JPH07109969B2 - 圧電振動子の電極構造 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〈本発明の目的〉 ［産業上の利用分野］ 本発明は、導電性接着剤との密着性を向上させた圧電振
動子の電極構造に関する。

［従来の技術］ 従来より圧電振動子の電極構造として、クロムやニッケ
ルクロム上に金や銀の二重層にした電極膜が広く利用さ
れ、はんだ付けに適した電極であることが知られてい
る。

しかし導電性接着剤の場合には第２層が金の場合、その
第２層の金が導電性接着剤の銀粒子に拡散し易く、電極
切れ等不都合が生じ易くなっていた。

［発明が解決しようとする課題］ そこで従来のクロムやニッケルクロムと金の二重膜で
は、表面の金が導電性接着剤の銀に拡散されるため、導
電性接着剤の銀に拡散されない電極構造が求められてい
る。

［本発明の目的］ 本発明の目的は、導電性接着剤で固着する支持部分の電
極構造を３重層として、導電性接着剤の銀粒子に電極金
属が拡散せず、電極切れを生じない電極構造を提供する
ことにある。

〈本発明の構成〉 ［課題を解決する手段］ そこで本発明では、クロムと金の２重層の上に導電性接
着剤を塗布する支持部分にニッケルクロム膜を設け、金
膜が導電性接着剤の銀粒子へ拡散することを防止してい
る。

［作用及び実施例］ 第１図は、本発明の実施例を示す断面図である。圧電振
動子、ここでは水晶振動子を例に挙げる。水晶振動板１
には第１層電極膜２としてクロムが300〜1000Å蒸着さ
れ、第２層電極膜３として金が500〜2000Å蒸着され、
支持部分については第３層電極膜４としてニッケルクロ
ムが500〜1500Å蒸着され、電極膜が施されている。

第３電極膜上には支持具との間を電気的接続と固着を兼
ねて導電性接着剤が塗布され、乾燥して固着している。
導電性接着剤は主に銀粒子とバインダー（固着剤）から
成り、従来はこの銀粒子に最上層の金の電極膜が喰われ
てしまっていたが、本発明では最上層にニッケルクロム
をもちいることにより、ニッケルクロムは銀粒子には喰
われないので、電極切れによる発振停止やCI（クリスタ
ルインピーダンス）の上昇がなくなった。

支持部分には３層の電極膜が施されている必要があり、
他の励振電極には２層の電極膜でもよいが、必要に応じ
て励振電極、引出電極にも前述した３層の電極膜層にし
てもよい。

従来の常識でいえば、最上層（空気と接する層）には、
貴金属の膜が用いられる場合が多いが、これは支持具と
の電気的接触に有利な点があり、また酸化膜を生じ易い
金属を最上層に用いると、電気的な接触に不都合である
と考えられているが、実験により確認した結果、必ずし
もニッケルクロム層を最上層にしても電気的接続には支
障がなく、経時変化もないことがわかった。そして、前
述した電極切れ等もなく、貴金属で生じ易い支持具にか
かる応力による膜剥がれにも強いことがわかった。

さらに最上層の電極は、ニッケルクロムの他、ニッケル
であっても同等の効果が得られる。

本発明に用いられる圧電体としては、水晶の他、タンタ
ル酸リチウム、圧電セラミック等がある。

〈本発明の効果〉 本発明によって、導電性接着剤を用いた時、接着剤の銀
に圧電振動板に施された表面の金属が拡散し電極切れを
起こしていたが、導電性接着剤を用いる第３層にニッケ
ルクロムを用いたことにより、拡散が無くなり安定した
電極膜を実現できた。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示す断面図である。 １……圧電振動板、２……第１層電極膜、３……第２層
電極膜、４……第３層電極膜

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】導電性接着剤で支持具と固着する圧電振動
   子で、支持部分における圧電振動板にクロムから成る第
   １電極膜と、金から成る第２電極膜と、ニッケルクロム
   またはニッケルから成る第３電極膜とから成る圧電振動
   子の電極構造。