JPH07101258B2 - 光変換器 - Google Patents
光変換器Info
- Publication number
- JPH07101258B2 JPH07101258B2 JP61266805A JP26680586A JPH07101258B2 JP H07101258 B2 JPH07101258 B2 JP H07101258B2 JP 61266805 A JP61266805 A JP 61266805A JP 26680586 A JP26680586 A JP 26680586A JP H07101258 B2 JPH07101258 B2 JP H07101258B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- converter according
- light
- optical converter
- mirror
- desired shape
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F7/00—Optical analogue/digital converters
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/09—Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
- G02B27/0927—Systems for changing the beam intensity distribution, e.g. Gaussian to top-hat
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B19/00—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics
- G02B19/0004—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the optical means employed
- G02B19/0019—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the optical means employed having reflective surfaces only (e.g. louvre systems, systems with multiple planar reflectors)
- G02B19/0023—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the optical means employed having reflective surfaces only (e.g. louvre systems, systems with multiple planar reflectors) at least one surface having optical power
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B19/00—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics
- G02B19/0033—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the use
- G02B19/0047—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the use for use with a light source
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/09—Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/09—Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
- G02B27/0938—Using specific optical elements
- G02B27/0994—Fibers, light pipes
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/0001—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems
- G02B6/0005—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems the light guides being of the fibre type
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70058—Mask illumination systems
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70216—Mask projection systems
- G03F7/70233—Optical aspects of catoptric systems, i.e. comprising only reflective elements, e.g. extreme ultraviolet [EUV] projection systems
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70216—Mask projection systems
- G03F7/70358—Scanning exposure, i.e. relative movement of patterned beam and workpiece during imaging
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Non-Portable Lighting Devices Or Systems Thereof (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Endoscopes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野： 本発明は、シヨートアークランプからの光を均一な強さ
で弧状形状に変えるための光変換器に関する。一般に、
本発明は、シヨートアークランプからの光を所望の弧状
形状に形成された複数の別個の像として、またも所望の
弧状形状に形成された複数の反射小面上に投影するため
に配置され、かつ構成されたミラー装置を利用する。ま
た、所望の弧状形状に形成された光パイプ装置の１端
は、小面から反射された光を受容しかつ均一の強さの光
をその他端から発するために配置されている。
で弧状形状に変えるための光変換器に関する。一般に、
本発明は、シヨートアークランプからの光を所望の弧状
形状に形成された複数の別個の像として、またも所望の
弧状形状に形成された複数の反射小面上に投影するため
に配置され、かつ構成されたミラー装置を利用する。ま
た、所望の弧状形状に形成された光パイプ装置の１端
は、小面から反射された光を受容しかつ均一の強さの光
をその他端から発するために配置されている。
従来の技術： マイクロリソグラフイーにおいて利用される“光投影／
走査装置（Optical Projection and Scanning Apparatu
s）”の表題の米国特許第4068947号明細書に記載された
型の走査投影マスクアライナーは、オフアクシス環状視
野内に物体の十分に補正された像を形成させる独得の環
状視野光学系を組込んでいる。このような光学系は、
“ユニツト・パワー・イメージング反射光学系アナステ
イグマート（Unit Power Imaging Catoptric Anastigma
t）”の表題の米国特許第3748015号明細書に記載されて
いる。このような系を効果的に使用するには、環状視野
を効果的に照明する照明系を必要とされる。“環状視野
を照明するための系（System For Illuminating An Ann
ular Field）”の表題の米国特許第4241390号明細書に
記載されている１つのこのような照明系は、弧状形状の
照明源、すなわち弧状毛管水銀ランプを利用する。
走査装置（Optical Projection and Scanning Apparatu
s）”の表題の米国特許第4068947号明細書に記載された
型の走査投影マスクアライナーは、オフアクシス環状視
野内に物体の十分に補正された像を形成させる独得の環
状視野光学系を組込んでいる。このような光学系は、
“ユニツト・パワー・イメージング反射光学系アナステ
イグマート（Unit Power Imaging Catoptric Anastigma
t）”の表題の米国特許第3748015号明細書に記載されて
いる。このような系を効果的に使用するには、環状視野
を効果的に照明する照明系を必要とされる。“環状視野
を照明するための系（System For Illuminating An Ann
ular Field）”の表題の米国特許第4241390号明細書に
記載されている１つのこのような照明系は、弧状形状の
照明源、すなわち弧状毛管水銀ランプを利用する。
弧状毛管ランプを使用する際の制限要因は、シヨートア
ークランプに対してこのようなランプから得られる光の
量である。しかし、シヨートアークランプは、元来、環
状視野系に使用するのに必要とされる弧状形状および均
一性を有しない。シヨートアークランプからの光出力を
所望の形状に変えるための大抵の技術は、光を非効果的
に使用すること、像が不均一であること、構成が複雑で
ありかつ困難であることを被むる。本発明は、これらの
前記の問題を克服する。
ークランプに対してこのようなランプから得られる光の
量である。しかし、シヨートアークランプは、元来、環
状視野系に使用するのに必要とされる弧状形状および均
一性を有しない。シヨートアークランプからの光出力を
所望の形状に変えるための大抵の技術は、光を非効果的
に使用すること、像が不均一であること、構成が複雑で
ありかつ困難であることを被むる。本発明は、これらの
前記の問題を克服する。
発明を達成するための手段： 本発明による光変換器は、 点光源； この点光源からの光を１つの群として合致する複数の別
々の像として所望の形状に投影するために点光源と関連
させたミラー装置； この複数の別々の像の各１個を受容するために配置され
かつこの複数の別々の像のそれぞれの主光線が複数の別
々の像のそれぞれ隣接した主光源と平行であるように複
数の別々の像の各１個を反射するために配置方向が定め
られた、同様に１つの群として所望の形状に形成された
複数の反射小面； １端で複数の別々の像を受容するために所望の形状で配
置され、したがって光パイプ装置のそれぞれ他の端部で
発せられた光が所望の形状に合致する光パイプ装置 からなり、その際反射小面が内面反射し、かつ光パイプ
装置の１端に形成されており、それによって点光源から
の光が所望の形状に変換されることを特徴とする。
々の像として所望の形状に投影するために点光源と関連
させたミラー装置； この複数の別々の像の各１個を受容するために配置され
かつこの複数の別々の像のそれぞれの主光線が複数の別
々の像のそれぞれ隣接した主光源と平行であるように複
数の別々の像の各１個を反射するために配置方向が定め
られた、同様に１つの群として所望の形状に形成された
複数の反射小面； １端で複数の別々の像を受容するために所望の形状で配
置され、したがって光パイプ装置のそれぞれ他の端部で
発せられた光が所望の形状に合致する光パイプ装置 からなり、その際反射小面が内面反射し、かつ光パイプ
装置の１端に形成されており、それによって点光源から
の光が所望の形状に変換されることを特徴とする。
本発明の１つの実施態様の場合、楕円ミラーは、その焦
点の１つに位置したシヨートアークランプからの光を複
数の平面鏡上に投影し、この平面鏡は、複数の像を反射
小面のそれぞれ１つの小面上に投影する。
点の１つに位置したシヨートアークランプからの光を複
数の平面鏡上に投影し、この平面鏡は、複数の像を反射
小面のそれぞれ１つの小面上に投影する。
この平面鏡は、像を所望の弧状形状の形で所望の弧状形
状に形成されている反射小面のそれぞれの１つの小面上
に反射するめに配置方向が定められている。この反射小
面は、全ての反射した像の主光線が平行であるように角
度をもって配置方向が定められている。また、所望の弧
状形状に形成された光パイプは、小面から反射した光を
受容しかつ他端で所望の弧状形状で均一な強さの光を発
するための１端を有する。
状に形成されている反射小面のそれぞれの１つの小面上
に反射するめに配置方向が定められている。この反射小
面は、全ての反射した像の主光線が平行であるように角
度をもって配置方向が定められている。また、所望の弧
状形状に形成された光パイプは、小面から反射した光を
受容しかつ他端で所望の弧状形状で均一な強さの光を発
するための１端を有する。
本発明の第２の実施態様は、弧状形状に形成された複数
の像を反射小面上に投影するために複数の平面鏡に対す
るものとして複数のセグメントを有する楕円ミラーを使
用することによつて上記の第１の実施態様と区別され
る。それぞれの実施態様の場合、小面は、光パイプの１
端上に形成され、かつ内側に反射する。
の像を反射小面上に投影するために複数の平面鏡に対す
るものとして複数のセグメントを有する楕円ミラーを使
用することによつて上記の第１の実施態様と区別され
る。それぞれの実施態様の場合、小面は、光パイプの１
端上に形成され、かつ内側に反射する。
本発明の第３の実施態様は、楕円ミラーの複数のセグメ
ントまたは複数の平面鏡からの光を受容しかつ次にこの
光を第３のミラーを介して光パイプの端部上に反射する
ために外側に反射する小面を別個の素子として使用する
ことによつて第１の２つの実施態様と区別される。この
実施態様の場合、小面を有したミラーと、光パイプとの
双方は、環状視野内にある。
ントまたは複数の平面鏡からの光を受容しかつ次にこの
光を第３のミラーを介して光パイプの端部上に反射する
ために外側に反射する小面を別個の素子として使用する
ことによつて第１の２つの実施態様と区別される。この
実施態様の場合、小面を有したミラーと、光パイプとの
双方は、環状視野内にある。
実施例： 次に、本発明を図面につき詳説する。
第１図には、本発明による光変換器10が示されている。
この光変換器は、楕円ミラー11を有す。楕円ミラー11
は、本発明において内側反射面を有する楕円体の一部、
例えば半割体である。このようなミラーは、例えばオプ
テイカル・ラジエイシヨン・コーポレイシヨン（Optica
l Radiation Corporation、Azusa在、カリフオルニア
州、米国）から購買することができる標準品目として入
手することができる。楕円ミラーは、内側焦点に位置し
た光源が外側焦点にピント合せされるように機能し、こ
の場合２つの焦点は楕円の正規焦点である。キヤンラド
−ハノビア（Canrad-Hanovia、Newark在、ニユージヤー
ジー州、米国）から購買することができる型のシヨート
・アーク・ランプ12は、楕円ミラー11の第１または内側
の焦点に位置している。この光は、標準条件下で楕円ミ
ラーから反射し、かつ第２または外側の焦点にピント合
せされる。しかし、光を弧状形状に形成させることが望
まれるので、複数（例えば、実施態様において５または
６個）の平面鏡13は、楕円ミラー11から反射された光を
受容しかつこの光を弧状の光パイプ15の１端に形成され
た内側に反射する小面14上に反射するために配置されて
いる。第１図には、光パイプ15の小面を有した端部のみ
が示されている。それというのも、この光パイプの長手
方向は図面と垂直に延びているからである。しかし、第
４図は、内部反射小面14を有する光パイプ15の形を示
す。
この光変換器は、楕円ミラー11を有す。楕円ミラー11
は、本発明において内側反射面を有する楕円体の一部、
例えば半割体である。このようなミラーは、例えばオプ
テイカル・ラジエイシヨン・コーポレイシヨン（Optica
l Radiation Corporation、Azusa在、カリフオルニア
州、米国）から購買することができる標準品目として入
手することができる。楕円ミラーは、内側焦点に位置し
た光源が外側焦点にピント合せされるように機能し、こ
の場合２つの焦点は楕円の正規焦点である。キヤンラド
−ハノビア（Canrad-Hanovia、Newark在、ニユージヤー
ジー州、米国）から購買することができる型のシヨート
・アーク・ランプ12は、楕円ミラー11の第１または内側
の焦点に位置している。この光は、標準条件下で楕円ミ
ラーから反射し、かつ第２または外側の焦点にピント合
せされる。しかし、光を弧状形状に形成させることが望
まれるので、複数（例えば、実施態様において５または
６個）の平面鏡13は、楕円ミラー11から反射された光を
受容しかつこの光を弧状の光パイプ15の１端に形成され
た内側に反射する小面14上に反射するために配置されて
いる。第１図には、光パイプ15の小面を有した端部のみ
が示されている。それというのも、この光パイプの長手
方向は図面と垂直に延びているからである。しかし、第
４図は、内部反射小面14を有する光パイプ15の形を示
す。
平面鏡13は、所望の弧状形状を形成する複数の別個の像
としてのランプ12からの光を同様に複数の小面14のそれ
ぞれ１つの小面上に投影するように配置され、かつ角度
をもつて配向されている。実施態様において、平面鏡の
数および小面の数は、捕集すべき光が及ぶ立体角および
許容すべき複雑さの程度に応じて多くとも少なくともよ
いが６個の平面鏡13および６つの小面14が存在する。光
パイプ15の小面を有した端部は、楕円ミラー11の第１焦
点からの外側焦点までの長さと同じ内側焦点からの長さ
の位置で楕円ミラー11の外側焦点によつて定められた焦
点面内に配置されている。別個の小面14上の像の正確な
焦点は、勿論平面鏡13の配置方向を角度をもって定める
ことによって決定されている。これは、光パイプ14の弧
状形状およびその上に形成された小面14と一致すべき投
影像の弧状形状を達成する。
としてのランプ12からの光を同様に複数の小面14のそれ
ぞれ１つの小面上に投影するように配置され、かつ角度
をもつて配向されている。実施態様において、平面鏡の
数および小面の数は、捕集すべき光が及ぶ立体角および
許容すべき複雑さの程度に応じて多くとも少なくともよ
いが６個の平面鏡13および６つの小面14が存在する。光
パイプ15の小面を有した端部は、楕円ミラー11の第１焦
点からの外側焦点までの長さと同じ内側焦点からの長さ
の位置で楕円ミラー11の外側焦点によつて定められた焦
点面内に配置されている。別個の小面14上の像の正確な
焦点は、勿論平面鏡13の配置方向を角度をもって定める
ことによって決定されている。これは、光パイプ14の弧
状形状およびその上に形成された小面14と一致すべき投
影像の弧状形状を達成する。
小面14は、１つの小面上に差し迫つているそれぞれの像
の主光線が隣接した像の主光線と平行でありかつ光パイ
プの軸線と平行であるように、１つの小面上に差し迫つ
ているそれぞれの像を光パイプ15によつて下向きに反射
させるような程度に配向されている。主光線は、個個の
小面14上に投影されるそれぞれの像錐体の中心光線であ
る。従つて、光パイプ15を透過した光は、この光パイプ
の他の端面に所望の弧状形状で、上記米国特許明細書に
開示された型の環状視野投影マスクアライナー系中の照
明源として有効に使用することができる高い均一の強さ
をもつて現われる。
の主光線が隣接した像の主光線と平行でありかつ光パイ
プの軸線と平行であるように、１つの小面上に差し迫つ
ているそれぞれの像を光パイプ15によつて下向きに反射
させるような程度に配向されている。主光線は、個個の
小面14上に投影されるそれぞれの像錐体の中心光線であ
る。従つて、光パイプ15を透過した光は、この光パイプ
の他の端面に所望の弧状形状で、上記米国特許明細書に
開示された型の環状視野投影マスクアライナー系中の照
明源として有効に使用することができる高い均一の強さ
をもつて現われる。
第2A図および第2B図は、第１図の実施態様とは異なる本
発明の第２の実施態様を、楕円ミラー11を平面鏡13の代
りに複数のセグメント11aに形成させることによつて示
す。この実施態様の場合、セグメント11aは、同様に弧
状形状した光パイプ15のそれぞれの小面14上に入射する
それぞれの反射像で所望の弧状形状に一致させるために
複数の反射像を惹起させる位置にある。この実施態様の
場合も、内側で反射する小面は、それぞれの束または錐
体の主光線が隣接した主光線と平行であるように光パイ
プ15を介して反射すべき像を惹起させるために配置方向
が定められている。光は、光パイプ15の他端15aから均
一な強さをもつて適当な弧状形状で現われる。
発明の第２の実施態様を、楕円ミラー11を平面鏡13の代
りに複数のセグメント11aに形成させることによつて示
す。この実施態様の場合、セグメント11aは、同様に弧
状形状した光パイプ15のそれぞれの小面14上に入射する
それぞれの反射像で所望の弧状形状に一致させるために
複数の反射像を惹起させる位置にある。この実施態様の
場合も、内側で反射する小面は、それぞれの束または錐
体の主光線が隣接した主光線と平行であるように光パイ
プ15を介して反射すべき像を惹起させるために配置方向
が定められている。光は、光パイプ15の他端15aから均
一な強さをもつて適当な弧状形状で現われる。
第3A図および第3B図の実施態様は、弧状形状の複数の光
像を適当な弧状形状に配置された複数の小面14のそれぞ
れ１つの小面上に投影するためにセグメントにされた楕
円ミラーかまたは平面鏡（これらは双方とも図示されて
いない。）を使用することができる。しかし、この場合
に小面14は、外側に反射するように被覆されている。小
面は、光パイプの端部上に形成されてないので、これら
の小面は、締付けられたかまたはさもなければ一緒に固
定された個個のセグメントから構成させることができ
る。弧状の複数の像は、図示したように球面鏡16によつ
て弧状の光パイプ15上に反射される。この場合も、小面
14は、光パイプ15に入射する主光線が平行であることを
保証するために配向されている。第3B図に示したよう
に、小面14および光パイプ15は、球面鏡16が良好に結像
することを保証する環状視野内にある。
像を適当な弧状形状に配置された複数の小面14のそれぞ
れ１つの小面上に投影するためにセグメントにされた楕
円ミラーかまたは平面鏡（これらは双方とも図示されて
いない。）を使用することができる。しかし、この場合
に小面14は、外側に反射するように被覆されている。小
面は、光パイプの端部上に形成されてないので、これら
の小面は、締付けられたかまたはさもなければ一緒に固
定された個個のセグメントから構成させることができ
る。弧状の複数の像は、図示したように球面鏡16によつ
て弧状の光パイプ15上に反射される。この場合も、小面
14は、光パイプ15に入射する主光線が平行であることを
保証するために配向されている。第3B図に示したよう
に、小面14および光パイプ15は、球面鏡16が良好に結像
することを保証する環状視野内にある。
前記の実施態様の場合、光パイプは、特別の開口数に対
して均一性を達成するために比較的長い長さを有するこ
とが必要である。例えば、１つの実施態様の場合、光パ
イプ15の長さは約55.88mm（22インチ）であつた。
して均一性を達成するために比較的長い長さを有するこ
とが必要である。例えば、１つの実施態様の場合、光パ
イプ15の長さは約55.88mm（22インチ）であつた。
小面ミラーは、殆んど性能の損失なしに弧状光パイプの
直近に位置させることができる。球面鏡16は、この実施
態様の場合には不必要である。
直近に位置させることができる。球面鏡16は、この実施
態様の場合には不必要である。
実際に、均一性は、短い光パイプの長さ、例えば小面ミ
ラー14と、弧状光パイプ15との間に挿入された付加的な
光学素子を使用する場合と同じ10″で達成させることが
できることが見い出された。
ラー14と、弧状光パイプ15との間に挿入された付加的な
光学素子を使用する場合と同じ10″で達成させることが
できることが見い出された。
第５図は、この配置を略示したものであり、かつ小面ミ
ラー14、弧状光パイプ15および繊維束17の形の光学素子
を示す。
ラー14、弧状光パイプ15および繊維束17の形の光学素子
を示す。
光学素子17は、最高の効率のためにできるだけ一緒に緊
密になるように包装された、円形横断面の一束の真直な
ガラス繊維または融合シリカ繊維からなる。束17の形状
は、第6A図に示したように光パイプの弧状形状に適合さ
せるために弧状であることができるかまたは第6B図に示
したように弧状の光パイプ15の入力面を包囲するのと同
じ長さの任意の形状を有することができる。
密になるように包装された、円形横断面の一束の真直な
ガラス繊維または融合シリカ繊維からなる。束17の形状
は、第6A図に示したように光パイプの弧状形状に適合さ
せるために弧状であることができるかまたは第6B図に示
したように弧状の光パイプ15の入力面を包囲するのと同
じ長さの任意の形状を有することができる。
アーク源のそれぞれの像を形成する光線は、錐体内に存
在する。しかし、錐体内での光線の分布は、楕円体の性
質により不均一である。このことにより、錐体の軸線上
に存在する、主光線とは異なる平均的または“重心”光
線が生じる。円形繊維は、錐体内での光線の均一性を改
善し、円形繊維の長さがその直径に比して十分に長い場
合には、重心光線は主光線と一致するのであろう。この
ことにより、光パイプの長さが短い場合に良好な空間的
均一性が得られる。繊維は、例えば少なくとも50の長さ
対直径の大きい比率を有しなければならない。従つて、
束は、その長さを最小にするために小さい繊維から構成
しなければならない。繊維の直径を低く制限すること
は、組立ての脆さおよび困難さによつてのみ定められ
る。妥当な値は、繊維の長さ50mmに対して繊維の直径0.
5mmである。
在する。しかし、錐体内での光線の分布は、楕円体の性
質により不均一である。このことにより、錐体の軸線上
に存在する、主光線とは異なる平均的または“重心”光
線が生じる。円形繊維は、錐体内での光線の均一性を改
善し、円形繊維の長さがその直径に比して十分に長い場
合には、重心光線は主光線と一致するのであろう。この
ことにより、光パイプの長さが短い場合に良好な空間的
均一性が得られる。繊維は、例えば少なくとも50の長さ
対直径の大きい比率を有しなければならない。従つて、
束は、その長さを最小にするために小さい繊維から構成
しなければならない。繊維の直径を低く制限すること
は、組立ての脆さおよび困難さによつてのみ定められ
る。妥当な値は、繊維の長さ50mmに対して繊維の直径0.
5mmである。
繊維束17と光パイプ15との間の結合は、それらを極めて
接近させて配置するかまたは一緒に接合することによつ
て最適化することができる。
接近させて配置するかまたは一緒に接合することによつ
て最適化することができる。
第５図の前記の変形は、勿論第3A図および第3B図の実施
態様と一緒に使用することを意図したものであり、この
場合小面14は外側に反射する。
態様と一緒に使用することを意図したものであり、この
場合小面14は外側に反射する。
全ての上記実施態様において、小面は、それぞれの像に
関係した光線を光パイプの全長の中の入射端から光パイ
プの内側で同じ角度範囲で反射させるという目的を有す
る。
関係した光線を光パイプの全長の中の入射端から光パイ
プの内側で同じ角度範囲で反射させるという目的を有す
る。
本発明の他の変形は、特許請求の範囲の記載を越えて解
釈すべきでないかまたは制限をおくべきでない上記の光
において可能である。
釈すべきでないかまたは制限をおくべきでない上記の光
において可能である。
第１図は、本発明の第１の実施態様を示す略図、第2A図
は、本発明の第２の実施態様を示す立面図、第2B図は、
本発明の第２の実施態様を示す底面図、第3A図は、本発
明の第３の実施態様を示す部分的立面図、第3B図は、第
3A図の線３−３を通して見た略図、第４図は、１端に小
面を有する光パイプを示す部分的斜視図、第５図は、第
3A図および第3B図の実施態様に関連して使用するのに適
合された変形を示す略図、かつ第6A図および第6B図は、
それぞれ第５図に記載した繊維束の変形を示す略図であ
る。 10……光変換器、11……楕円ミラー、11a……セグメン
ト、12……点光源、13……平面鏡、14……反射小面、15
……光パイプ、15a……光パイプの他端、16……球面
鏡、17……繊維束。
は、本発明の第２の実施態様を示す立面図、第2B図は、
本発明の第２の実施態様を示す底面図、第3A図は、本発
明の第３の実施態様を示す部分的立面図、第3B図は、第
3A図の線３−３を通して見た略図、第４図は、１端に小
面を有する光パイプを示す部分的斜視図、第５図は、第
3A図および第3B図の実施態様に関連して使用するのに適
合された変形を示す略図、かつ第6A図および第6B図は、
それぞれ第５図に記載した繊維束の変形を示す略図であ
る。 10……光変換器、11……楕円ミラー、11a……セグメン
ト、12……点光源、13……平面鏡、14……反射小面、15
……光パイプ、15a……光パイプの他端、16……球面
鏡、17……繊維束。
Claims (17)
- 【請求項１】光変換器において、 点光源； この点光源からの光を１つの群として合致する複数の別
々の像として所望の形状に投影するために点光源と関連
させたミラー装置； この複数の別々の像の各１個を受容するために配置され
かつこの複数の別々の像のそれぞれの主光線が複数の別
々の像のそれぞれ隣接した主光源と平行であるように複
数の別々の像の各１個を反射するために配置方向が定め
られた、同様に１つの群として所望の形状に形成された
複数の反射小面； １端で複数の別々の像を受容するために所望の形状で配
置され、したがって光パイプ装置のそれぞれ他の端部で
発せられた光が所望の形状に合致する光パイプ装置 からなり、その際、反射小面が内面反射し、かつ光パイ
プ装置の１端に形成されており、それによって点光源か
らの光が所望の形状に変換されることを特徴とする、光
変換器。 - 【請求項２】小面が外側に反射する、特許請求の範囲第
１項記載の光変換器。 - 【請求項３】小面から反射された像を光パイプ装置の１
端上に反射するための球面鏡装置をさらに包含する、特
許請求の範囲第２項記載の光変換器。 - 【請求項４】ミラー装置が内側焦点に配置された点光源
を有する楕円ミラーからなり、この楕円ミラーが像を小
面上に所望の形状で一群として反射するために配置方向
が定められた同様に複数のセグメントからなる、特許請
求の範囲第３項記載の光変換器。 - 【請求項５】ミラー装置が内側焦点に配置された点光源
を有する楕円ミラーと、像を小面上に所望の形状で１つ
の群として反射するために配置方向が定められた同様に
複数の平面鏡とからなる、特許請求の範囲第３項記載の
光変換器。 - 【請求項６】所望の形状が弧状である、特許請求の範囲
第４項記載の光変換器。 - 【請求項７】所望の形状が弧状である、特許請求の範囲
第５項記載の光変換器。 - 【請求項８】ミラー装置が内側焦点に配置された点光源
を有する楕円ミラーからなり、この楕円ミラーが像を小
面上に所望の形状で１つの群として反射するために配置
方向が定められた同様に複数のセグメントからなる、特
許請求の範囲第１項記載の光変換器。 - 【請求項９】ミラー装置が内側焦点に配置された点光源
を有する楕円ミラーと、像を小面上に１つの群として反
射するために配置方向が定められた同様に複数の平面鏡
とからなる、特許請求の範囲第１項記載の光変換器。 - 【請求項１０】点光源がショートアークランプである、
特許請求の範囲第８項記載の光変換器。 - 【請求項１１】点光源がショートアークランプである、
特許請求の範囲第９項記載の光変換器。 - 【請求項１２】所望の形状が弧状である、特許請求の範
囲第10項記載の光変換器。 - 【請求項１３】所望の形状が弧状である、特許請求の範
囲第11項記載の光変換器。 - 【請求項１４】小面と、光パイプ装置の１端との間に配
置された円形光ファイバーの繊維束をさらに包含する、
特許請求の範囲第７項記載の光変換器。 - 【請求項１５】繊維束の１端が光パイプ装置の１端に極
めて接近している、特許請求の範囲第14項記載の光変換
器。 - 【請求項１６】繊維束の１端が光パイプ装置の１端に接
合されている、特許請求の範囲第15項記載の光変換器。 - 【請求項１７】繊維束の形状が光パイプ装置の形状に適
合させるために弧状である、特許請求の範囲第16項記載
の光変換器。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US06/796,339 US4734829A (en) | 1985-11-12 | 1985-11-12 | Short arc lamp image transformer |
| US796339 | 1985-11-12 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62116918A JPS62116918A (ja) | 1987-05-28 |
| JPH07101258B2 true JPH07101258B2 (ja) | 1995-11-01 |
Family
ID=25167958
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61266805A Expired - Fee Related JPH07101258B2 (ja) | 1985-11-12 | 1986-11-11 | 光変換器 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4734829A (ja) |
| EP (1) | EP0222318B1 (ja) |
| JP (1) | JPH07101258B2 (ja) |
| KR (1) | KR870005267A (ja) |
| CA (1) | CA1272894C (ja) |
| DE (1) | DE3687691T2 (ja) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4998213A (en) * | 1987-06-15 | 1991-03-05 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Recording apparatus |
| US5218660A (en) * | 1989-11-29 | 1993-06-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Illumination device |
| JPH056820A (ja) * | 1990-12-28 | 1993-01-14 | Sony Corp | 光磁気記録媒体 |
| GB9216333D0 (en) * | 1992-07-31 | 1992-09-16 | Kodak Ltd | Optical means for annular illumination of a spot |
| US5339346A (en) * | 1993-05-20 | 1994-08-16 | At&T Bell Laboratories | Device fabrication entailing plasma-derived x-ray delineation |
| EP0782701A4 (en) * | 1994-09-20 | 1999-08-18 | Neopath Inc | DEVICE FOR STABILIZING AND HOMOGENEIZING ILLUMINATION |
| US5692066A (en) * | 1994-09-20 | 1997-11-25 | Neopath, Inc. | Method and apparatus for image plane modulation pattern recognition |
| JP3437352B2 (ja) * | 1995-10-02 | 2003-08-18 | キヤノン株式会社 | 照明光学系及び光源装置 |
| JP4238390B2 (ja) | 1998-02-27 | 2009-03-18 | 株式会社ニコン | 照明装置、該照明装置を備えた露光装置および該露光装置を用いて半導体デバイスを製造する方法 |
| US6275644B1 (en) | 1998-12-15 | 2001-08-14 | Transmatic, Inc. | Light fixture including light pipe having contoured cross-section |
| NZ601903A (en) * | 2010-03-31 | 2013-09-27 | Mitsubishi Electric Corp | Suction tool for vacuum cleaner |
| CN101813895B (zh) * | 2010-04-09 | 2011-08-10 | 友达光电股份有限公司 | 曝光机台及应用该曝光机台的曝光方法 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3455622A (en) * | 1964-06-29 | 1969-07-15 | George D Cooper | Lighting device for transmitting visible radiant energies to inaccessible places |
| US3546438A (en) * | 1967-05-25 | 1970-12-08 | Farrington Electronics Inc | Illumination system |
| US3748015A (en) * | 1971-06-21 | 1973-07-24 | Perkin Elmer Corp | Unit power imaging catoptric anastigmat |
| DE2133719C3 (de) * | 1971-07-07 | 1978-08-24 | Original Hanau Quarzlampen Gmbh, 6450 Hanau | Operationsleuchte |
| US4068947A (en) * | 1973-03-09 | 1978-01-17 | The Perkin-Elmer Corporation | Optical projection and scanning apparatus |
| US4241390A (en) * | 1978-02-06 | 1980-12-23 | The Perkin-Elmer Corporation | System for illuminating an annular field |
| US4389701A (en) * | 1980-10-27 | 1983-06-21 | Optimetrix Corporation | Illumination system |
| JPS59133507A (ja) * | 1983-01-20 | 1984-07-31 | Takashi Mori | 人工光源装置 |
| JPS6051836A (ja) * | 1983-06-09 | 1985-03-23 | ロナルド エス ハ−シエル | 集光装置 |
| US4561043A (en) * | 1984-09-27 | 1985-12-24 | Thompson Gary J | Decorative light display |
-
1985
- 1985-11-12 US US06/796,339 patent/US4734829A/en not_active Expired - Lifetime
-
1986
- 1986-10-30 CA CA521814A patent/CA1272894C/en not_active Expired
- 1986-11-05 DE DE8686115348T patent/DE3687691T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1986-11-05 EP EP86115348A patent/EP0222318B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1986-11-10 KR KR860009454A patent/KR870005267A/ko not_active Application Discontinuation
- 1986-11-11 JP JP61266805A patent/JPH07101258B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0222318B1 (en) | 1993-02-03 |
| EP0222318A2 (en) | 1987-05-20 |
| JPS62116918A (ja) | 1987-05-28 |
| EP0222318A3 (en) | 1989-07-19 |
| KR870005267A (ko) | 1987-06-05 |
| US4734829A (en) | 1988-03-29 |
| DE3687691D1 (de) | 1993-03-18 |
| CA1272894A (en) | 1990-08-21 |
| CA1272894C (en) | 1990-08-21 |
| DE3687691T2 (de) | 1993-05-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5172063B2 (ja) | ２つの楕円反射体を用いた、光源から標的への光の結合 | |
| US6856727B2 (en) | Coupling of light from a non-circular light source | |
| JP4808893B2 (ja) | 画像投影装置及び集光システム | |
| KR0169101B1 (ko) | 무상 반사 집광기용 조명 시스템 | |
| JP2009122686A (ja) | 光学装置 | |
| KR101324807B1 (ko) | 최적화된 배율을 갖는 이중 포물면 반사기 및 이중 타원면반사기 시스템 | |
| JPH07101258B2 (ja) | 光変換器 | |
| JPH11149901A (ja) | 発光管及びそれを用いた光源装置 | |
| JPS633288B2 (ja) | ||
| KR20030068132A (ko) | 렌즈가 갖춰진 광 파이프를 사용하는 광 집속 및 수집시스템 | |
| KR20020012555A (ko) | 작은 아크 램프에서 더 큰 타겟으로 광을 커플링시키는개선된 시스템 | |
| JPH09166720A (ja) | コンパクトな光学的結合器 | |
| US20060039153A1 (en) | Light collection system | |
| JPH0572628A (ja) | 光源装置 | |
| US6318885B1 (en) | Method and apparatus for coupling light and producing magnified images using an asymmetrical ellipsoid reflective surface | |
| JPH059693Y2 (ja) | ||
| EP1914573A2 (en) | Coupling of light from a light source to a target using dual ellipsoidal reflectors | |
| JPS62112387A (ja) | 面ポンピング型レ−ザ | |
| JPS6227702B2 (ja) | ||
| JP2001255407A (ja) | 反射鏡及びこれを用いた光学装置 | |
| JPS6279415A (ja) | 印写装置 | |
| JPH0248090B2 (ja) | ||
| JPWO2007017929A1 (ja) | 電子閃光装置用反射鏡 | |
| JPS623210A (ja) | 光スタ−カツプラ | |
| JPH08146342A (ja) | 光混合光学素子及びそれを用いた照明装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees | ||
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |