JPH07114933B2 - 金属多孔質担体セラミック分離膜 - Google Patents
金属多孔質担体セラミック分離膜Info
- Publication number
- JPH07114933B2 JPH07114933B2 JP3725690A JP3725690A JPH07114933B2 JP H07114933 B2 JPH07114933 B2 JP H07114933B2 JP 3725690 A JP3725690 A JP 3725690A JP 3725690 A JP3725690 A JP 3725690A JP H07114933 B2 JPH07114933 B2 JP H07114933B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal
- separation membrane
- porous
- metal porous
- porous body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Filtering Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は金属多孔質担体セラミック分離膜に関し、更に
詳しくは−Al基を有する金属多孔体を支持材（基材）と
する選択性機能を有する分離膜に関する。
詳しくは−Al基を有する金属多孔体を支持材（基材）と
する選択性機能を有する分離膜に関する。
〔従来の技術〕 従来の分離膜は膜自体が高分子（有機物）である場合、
その基材も一般に高分子（有機物）であった。また、無
機膜は一般に多孔質セラミックスや多孔質ガラスを基材
とするものが多い。前者の場合には耐熱温度が一般に90
℃以下であり、また、後者の場合には強度が弱い。従っ
て、従来の膜をモジュール化して大型化する場合にはい
ずれも実用上の問題点が多い。
その基材も一般に高分子（有機物）であった。また、無
機膜は一般に多孔質セラミックスや多孔質ガラスを基材
とするものが多い。前者の場合には耐熱温度が一般に90
℃以下であり、また、後者の場合には強度が弱い。従っ
て、従来の膜をモジュール化して大型化する場合にはい
ずれも実用上の問題点が多い。
分離膜の中で精密ろ過膜（MF）や限外ろ過膜（UF）の一
部では、多孔質金属を使用したものもあるが、一般に選
択機能を有するガス分離膜、透析膜、透過気化膜（P
V）、逆浸透膜（RC）等では高分子を基材とするものが
多い。
部では、多孔質金属を使用したものもあるが、一般に選
択機能を有するガス分離膜、透析膜、透過気化膜（P
V）、逆浸透膜（RC）等では高分子を基材とするものが
多い。
高分子を基材とする分離膜の耐熱温度は一般に90℃で、
高温用として使用できない。
高温用として使用できない。
また、多孔質セラミックスや多孔質ガラスを基材とする
場合、複数本の膜をモジュール化して使用する時に振動
・衝撃等の強度上で問題がある。また、金属容器内に膜
モジュールを収納する構造では温度の膨張率の差が問題
となる。また、溶接ができないためシール部の構造が複
雑になる等の問題点もある。
場合、複数本の膜をモジュール化して使用する時に振動
・衝撃等の強度上で問題がある。また、金属容器内に膜
モジュールを収納する構造では温度の膨張率の差が問題
となる。また、溶接ができないためシール部の構造が複
雑になる等の問題点もある。
例えば、従来のセラミック分離膜はセラミック多孔体の
細孔中にアルミナゾルを含浸した後、乾燥、焼成し、次
いで前記セラミック多孔体にアルミニウムアルコラート
またはアルミニウムキレートを含浸し、加水分解した
後、焼成し、しかる後に前記セラミック多孔体を金属塩
を溶解した水溶液中に含浸し、乾燥、焼成する方法で製
造されていた。
細孔中にアルミナゾルを含浸した後、乾燥、焼成し、次
いで前記セラミック多孔体にアルミニウムアルコラート
またはアルミニウムキレートを含浸し、加水分解した
後、焼成し、しかる後に前記セラミック多孔体を金属塩
を溶解した水溶液中に含浸し、乾燥、焼成する方法で製
造されていた。
このセラミック担体は多孔質体が得やすく、しかも高温
安定性が良好なので、セラミック分離膜成分を担持し、
分離膜としての機能を引き出すのに有効であるが、セラ
ミック材料は機械的強度、振動衝撃性、熱衝撃に弱いた
め、セラミック担体を破損しないように保持することは
難しく、特別の容器や支持方法の設計を要する。加え
て、セラミック担体は加工性が悪く、長尺の管状の成形
体を得ることが難しいので設計の自由度も小さい。した
がって、モジュール化して大型化する場合には実用上の
問題点が多い。
安定性が良好なので、セラミック分離膜成分を担持し、
分離膜としての機能を引き出すのに有効であるが、セラ
ミック材料は機械的強度、振動衝撃性、熱衝撃に弱いた
め、セラミック担体を破損しないように保持することは
難しく、特別の容器や支持方法の設計を要する。加え
て、セラミック担体は加工性が悪く、長尺の管状の成形
体を得ることが難しいので設計の自由度も小さい。した
がって、モジュール化して大型化する場合には実用上の
問題点が多い。
このセラミック多孔質を担体としたセラミック分離膜の
欠点を改良し大型化を容易にするため、多孔質担体を金
属化する試みがなされている。金属多孔質担体は前述の
セラミック多孔質担体とは逆に加工性、熱衝撃性、機械
的強度、振動衝撃性は良好であるため設計自由度が大き
い。また、長尺の管状の成形体を得ることも容易であ
り、かつ、溶接も可能であり、特別な支持法を必要とせ
ず、加工性がよいことは経済的にも大きなメリットがあ
る。しかしながら、前逆のセラミック多孔質担体と同様
な方法で、金属多孔質担体の細孔中にセラミック分離膜
成分を保持しても金属とセラミックとは全く異質なもの
であるため変形能や熱膨張などそれぞれの機械的、熱的
性質の違いから剥離や亀裂を生じて十分に担持できない
と言う問題がある。
欠点を改良し大型化を容易にするため、多孔質担体を金
属化する試みがなされている。金属多孔質担体は前述の
セラミック多孔質担体とは逆に加工性、熱衝撃性、機械
的強度、振動衝撃性は良好であるため設計自由度が大き
い。また、長尺の管状の成形体を得ることも容易であ
り、かつ、溶接も可能であり、特別な支持法を必要とせ
ず、加工性がよいことは経済的にも大きなメリットがあ
る。しかしながら、前逆のセラミック多孔質担体と同様
な方法で、金属多孔質担体の細孔中にセラミック分離膜
成分を保持しても金属とセラミックとは全く異質なもの
であるため変形能や熱膨張などそれぞれの機械的、熱的
性質の違いから剥離や亀裂を生じて十分に担持できない
と言う問題がある。
本発明は上記技術水準に鑑み、従来の分離膜の有する不
具合を解消した分離膜を提供しようとするものである。
具合を解消した分離膜を提供しようとするものである。
本発明は金属多孔質体の表面Alを真空蒸着し、その後真
空中で加熱・拡散処理して前記金属多孔体内にAlを拡散
させ金属多孔体表面にAlの合金層を形成させた後、酸化
処理を行って前記金属多孔体内の細孔内表面に基材との
密着性が高く高温で安定な粗面を有するα−Al2O3層を
形成させた金属多孔体を得、これを支持材とし該支持材
の表面に−Si基を有する分離膜を担持してなることを特
徴とする金属多孔質担体セラミック分離膜である。
空中で加熱・拡散処理して前記金属多孔体内にAlを拡散
させ金属多孔体表面にAlの合金層を形成させた後、酸化
処理を行って前記金属多孔体内の細孔内表面に基材との
密着性が高く高温で安定な粗面を有するα−Al2O3層を
形成させた金属多孔体を得、これを支持材とし該支持材
の表面に−Si基を有する分離膜を担持してなることを特
徴とする金属多孔質担体セラミック分離膜である。
本発明で使用する金属多孔体としては金属粉、金属繊
維、金網などを焼結して得た金属多孔体で、気孔率:30
％以上、細孔径:5μｍ以下のものであればどのようなも
のでもよく、フェライト系ステンレス鋼、ハステロイ合
金鋼、オーステナイト系ステレス鋼など蒸着したAlと合
金層を形成する材質であればいずれの材質でもよい。
維、金網などを焼結して得た金属多孔体で、気孔率:30
％以上、細孔径:5μｍ以下のものであればどのようなも
のでもよく、フェライト系ステンレス鋼、ハステロイ合
金鋼、オーステナイト系ステレス鋼など蒸着したAlと合
金層を形成する材質であればいずれの材質でもよい。
Al蒸着は真空蒸着法により金属多孔質体の表面にAlを所
定の厚さ蒸着すればよい。Al蒸着被膜の適正な厚さは金
属多孔質体の細孔径により異なり、Al蒸着後の細孔径が
１μｍ以下となる厚さとするようにする。即ち、金属多
孔質体の細孔径が大きいほどAl蒸着皮膜の適性な厚さを
厚くするのがよい。
定の厚さ蒸着すればよい。Al蒸着被膜の適正な厚さは金
属多孔質体の細孔径により異なり、Al蒸着後の細孔径が
１μｍ以下となる厚さとするようにする。即ち、金属多
孔質体の細孔径が大きいほどAl蒸着皮膜の適性な厚さを
厚くするのがよい。
又、真空中での加熱・拡散処理はAl蒸着皮膜と金属多孔
質体との境界面にあらかじめ合金層を形成しておき、酸
化処理により金属多孔質体表面に密着性の高いα−Al2O
3皮膜層を形成させるために実施するものであり、この
目的が達成できる条件であればいずれの条件でもよい。
通常は、真空度10-4Torr,900℃〜1000℃の条件で役30mi
n程度で実施する。
質体との境界面にあらかじめ合金層を形成しておき、酸
化処理により金属多孔質体表面に密着性の高いα−Al2O
3皮膜層を形成させるために実施するものであり、この
目的が達成できる条件であればいずれの条件でもよい。
通常は、真空度10-4Torr,900℃〜1000℃の条件で役30mi
n程度で実施する。
さらに、又酸化処理は金属多孔質体表面のAl蒸着皮膜を
酸化させて、金属多孔質体表面にα−Al2O3層を形成さ
せるために実施するもので、この目的が達成できる条件
であればいずれの条件でもよい。通常は大気雰囲気中で
900℃〜1000℃の条件で実施する。処理時間はAl蒸着皮
膜の厚さにより異なるが、Al蒸着皮膜の膜厚５〜10μｍ
の場合、４〜８時間程度実施すれば十分である。
酸化させて、金属多孔質体表面にα−Al2O3層を形成さ
せるために実施するもので、この目的が達成できる条件
であればいずれの条件でもよい。通常は大気雰囲気中で
900℃〜1000℃の条件で実施する。処理時間はAl蒸着皮
膜の厚さにより異なるが、Al蒸着皮膜の膜厚５〜10μｍ
の場合、４〜８時間程度実施すれば十分である。
−Si基を有する分離膜としては、特願昭59〜34421,同59
〜34422,同60〜30546及び特願平１〜33781において提案
したものが使用され、この−Si基はAlと結合して−Si−
Ｏ−Alとなり安定した膜を形成する。−Si基がない膜の
場合には、多孔質体の細孔内に膜の一部が入り込んで単
に物理的に付着するだけで膜の安定性が弱い。
〜34422,同60〜30546及び特願平１〜33781において提案
したものが使用され、この−Si基はAlと結合して−Si−
Ｏ−Alとなり安定した膜を形成する。−Si基がない膜の
場合には、多孔質体の細孔内に膜の一部が入り込んで単
に物理的に付着するだけで膜の安定性が弱い。
以下、本発明の実施例を比較例と対比してあげ、本発明
分離膜の効果を明らかにする。
分離膜の効果を明らかにする。
多孔質金属として、ステンレス鋼を使用してその表面に
アルミナゲル膜を担持した。
アルミナゲル膜を担持した。
（１）ステンレス鋼板 平均細孔径:1μｍ （２）アルミナゲル膜の担持 水100gに対し5gのアルミニウムイソプロオキシドを80℃
に保持した水中に添加し、アルミニウムイソプロオキシ
ドを加水分解した。これに0.6mlの濃硝酸を加え80℃に2
4時間保持し解膠してアルミナゾルを得た。このアルミ
ナゾルに上記多孔質金属を５分間浸漬した後、室温で24
時間乾燥し80℃で２時間乾燥した後、更に350℃で２時
間、600℃で２時間焼成した。この操作の後、焼成炉か
ら金属多孔体を取り出した時点で多孔体の表面に多数の
亀裂が生じ、アルミナゲルが剥離して十分に担持できな
かった。
に保持した水中に添加し、アルミニウムイソプロオキシ
ドを加水分解した。これに0.6mlの濃硝酸を加え80℃に2
4時間保持し解膠してアルミナゾルを得た。このアルミ
ナゾルに上記多孔質金属を５分間浸漬した後、室温で24
時間乾燥し80℃で２時間乾燥した後、更に350℃で２時
間、600℃で２時間焼成した。この操作の後、焼成炉か
ら金属多孔体を取り出した時点で多孔体の表面に多数の
亀裂が生じ、アルミナゲルが剥離して十分に担持できな
かった。
〔実施例１〕 （１）アルミニウム酸化物を生成させたステンレス鋼の
金属多孔質体 剥離径８μｍ、長さ50〜100μmSUS304のステンレス鋼繊
維を冷間静水圧加圧装置を用いて、圧力3000kg/cm2の条
件でパイプ状に加圧成形し、その後、真空中で真空度10
-4Torr、温度1200℃×1Hrの条件で焼結してパイプ状の
金属多孔質体を得た。この金属多孔質体の気孔率は30
％、細孔径は２μｍであった。真空蒸着法によりAl皮膜
を前記金属多孔質体の表面に８μｍ蒸着した後、真空中
で真空度10-4Torr、950℃×30minの条件で加熱し、Al蒸
着皮膜と金属多孔質体との境界面に合金層を形成し、そ
の後、大気雰囲気中で、950℃×8Hrの条件で酸化処理を
施し、前記金属多孔質体表面にα−Al2O3層を形成させ
た。この平均細孔径は１μｍである。
金属多孔質体 剥離径８μｍ、長さ50〜100μmSUS304のステンレス鋼繊
維を冷間静水圧加圧装置を用いて、圧力3000kg/cm2の条
件でパイプ状に加圧成形し、その後、真空中で真空度10
-4Torr、温度1200℃×1Hrの条件で焼結してパイプ状の
金属多孔質体を得た。この金属多孔質体の気孔率は30
％、細孔径は２μｍであった。真空蒸着法によりAl皮膜
を前記金属多孔質体の表面に８μｍ蒸着した後、真空中
で真空度10-4Torr、950℃×30minの条件で加熱し、Al蒸
着皮膜と金属多孔質体との境界面に合金層を形成し、そ
の後、大気雰囲気中で、950℃×8Hrの条件で酸化処理を
施し、前記金属多孔質体表面にα−Al2O3層を形成させ
た。この平均細孔径は１μｍである。
（２）シリカ・アルミナゲル膜の担持 水100gに対し5gのアルミニウムイソプロオキシドを80℃
に保持した水中に添加し、アルミニウムイソプロオキシ
ドを加水分解した。これに0.6mlの濃硝酸を加え80℃に2
4時間保持し解膠してアルミナゾルを得た。このアルミ
ナゾルに上記多孔質金属を５分間浸漬した後、室温で24
時間乾燥し80℃で２時間乾燥した後、更に350℃で２時
間焼成、600℃で２時間焼成した。この操作を４回繰り
返して金属表面にアルミナゲル膜を担持した。
に保持した水中に添加し、アルミニウムイソプロオキシ
ドを加水分解した。これに0.6mlの濃硝酸を加え80℃に2
4時間保持し解膠してアルミナゾルを得た。このアルミ
ナゾルに上記多孔質金属を５分間浸漬した後、室温で24
時間乾燥し80℃で２時間乾燥した後、更に350℃で２時
間焼成、600℃で２時間焼成した。この操作を４回繰り
返して金属表面にアルミナゲル膜を担持した。
次に、トリクレン100に対してアルミニウムイソプロオ
キシドを５の重量比で溶解し、アルミナの充填を行った
前記多孔質金属をこの溶液に含浸し、トリクレンを発揮
させ、細孔内にアルミニウムプロオキシドを析出させ
た。次に、この多孔質金属の片側を減圧しながら、100
℃のスチーム中に入れてアルミニウムイソプロオキシド
を加水分解し、室温で乾燥した後、350℃で２時間焼成
し、更に600℃で１時間焼成した。この操作を３回繰り
返した。
キシドを５の重量比で溶解し、アルミナの充填を行った
前記多孔質金属をこの溶液に含浸し、トリクレンを発揮
させ、細孔内にアルミニウムプロオキシドを析出させ
た。次に、この多孔質金属の片側を減圧しながら、100
℃のスチーム中に入れてアルミニウムイソプロオキシド
を加水分解し、室温で乾燥した後、350℃で２時間焼成
し、更に600℃で１時間焼成した。この操作を３回繰り
返した。
次に、水100gに対し、0.54gのケイ酸ソーダ（Na2SiO2）
を溶解し、沸騰水で加熱し、上記のアルミニウムイソプ
ロオキシドで処理した多孔質金属を上記ケイ酸ソーダ中
に５分間浸漬した後、80℃の飽和水蒸気中で12時間保持
し、多孔質金属表面にシリカ・アルミナゲル膜を形成さ
せた。
を溶解し、沸騰水で加熱し、上記のアルミニウムイソプ
ロオキシドで処理した多孔質金属を上記ケイ酸ソーダ中
に５分間浸漬した後、80℃の飽和水蒸気中で12時間保持
し、多孔質金属表面にシリカ・アルミナゲル膜を形成さ
せた。
以上の操作で製造した分離膜の平均細孔分布は16Åであ
った。
った。
この分離膜を使用して空気中の除湿の実験を行った。そ
の結果、以下の性能を得た。
の結果、以下の性能を得た。
原料ガス：温度29℃、関係温度＝98％の空気、透過側圧
力＝10Torr 本発明により製造した多孔質金属を基材とする分離膜の
分離性能はセラミックス基材のものとほぼ同じ性能を得
た。また、本発明による分離膜はセラミックスを基材と
する分離膜よりも靭性が大きく、振動・衝撃等による強
度上の問題がなくなる。
力＝10Torr 本発明により製造した多孔質金属を基材とする分離膜の
分離性能はセラミックス基材のものとほぼ同じ性能を得
た。また、本発明による分離膜はセラミックスを基材と
する分離膜よりも靭性が大きく、振動・衝撃等による強
度上の問題がなくなる。
〔実施例２〕 金網を積層焼結して得た金属多孔体の表面にAlを蒸着
し、その後真空中で加熱・拡散処理し、金属多孔体内に
Alを拡散させたものを酸化処理して、該金属多孔体表面
にアルミニウム酸化物を生成させて金属孔体を支持材と
し、該多孔体の表面に実施例１と同様の方法でシリカ・
アルミナゲル膜を担持して分離膜を製造した。
し、その後真空中で加熱・拡散処理し、金属多孔体内に
Alを拡散させたものを酸化処理して、該金属多孔体表面
にアルミニウム酸化物を生成させて金属孔体を支持材と
し、該多孔体の表面に実施例１と同様の方法でシリカ・
アルミナゲル膜を担持して分離膜を製造した。
この分離膜を使用して、空気中の除湿の実験を行った。
その結果、以下の性能を得た。
その結果、以下の性能を得た。
金網：径８μｍ 材質:SUS304 原料ガス：温度29℃、
関係湿度＝98％の空気 透過側圧力＝10Torr 本発明により製造した多孔質金属を基材とする分離膜の
分離性能はセラミックス基材のものとほぼ同じ性能を得
た。また、本発明による分離膜はセラミックスを基材と
する分離膜よりも強度が大きい。
関係湿度＝98％の空気 透過側圧力＝10Torr 本発明により製造した多孔質金属を基材とする分離膜の
分離性能はセラミックス基材のものとほぼ同じ性能を得
た。また、本発明による分離膜はセラミックスを基材と
する分離膜よりも強度が大きい。
本発明により高温下でも使用可能で強度も高く、温度差
に基く膨張率差も低減可能であり、かつ溶接可能な分離
膜が提供されうる。
に基く膨張率差も低減可能であり、かつ溶接可能な分離
膜が提供されうる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 桑原 春男 広島県広島市西区観音新町４丁目６番22号 三菱重工業株式会社広島研究所内 (56)参考文献 特開 平１−47403（ＪＰ，Ａ) 特公 昭49−31843（ＪＰ，Ｂ１) 特公 昭51−75（ＪＰ，Ｂ１) 特公 昭51−677（ＪＰ，Ｂ１)
Claims (1)
- 【請求項１】金属多孔質体の表面にA1を真空蒸着し、そ
の後真空中で加熱・拡散処理して前記金属多孔体内にA1
を拡散させ金属多孔体表面にA1の合金層を形成させた
後、酸化処理を行って前記金属多孔体内の細孔内表面に
基材との密着性が高く高温で安定な粗面を有するα−Al
2O3層を形成させた金属多孔体を得、これを支持材とし
て該支持材の表面に−Si基を有する分離膜を担持してな
ることを特徴とする金属多孔質担体セラミック分離膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3725690A JPH07114933B2 (ja) | 1990-02-20 | 1990-02-20 | 金属多孔質担体セラミック分離膜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3725690A JPH07114933B2 (ja) | 1990-02-20 | 1990-02-20 | 金属多孔質担体セラミック分離膜 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03242231A JPH03242231A (ja) | 1991-10-29 |
| JPH07114933B2 true JPH07114933B2 (ja) | 1995-12-13 |
Family
ID=12492570
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3725690A Expired - Fee Related JPH07114933B2 (ja) | 1990-02-20 | 1990-02-20 | 金属多孔質担体セラミック分離膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07114933B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL1001181C2 (nl) * | 1995-09-12 | 1997-03-13 | Inst Voor Agrotech Onderzoek | Buisvormig membraan, werkwijze ter vervaardiging daarvan, alsmede een membraanscheidingsproces. |
| US5904754A (en) * | 1997-06-20 | 1999-05-18 | Walter Juda Associates | Diffusion-bonded palladium-copper alloy framed membrane for pure hydrogen generators and the like and method of preparing the same |
| US6039792A (en) * | 1997-06-24 | 2000-03-21 | Regents Of The University Of California And Bp Amoco Corporation | Methods of forming and using porous structures for energy efficient separation of light gases by capillary condensation |
| KR100720107B1 (ko) * | 2005-07-15 | 2007-05-18 | 한국기계연구원 | 금속 다공체의 확산 침투 합금화 방법 |
-
1990
- 1990-02-20 JP JP3725690A patent/JPH07114933B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03242231A (ja) | 1991-10-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2637744B2 (ja) | セラミツク▲ろ▼過膜及びその製造方法 | |
| EP0195549B1 (en) | A separation membrane and process for manufacturing the same | |
| EP2258465B1 (en) | Ceramic filter | |
| US3926799A (en) | Support for dynamic membrane | |
| KR100460450B1 (ko) | 함침-롤링법에 의한 열적 안정성이 우수한 실리카 복합막의 제조방법 | |
| JPH0235917A (ja) | 複合体膜及びその製造方法 | |
| GB2076392A (en) | Porous glass membrane | |
| JPH07114933B2 (ja) | 金属多孔質担体セラミック分離膜 | |
| JP2002293656A (ja) | 多孔質複合体およびその製造方法 | |
| JP2002066280A (ja) | ガス分離フィルタおよびその製造方法 | |
| JP5032742B2 (ja) | ゼオライト膜の製造方法 | |
| JPH0634909B2 (ja) | 複合膜の製造方法 | |
| JPH039074B2 (ja) | ||
| JPH01297115A (ja) | ディーゼルエンジンの排気ガスを清浄化するためのフィルター用セラミックフォーム | |
| JP2009255031A (ja) | セラミック多孔質膜の処理方法 | |
| JPH02180641A (ja) | 触媒担体及びその製造方法 | |
| JP3373006B2 (ja) | 水素分離膜の製造法 | |
| JPH04187247A (ja) | 排気ガス浄化用触媒の製造方法 | |
| JPH0418887B2 (ja) | ||
| JPS61209013A (ja) | 分離膜の製造方法 | |
| JPH01201089A (ja) | 多孔質セラミック体の表面の一部分を被覆する方法 | |
| JPS5962324A (ja) | ろ過材及びその製造方法 | |
| JPH054048A (ja) | 排気ガス処理触媒及びその製造方法 | |
| JPH0553529B2 (ja) | ||
| JPH0776131B2 (ja) | 窒化珪素焼結部材 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |