JPH07109647B2 - 薄膜磁気ベッド - Google Patents
薄膜磁気ベッドInfo
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- JPH07109647B2 JPH07109647B2 JP1002955A JP295589A JPH07109647B2 JP H07109647 B2 JPH07109647 B2 JP H07109647B2 JP 1002955 A JP1002955 A JP 1002955A JP 295589 A JP295589 A JP 295589A JP H07109647 B2 JPH07109647 B2 JP H07109647B2
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- Japan
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- thin film
- film magnetic
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
Description
ドを作製するために使用される非磁性材料に関する。
例としては、米国特許第4219854号、同第4516180号及び
同第4652954号がある。
リマと組合せて使用することは従来から知らされてい
る。きわめて低いパーセントの熱により活性化される交
差結合剤を使用したフォトレジストがIBMテクニカル・
ディスクロジャ・ブルティン(以下IBM TDBと称する)V
ol.14、2309ページ、1972年1月に示されており、W.E.
フィーリー(Feely)、SPIE議事録(Proceedings of SP
IE)Vol.631、48、1986にはフォトレジストの交差結合
が示されている。
差結合剤を含むフォトレジストを扱う、薄膜磁気ヘッド
に関連する従来技術はない。例えば、上述した米国特許
のどれも、熱により活性化される交差結合フォトレジス
トに言及してない。また同様に、上述のIBM TDB及びSPI
E刊行物は、薄膜磁気ヘッドに関連する記載を全く含ま
ない。
用した薄膜磁気ヘッドを提供することにある。
より活性化される交差結合剤によって交差結合された感
光性樹脂から成っている薄膜磁気ヘッドを提供する。
断面図が図示されており、これは非磁性セラミック支持
体を具備し、その支持体上には磁気ポールピース層12及
び14が付着されている。磁気ポールピース層12及び14の
間には非磁性絶縁材料22が付着されている。符号16で示
されているのは変換ギャップであり、これは、従来より
知られているように、磁性媒体に対して、磁気変換を行
うような位置関係、好適には空気を介在させるような位
置関係で相互作用を行う。このため、記録媒体に近接し
て飛翔する空気介在表面(ABS)をもつスライダとして
支持体10が形成されている。記録媒体は例えば、ディス
ク・ファイルの動作の間回転する磁気ディスクである。
て形成された後方ギャップ部分18を有する。後方ギャッ
プ部分18は変換ギャップからは隔離され、後方ギャップ
と変換ギャップの間にはコイル構造体20が介在配置され
ている。
20が配置され、コイル20はそれらの磁気ポールピース片
層に磁気的に結合される。コイル20とポールピース片12
及び14は絶縁体22によって隔離され、この絶縁体22がポ
ールピース片の間の部分のコイルを固定する。コイルの
中心領域には電気的接点(図示せず)が設けられてお
り、同様にコイルの外側終端には電気的接点のための拡
大領域が設けられている。これらの接点は、読み取り及
び書込み信号を処理するための外部ワイヤ及びヘッド回
路(図示せず)に接続されている。
的な処理においては、絶縁体は、高温ときわめて長い時
間の硬化サイクルを用いて交差結合されていた。その温
度は260℃もの高さであり、処理時間は20時間もの長さ
であった。さらに、その輻射反応はきわめて緩慢で完成
品が所望の寸法の安定性を欠くという点で不十分であっ
た。本発明は、これらの重大な問題に対して長い間要求
されていた解決法を提供するものであって、必要な温度
を80℃まで低減し、必要な処理時間を15時間にまで低減
する。そうして得られた製品は寸法の安定性に著しい改
善を呈する。
絶縁材料が、熱により活性化される交差結合剤を含む感
光性樹脂を具備する。そのような材料を使用することに
よって、硬化時間が著しく低減され、硬化温度も著しく
低減されて、より安定な絶縁体層が製造されるのであ
る。
差結合剤が最終製品の絶縁特性にも、フォトリソグラフ
特性にも影響を及ぼさないということを強調しておきた
い。この点は、硬化温度や硬化時間を低減する試みが今
までそのような特性を保持することに成功しなかったが
ゆえに重要である。
も低い温度を採用することを可能ならしめたので、温度
に敏感であるがゆえに今まで使用不可能であった材料を
使用可能にする等、多くの今まで不可能であった製造処
理に途を開くということである。
あり、それの多様な変種が従来より知られている。ノボ
ラックは、光感応剤の添加により輻射に感応性となる。
そのような光感応剤としては多くのものが知られてい
る。光感応剤としては例えば1−オキソ−2−ジアゾナ
フタレン・スルホン酸誘導体がある。この種の物質が本
発明に使用するのに好適である。
ために3つのタイプの交差結合反応促進剤が採用され
る。その1つのタイプは、メラミン交差結合剤である。
そのような薬剤は市販されており、例えばメラミン樹脂
Cyme1303として、アメリカン・サイアナミド社(Americ
an Cyanamid Company)から購入できる。別のタイプの
熱により活性化される交差結合剤としては、エポキシ・
ノボラック樹脂と潜在(latent)触媒の組合せがある。
潜在触媒とは、例えば反応中に加熱されると触媒として
作用するような触媒である。エポキシ・ノボラック樹脂
としては、チバ・ガイギー(Ciba-Geigy)社から購入で
きるECN1273などのエポキシ・クレゾール・ノボラック
(ECN)及びエポキシ・フェノール(EPN)がある。潜在
触媒としては、エポキシ化合物の硬化によく使用される
潜在触媒である3塩化ホウ素がある。このタイプの触媒
は、市販されており、チバ・ガイギーから購入できるDY
9577がある。第3のタイプの交差結合反応促進剤として
はビスアジド・タイプ、たとば3.3′−ジアジド−ジフ
ェニルスルホン及び4,4′−ジアジド−ジフェニルスル
フィドがある。一般的には、熱により活性化される交差
結合反応促進剤は好適にはノボラック樹脂に対して約10
ないし50重量%存在し、最も好適には20ないし40重量%
存在する。
めに与えるものであって、本発明の趣旨を逸脱すること
なく当業者はさまざまの変更をなし得るものである。
可能なレジストを用意するために異なる手順が採用され
る。その第1の手順は、メラミン樹脂を使用するもので
ある。ノボラック樹脂に対して約30重量%のメラミンを
用意するために、2gのヘキサメチルオキシメチルメラミ
ンがヘキスト(Hoechst)ポジティブ・フォトレジストA
Z1375などのノボラックをベースとするポジティブ・フ
ォトレジストに添加される。混合すると、均一な溶液が
得られる。これで熱により交差可能なフォトレジストを
使用する準備が出来たことになる。
トに対する20重量%の混合物を用意するために、25gのA
Z1375ポジティブ・フォトレジストに対して1.8gのエポ
キシ・クレゾール・ノボラックが添加される。そして、
20mlのセロソルブ・アセテート溶剤を加えることにより
粘度が低下される。均一な混合物を得るために、0.4gの
DY9577が加えられる。約1時間混合した後、熱により交
差可能な絶縁材レジストを使用する準備ができたことに
なる。
−ジフェニルフィドを添加して混合することによりレジ
ストが用意される。上述の添加物を含むレジストは、そ
のような添加物を含まないレジストよりもはるかに速く
ベークによる硬化を生じる。
能なレジストを絶縁層として使用することにより、薄膜
磁気ヘッドの製造における処理温度及び処理時間を低減
することができるとともに、最終製品の寸法の安定性も
達成される。
Claims (1)
- 【請求項1】導電性コイルを取り囲む電気的絶縁体が、
熱により活性化される交差結合剤によって交差結合され
た光感応性樹脂で形成されている薄膜磁気ヘッドにおい
て、前記光感応性樹脂はノボラック樹脂であり、前記熱
により活性化される交差結合剤はノボラック樹脂に対し
て10-50重量パーセント存在し、前記交差結合剤はメラ
ミン、潜在触媒を含んだエポキシ・クレゾール・ノボラ
ック樹脂及びビスアジド・タイプよりなる群から選ばれ
た1つであることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
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