JPH07119657B2

JPH07119657B2 - トルク検出装置

Info

Publication number: JPH07119657B2
Application number: JP62244773A
Authority: JP
Inventors: 融吉永; 猪頭　　敏彦; 賢治金原; 規雄笹嶋
Original assignee: Nippon Soken Inc
Current assignee: Soken Inc
Priority date: 1987-09-29
Filing date: 1987-09-29
Publication date: 1995-12-20
Anticipated expiration: 2010-12-20
Also published as: JPS6486030A

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、自動車等の伝達軸の少なくともトルク、もし
くはトルクと回転角を検出するためのトルク検出装置に
関するものである。

〔従来の技術〕

従来、トルクの検出装置としては、例えば機関の出力軸
に取り付けられるトルク伝達軸に発生する軸のねじれを
検出するものがある。この、ねじれを電気的に検出する
ものとして、（ａ）トルク伝達軸に歪ゲージを接着して軸のねじれり
よって生ずるゲージの抵抗値変化を電気信号に変換して
検出する歪ゲージ方式、（ｂ）軸の回転に応じて信号を発する２つの回転信号発
生器を所定距離だけ離して配置し、２つの信号発生器で
得られる位相差から軸のねじれを検出する位相差方式、（ｃ）励磁コイル及び検出コイル設置として軸のねじれ
による磁束密度変化を検出する磁歪方式がある。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、（ａ）方式にあっては歪ゲージ自体の機
械的強度が小さい。しかもセンサーである歪ゲージを直
接軸に貼付ける必要があるため回転する軸のトルクを検
出するためには信号の取出しにスリップリング等の特別
な電気接続装置、あるいはテレメータ等が必要である。
又、（ｂ）方式にあっては信号の位相差を判定する為の
複雑な論理回路等の電気処理が必要であり、又小型化で
きないという不都合がある。さらに、（ｃ）方式にあっ
ては、現状では最も有望視されているものの、励磁コイ
ル、検出コイルの体格が大きく、超小型化が困難な上に
組付も困難である。

この種の検出器は大きさが小さい程好ましく、又、少な
くとも被検出部と別体（非接触）にし得るものが望まし
い。

そこで、本願第１番目の発明は小型軽量で取付が容易で
あり、非接触で高感度にトルクを検出できる検出装置を
得ること目的とし、また第２番目の発明はこのトルクの
検出に加え回転角の検出も可能な検出装置を得ることを
目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的を達成するためになされた第１の発明は、トル
クを受ける大きさに応じたねじれを生じるシャフトと、
このシャフトのねじれを受ける部分に形成されたアモル
ファス部材と、このアモルファス部材に近接して配置さ
れるＳ極とＮ極とを有する磁石と、前記トルクの大きさ
に応じて前記アモルファス部材を通る磁束の変化よりト
ルクの大きさを検出するトルク検出用ホール素子とを備
え、前記磁石は所定の間隔をおいて２つ設けられ、一方
の磁石のＮ極が他方の磁石のＳ極と対向し、かつ前記一
方の磁石のＳ極が前記他方の磁石のＮ極と対向するよう
に配置すると共に、前記トルク検出用ホール素子を前記
２つの磁石のほぼ中央の位置に配置したことを特徴とす
る。

また、第２の発明は、トルクを受ける大きさに応じたね
じれを生じる回転シャフトと、この回転シャフトのねじ
れを受ける部分に形成されたアモルファス部材と、この
アモルファス部材に近接して配置されるＳ極とＮ極とを
有する磁石と、前記トルクの大きさに応じて前記アモル
ファス部材を通る磁束の変化よりトルクの大きさを検出
するトルク検出用ホール素子と、前記アモルファス部材
に形成した前記回転シャフトの回転角を検出する回転角
検出用加工部と、この回転角検出用加工部に対向し、前
記回転シャフトの回転角を検出するための回転角検出用
ホール素子とを備え、前記磁石は所定の間隔をおいて２
つ設けられ、一方の磁石のＮ極が他方の磁石のＳ極と対
向し、かつ前記一方の磁石のＳ極が前記他方の磁石のＮ
極と対向するように配置すると共に、前記トルク検出用
ホール素子を前記２つの磁石のほぼ中央の位置に配置し
たことを特徴とする。

〔実施例〕

以下、本発明を図に示す実施例により説明する。第１図
（ａ）は本実施例のトルクと回転角を検出する検出装置
の側面図、第１図（ｂ）はその磁石とセンサーの取付位
置関係を示す平面図である。まず、トルク回転角センサ
１は、被検出部２と検出部３とから成る。被検出部２は
回転シャフト21とアモルファス箔22とから成り、両者は
接着により固定されている。前記アルモファス箔22には
第１図（ａ）に示すように、等間隔のスリット23が形成
されている。このアモルファス箔22をシャフト21の外周
に巻き付けた時、そのつなぎ合わせ面24で準備位置とな
る幅広のスリット25が形成される。

このトルク一回転角センサ１の検出部３は、一定間隔ｌ
をおいて対向し、合成磁界を発生する２個の永久磁石3
1,32と磁界の変化を検出する感磁素子であるホール素子
33,34,35からなる。永久磁石は前述のように一定間隔ｌ
をおいて対向しているが、第１図（ｂ）のように磁石31
のＮ極と磁石32のＳ極、磁石31のＳ極と磁石32のＮ極と
いった具合に逆極性同士が対向するように配置する。こ
れが本発明の大きな特徴である。トルク検出用ホール素
子33は感磁面がアモルファス箔22に非接触で対向するよ
うに配設されている。又アモルファス箔22のスリット部
分の上方に回転角検出用ホール素子34,35が第１図
（ｂ）の如く位置するように配設される。そして、磁石
31,32、ホール素子33,34,35はホルダーに固定されてお
り、磁石31,32、ホール素子33,34,35の下端面は面一に
構成され、エアギャップｄ（0.1mm）を介してアモルフ
ァス箔22と非接触に対向している。

次に上記構成の作動について説明する。まず一般的な磁
歪式トルクセンサの検出原理を第２図に示す。シャフト
21にトルクＴが加わった場合、シャフト21上には長さ方
向に対し45゜の方向に圧縮力211、引張力212が発生す
る。磁性体の磁気効果により、外部磁界に対し圧縮方向
では磁束密度Ｂが増し、引張方向では磁束密度Ｂが減少
する。この関係は、次式で表される。

Ｂ＝B₀＋ασ …… ここで、B₀:トルクＴ＝０での磁束密度、 α：磁歪感度、 σ：表面応力である。

また、シャフトの弾性変形領域内では、 σ∝Ｔ（トルク） …… のように、表面応力σはトルクＴに比例する為、 ΔＢ∝Ｔ …… 即ち、トルクＴは、Ｔ＝０時の磁束密度B₀に対する磁束
密度の変化量ΔＢとして検出可能となる。従って、シャ
フト21の軸に対し45゜方向の磁束密度の変化量ΔＢを検
出すればトルクＴが効率よく検出できる。

本発明で使用する、磁束度Ｂを検出するホール素子33
は、第３図に示す特性を有しており、その出力電圧Ｖは
次の式で表される。

Ｖ∝Bi …… （i:ホール素子入力電流）そして、入力電流を一定にすれば、出力電圧の変化量Δ
Ｖは次式のようになり、 ΔＶ∝ΔＢ∝Ｔ …… トルクの検出が可能となり、正負のトルク判別も可能と
なる。又ホール素子33はコイル検出方式に比べ非常に小
さい為、センサの超小型化が可能となる。

そして本発明では、例えばシャフト21表面にアモルファ
ス箔（例えば、Fe₆₇Co₁₈B₁₄Si₁）22を構成したが、これ
により第４図に示すように、磁束密度の変化に対し感度
が高く、出力電圧のヒステリシスが他の材料（例えば、
パーマロイ、S45C）に比べほとんどなく直線性が得られ
る。

ところで、回転シャフト21に対し45゜方向の磁束をコイ
ルにより検出する方法が一般的にはとられているが、こ
れは回転シャフトの直径に応じて、センサを構成せねば
ならない点、非接触に検出する為のエアギャップの調整
が非常に難しいといった問題がある。さらに、45゜方向
にセンサを構成しなくても良い方法として、アモルファ
ス箔に予め磁気異方性を与えておく方法があるが、熱処
理の必要があり、アモルファス箔の強度低下（脆くな
る）、感度低下といった新たな問題を生じてしまう。

これらの問題を解決できるのが例えば上記実施例の磁石
配置である。即ち、第５図に示すように、一定間隔ｌを
おいて２ヶの永久磁石31,32を対向させ、Ｎ極とＳ極、
Ｓ極とＮ極といった具合に逆極性同士が向かい合うよう
に配置すると、磁石31,32の中心付近はアモルファス箔2
2上では、入り込む磁束51,52と出ていく磁束53,54がそ
れぞれ対角に向かい合うように分布する。この対角方向
が回転シャフト21の軸方向に対し45゜となるように磁石
31,32の間隔ｌを決定する。そして中心部にトルク検出
用ホール素子33を配置する。従って、検出部３は回転シ
ャフト21に対し軸方向に構成でき、回転シャフト21の直
径によらず検出部２の形状を変化させる必要もなく、組
付も非常に容易となる。

次に、第６図によりトルク検出原理を詳細に示す。トル
クが回転シャフト21に印加されていない時（Ｔ＝０）の
状態を第６図（ａ）に示す。磁石はＮ極からＳ極に一定
量の磁束が流れる。その一部は図に示してあるようにＮ
極を出て、アモルファス箔22を通りＳ極へ戻る。図示し
ていないが残りの磁束はＮ極から空気中に出てＳ極へ戻
る。ホール素子33のある中心付近では、アモルファス箔
22において図に示すように入り込む磁束51,52と、出て
いく磁束53,54は一定量でバランスしている為、ホール
素子33を通過する磁束に変化はなく、従ってホール素子
33の発生電圧になんら変化は生じない。

第６図（ｂ）に示すように、トルクＴが印加されると、
圧縮方向ではアモルファス箔22中を磁束が通りやすくな
り、磁束密度が増加し、逆に引張方向ではアモルファス
箔22中を磁束が通り難くなり磁束密度が減少する。従っ
て中心部では入り込む磁束51′,52′が減少し、出てい
く磁束53′,54′が増大しバランスがくずれてしまう。
Ｎ極から出る磁束は常に一定である為、バランスのくず
れた分は空気中を通ってＮ極からホール素子33を通過し
アモルファス箔22へ供給される。つまりホール素子33に
は図において上から下へと通過する磁束55がトルクＴに
応じて生じ、ホール素子33は電圧を発生する。

第６図（ｃ）のように、逆のトルクＴ′が印加される
と、今度はホール素子33に下から上へと通過する磁束56
が発生し、逆の電圧を発生する。

以上の作動により、印加トルクＴに比例した出力電圧が
ホール素子33に発生し精密なトルク計測が非接触で可能
となる。

なお、アモルファス箔22に予め磁気異方性を付与する必
要はなく、アモルファス箔22の熱処理による強度低下、
出力特性劣化といった問題もなくなる。

第７図（ａ）に、トルク印加に対するホール素子33の出
力を、歪ゲージを回転シャフト21に貼りつけて計測した
場合と比較して示す。正負のトルクに対して歪ゲージと
ほとんど同じ形の出力が得られ、応答遅れもなく、非接
触で検出できる。

又、トルクに対するホール素子33の出力電圧の関係は第
７図（ｂ）に示したように、直線関係が得られる。

次に上記構成のうち、回転角検出の作動について説明す
る。第１図に示したように、磁石32に近接して回転角検
出用ホール素子34,35を円周方向に位相が1/4波長ずれる
ように配設する。この構成によりアモルファス箔22のス
リット23、幅広スリット25、スリットのない部分が回転
角検出用ホール素子34,35の下部に存在するか否かで、
アモルフィス層を通ってホール素子に達する磁束が変化
し、出力レベルが変化する。ホール素子34,35の出力値
を第８図（ａ）に示す。ホール素子34の出力とホール素
子35の出力の位相が1/4波長ずらしてある為、スリット
数の４倍の角度分割が可能となる。さらに第８図（ｂ）
に示すように、ホール素子34の出力ピークとホール素子
35の出力ピークがどちらが先にくるかを検出することが
回転シャフト21の回転方向に判別できる。

以上の磁石31,32、ホール素子33,34,35の配置構成によ
り、回転シャフト21のトルク及び回転角が同時に、非接
触で検出でき、しかも超小型センサとなすことが可能と
なる。

なお、上記第１実施例ではトルク検出と回転角検出とを
別体のホール素子33,34,35で行ったが、第９図に示す第
２実施例のように、スリット23の形成位置を変え、ホー
ル素子63のみで両方の検出を行っても良い。この時の出
力波形は、第10図に示すように得られ、ホール素子63の
ピーク値あるいは平均値でトルクの大小がわかる。又ピ
ークとピークのタイミングを検出することで回転角も検
出することが可能となる。

また、上記第１、第２実施例においては、磁石31,32に
永久磁石を用いたが、本発明の第３実施例として第11図
（ａ），（ｂ）に示すように小型電磁石を用いても同様
の効果が得られる。（ａ）ではトロイダルコイル71,7
2、ホール素子73より検出部３を構成してある。（ｂ）
ではプリントコイル81,82、ホール素子83より構成して
ある。

電磁石を用いた場合、電圧あるいは電流を調整すること
で、磁束のバランスを効率が最も良くなるように調整で
きたり、ホール素子の温度特性を考慮し、温度により電
圧、電流を化させ、温度に対する補正を行うことを可能
となる。

また、第１実施例においては、回転角検出において、正
転、逆転を検出するためにホール素子34,35を２ヶ使用
しているが、同一回転方向であれば、第２実施例のよう
にホール素子63を１ヶ設ければ良い。

さらに、上記第１、第２実施例では、アモルファス箔22
にスリット23と幅広スリット25を設けたが、第４実施例
として第12図に示すように、基準位置用スリット91、位
相角用スリット92を設け、ホール素子93,94を設けた構
成で検出してもよい。

また、アモルファス箔22を回転シャフト21の円周上に巻
きつけずに、第５実施例として第13図（ａ），（ｂ）に
示すように、円盤状の板95の部分に同心円状のアモルフ
ァス箔96を形成し、このアモルファス箔96に基準位置用
スリット97、回転角用スリット98を形成して、トルクを
トルク検出用ホール素子99で、回転角を基準位置検出用
ホール素子100、および回転角検出用ホール素子101で検
出するようにしても良い。この構成のメリットは円盤状
の板95にアモルファス箔96を貼り付けている為、継ぎ目
がない転、及び円周上に貼り付けている為はがれにくい
点である。なお、（ａ）図は断面図、（ｂ）は円盤状の
板95にアモルファス箔96を貼り付けた状態を示す。

以上の実施例は回転角検出をデジタル的に行う方法であ
るが、第６実施例として第14図（ａ），（ｂ），
（ｃ），（ｄ）に示すように、アナログ的に検出しても
良い。即ち、（ａ）は構造図であり、磁石101,102の間
に上記同様トルク検出用ホール素子103が配設してあ
る。磁石102の横に回転角検出用ホール素子104が配設さ
れる。回転シャフト21には、（ｂ）に示す台形のアモル
ファス箔105が貼り付けてあり、回転角検出用ホール素
子104の下部に相当するアモルファス箔105の部分は回転
と共に面積が変化する。面積変化によりホール素子104
の出力値は変化し、回転軸の回転角度が検出される。

ただし、この場合、ホール素子104の出力V₄にはトルク
変化による透磁率変化分が含まれている為、トルク検出
用ホール素子103の出力値V₃を用いて（ｃ）図に示すよ
うに減算により電気的に回転角信号V₄′を分離して検出
する。

この実施例の特徴は、回転角検出用ホール素子１ヶで、
正転、逆転、静止状態の回転シャフトの位置が検出でき
る点である。この検出結果を（ｄ）図に示す。

また、第１実施例において基準位置用のスリットを幅広
スリット25としたが、第７実施例として基準位置の検出
に、第15図（ａ）に示すように、スリット間のアモルフ
ァス部分の面積を広くして基準位置111としてもよい。
この場合ホール素子112の出力信号は、第15図（ｂ）の
ように得られる。

また、上記実施例においては、第13図の実施例を除き、
アモルファス箔を回転シャフトに貼りつける例を示した
が、本発明の第８実施例として第16図に示すように、回
転シャフト21の上にアモルファス箔121を巻き付け、そ
の外側に、回転シャフト21を冷却した状態で、非磁性の
薄肉のパイプ122をアモルファス箔121が結晶化しない温
度まで加熱した状態で挿入し、その後、パイプ122の縮
みによる締め付け作用によって、接着をせずに回転シャ
フト21の上にアモルファス層を形成しても良い。この場
合パイプは除去されないので、検出部３はパイプ122を
介して磁束変化を検出する。この方法を用いるとアモル
ファス箔のはがれが低減できる。

さらに、非磁性体表面をアモルファス化し（例えばシリ
コンオイル中で放電により急熱急冷する）、アモルファ
スのパターンを形成するような方法を用いても、接着と
同様の効果を得ることが出来る。

また、上記の実施例では、検出部３は被検出部に対し非
接触に構成したが、回転しない軸のトルクを検出する際
など、磁石やホール素子をアモルファス箔に接触させて
も検出が可能である。

また、上記の実施例では、組付を簡単にする為に、検出
部３を例えば回転シャフト21の軸方向に向けて配置して
いるが、円周方向に磁石とホール素子を配列しても同様
の検出が可能である。

また、上記の実施例のトルク検出において、ホール素子
33の温度に対する出力を測定すると、例えば第17図
（ａ）に示すような出力特性が得られ、いわゆる０点シ
フトが生じる。そこで、第９実施例として、２つのホー
ル素子A331、ホール素子B332を第17図（ｂ）のように直
列に接続し、ホール素子A331、ホール素子B332の各感磁
面が裏表対向するように第17図（ｃ）如く構成する。

ここで、温度に対する出力特性は同じホール素子である
ため、ホール素子A331、ホール素子B332は共に第17図
（ａ）と同様の傾向を示す。しかしながら、回転シャフ
ト21にトルクが印加され、ホール素子A331、ホール素子
B332を通る磁束に変化が生じた時、ホール素子A331の出
力が＋側に発生すると、ホール素子B332の出力は−側に
発生する。そこでホール素子A331とホール素子B332の出
力電圧の差をとると、温度による０点シフトは相殺さ
れ、第17図（ｄ）に示すように破線特性から実線特性の
如く改善され、トルクに対する出力は約２倍に拡大され
る。この方法により、温度特性と感度アップが大幅に改
善される。

また、上記第９実施例では、ホール素子を２枚裏表重ね
たが、この裏表２枚を１組として、２層、３層と重ねて
も同様に、温度特性、感度アップの両方を改善できる。
さらに、ホール素子は数層重ねて、１チップとして構成
すれば、小型化も可能である。

また、上記実施例では、ホール素子の重ね合わせてをト
ルク検出用としたが、回転角検出用として使用してもも
ちろん良い。

また、ホール素子として、ホール素子とアンプとを一体
に組み込んだホールICを用いても同様の効果が得られ
る。

〔発明の効果〕

以上詳細に述べたように、第１の発明によれば、トルク
を受けるシャフトのアモルファス部材に近接させるとと
もに、所定の間隔をおいて配設した２つの磁石を、一方
の磁石のＮ極が他方の磁石のＳ極と対向し、かつ前記一
方の磁石のＳ極が前記他方の磁石のＮ極と対向するよう
に配設し、トルク検出用ホール素子を２つの磁石のほぼ
中央の位置に配置することにより、トルク変化がない時
には２つの磁石の磁束バランスによりトルク検出用ホー
ル素子には通過する磁束は生じないため、この検出用ホ
ール素子のダイナミックレンジを拡大することができ、
その結果トルクの変化に対する磁束の変化量が多くな
り、非接触で高感度にトルクを検出することができる。
さらに、正転のトルクを受けた場合と、逆転のトルクを
受けた場合では、トルク検出用ホール素子を通過する磁
束が反対方向に通過するため、正転トルクと逆転トルク
の方向性の判別が可能になる。

また、本願第２番目の発明は、回転角検出用加工部と回
転角検出用ホール素子とを第１番目の発明の構成に加え
て設けているので、トルクの検出のみならず、シャフト
の回転角も同時に、かつ容易に検出することができると
いう優れた効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ），（ｂ）は本発明の第１実施例を示す構成
図、第２図は磁歪式トルクセンサの検出原理を示す図、
第３図はホール素子の作動特性を示す図、第４図は各材
料に対するホール素子の出力特性を示す図、第５図は磁
石配置と磁束の出入を示す図、第６図（ａ），（ｂ），
（ｃ）は上記第１実施例におけるトルク検出原理を示す
図、第７図（ａ）は上記第１実施例と歪ゲージを用いた
センサとの出力特性の比較図、第７図（ｂ）は上記第１
実施例におけるトルクとホール素子出力との関係を示す
特性図、第８図（ａ），（ｂ）は回転角検出用のホール
素子の出力特性を示す図、第９図（ａ），（ｂ）は本発
明の第２実施例を示す構成図、第10図はこの第２実施例
におけるホール素子の出力特性を示す図、第11図
（ａ），（ｂ）は本発明の第３実施例における磁石配置
を示す図、第12図は本発明の第４実施例を示す構成図、
第13図（ａ），（ｂ）は本発明の第５実施例を示す構成
図、第14図（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）は本発明の
第６実施例の構成及び作動説明に供する図、第15図
（ａ），（ｂ）は本発明の第７実施例の構成及び作動説
明に供する図、第16図は本発明の第８実施例を示す要部
構成図、第17図（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）は本発
明の第９実施例の構成及び作動説明に供する図である。１……トルク−回転角センサ,2……被検出部,3……検出
部,21……回転シャフト,22,96,105,121……アモルファ
ス箔,23……スリット,24……つなぎ合わせ面,25……幅
広スリット,31,32……永久磁石,33,34,35,63,73,83,93,
94,99,100,101,103,104,112,331,332……ホール素子,7
1,72……トロイダルコイル,81,82……プリントコイル,9
1,97……基準位置用スリット,95……板,98……回転角用
スリット,111……基準位置,122……パイプ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者笹嶋規雄愛知県西尾市下羽角町岩谷14番地株式会社日本自動車部品総合研究所内 (56)参考文献特開昭59−192930（ＪＰ，Ａ)

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】トルクを受ける大きさに応じたねじれを生
じるシャフトと、このシャフトのねじれを受ける部分に形成されたアモル
ファス部材と、このアモルファス部材に近接して配置されるＳ極とＮ極
とを有する磁石と、前記トルクの大きさに応じて前記アモルファス部材を通
る磁束の変化よりトルクの大きさを検出するトルク検出
用ホール素子とを備え、前記磁石は所定の間隔をおいて２つ設けられ、一方の磁
石のＮ極が他方の磁石のＳ極と対向し、かつ前記一方の
磁石のＳ極が前記他方の磁石のＮ極と対向するように配
置すると共に、前記トルク検出用ホール素子を前記２つ
の磁石のほぼ中央の位置に配置したことを特徴とするト
ルク検出装置。
【請求項２】前記一方の磁石と前記他方の磁石との同極
同士を結ぶ対角方向が、前記シャフトのねじれにより生
じる圧縮力若しくは引張力の作用方向と略同一の方向と
なるように前記２つの磁石の間隔を設定したことを特徴
とする特許請求の範囲第１項に記載のトルク検出装置。
【請求項３】前記磁石は、永久磁石または電磁石である
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項または第２項に
記載のトルク検出装置。
【請求項４】前記磁石は、前記シャフトの軸方向または
円周方向に沿って配置されることを特徴とする特許請求
の範囲第１項乃至第３項のいずれかに記載のトルク検出
装置。
【請求項５】前記アモルファス部材は、アモルファス箔
を前記シャフトに巻き付け接着して形成したことを特徴
とする特許請求の範囲第１項乃至第４項のいずれかに記
載のトルク検出装置。
【請求項６】前記アモルファス部材は、アモルファス箔
を前記シャフトに巻き付け、前記シャフトを冷却した状
態で、加熱した薄肉のパイプを挿入し、アモルファス箔
を締め付け固定して形成することを特徴とする特許請求
の範囲第１項乃至第４項のいずれかに記載のトルク検出
装置。
【請求項７】前記シャフトのねじれを受ける部分は、円
盤状の板であり、この板の表面にアモルファス箔を形成
したことを特徴とする特許請求の範囲第１項乃至第３項
のいずれかに記載のトルク検出装置。
【請求項８】前記トルク検出用ホール素子は、２個のホ
ール素子を直列に接続し各ホール素子の感磁面を対向さ
せて構成したことを特徴とする特許請求の範囲第１項乃
至第７項のいずれかに記載のトルク検出装置。
【請求項９】トルクを受ける大きさに応じたねじれを生
じる回転シャフトと、この回転シャフトのねじれを受ける部分に形成されたア
モルファス部材と、このアモルファス部材に近接して配置されるＳ極とＮ極
とを有する磁石と、前記トルクの大きさに応じて前記アモルファス部材を通
る磁束の変化よりトルクの大きさを検出するトルク検出
用ホール素子と、前記アモルファス部材に形成した前記回転シャフトの回
転角を検出する回転角検出用加工部と、この回転角検出用加工部に対向し、前記回転シャフトの
回転角を検出するための回転角検出用ホール素子とを備
え、前記磁石は所定の間隔において２つ設けられ、一方の磁
石のＮ極が他方の磁石のＳ極と対向し、かつ前記一方の
磁石のＳ極が前記他方の磁石のＮ極と対向するように配
置すると共に、前記トルク検出用ホール素子を前記２つ
の磁石のほぼ中央の位置に配置したことを特徴とするト
ルク検出装置。
【請求項１０】前記アモルファス部材は、前記回転シャ
フトに巻き付けたアモルファス箔であり、前記回転角検
出用加工部は、前記アモルファス箔の円周上に形成した
等間隔のスリットであることを特徴とする特許請求の範
囲第９項に記載のトルク検出装置。
【請求項１１】前記アモルファス部材は、前記回転シャ
フトに巻き付けたアモルファス箔であり、前記回転角検
出用加工部は、前記アモルファス箔の幅を変化させて形
成したことを特徴とする特許請求の範囲第９項に記載の
トルク検出装置。
【請求項１２】前記回転角検出用ホール素子は、２個の
ホール素子を前記回転シャフトの円周方向に所定間隔ず
らして配置し、回転方向の検出を行うことを特徴とする
特許請求の範囲第９項乃至第11項のいずれかに記載のト
ルク検出装置。
【請求項１３】前記回転角検出用ホール素子を、前記ト
ルク検出用ホール素子と兼用するようにしたことを特徴
とする特許請求の範囲第９項記載のトルク検出装置。
【請求項１４】前記回転角検出用加工部は、前記等間隔
のスリットとは別の基準位置用スリットを有することを
特徴とする特許請求の範囲第10項記載のトルク検出装
置。