JPH07113687A - 光ビーム位置検出器 - Google Patents

光ビーム位置検出器

Info

Publication number
JPH07113687A
JPH07113687A JP28182693A JP28182693A JPH07113687A JP H07113687 A JPH07113687 A JP H07113687A JP 28182693 A JP28182693 A JP 28182693A JP 28182693 A JP28182693 A JP 28182693A JP H07113687 A JPH07113687 A JP H07113687A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light beam
incident
receiving element
light receiving
division
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP28182693A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2513148B2 (ja
Inventor
Kenichi Ichida
謙一 市田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP5281826A priority Critical patent/JP2513148B2/ja
Publication of JPH07113687A publication Critical patent/JPH07113687A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2513148B2 publication Critical patent/JP2513148B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 4分割受光素子の有感領域にだけ光ビームを
入射するようにして、検出能力の向上を図った光ビーム
位置検出器を提供する。 【構成】 光ビーム100の受光領域が4つの象限に分
割され各象限の受光レベルに比例した電気信号a,〜,
dを出力する4分割受光素子10と、この4分割受光素
子10からの電気信号a,〜,dに基づいて光ビーム1
00の入射位置(X,Y)を演算する演算回路20とを
備える。そして、4分割受光素子10の前段に、入射し
た光ビーム100を屈折させて4分割受光素子10の有
感領域に出射する補正用プリズム1を配設した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、4分割受光素子を用い
て光ビームの入射スポット位置を検出する光ビーム位置
検出器に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の光ビーム位置検出器は、
図4に示すように、光ビーム100を受光する4分割受
光素子101と、この4分割受光素子101で受光され
た光ビーム100のスポット位置を演算する演算回路1
02とを備えている。4分割受光素子101は、中心角
90°の扇形受光面を有する4つの受光素子103,
〜,106を組み付け、その接合線をX軸,Y軸とした
構造になっている。すなわち、受光素子103,〜,1
06で直交座標の第1象限,〜,第4象限を構成してい
る。このような構成により、入射された光ビーム100
を4分割受光素子101で受光して、各受光素子10
3,〜,106から受光信号を演算回路102に出力
し、演算回路102がこれらの受光信号に基づいて、光
ビーム100の入射スポット位置(X,Y)を演算する
ようになっている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した従来
の光ビーム位置検出器では、図5に示すように、光ビー
ム100が4つの受光素子103,〜,106の接合
部、すなわち、不感領域107に渡って入射することが
ある。このような場合には、斜線で示すような受光ロス
部分が生じ、この受光ロス部分の光ビームが感知されな
いこととなる。この結果、演算回路102による演算精
度が落ち、光ビーム位置検出器による検出能力が劣化す
るという問題があった。
【0004】本発明は上記問題点にかんがみてなされた
もので、4分割受光素子の有感領域にだけ光ビームを入
射するようにして、検出能力の向上を図った光ビーム位
置検出器の提供を目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の光ビーム位置検出器は、光ビームの受光領
域が4つの象限に分割され各象限の受光レベルに比例し
た電気信号を出力する4分割受光素子と、この電気信号
に基づいて光ビームの入射位置を演算する演算回路とを
備える光ビーム位置検出器において、上記4分割受光素
子の前段に、入射した光ビームを屈折させて4分割受光
素子の有感領域に出射する補正用プリズムを配設した構
成としてある。
【0006】また、請求項2に記載の光ビーム位置検出
器は、上記補正用プリズムを、上記光ビームの入射側に
凹設された正四角錐の入射面と、この入射面と対応して
出射側に突設された正四角錐の出射面とを有し、これら
正四角錐の頂点を通る光軸を上記4分割受光素子の中心
に一致させると共に、上記正四角錐の稜線を上記4分割
受光素子の不感領域に一致させた状態で配設した構成と
してある。
【0007】
【作用】上記光ビーム位置検出器によれば、4分割受光
素子の前段に配設された補正用プリズムに入射した光ビ
ームは、補正用プリズムの屈折作用によって、4分割受
光素子の有感領域に出射する。4分割受光素子の有感領
域に光ビームが入射すると、各象限の受光レベルに比例
した電気信号が4分割受光素子から演算回路に出力され
る。そして、演算回路で、この電気信号に基づいて光ビ
ームの入射位置が演算される。
【0008】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図1は、本発明の一実施例に係る光ビーム
位置検出器を示すブロック図である。この光ビーム位置
検出器は、4分割受光素子10と、演算回路20と、4
分割受光素子10の前段に配設された補正用プリズム1
とで構成されている。
【0009】4分割受光素子10は、光ビーム100の
受光領域が4つに分割された受光素子であり、4つの受
光素子を組み付けた構造になっている。具体的には、図
2に示すように、4つ受光素子で有感領域11,〜,1
4が形成され、これらの有感領域11,〜,14の間に
十字状の不感領域15が存在している。そして、直交座
標のX軸とY軸とが、このような不感領域15に沿って
設定されている。かかる構成により、4分割受光素子1
0の有感領域11,〜,14に光ビーム100が入射さ
れると、各有感領域11,〜,14の受光レベルa,
b,c,dに比例した電気信号が4分割受光素子10か
ら演算回路20へ出力される。
【0010】演算回路20は、図1に示すように、4分
割受光素子10からの電気信号に基づいて、光ビーム1
00(出射光ビーム100−2)の入射位置(X,Y)
を演算するためのものである。具体的には、4分割受光
素子10の受光レベルa,b,c,dにおいて、次の
(1)式と(2)式とにより、光ビーム100の入射位
置(X,Y)が求められる。 X={(a+d)−(b+c)}/(a+b+c+d)・・・(1) Y={(a+b)−(c+d)}/(a+b+c+d)・・・(2)
【0011】補正用プリズム1は、入射光ビーム100
−1を屈折させて、出射光ビーム100−2が4分割受
光素子10の有感領域11,〜,14に出射するように
補正するためのプリズムである。この補正用プリズム1
には、図2に示すように、凹型の正四角錐形状の入射面
2と、入射面2に対応した凸型の正四角錐形状の出射面
3とが形成されている。そして、これら入,出射面2,
3の稜線4,〜,7が不感領域15のX軸とY軸とに一
致するように、補正用プリズム1が傾けられており、か
つ、入,出射面2,3の頂点8,9を通る光軸200が
X軸とY軸との交点、すなわち、4分割受光素子10の
中心Oを通るように、補正用プリズム1が4分割受光素
子10の前段に配設されている。
【0012】すなわち、入射面2(出射面3)の入射面
2の各面2−1,〜,2−4(面3−1,〜,3−4)
が、4分割受光素子10の第1象限,〜,第4象限に対
向するように、補正用プリズム1の位置が設定されてい
る。そして、入射光ビーム100−1が面2−1の領域
S1(斜線部分)に入射した場合に、dだけシフトした
面3−1の領域S2(斜線部分)を通るように屈折さ
れ、この領域S2から射出された出射光ビーム100−
2が、4分割受光素子10の有感領域11にだけ当たる
ように、入,出射面2,3の傾斜角θ1が設定されてい
る。
【0013】具体的には、図3に示すように、入射光ビ
ーム100−1が面2−1に対して入射角θ1で入射す
ると、屈折角θ2で屈折され、厚さL1の補正用プリズム
1内をL2の光路で面3−1に達する。そして、面3−
1に対して、入射光ビーム100−1は入射角θ2で入
射した後、屈折角θ1で屈折し、入射光ビーム100−
1と並行な出射光ビーム100−2となって、4分割受
光素子10に入射される。かかる現象において、空気の
屈折率をn1、補正用プリズム1の屈折率をn2とする
と、スネルの法則から、次の(3)式が成立する。 n1・sinθ1=n2・sinθ2・・・(3) また、補正用プリズム1の厚さをL1、入射光ビーム1
00−1に対する出射光ビーム100−2のシフト量を
dとすると、図3から次の(4)式を得ることができ
る。 21/2・d/2=L1・sin(θ1−θ2)/cosθ1・・・(4) したがって、上記(3),(4)式から、補正用プリズ
ム1の屈折率n2と補正用プリズム1の厚さL1とを適宜
選択することによって、シフト量dを得るための傾斜角
θ1が決定されている。
【0014】このように、入,出射面2,3の傾斜角θ
1が設定されていることにより、図2に示すように、入
射面2に入射光ビーム100−1が入射されると、各面
2−1,〜,2−4に入射した入射光ビーム100−1
がシフト量dだけ頂点9から外側にシフトされて、出射
面3の各面3−1,〜,3−4から出射される。すなわ
ち、入射面2に入射した入射光ビーム100−1は、出
射面3において、シフト量dで各々4つに分離され、4
分割受光素子10に向かって出射される。この結果、面
3−1,〜,3−4から出射した出射光ビーム100−
2が4分割受光素子10の不感領域15を避けて、有感
領域11,〜,14にだけ出射されることになる。
【0015】次に、本実施例の動作について説明する。
図1において、入射光ビーム100−1が補正用プリズ
ム1に入射されると、シフト量dで各々4つに分離され
た出射光ビーム100−2が4分割受光素子10の有感
領域11,〜,14に出射される。したがって、4分割
受光素子10では、有感領域11,〜,14において、
十分な光量を得ることができるので、十分な受光レベル
a,b,c,dの電気信号を演算回路20を出力するこ
とができる。
【0016】十分な受光レベルa,b,c,dの電気信
号が演算回路20に入力されると、演算回路20によっ
て、上記(1),(2)式に基づいて、光ビーム100
の4分割受光素子10に対する入射スポット位置(X,
Y)が演算されて求められる。
【0017】このように本実施例によれば、補正用プリ
ズム1によって光ビーム100を分離させ、その光ビー
ム100を4分割受光素子10の有感領域11,〜,1
4にのみ出射するように構成されているので、光ビーム
100の入射スポット位置(X,Y)を高感度で検出す
ることができる。
【0018】
【発明の効果】以上のように本発明の光ビーム位置検出
器によれば、4分割受光素子の前段に配設された補正用
プリズムに入射した光ビームが、補正用プリズムの屈折
作用によって、4分割受光素子の有感領域にのみ出射す
るので、光ビームスポット位置の検出能力が向上し、高
感度な検出を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例に係る光ビーム位置検出器を
示すブロック図である。
【図2】補正用プリズムを示す斜視図である。
【図3】図2の矢視A−A断面図である。
【図4】従来例に係る光ビーム位置検出器を示すブロッ
ク図である。
【図5】4分割受光素子の受光面を示す正面図である。
【符号の説明】
1 補正用プリズム 2 入射面 3 出射面 10 4分割受光素子 11,〜,14 有感領域 15 不感領域 20 演算回路 100 光ビーム 100−1 入射光ビーム 100−2 出射光ビーム

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光ビームの受光領域が4つの象限に分割
    され各象限の受光レベルに比例した電気信号を出力する
    4分割受光素子と、この電気信号に基づいて光ビームの
    入射位置を演算する演算回路とを備える光ビーム位置検
    出器において、 上記4分割受光素子の前段に、入射した光ビームを屈折
    させて4分割受光素子の有感領域に出射する補正用プリ
    ズムを配設したことを特徴とする光ビーム位置検出器。
  2. 【請求項2】 上記補正用プリズムが、上記光ビームの
    入射側に凹設された正四角錐の入射面と、この入射面と
    対応して出射側に突設された正四角錐の出射面とを有
    し、これら正四角錐の頂点を通る光軸を上記4分割受光
    素子の中心に一致させると共に、上記正四角錐の稜線を
    上記4分割受光素子の不感領域に一致させた状態で配設
    されている請求項1記載の光ビーム位置検出器。
JP5281826A 1993-10-15 1993-10-15 光ビ―ム位置検出器 Expired - Lifetime JP2513148B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5281826A JP2513148B2 (ja) 1993-10-15 1993-10-15 光ビ―ム位置検出器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5281826A JP2513148B2 (ja) 1993-10-15 1993-10-15 光ビ―ム位置検出器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH07113687A true JPH07113687A (ja) 1995-05-02
JP2513148B2 JP2513148B2 (ja) 1996-07-03

Family

ID=17644544

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5281826A Expired - Lifetime JP2513148B2 (ja) 1993-10-15 1993-10-15 光ビ―ム位置検出器

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2513148B2 (ja)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61191902A (ja) * 1985-02-15 1986-08-26 Olympus Optical Co Ltd レ−ザ集光位置検出装置
JPH0315705A (ja) * 1989-06-14 1991-01-24 Toshiba Corp レーザ光ビーム位置検出装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61191902A (ja) * 1985-02-15 1986-08-26 Olympus Optical Co Ltd レ−ザ集光位置検出装置
JPH0315705A (ja) * 1989-06-14 1991-01-24 Toshiba Corp レーザ光ビーム位置検出装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2513148B2 (ja) 1996-07-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6437859B1 (en) Device for detecting optical position
JP2621430B2 (ja) 光センサー
JPH10239051A (ja) 傾斜角測定装置
US4728196A (en) Arrangement for determining a surface structure, especially for roughness
US4814810A (en) Active-type auto-focusing mechanism
US4397547A (en) Lens module for an opto-electronic range finder
JP2513148B2 (ja) 光ビ―ム位置検出器
KR20010014453A (ko) 판상부재 검출장치
US4888491A (en) Device for measuring angular deviation of flat plate
JPH0249558Y2 (ja)
JP2668948B2 (ja) 光センサー
JP3479914B1 (ja) 傾斜検出装置
JPH05231848A (ja) 光学式変位センサ
JPH08128806A (ja) 光学式変位センサ
JP3270800B2 (ja) 測距センサ
JP2002250692A (ja) 混入物を含む油水の油分濃度測定装置および測定方法
JP3090337B2 (ja) 光学式検知装置
JP2904591B2 (ja) 2次元レーザスポット位置検出センサ
JP2585495Y2 (ja) 変位測定装置
JPH0467605B2 (ja)
JP3039623U (ja) 測距装置
JP2023544332A (ja) 光学式タッチセンサ
JPH045556A (ja) 球体表面の傷検査装置
JPH0210212A (ja) 非接触表面形状測定装置
JP2722248B2 (ja) 平面位置検出用受光器