JPH07117402B2 - 自動経過点入力装置を有する座標測定機 - Google Patents
自動経過点入力装置を有する座標測定機Info
- Publication number
- JPH07117402B2 JPH07117402B2 JP2165886A JP2165886A JPH07117402B2 JP H07117402 B2 JPH07117402 B2 JP H07117402B2 JP 2165886 A JP2165886 A JP 2165886A JP 2165886 A JP2165886 A JP 2165886A JP H07117402 B2 JPH07117402 B2 JP H07117402B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- speed
- coordinate
- command
- measuring machine
- signal
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （発明の技術分野） 本発明は、被測定物の形状等を測定するための座標測定
機に関する。
機に関する。
（発明の背景） 座標測定機は、検出部と被測定物とを相対移動させる駆
動装置と、この駆動装置による相対移動量を読取り、座
標値として出力する位置検出装置と、を有する。
動装置と、この駆動装置による相対移動量を読取り、座
標値として出力する位置検出装置と、を有する。
そして従来、座標測定において自動運転を行なうための
経過点を入力する手法として、例えば検出部を経過点入
力を行なう場所に移動し、経過点入力キーの押下により
位置検出装置の出力する座標値を読み込むことが行なわ
れていた。このため、経過点入力毎にキーの押下操作が
必要であり、操作性が悪いという欠点があった。
経過点を入力する手法として、例えば検出部を経過点入
力を行なう場所に移動し、経過点入力キーの押下により
位置検出装置の出力する座標値を読み込むことが行なわ
れていた。このため、経過点入力毎にキーの押下操作が
必要であり、操作性が悪いという欠点があった。
（発明の目的） 本発明はこれらの欠点を解決し、特別のキー操作を必要
とせずに経過点に入力することのできる座標測定機を得
ることを目的とする。
とせずに経過点に入力することのできる座標測定機を得
ることを目的とする。
（発明の概要） 本発明は、検出部１と被測定物100とを相対移動させる
駆動装置３と、前記駆動装置により移動した前記可動部
材の座標値を読み取る位置検出装置５と、を有する座標
測定機において、前記駆動装置３に移動速度を指令する
ための速度指令装置４と、所定の参照速度信号を発生す
る発生装置6,12,13と、前記速度指令装置４と前記発生
装置6,12,13とに接続され、前記指令速度が前記参照速
度以下になると、経過座標入力指令信号を出力する出力
手段7,8,9,10,12と、前記出力手段7,8,9,10,12と前記位
置検出装置５とに接続され、前記経過座標入力指令信号
によって前記位置検出装置５の出力する座標値を読取る
経過座標値読取装置11,12と、を有することを特徴とす
る座標測定機である。
駆動装置３と、前記駆動装置により移動した前記可動部
材の座標値を読み取る位置検出装置５と、を有する座標
測定機において、前記駆動装置３に移動速度を指令する
ための速度指令装置４と、所定の参照速度信号を発生す
る発生装置6,12,13と、前記速度指令装置４と前記発生
装置6,12,13とに接続され、前記指令速度が前記参照速
度以下になると、経過座標入力指令信号を出力する出力
手段7,8,9,10,12と、前記出力手段7,8,9,10,12と前記位
置検出装置５とに接続され、前記経過座標入力指令信号
によって前記位置検出装置５の出力する座標値を読取る
経過座標値読取装置11,12と、を有することを特徴とす
る座標測定機である。
（実施例） 第１図は本発明の一実施例の座標測定機を示すブロック
図であって、プローブの毎き検出部１と被測定物を載置
したテーブル２とは駆動装置３によって相対的に移動さ
れる。座標測定機として検出部１を移動する形式の３次
元座標測定機を考えると、駆動装置３はステージ２上を
前後（Ｙ軸）方向へ移動する門型のＹ方向移動部材と、
Ｙ方向移動部材の水平部材に左右（Ｘ軸）方向へ移動す
るように結合したＸ方向移動部材と、Ｘ方向移動部材に
上下（Ｚ軸）方向へ移動するように結合したＺ方向移動
部材と、Ｚ方向移動部材、Ｘ方向移動部材、Ｙ方向移動
部材を各々電動駆動するためのＺ方向モータ装置、Ｘ方
向モータ装置、Ｙ方向モータ装置を有し、検出部１とし
ては、Ｚ方向移動部材に結合し被測定物に接触して接触
信号を発生するプローブによって構成されている。速度
指令装置４は駆動装置３にＸ方向移動速度、Ｙ方向移動
速度、Ｚ方向移動速度を指令するためのもので、常時は
中立位置にあり手動操作による傾き量と傾き方向に対応
した信号を前者を速度指令とし後者を移動方向指令（例
えばＸ−Ｙ方向）として出力するいわゆるジョイスティ
ックを有するものであって、Ｚ軸方向の速度指令として
他の専用のジョイスティックをさらに有するものであ
る。従って、これらジョィスティックを操作することに
よって検出部１を所望の方向へ所望の速度で移動させる
ことができる。位置検出装置５は検出部１のプローブ先
端の３次元的な位置を表わす座標値を出力するもので、
例えば、テーブル２と駆動装置３のＹ方向移動部材との
間に設けたいわゆるポジションエンコーダによって方向
の相対移動量を、Ｙ方向移動部材とＸ方向移動部材との
間に設けたＸ方向ポジションエンコーダによってＸ方向
の相対移動量を、Ｘ方向移動部材とＺ方向移動部材との
間に設けたＺ方向ポジションエンコーダによってＺ方向
の相対移動量を、各々求め出力する。参照速度発生装置
６は検出部１のＸ方向移動速度、Ｙ方向移動速度、Ｚ方
向移動速度に対応させて任意の速度を指定できるボリュ
ーム等を含むものである。そして、その出力は、速度指
令装置４の出力する信号と同じ速度の場合には同じ値に
なるように変換されている。比較回路７は参照速度発生
装置６と速度指令装置４の対応する方向の速度を比較す
るもので、３つの方向において後者の指令速度が前者の
指定速度（参照速度）より小になると、高レベル信号を
出力するものである。速度指令装置４と参照速度発生装
置６がアナログ信号を出力するデジタル信号を出力する
かによって、比較回路７はアナログ比較を行なうもの、
デジタル比較を行なうものいずれを用いても構わない。
また、速度発生装置６は上述のように各方向の速度を独
立して指定できる構成でも良いが、例えば各方向の速度
を同じ速度に１つのボリュームによって設定できるよう
にしても良く、さらに、速度指令装置４が３方向の合成
速度を比較回路７に入力する構成とし、それに対応させ
て速度発生装置６は合成速度を指定し、指定した合成速
度を比較回路７に入力するような構成であっても構わな
い。さらに、あらかじめ所定の値に設定しているもので
も良いことは勿論である。
図であって、プローブの毎き検出部１と被測定物を載置
したテーブル２とは駆動装置３によって相対的に移動さ
れる。座標測定機として検出部１を移動する形式の３次
元座標測定機を考えると、駆動装置３はステージ２上を
前後（Ｙ軸）方向へ移動する門型のＹ方向移動部材と、
Ｙ方向移動部材の水平部材に左右（Ｘ軸）方向へ移動す
るように結合したＸ方向移動部材と、Ｘ方向移動部材に
上下（Ｚ軸）方向へ移動するように結合したＺ方向移動
部材と、Ｚ方向移動部材、Ｘ方向移動部材、Ｙ方向移動
部材を各々電動駆動するためのＺ方向モータ装置、Ｘ方
向モータ装置、Ｙ方向モータ装置を有し、検出部１とし
ては、Ｚ方向移動部材に結合し被測定物に接触して接触
信号を発生するプローブによって構成されている。速度
指令装置４は駆動装置３にＸ方向移動速度、Ｙ方向移動
速度、Ｚ方向移動速度を指令するためのもので、常時は
中立位置にあり手動操作による傾き量と傾き方向に対応
した信号を前者を速度指令とし後者を移動方向指令（例
えばＸ−Ｙ方向）として出力するいわゆるジョイスティ
ックを有するものであって、Ｚ軸方向の速度指令として
他の専用のジョイスティックをさらに有するものであ
る。従って、これらジョィスティックを操作することに
よって検出部１を所望の方向へ所望の速度で移動させる
ことができる。位置検出装置５は検出部１のプローブ先
端の３次元的な位置を表わす座標値を出力するもので、
例えば、テーブル２と駆動装置３のＹ方向移動部材との
間に設けたいわゆるポジションエンコーダによって方向
の相対移動量を、Ｙ方向移動部材とＸ方向移動部材との
間に設けたＸ方向ポジションエンコーダによってＸ方向
の相対移動量を、Ｘ方向移動部材とＺ方向移動部材との
間に設けたＺ方向ポジションエンコーダによってＺ方向
の相対移動量を、各々求め出力する。参照速度発生装置
６は検出部１のＸ方向移動速度、Ｙ方向移動速度、Ｚ方
向移動速度に対応させて任意の速度を指定できるボリュ
ーム等を含むものである。そして、その出力は、速度指
令装置４の出力する信号と同じ速度の場合には同じ値に
なるように変換されている。比較回路７は参照速度発生
装置６と速度指令装置４の対応する方向の速度を比較す
るもので、３つの方向において後者の指令速度が前者の
指定速度（参照速度）より小になると、高レベル信号を
出力するものである。速度指令装置４と参照速度発生装
置６がアナログ信号を出力するデジタル信号を出力する
かによって、比較回路７はアナログ比較を行なうもの、
デジタル比較を行なうものいずれを用いても構わない。
また、速度発生装置６は上述のように各方向の速度を独
立して指定できる構成でも良いが、例えば各方向の速度
を同じ速度に１つのボリュームによって設定できるよう
にしても良く、さらに、速度指令装置４が３方向の合成
速度を比較回路７に入力する構成とし、それに対応させ
て速度発生装置６は合成速度を指定し、指定した合成速
度を比較回路７に入力するような構成であっても構わな
い。さらに、あらかじめ所定の値に設定しているもので
も良いことは勿論である。
比較回路７の出力はアンドゲート８の一方の入力端子に
入力され、アンドゲート８の他方の入力端子には自動経
過点許可スイッチ９が接続される。従って、アンドゲー
ト８は自動経過点入力許可スイッチ９のオンによる入力
許可信号と比較回路７と高レベル信号が入力されるとア
ンド信号を出力する。ワンショット回路10はアンド信号
が出力されると経過点入力指令信号としてのパルス信号
を経過座標値読取装置11に入力する。経過座標値読取装
置11はワンショット回路10から経過点入力指令信号が入
力されると、位置検出装置５の出力する座標値を記憶す
る。
入力され、アンドゲート８の他方の入力端子には自動経
過点許可スイッチ９が接続される。従って、アンドゲー
ト８は自動経過点入力許可スイッチ９のオンによる入力
許可信号と比較回路７と高レベル信号が入力されるとア
ンド信号を出力する。ワンショット回路10はアンド信号
が出力されると経過点入力指令信号としてのパルス信号
を経過座標値読取装置11に入力する。経過座標値読取装
置11はワンショット回路10から経過点入力指令信号が入
力されると、位置検出装置５の出力する座標値を記憶す
る。
このような構成であるから、自動経過点の入力を行なう
場合には、自動経過点入力許可スイッチ９をオンし、速
度発生装置６に適当な速度、例えば各方向での速度零を
指定する。そして、速度指令装置４によって検出部１を
所望の方向へ所望の速度で移動きせ、検出部１の方向変
化点で経過座標値を読込みたい場合には、検出部１を方
向変化点で停止させるように速度指令装置４を制御す
る。検出部１が停止したいということは各方向での速度
は零であるから、比較回路７の出力は高レベル信号とな
り、ワンショット回路10からパルスが出力される。この
パルスによって経過座標読取装置11が位置検出装置５の
座標値を読込むことになる。
場合には、自動経過点入力許可スイッチ９をオンし、速
度発生装置６に適当な速度、例えば各方向での速度零を
指定する。そして、速度指令装置４によって検出部１を
所望の方向へ所望の速度で移動きせ、検出部１の方向変
化点で経過座標値を読込みたい場合には、検出部１を方
向変化点で停止させるように速度指令装置４を制御す
る。検出部１が停止したいということは各方向での速度
は零であるから、比較回路７の出力は高レベル信号とな
り、ワンショット回路10からパルスが出力される。この
パルスによって経過座標読取装置11が位置検出装置５の
座標値を読込むことになる。
第２図は本発明の第２実施例のブロック図であって、比
較回路７、アンドゲート８、ワンショット回路10、経過
座標値読取装置10をマイクロコンピュータ12で置き換え
たものである。
較回路７、アンドゲート８、ワンショット回路10、経過
座標値読取装置10をマイクロコンピュータ12で置き換え
たものである。
第２図が第１図と異なる他の点は、駆動装置３がテーブ
ル２を２次元的に移動自在に構成され、位置検出装置５
がテーブル２の移動量から座標値を読取っている点、ま
た、速度発生装置６と自動経過点入力許可スイッチ９と
はキーボード13によって置き換えられている点である。
なお、参照速度をあらかじめ一定の値にしておくのみで
良い場合は、速度指令装置６を省略し、コンピュータ12
の記憶部に参照速度を記憶させておいてよい。
ル２を２次元的に移動自在に構成され、位置検出装置５
がテーブル２の移動量から座標値を読取っている点、ま
た、速度発生装置６と自動経過点入力許可スイッチ９と
はキーボード13によって置き換えられている点である。
なお、参照速度をあらかじめ一定の値にしておくのみで
良い場合は、速度指令装置６を省略し、コンピュータ12
の記憶部に参照速度を記憶させておいてよい。
以下、第２図の動作をマイクロコンピュータ12のフロー
チャートである第３図と共に説明する。
チャートである第３図と共に説明する。
マイクロコンピュータ12はまず、キーボード13から経過
点の読込が指令されているか否かを判断し（ステップ3
0）、読込指令がなされていると、キーボード13に指定
された第１参照速度Vref1を読込む（ステップ31）。次
いで、速度指令装置４の指令速度Ｖが第１参照速度Vref
1以上であるか否かを判断し（ステップ32）、Vref1＜Ｖ
であれば、次にキーボード13に指定された第２参照速度
Vref2を読込む（ステップ33）。次いで、速度指令装置
４の指令速度Ｖが第２参照速度Vref2以下であるか否か
を判断し（ステップ34）、Vref2＞Ｖであれば、再びキ
ーボード13から経過点の読込が指令されているか否かを
判断し（ステップ35）指令があればそのときの位置検出
装置５の出力座標値を読込む（ステップ36）。読込みが
終わると再びステップ30に戻る。
点の読込が指令されているか否かを判断し（ステップ3
0）、読込指令がなされていると、キーボード13に指定
された第１参照速度Vref1を読込む（ステップ31）。次
いで、速度指令装置４の指令速度Ｖが第１参照速度Vref
1以上であるか否かを判断し（ステップ32）、Vref1＜Ｖ
であれば、次にキーボード13に指定された第２参照速度
Vref2を読込む（ステップ33）。次いで、速度指令装置
４の指令速度Ｖが第２参照速度Vref2以下であるか否か
を判断し（ステップ34）、Vref2＞Ｖであれば、再びキ
ーボード13から経過点の読込が指令されているか否かを
判断し（ステップ35）指令があればそのときの位置検出
装置５の出力座標値を読込む（ステップ36）。読込みが
終わると再びステップ30に戻る。
上述のフローチャートの説明において、第１参照速度Vr
ef1は第２参照速度Vref2より大きい必要があり、２つの
参照速度を設定したのは、チャッタリング防止のために
設定されるのであるが、原理的には第１参照速度Vref1
と第２参照速度Vref2は一致していて良い。また、第１
参照速度Vref1と第２参照速度Vref2は各々キーボード13
に指定しても良いが、キーボード13には１つの参照速度
を指定する如くなし、マイクロコンピュータ12が演算に
よって指定された参照信号に所定値ａを加減し、第１参
照速度Vfer1と第２参照度Vref2を求めるようになしても
良い。
ef1は第２参照速度Vref2より大きい必要があり、２つの
参照速度を設定したのは、チャッタリング防止のために
設定されるのであるが、原理的には第１参照速度Vref1
と第２参照速度Vref2は一致していて良い。また、第１
参照速度Vref1と第２参照速度Vref2は各々キーボード13
に指定しても良いが、キーボード13には１つの参照速度
を指定する如くなし、マイクロコンピュータ12が演算に
よって指定された参照信号に所定値ａを加減し、第１参
照速度Vfer1と第２参照度Vref2を求めるようになしても
良い。
このようにして、速度指令装置４による指令速度を速度
発生装置6,13の指定速度（第２参照速度）以下にするだ
けで自動的に経過点が読込まれるので、操作性が良く、
操作ミスも生じ難い。そして記憶された経過点の座標値
を順次読出すことによって検出部１やステージ２の自動
運転を行なうことができる。
発生装置6,13の指定速度（第２参照速度）以下にするだ
けで自動的に経過点が読込まれるので、操作性が良く、
操作ミスも生じ難い。そして記憶された経過点の座標値
を順次読出すことによって検出部１やステージ２の自動
運転を行なうことができる。
なお、経過点の読込時、例えば第１図のワンショット回
路10の出力パルスによってブザーを鳴らす等によって警
報を行なうようになせば、経過点の読込を確実に知るこ
とができるので都合が良い。そして、さらに、経過点の
読込が誤って成されたとき、その座標値をキャンセルす
るキャンセル手段をさらに付加すれば誤動作を除去する
こともできる。
路10の出力パルスによってブザーを鳴らす等によって警
報を行なうようになせば、経過点の読込を確実に知るこ
とができるので都合が良い。そして、さらに、経過点の
読込が誤って成されたとき、その座標値をキャンセルす
るキャンセル手段をさらに付加すれば誤動作を除去する
こともできる。
（発明の効果） 以上述べたように本発明によれば、経過点の入力毎に特
別の入力指令キーを操作する必要がないので、操作性が
良くしかも操作ミスの生じ難い自動経過点入力装置、を
有する座標測定機を得ることができる。
別の入力指令キーを操作する必要がないので、操作性が
良くしかも操作ミスの生じ難い自動経過点入力装置、を
有する座標測定機を得ることができる。
第１図は本発明の第１実施例のブロック図、第２図は本
発明の第２実施例のブロック図、第３図は第２図のマイ
クロコンピュータのフローチャート、である。 （主要部分の符号の説明） ３……駆動装置、４……速度指令装置、５……位置検出
装置、６……参照速度発生装置、７……比較回路、10…
…ワンショット回路、11……経過座標値読取装置、12…
…マイクロコンピュータ、13……キーボード。
発明の第２実施例のブロック図、第３図は第２図のマイ
クロコンピュータのフローチャート、である。 （主要部分の符号の説明） ３……駆動装置、４……速度指令装置、５……位置検出
装置、６……参照速度発生装置、７……比較回路、10…
…ワンショット回路、11……経過座標値読取装置、12…
…マイクロコンピュータ、13……キーボード。
Claims (1)
- 【請求項１】可動部材を移動させる駆動装置と、 前記駆動装置により移動した前記可動部材の座標値を読
み取る位置検出装置と、を有する座標測定機において、 前記駆動装置に移動速度を指令するための速度指令装置
と、 所定の参照速度信号を発生する発生装置と、 前記速度指令装置と前記発生装置とに接続され、 前記指令速度が前記参照速度以下になると、経過座標入
力指令信号を出力する出力手段と、 前記出力手段と前記位置検出装置とに接続され、前記経
過座標入力指令信号によって前記位置検出装置の出力す
る座標値を読取る経過座標値読取装置と、を有すること
を特徴とする座標測定機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2165886A JPH07117402B2 (ja) | 1986-02-03 | 1986-02-03 | 自動経過点入力装置を有する座標測定機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2165886A JPH07117402B2 (ja) | 1986-02-03 | 1986-02-03 | 自動経過点入力装置を有する座標測定機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62179604A JPS62179604A (ja) | 1987-08-06 |
| JPH07117402B2 true JPH07117402B2 (ja) | 1995-12-18 |
Family
ID=12061143
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2165886A Expired - Lifetime JPH07117402B2 (ja) | 1986-02-03 | 1986-02-03 | 自動経過点入力装置を有する座標測定機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07117402B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012220339A (ja) * | 2011-04-08 | 2012-11-12 | Nikon Corp | 形状測定装置、形状測定方法、及びそのプログラム |
-
1986
- 1986-02-03 JP JP2165886A patent/JPH07117402B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62179604A (ja) | 1987-08-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |