JPS62116918A - 光変換器 - Google Patents
光変換器Info
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- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
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- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70216—Mask projection systems
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Non-Portable Lighting Devices Or Systems Thereof (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野：
本発明は、ショートアークランプからの光を均一な強さ
で弧状形状に変えるだめの光変換器に関する。一般に、
本発明は、ショートアークランプからの元を所望の弧状
形状に形成された複数の別個の像として、またも所望の
弧状形状に形成された複数の反射小面上に投影するため
に配置されかつ構成されたミラー装置を利用する。まだ
、所望の弧状形状に形成された光パイプ装置の１端は、
小面から反射された光を受容しかつ均一の強さの光をそ
の他端から発するために配置されている。
で弧状形状に変えるだめの光変換器に関する。一般に、
本発明は、ショートアークランプからの元を所望の弧状
形状に形成された複数の別個の像として、またも所望の
弧状形状に形成された複数の反射小面上に投影するため
に配置されかつ構成されたミラー装置を利用する。まだ
、所望の弧状形状に形成された光パイプ装置の１端は、
小面から反射された光を受容しかつ均一の強さの光をそ
の他端から発するために配置されている。
従来の技術：
マイクロリソグラフィーにおいて利用される０光投影／
走査装置（○ｐｔｉｃａｌ Ｐｒｏｊｅｃｔｉｏｎ ａ
ｎｄＳｃａｎｎｉｎｇ Ａｐｐａｒａｔ、ｕｓ）”の人
頭の米国特許第４０６８９４７号明細書に記載された型
の走査投影マスクアライナ−は、オフアクシス環状視野
内に物体の十分に補正された像を形成させる独得の環状
視野光学系を組込んでいる。このような光学系は、”ユ
ニット・パワー・イメージング反射光学系アナステイグ
マート（ＵｎｉｔＰｏｗｅｒ Ｉｍａｇｉｎｇ Ｃａｔ
ｏｐｔｒｉｃ Ａｎａｓｔｉｇｍａｔ）″の衣題の米国
特許第３７４８０１５号明細書に記載されている。この
ような系を効果的に使用するには、環状視野を効果的に
照明する照明系が必要とされる。”環状視野を照明する
ための系（Ｓｙｓｔｅｍ Ｆｏｒ Ｉｌｌｕｍｉｎａｔ
ｉｎｇ Ａｎ Ａｎｎｕｌａｒ Ｆｉｅｌｄ）″の人頭
の米国特許第４２４１３９０号明細書に記載されている
１つのこのような照明系は、弧状形状の照明源、すなわ
ち弧状毛管水銀ランプを利用する。
走査装置（○ｐｔｉｃａｌ Ｐｒｏｊｅｃｔｉｏｎ ａ
ｎｄＳｃａｎｎｉｎｇ Ａｐｐａｒａｔ、ｕｓ）”の人
頭の米国特許第４０６８９４７号明細書に記載された型
の走査投影マスクアライナ−は、オフアクシス環状視野
内に物体の十分に補正された像を形成させる独得の環状
視野光学系を組込んでいる。このような光学系は、”ユ
ニット・パワー・イメージング反射光学系アナステイグ
マート（ＵｎｉｔＰｏｗｅｒ Ｉｍａｇｉｎｇ Ｃａｔ
ｏｐｔｒｉｃ Ａｎａｓｔｉｇｍａｔ）″の衣題の米国
特許第３７４８０１５号明細書に記載されている。この
ような系を効果的に使用するには、環状視野を効果的に
照明する照明系が必要とされる。”環状視野を照明する
ための系（Ｓｙｓｔｅｍ Ｆｏｒ Ｉｌｌｕｍｉｎａｔ
ｉｎｇ Ａｎ Ａｎｎｕｌａｒ Ｆｉｅｌｄ）″の人頭
の米国特許第４２４１３９０号明細書に記載されている
１つのこのような照明系は、弧状形状の照明源、すなわ
ち弧状毛管水銀ランプを利用する。
弧状毛管ランプを使用する際の制限要因は、ショートア
ークランプに対してこのようなランプから得られる光の
量である。しかし、ショートアークランプは、元来、環
状視野系に使用するのに必要とされる弧状形状および均
一性を有しない。ショートアークランプからの光出力を
所望の形状に変えるだめの大抵の技術は、光を非効果的
に使用すること、像が不均一であること、構成が複雑で
ありかつ困難であることを被むる。本発明は、これら前
記の問題を克服する。
ークランプに対してこのようなランプから得られる光の
量である。しかし、ショートアークランプは、元来、環
状視野系に使用するのに必要とされる弧状形状および均
一性を有しない。ショートアークランプからの光出力を
所望の形状に変えるだめの大抵の技術は、光を非効果的
に使用すること、像が不均一であること、構成が複雑で
ありかつ困難であることを被むる。本発明は、これら前
記の問題を克服する。
発明を達成するための手段：
本発明による光変換器は、
点光源；
光を所望の形状に一群として合致する複数の別個の像と
して投影するために点光源と関連させたミラー装置； それぞれ像の各１つ宛を受容するために配置されかつそ
れぞれの像の主光線が隣接した像の主光線と平行である
ように像を反射するために配向された、所望の形状に一
群として形成された同様に複数の反射小面； 元パイプ装置の他端で発せられた光が所望の形状に合致
するように１端で像を受容するだめ所望の形状に形成さ
れた元パイプ装置 からなることを特徴とする。
して投影するために点光源と関連させたミラー装置； それぞれ像の各１つ宛を受容するために配置されかつそ
れぞれの像の主光線が隣接した像の主光線と平行である
ように像を反射するために配向された、所望の形状に一
群として形成された同様に複数の反射小面； 元パイプ装置の他端で発せられた光が所望の形状に合致
するように１端で像を受容するだめ所望の形状に形成さ
れた元パイプ装置 からなることを特徴とする。
本発明の１つの実施態様の場合、楕円ミラーは、その焦
点の１つに位置したショートアークランプからの光を複
数の平面鏡上に投影し、この平面鏡は、複数の像を反射
小面のそれぞれ１つの小面上に投影する。この平面鏡は
、所望の弧状形状の像を所望の弧状形状に形成されてい
る反射小面のそれぞれ１つの小面上に反射するために配
向されている。この反射小面は、全ての反射した像の主
光線が平行であるように角度をもって配向されている。
点の１つに位置したショートアークランプからの光を複
数の平面鏡上に投影し、この平面鏡は、複数の像を反射
小面のそれぞれ１つの小面上に投影する。この平面鏡は
、所望の弧状形状の像を所望の弧状形状に形成されてい
る反射小面のそれぞれ１つの小面上に反射するために配
向されている。この反射小面は、全ての反射した像の主
光線が平行であるように角度をもって配向されている。
また、所望の弧状形状に形成された光パイプは、小面か
ら反射した光を受容しかつ他端で所望の弧状形状で均一
な強さの光を発するための１端を有する。
ら反射した光を受容しかつ他端で所望の弧状形状で均一
な強さの光を発するための１端を有する。
本発明の第２の実施態様は、弧状形状に形成された複数
の像を反射小面上に投影するために複数の平面鏡に対す
るものとして複数のセグメントを有する楕円ミラーを使
用することによって上記の第１の実施態様と区別される
。それぞれの実施態様の場合、小面は、光パイプの１端
上に形成され、かつ内側に反射する。
の像を反射小面上に投影するために複数の平面鏡に対す
るものとして複数のセグメントを有する楕円ミラーを使
用することによって上記の第１の実施態様と区別される
。それぞれの実施態様の場合、小面は、光パイプの１端
上に形成され、かつ内側に反射する。
本発明の第３の実施態様は、楕円ミラーの複数のセグメ
ントまたは複数の平面鏡からの光を受容しかつ次にこの
光を第６のミラーを介して光パイプの端部上に反射する
ために外側に反射する小面を別個の素子として使用する
ことによって第１の２つの実施態様と区別される。この
実施態様の場合、小面を有したミラーと、光パイプとの
双方は、環状視野内にある。
ントまたは複数の平面鏡からの光を受容しかつ次にこの
光を第６のミラーを介して光パイプの端部上に反射する
ために外側に反射する小面を別個の素子として使用する
ことによって第１の２つの実施態様と区別される。この
実施態様の場合、小面を有したミラーと、光パイプとの
双方は、環状視野内にある。
実施例：
次に、本発明を図面につき詳説する。
第１図には、本発明による光変換器１０が示されている
。この光変換器は、楕円ミラー１１を有する。楕円ミラ
ー１１は、本発明において内側反射面を有する楕円体の
一部、例えば半割体である。このようなミラーは、例え
ばオシティカル・ラシエイション・コーポレイショ／（
Ｏｐｔｉｃａｌ Ｒａｄｉａｔｉｏｎ Ｃｏｒｐｏｒａ
ｔｉｏｎＸＡｚｕｓａ在、カリフォルニア州、米国）か
ら購買することができる標準品目として人手することが
できる。
。この光変換器は、楕円ミラー１１を有する。楕円ミラ
ー１１は、本発明において内側反射面を有する楕円体の
一部、例えば半割体である。このようなミラーは、例え
ばオシティカル・ラシエイション・コーポレイショ／（
Ｏｐｔｉｃａｌ Ｒａｄｉａｔｉｏｎ Ｃｏｒｐｏｒａ
ｔｉｏｎＸＡｚｕｓａ在、カリフォルニア州、米国）か
ら購買することができる標準品目として人手することが
できる。
楕円ミラーは、内側焦点に位置した光源が外側焦点にピ
ント合せされるように機能し、この場合２つの焦点は楕
円の正規焦点である。キャンラドーハノビア（Ｃａｎｒ
ａｄ−Ｈａｎｏｖｉａ 、 Ｎｅｗａｒｋ在、ニューシ
ャーシー州、米国）から購買することができる型のショ
ート・アーク・ランプ１２は、楕円ミラー１１の第１ま
たは内側の焦点に位置している。この光は、標準条注下
で楕円ミラーから反射し、かつ第２または外側の焦点に
ピント合せされる。しかし、光を弧状形状に形成させる
ことが望まれるので、複数（例えば、実施態様において
５または６個）の平面鏡１３は、楕円ミラー１１から反
射された元を受容しかつこの光を弧状の光パイプ１５の
１端に形成された内側に反射する小面１４上に反射する
ために配置されている。第１図には、光パイプ１５の小
面を有した端部のみが示されている。それというのも、
この光パイプの長手方向は図面と垂直に延びているから
である。しかし、第４図は、内部反射小面１４を有する
光パイプ１５の形を示す。
ント合せされるように機能し、この場合２つの焦点は楕
円の正規焦点である。キャンラドーハノビア（Ｃａｎｒ
ａｄ−Ｈａｎｏｖｉａ 、 Ｎｅｗａｒｋ在、ニューシ
ャーシー州、米国）から購買することができる型のショ
ート・アーク・ランプ１２は、楕円ミラー１１の第１ま
たは内側の焦点に位置している。この光は、標準条注下
で楕円ミラーから反射し、かつ第２または外側の焦点に
ピント合せされる。しかし、光を弧状形状に形成させる
ことが望まれるので、複数（例えば、実施態様において
５または６個）の平面鏡１３は、楕円ミラー１１から反
射された元を受容しかつこの光を弧状の光パイプ１５の
１端に形成された内側に反射する小面１４上に反射する
ために配置されている。第１図には、光パイプ１５の小
面を有した端部のみが示されている。それというのも、
この光パイプの長手方向は図面と垂直に延びているから
である。しかし、第４図は、内部反射小面１４を有する
光パイプ１５の形を示す。
平面鏡１３は、所望の弧状形状を形成する複数の別個の
像としてのランプ１２からの光を同様に複数の小面１４
のそれぞれ１つの小面上に投影するように配置され、か
つ角度をもって配向されている。実施態様において、平
面鏡の数および小面の数は、捕集すべき光が及ぶ立体角
および許容すべき複雑さの程度に応じて多くとも少なく
ともよいが６個の平面鏡１３および６つの小面１４が存
在する。光パイプ１５の小面を有した端部は、楕円ミラ
ー１１の第１焦点からの外側焦点までの長さと同じ内側
焦点からの長さの位置で楕円ミラー１１の外側焦点によ
って定められた焦点面内に配置されている。別個の小面
１４上の像の正確な焦点は、勿論平面鏡１３を角度をも
って配向することによって定められている。これは、光
パイプ１４の弧状形状およびその上に形成された小面１
４と一致すべき投影像の弧状形状を達成する。
像としてのランプ１２からの光を同様に複数の小面１４
のそれぞれ１つの小面上に投影するように配置され、か
つ角度をもって配向されている。実施態様において、平
面鏡の数および小面の数は、捕集すべき光が及ぶ立体角
および許容すべき複雑さの程度に応じて多くとも少なく
ともよいが６個の平面鏡１３および６つの小面１４が存
在する。光パイプ１５の小面を有した端部は、楕円ミラ
ー１１の第１焦点からの外側焦点までの長さと同じ内側
焦点からの長さの位置で楕円ミラー１１の外側焦点によ
って定められた焦点面内に配置されている。別個の小面
１４上の像の正確な焦点は、勿論平面鏡１３を角度をも
って配向することによって定められている。これは、光
パイプ１４の弧状形状およびその上に形成された小面１
４と一致すべき投影像の弧状形状を達成する。
小面１４は、１つの小面上に差し迫っているそれぞれの
像の主光線が隣接した像の主光線と平行であシかつ光パ
イプの軸線と平行であるように、１つの小面上に差し迫
っているそれぞれの像を光パイプ１５によって下向きに
反射させるような程度に配向されている。主光線は、個
個の小面１４上に投影されるそれぞれの像錐体の中心光
線である。従って、光パイプ１５を透過した光は、この
光パイプの他の端面に所望の弧状形状で、上記米国特許
明細書に開示された型の環状視野投影マスクアライナ−
系中の照明源として有効に使用することができる高い均
一の強さをもって現われる。
像の主光線が隣接した像の主光線と平行であシかつ光パ
イプの軸線と平行であるように、１つの小面上に差し迫
っているそれぞれの像を光パイプ１５によって下向きに
反射させるような程度に配向されている。主光線は、個
個の小面１４上に投影されるそれぞれの像錐体の中心光
線である。従って、光パイプ１５を透過した光は、この
光パイプの他の端面に所望の弧状形状で、上記米国特許
明細書に開示された型の環状視野投影マスクアライナ−
系中の照明源として有効に使用することができる高い均
一の強さをもって現われる。
第２Ａ図および第２Ｂ図は、第１図の実施態様とは異な
る本発明の第２の実施態様を、楕円ミラー１１を平面鏡
１３０代りに複数のセグメン）１１ａに形成させること
によって示す。この実施態様の場合、セグメン）１１ａ
は、同様に弧状形状した光パイプ１５のそれぞれの小面
１４上に入射するそれぞれの反射像で所望の弧状形状に
一致させるために複数の反射像を惹起させる位置にある
。この実施態様の場合も、内側で反射する小面は、それ
ぞれの束または錐体の主光線が隣接した主光線と平行で
あるように光パイプ１５を介して反射すべき像を惹起さ
せるため罠配向されている。光は、光パイプ１５の他端
１５ａから均一な強さをもって適当な弧状形状で現われ
る。
る本発明の第２の実施態様を、楕円ミラー１１を平面鏡
１３０代りに複数のセグメン）１１ａに形成させること
によって示す。この実施態様の場合、セグメン）１１ａ
は、同様に弧状形状した光パイプ１５のそれぞれの小面
１４上に入射するそれぞれの反射像で所望の弧状形状に
一致させるために複数の反射像を惹起させる位置にある
。この実施態様の場合も、内側で反射する小面は、それ
ぞれの束または錐体の主光線が隣接した主光線と平行で
あるように光パイプ１５を介して反射すべき像を惹起さ
せるため罠配向されている。光は、光パイプ１５の他端
１５ａから均一な強さをもって適当な弧状形状で現われ
る。
第３Ａ図および第３Ｂ図の実施態様は、弧状形状の複数
の光像を適当な弧状形状に配置された複数の小面１４の
それぞれ１つの小面上に投影するためにセグメントにさ
れた楕円ミラーかまたは平面鏡（これらは双方とも図示
されていない。）を使用することができる。しかし、こ
の場合に小面１４は、外側に反射するように被覆されて
いる。小面は、光パイプの端部上に形成されてないので
、これらの小面は、締付けられたかまたはさもなければ
一緒に固定された個個のセグメントから構成させること
ができる。
の光像を適当な弧状形状に配置された複数の小面１４の
それぞれ１つの小面上に投影するためにセグメントにさ
れた楕円ミラーかまたは平面鏡（これらは双方とも図示
されていない。）を使用することができる。しかし、こ
の場合に小面１４は、外側に反射するように被覆されて
いる。小面は、光パイプの端部上に形成されてないので
、これらの小面は、締付けられたかまたはさもなければ
一緒に固定された個個のセグメントから構成させること
ができる。
弧状の複数の像は、図示したように球面鏡１６によって
弧状の光パイプ１５上に反射される。
弧状の光パイプ１５上に反射される。
この場合も、小面１４は、光パイプ１５に入射する主光
線が平行であることを保証するために配向されている。
線が平行であることを保証するために配向されている。
第３Ｂ図に示したように、小面１４および光パイプ１５
は、球面鏡１６が良好に結像することを保証する環状視
野内にある。
は、球面鏡１６が良好に結像することを保証する環状視
野内にある。
前記の実施態様の場合、光パイプは、特別の開口数に対
して均一性を達成するために比較的長い長さを有するこ
とが必要である。例えば、１つの実施態様の場合、光パ
イプ１５の長さは約５５．８８ｃＩｒＬ（２２インチ）
であった。
して均一性を達成するために比較的長い長さを有するこ
とが必要である。例えば、１つの実施態様の場合、光パ
イプ１５の長さは約５５．８８ｃＩｒＬ（２２インチ）
であった。
小面ミラーは、殆んど性能の損失なしに弧状光パイプの
直近に位置させることができる。球面鏡１６は、この実
施態様の場合には不必要である。
直近に位置させることができる。球面鏡１６は、この実
施態様の場合には不必要である。
実際に、均一性は、短い光パイプの長さ、例えば小面ミ
ラー１４と、弧状光パイプ１５との間に挿入された付加
的な光学素子を使用する場合と同じ１０“で達成させる
ことができることが見い出された。
ラー１４と、弧状光パイプ１５との間に挿入された付加
的な光学素子を使用する場合と同じ１０“で達成させる
ことができることが見い出された。
第５図は、この配置を略示したものであり、かつ小面ミ
ラー１４、弧状光パイプ１５および繊維束１７の形の光
学素子を示す。
ラー１４、弧状光パイプ１５および繊維束１７の形の光
学素子を示す。
光学素子１７は、最高の効率のためにできるだけ一緒に
緊密になるように包装された、円形横断面の一束の真直
なガラス繊維または融合シリカ繊維からなる。束１７の
形状は、第６Ａ図に示したように光パイプの弧状形状に
適合させるために弧状であることができるかまたは第６
Ｂ図に示したように弧状の光パイプ１５の入力面を包囲
するのと同じ長さの任意の形状を有することができる。
緊密になるように包装された、円形横断面の一束の真直
なガラス繊維または融合シリカ繊維からなる。束１７の
形状は、第６Ａ図に示したように光パイプの弧状形状に
適合させるために弧状であることができるかまたは第６
Ｂ図に示したように弧状の光パイプ１５の入力面を包囲
するのと同じ長さの任意の形状を有することができる。
アーク源のそれぞれの像を形成する光線は、錐体内に存
在する。しかし、錐体内での光線の分布は、楕円体の性
質によシネ均一である。このことにより、錐体の軸線上
に存在する、主光線とは異なる平均的または”重心”光
線が生じる。円形繊維は、錐体内での光線の均一性を改
善し、繊維がその直径に比して十分な長さである場合に
は、重心光線は主光線と一致するであろう。このことに
より、光パイプの長さが短い場合に良好な空間的均一性
が得られる。繊維は、例えば少なくとも５０の長さ対直
径の大きい比率を有しなければならない。従って、束は
、その長さを最小にするために小さい繊維から構成しな
げればならない。繊維の直径を低く制限することは、組
立ての脆さおよび困難さによってのみ定められる。妥当
な値は、繊維の長さ５０朋に対して繊維の直径０．５
ｔｕｇである。
在する。しかし、錐体内での光線の分布は、楕円体の性
質によシネ均一である。このことにより、錐体の軸線上
に存在する、主光線とは異なる平均的または”重心”光
線が生じる。円形繊維は、錐体内での光線の均一性を改
善し、繊維がその直径に比して十分な長さである場合に
は、重心光線は主光線と一致するであろう。このことに
より、光パイプの長さが短い場合に良好な空間的均一性
が得られる。繊維は、例えば少なくとも５０の長さ対直
径の大きい比率を有しなければならない。従って、束は
、その長さを最小にするために小さい繊維から構成しな
げればならない。繊維の直径を低く制限することは、組
立ての脆さおよび困難さによってのみ定められる。妥当
な値は、繊維の長さ５０朋に対して繊維の直径０．５
ｔｕｇである。
繊維束１７と元パイプ１５との間の結合は、それらを極
めて接近させて配置するかまたは一緒に接合することに
よって最適化することができる。
めて接近させて配置するかまたは一緒に接合することに
よって最適化することができる。
第５図の前記の変形は、勿論第６Ａ図および第６Ｂ図の
実施態様と一緒に使用することを意図したものであり、
この場合小面１４は外側に反射する。
実施態様と一緒に使用することを意図したものであり、
この場合小面１４は外側に反射する。
全ての上記実施態様において、小面は、光線をそれぞれ
の像に関連して光パイプのスパンを有する入力端で光パ
イプの内側の角度と同じ範囲にさせるという目的を有す
る。
の像に関連して光パイプのスパンを有する入力端で光パ
イプの内側の角度と同じ範囲にさせるという目的を有す
る。
本発明の他の変形は、特許請求の範囲の記載を越えて解
釈すべきでないかまたは制限をおくべきでない上記の光
において可能である。
釈すべきでないかまたは制限をおくべきでない上記の光
において可能である。
第１図は、本発明の第１の実施態様を示す略図、第２Ａ
図は、本発明の第２の実施態様を示す立面図、第２Ｂ図
は、本発明の第２の実施態様を示す底面図、第３Ａ図は
、本発明の第３の実施態様を示す部分的立面図、第３Ｂ
図は、第３Ａ図の線６−６を通して見た略図、第４図は
、１端に小面を有する光パイプを示す部分的斜視図、第
５図は、第３Ａ図および第３Ｂ図の実施態様に関連して
使用するのに適合された変形を示す略図、かつ第６Ａ図
および第６Ｂ図は、それぞれ第５図に記載した繊維束の
変形を示す略図である。 １０・・・光変換器、１１・・・楕円ミラー、１１ａ・
・・セグメント、１２・・・点光源、１３・・・平面鏡
、１４・・・反射小面、１５・・・光パイプ、１５ａ・
・・光パイプの他端、１６・・・球面鏡、１゛７・・・
繊維束。 ＦＩＧ、 ６Ａ 光パイプ ＦＩＧ、 ５ ＦＩＧ、 ６Ｂ
図は、本発明の第２の実施態様を示す立面図、第２Ｂ図
は、本発明の第２の実施態様を示す底面図、第３Ａ図は
、本発明の第３の実施態様を示す部分的立面図、第３Ｂ
図は、第３Ａ図の線６−６を通して見た略図、第４図は
、１端に小面を有する光パイプを示す部分的斜視図、第
５図は、第３Ａ図および第３Ｂ図の実施態様に関連して
使用するのに適合された変形を示す略図、かつ第６Ａ図
および第６Ｂ図は、それぞれ第５図に記載した繊維束の
変形を示す略図である。 １０・・・光変換器、１１・・・楕円ミラー、１１ａ・
・・セグメント、１２・・・点光源、１３・・・平面鏡
、１４・・・反射小面、１５・・・光パイプ、１５ａ・
・・光パイプの他端、１６・・・球面鏡、１゛７・・・
繊維束。 ＦＩＧ、 ６Ａ 光パイプ ＦＩＧ、 ５ ＦＩＧ、 ６Ｂ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、光変換器において、 点光源； 光を所望の形状に一群として合致する複数の別個の像と
して投影するために点光源と関連させたミラー装置； それぞれ像の各１つ宛を受容するために配置されかつそ
れぞれの像の主光線が隣接した像の主光線と平行である
ように像を反射するために配向された、所望の形状に一
群として形成された同様に複数の反射小面； 光パイプ装置の他端で発せられた光が所望の形状に合致
するように１端で像を受容するため所望の形状に形成さ
れた光パイプ装置 からなることを特徴とする、光変換器。 ２、小面が外側に反射している、特許請求の範囲第１項
記載の光変換器。 ３、小面から反射された像を光パイプ装置の１端上に反
射するための球面鏡装置をさらに包含する、特許請求の
範囲第２項記載の光変換器。 ４、ミラー装置が内側焦点に配置された点光源を有する
楕円ミラーからなり、この楕円ミラーが像を小面上に所
望の形状で一群として反射するために配向された同様に
複数のセグメントからなる、特許請求の範囲第３項記載
の光変換器。 ５、ミラー装置が内側焦点に配置された点光源を有する
楕円ミラーと、像を小面上に所望の形状で一群として反
射するために配置されかつ配向された同様に複数の平面
鏡とからなる、特許請求の範囲第３項記載の光変換器。 ６、所望の形状が弧状である、特許請求の範囲第４項記
載の光変換器。 ７、所望の形状が弧状である、特許請求の範囲第５項記
載の光変換器。 ８、小面が内側で反射し、かつ光パイプ装置の１端に形
成されている、特許請求の範囲第１項記載の光変換器。 ９、ミラー装置が内側焦点に配置された点光源を有する
楕円ミラーからなり、この楕円ミラーが像を小面上に所
望の形状で一群として反射するために配向された同様に
複数のセグメントからなる、特許請求の範囲第８項記載
の光変換器。 １０、ミラー装置が内側焦点に配置された点光源を有す
る楕円ミラーと、像を小面上に一群として反射するため
に配置されかつ配向された同様に複数の平面鏡とからな
る、特許請求の範囲第８項記載の光変換器。 １１、点光源がショートアークランプである、特許請求
の範囲第９項記載の光変換器。 １２、点光源がショートアークランプである、特許請求
の範囲第１０項記載の光変換器。 １３、所望の形状が弧状である、特許請求の範囲第１１
項記載の光変換器。 １４、所望の形状が弧状である、特許請求の範囲第１２
項記載の光変換器。 １５、小面と、光パイプ装置の１端との間に配置された
円形光ファイバーの繊維束をさらに包含する、特許請求
の範囲第７項記載の光変換器。 １６、繊維束の１端が光パイプ装置の１端に極めて接近
している、特許請求の範囲第１５項記載の光変換器。 １７、繊維束の１端が光パイプ装置の１端に接合されて
いる、特許請求の範囲第１６項記載の光変換器。 １８、繊維束の形状が光パイプ装置の形状に適合させる
ために弧状である、特許請求の範囲第１７項記載の光変
換器。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US06/796,339 US4734829A (en) | 1985-11-12 | 1985-11-12 | Short arc lamp image transformer |
| US796339 | 1985-11-12 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62116918A true JPS62116918A (ja) | 1987-05-28 |
| JPH07101258B2 JPH07101258B2 (ja) | 1995-11-01 |
Family
ID=25167958
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61266805A Expired - Fee Related JPH07101258B2 (ja) | 1985-11-12 | 1986-11-11 | 光変換器 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4734829A (ja) |
| EP (1) | EP0222318B1 (ja) |
| JP (1) | JPH07101258B2 (ja) |
| KR (1) | KR870005267A (ja) |
| CA (1) | CA1272894C (ja) |
| DE (1) | DE3687691T2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US5958575A (en) * | 1990-12-28 | 1999-09-28 | Sony Corporation | Magneto-optical recording medium |
| CN101813895A (zh) * | 2010-04-09 | 2010-08-25 | 友达光电股份有限公司 | 曝光机台及应用该曝光机台的曝光方法 |
| TWI411421B (zh) * | 2010-03-31 | 2013-10-11 | Mitsubishi Electric Corp | 電動吸塵器之吸入件 |
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| GB9216333D0 (en) * | 1992-07-31 | 1992-09-16 | Kodak Ltd | Optical means for annular illumination of a spot |
| US5339346A (en) * | 1993-05-20 | 1994-08-16 | At&T Bell Laboratories | Device fabrication entailing plasma-derived x-ray delineation |
| EP0782701A4 (en) * | 1994-09-20 | 1999-08-18 | Neopath Inc | DEVICE FOR STABILIZING AND HOMOGENEIZING ILLUMINATION |
| US5692066A (en) * | 1994-09-20 | 1997-11-25 | Neopath, Inc. | Method and apparatus for image plane modulation pattern recognition |
| JP3437352B2 (ja) * | 1995-10-02 | 2003-08-18 | キヤノン株式会社 | 照明光学系及び光源装置 |
| JP4238390B2 (ja) | 1998-02-27 | 2009-03-18 | 株式会社ニコン | 照明装置、該照明装置を備えた露光装置および該露光装置を用いて半導体デバイスを製造する方法 |
| US6275644B1 (en) | 1998-12-15 | 2001-08-14 | Transmatic, Inc. | Light fixture including light pipe having contoured cross-section |
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| JPS6051836A (ja) * | 1983-06-09 | 1985-03-23 | ロナルド エス ハ−シエル | 集光装置 |
| US4561043A (en) * | 1984-09-27 | 1985-12-24 | Thompson Gary J | Decorative light display |
-
1985
- 1985-11-12 US US06/796,339 patent/US4734829A/en not_active Expired - Lifetime
-
1986
- 1986-10-30 CA CA521814A patent/CA1272894C/en not_active Expired
- 1986-11-05 DE DE8686115348T patent/DE3687691T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1986-11-05 EP EP86115348A patent/EP0222318B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1986-11-10 KR KR860009454A patent/KR870005267A/ko not_active Application Discontinuation
- 1986-11-11 JP JP61266805A patent/JPH07101258B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
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| EP0222318B1 (en) | 1993-02-03 |
| EP0222318A2 (en) | 1987-05-20 |
| EP0222318A3 (en) | 1989-07-19 |
| KR870005267A (ko) | 1987-06-05 |
| US4734829A (en) | 1988-03-29 |
| DE3687691D1 (de) | 1993-03-18 |
| CA1272894A (en) | 1990-08-21 |
| CA1272894C (en) | 1990-08-21 |
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| DE3687691T2 (de) | 1993-05-19 |
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Legal Events
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