハーフミラー 15……対物レンズ 16……散乱光 17……集光レンズ 18……光検出器 19……被測定物
Claims (1)
- 【請求項１】中心から周端方向へ放射状に伸びる細幅の
プリフォーマット部と記録領域とを含むデータ領域と、
前記プリフォーマット部に対しプリフォーマット部の幅
と同一幅を有する放射状の位置情報領域と、を有する光
学ディスクを検査する光学ディスク検査装置であって、 前記データ領域の情報を検出し第１の出力信号を出力す
る第１の検出手段と、 前記位置情報領域の情報を検出し第２の出力信号を出力
する第２の検出手段と、 前記第１、第２の出力信号を処理する信号処理部と、を
有し、 前記第１、第２の検出手段は、 互いに前記プリフォーマット部と、該プリフォーマット
部に対応する前記位置情報領域のそれぞれの検出タイミ
ングが一致するように配置され、 前記第２の検出手段は、前記第２の出力信号に基づき、
前記第１の検出手段のプリフォーマット部の検出タイミ
ングと検出期間に一致する同期信号を出力し、 前記信号処理部は、 前記同期信号が出力されている期間、前記第１の検出手
段の第１の出力信号を通さない手段を備えていることを
特徴とする光学ディスク検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61268166A JPH07119708B2 (ja) | 1986-11-11 | 1986-11-11 | 光学デイスク検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61268166A JPH07119708B2 (ja) | 1986-11-11 | 1986-11-11 | 光学デイスク検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63121734A JPS63121734A (ja) | 1988-05-25 |
| JPH07119708B2 true JPH07119708B2 (ja) | 1995-12-20 |
Family
ID=17454823
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61268166A Expired - Lifetime JPH07119708B2 (ja) | 1986-11-11 | 1986-11-11 | 光学デイスク検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07119708B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59148145A (ja) * | 1983-02-14 | 1984-08-24 | Fujitsu Ltd | 表面欠陥検査装置 |
-
1986
- 1986-11-11 JP JP61268166A patent/JPH07119708B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63121734A (ja) | 1988-05-25 |
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