JPH07100558B2 - 帯状体の自動検査装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、帯状体の自動検査装置に関し、特に検査対象
となるフレームが複数連結して構成された帯状体を各フ
レーム毎に瑕疵があるか否かを検査するものにおいて好
適な帯状体の自動検査装置に関するものである。

〔従来の技術〕

TAB（Tape Automated Bonding）方式はICチップの実
装技術のひとつとして知られており、加工精度が高く、
一括ボンディングが可能という特徴故に広く使用されて
いる。このTAB方式に用いられるTABテープ（「フィルム
キャリアテープ」とも呼ばれる。）は、たとえばポリイ
ミドよりなるフィルム上にICをボンディングするための
銅リードが形成されたものであり、１つのICがボンディ
ングされる１フレームが映画フィルムのコマの如く多数
連続してリールに巻回されている。

このTABテープは実際にICをボンディングする前に、銅
リードの損傷や欠落等の瑕疵がないかどうかを検査する
必要がある。かかる検査は、パターンマッチングなどの
画像認識技術を用いてフレーム毎に行っている（たとえ
ばTABフィルムキャリア・リード検査システム、MV−510
0、東レ株式会社製）。そして、あるフレームにおいて
瑕疵が発見されると、そのフレームにはICはボンディン
グされず実質的にそのフレームは不要なものとなるが、
一般には検査能率などの観点からそのフレーム部分を切
除することはせず、実装段階で瑕疵のあるフレームを飛
ばしてICをボンディングしている。すなわち、従来のTA
Bテープ検査装置では、あるフレームにおいて瑕疵を発
見すると、そのフレームの位置を外部記憶手段に記憶
し、その後ICの実装段階でこの記憶された情報に基づい
て瑕疵があるフレームを特定しICをボンディングしない
ようにしている。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで、連続する多数のフレームに亘って瑕疵がある
と、TABテープ上にICを実装できない部分が長くなり実
装段階での迅速な処理の妨げとなる。このため、従来の
TABテープ検査装置では一度装置の電源を切って、TABテ
ープ（帯状体）のこのような瑕疵部分を手作業で切除
し、その前後を接合している。しかしながら、TABテー
プは柔らかい材質で作られているので、作業中にTABテ
ープの変形等の不良が生ずるという問題があった。ま
た、一度装置の電源を切ってから作業しなければならな
いので、運転再開時に改めてTABテープの位置合わせ等
の操作が必要となり、作業能率が悪いという欠点があっ
た。

本発明は上記事情に基づいてなされたものであり、帯状
体に変形等の不良を生じさせることなく帯状体の補修を
行うことができ、しかも作業能率の向上を図ることがで
きる帯状体の自動検査装置を提供することを目的とす
る。

〔課題を解決するための手段〕

前記の目的を達成するための本発明は、帯状体位置決め
手段を有する帯状体の自動検査装置において、前記帯状
体を供給する供給手段と、該供給手段から供給される前
記帯状体の検査部分を前記帯状体位置決め手段によって
検出する位置検出手段と、該位置検出手段により検出さ
れた前記帯状体の検査部分の損傷及び瑕疵等の有無を検
査する検査手段と、前記検査手段より移送された前記帯
状体について、前記検査手段によって検出された前記帯
状体の損傷及び瑕疵領域を切断する切断部と、前記損傷
及び瑕疵領域の前後を接合する接合部とを有する補修手
段と、前記検査手段によって検査された前記帯状体の損
傷及び瑕疵領域を切除・接合して前記帯状体を補修する
ために前記帯状体を前記検査手段から前記補修手段へ移
送する補修時移送手段と、前記検査手段の検査の結果、
損傷及び瑕疵領域が無い前記帯状体、及び、前記補修手
段にて前記損傷及び瑕疵領域の前後が接合された帯状体
を巻取る巻取手段とを具備し、前記供給手段によって前
記帯状体を供給して前記巻取手段によって巻取るまでの
間に前記検査手段による検査と前記補修手段による補修
とを自動で行うことを特徴とするものである。

また、前記補修時移送手段は、前記帯状体を移送する駆
動手段と、前記帯状体の損傷及び瑕疵領域の両端を切断
位置に移送し、前記補修手段によって前記損傷及び瑕疵
領域を切断した後、前記損傷及び瑕疵領域の前後を接合
位置で接合できるように前記駆動手段を制御する制御手
段とを具備することが望ましい。

〔作用〕

本発明は前記の構成により、検査手段によって予め定め
た所定数以上の連続する領域に瑕疵が検出されたとき
に、補修手段によって帯状体の不良領域を切断・接合す
るときに、補修時移送手段によって供給手段や巻取手段
の駆動力から独立して帯状体を移送することができる。
また、作業者は補修時移送手段を手動で操作して、帯状
体を切断・接合する際の帯状体の位置合わせを行うこと
ができる。尚、供給手段や巻取手段は、帯状体の補修時
には、必要に応じて動作を一時停止する。

また、補修時移送手段が駆動手段と制御手段とを備える
ことにより、補修手段によって帯状体を切断・接合する
際の帯状体の位置合わせを自動的に行うことができる。

〔実施例〕

以下に本発明の一実施例を第１図及び第３図を参照して
説明する。第１図は本発明にかかるTABテープ検査装置
の主要部となるスプライサ及びピンチロールの概略斜視
図、第２図はスプライサ及びピンチロールの動作説明
図、第３図はTABテープ検査装置の基本構成図である。

先ず第３図を参照しつつ全体の構成について説明する。
本発明はTABテープ（帯状体）３を供給する供給リール
（供給手段）１と、TABテープ３を巻き取る巻取リール
（巻取手段）11とを有する。また、供給リール１と巻取
リールとの間には、位置検出装置（位置検出手段）21、
自動検査部（検査手段）31、ベリフィケーション部41、
目視検査部51、パンチャ61、操作部71及びスプライサ
（補修手段）81が設けられている。

TABテープ３が巻回されている供給リール１には、TABテ
ープどうしの接触による損傷等を防ぐための保護膜とな
るインタリーバ５も同時に巻回されている。リール７は
このインタリーバ５をTABテープ３とは別に巻き取るた
めのものである。逆に、検査が終了したTABテープ３を
巻取リール11で巻き取る場合にはリール17から別のイン
タリーバ15が送り出され、再びTABテープ３と共に巻取
リール11に巻回される。

位置検出装置21はTABテープ３のどの部分が検査されて
いるかを検出するためのもので、TABテープ３の下部に
設けられた発光手段からTABテープの上部に設けられた
受光手段に至る光が、TABテープ３の縁片に設けられた
スプロケット穴（帯状体位置決め手段）を透過する（又
は遮断される）回数をカウントする。

検査手段となる自動検査部31は画像認識技術を用いて各
フレーム毎に損傷やパターンの逸脱等の瑕疵についての
検査を自動的に行う部分であり、具体的にはラインセン
サカメラ33により得られた画像を信号処理装置35に送
り、この画像と予め記憶した基準となる画像とのパター
ンマッチングを行うことで瑕疵の有無を判断する。TAB
テープ３上の瑕疵があるフレームの位置はこの信号処理
装置35を介して記憶装置（図示せず）に記憶する。この
自動検査部31に接続されているオフライン対話システム
101は、自動検査部31が損傷等を判断する基準を任意に
変更可能とするものである。一口に損傷や寸法のずれと
いってもその態様には種々のものがあり、実装されるIC
に要求される精度の違い等によって不良と判断すべき基
準が異なる。したがって、このオフライン対話システム
101に設けることにより、作業者は自動検査部31とTABテ
ープ３の用途や要求される品質に柔軟に対応することが
できる。

ベリフィケーション部41は自動検査部31によって検査さ
れた瑕疵をテレビ画面に写し出すためのものである。即
ち自動検査部31によってTABテープ３上に瑕疵が発見さ
れると、その瑕疵の位置を示す信号が信号処理装置35か
らTVカメラ位置制御部43に送られる。TVカメラ位置制御
部43はこの信号に基づいてテレビカメラ45を瑕疵の位置
へ移動し、その画像信号をテレビモニタ47に送る。作業
者は必要に応じこの画像を見て瑕疵を確認することがで
きる。

目視検査部51は、その役割としてはベリフィケーション
部41と同様であるが、ベリフィケーション部41がテレビ
モニタ47を介して瑕疵を確認するものであったのに対
し、光学的な実体顕微鏡で瑕疵の部分を肉眼で観察する
ものである。テレビカメラ45若しくはテレビモニタ47は
解像度の点で不十分な場合があり、かかる場合に目視検
査部51でベリフィケーション部41の機能を補うことがで
きる。また、ベリフィケーション部41が故障で作動しな
いときには、目視検査部51により瑕疵を確認することが
できる。

パンチャ61は自動検査部31の信号処理装置35から瑕疵を
検出した旨の情報を受け取ると、瑕疵のあるフレームが
パンチャ61の位置に移送されるのを待って動作し、TAB
テープ３に穿孔する。このとき設けられる孔は人間が肉
眼で容易にそれと分かる程度の直径、たとえば5mmとす
る。また自動検査部31が単に瑕疵の有無だけでなく瑕疵
の種類を特定する機能をも有する場合には、それに応じ
たマーキングを行うようにしてもよい。

パンチャ61は、上記のように信号処理装置35の制御の下
で動作させる代わりに、操作部71のインプットボタン73
によって穿孔を中止させることもできる。このようにす
れば自動検査部31が瑕疵と判断した部分であっても、作
業者がベリフィケーション部41又は目視検査部51で確認
した結果、ICの実装が可能であると最終的に判断した場
合には、そのフレームに穿孔することを回避できる。こ
の場合にも瑕疵の種類に応じて、複数種類のマーキング
が可能である。本実施例ではパンチャ61を用いたが、肉
眼で認識できるものであればその他のものでもよく、た
とえば瑕疵のあるフレームに特別の文字や記号を付着す
ることなどが考えられる。

次に第１図及び第２図をも参照して本発明の主要部であ
るスプライサ及びピンチロール（補修時移送手段）につ
いて説明する。スプライサ81はTABテープ３を切断する
カッタ83、TABテープを接合するスプライシングテープ8
5、成形カッタ87を有する。89・91はTABテープ３の補修
時にTABテープ３を挟持して移送するピンチロール、93
はTABテープの通常検査時にTABテープ３を挟持して移送
する主ピンチロールである。また、95・97はピンチロー
ル89・91を駆動する、たとえばモータ等を用いた駆動手
段、99は駆動手段95・97に信号を送ってピンチロール89
・91の回転等を制御する制御手段である。

通常検査時には、第２図（ａ）に示すようにピンチロー
ル89及び91は解放され、TABテープ３を搬送する主ピン
チロール93のみがTABテープ３を挟持して移送する。そ
して、制御手段99が自動検査部31の信号処理装置から所
定数のフレーム（例えば、10フレーム）に連続して瑕疵
が検出された旨の情報を受け取ると、連続して瑕疵が検
出された部分の後端3aが切断位置Ｃ点に来たときに、ピ
ンチロール89及びピンチロール91が同図（ｂ）に示すよ
うにTABテープ３を挟持し、同時に主ピンチロール93がT
ABテープ３から離される。尚、TABテープ３上の位置の
検出は前述の位置検出装置21によって行う。

切断位置Ｃ点には第１図に示すカッタ83が設けてあり、
このカッタ83を動作させることによりTABテープ３を切
断する。このときTABテープ３はピンチロール89及びピ
ンチロール91によって挟持されているので供給リール１
や巻取リール11の駆動力によって巻き上げられることは
ない。

次に、ピンチロール89を回転してTABテープ３を巻き戻
し、第２図（ｃ）に示すように連続して瑕疵が検出され
た部分の先端3aを接合位置Ｓ点に合わせる。これと同時
にピンチロール91を回転してTABテープ３を巻き戻し、
連続して瑕疵が検出された部分の前部の後端3bを切断位
置Ｃ点に合わせる。ここで再びカッタ83によってTABテ
ープ３を切断することにより、連続して瑕疵が検出され
た部分を切除する。

更に、ピンチロール91を回転してTABテープ３を巻き戻
し、上記切除した部分の前部の後端3bを接合位置Ｓ点に
移送する。したがって、接合位置Ｓ点では同図（ｄ）に
示すようにTABテープ３の両切断面が突き合わされた状
態になる。次に、スプライシングテープ85によって前部
と後部とを接合するとともに成形カッタ87を第１図の矢
印Ｙ方向に回動してプレスすることによりスプライシン
グテープ83のTABテープ３からはみ出した部分をカット
し、スプロケット孔をあける。

最後に主ピンチロール93をもとに戻し、ピンチロール89
・91を解放して引きつづきTABテープ３の検査を続行す
る。このように本実施例によれば予め定めた所定数以上
の連続するフレーム部分に亘って瑕疵が検出されたとき
に、作業者がTABテープ３に触れることなく、制御手段9
9による制御の下で、連続するフレーム部分の切除・接
合を自動的に行うことができる。

上記の本実施例によれば、位置検出装置21や自動検査部
31等の他の装置の動作を停止することなく、TABテープ
３の補修ができるので、運転再開時に、改めて位置合わ
せ等の操作を行う必要がなくなる。従ってポリイミド等
の柔らかいTABテープ３を変形させることなく、またTAB
テープ３上に形成された銅リードのパターン等に損傷を
与えることなくTABテープ３を補修することができる。

尚、上記の実施例ではピンチロール89・91とは別個に主
ピンチロール93を設けた場合について説明したが、ピン
チロール89・91の何れか一方が主ピンチロール93を兼ね
るようにしてもよい。

また、上記の本実施例ではピンチロール89・91、主ピン
チロール93及びカッタ83の動作並びにスプライシングテ
ープ85による接合を自動的に行う場合について説明した
が、これらの動作は作業者が手作業によって行ってもよ
い。この場合も、作業者はピンチロール89・91でTABテ
ープ３を挟持した後、ピンチロール89・91を手動で回転
することによって、スプライサ81による補修を行う際に
TABテープ３に手を触れることなく、TABテープ３の位置
合わせを行うことができる。

さらに、本実施例ではTABテープの検査装置を例にして
説明したが、本発明は上記実施例に限らず一般の長尺状
物品の検査装置に広く応用することができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、補修時移送手段に
より帯状体を切断・接合する際の位置合わせを行うこと
ができるので、使用者が帯状体に手に触れることなく、
且つ装置の電源を切ることなく、帯状体の補修を行うこ
とができ、生産性の向上を図ることができる帯状体の自
動検査装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の主要部の概略斜視図、第２
図はスプライサ及びピンチロールの動作説明図、第３図
は本発明の一実施例にかかる装置の概略構成図である。 １……供給リール、３……TABテープ、 ５・15……インタリーバ、 ７・17……リール、11……巻取リール、 21……位置検出装置、31……自動検査部、 41……ベリフィケーション部、 51……目視検査部、61……パンチャ、 71……操作部、81……スプライサ、 83……カッタ、85……スプライシングテープ、 87……成形カッタ、89・91ピンチロール、 93……主ピンチロール、 95・97……駆動手段、99……制御手段、 101……オフライン対話システム。

フロントページの続き (72)発明者 大野 二郎 東京都千代田区大手町２丁目６番３号 新 日本製鐵株式會社内 (56)参考文献 特開 昭63−66052（ＪＰ，Ａ)

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】帯状体位置決め手段を有する帯状体の自動
   検査装置において、 前記帯状体を供給する供給手段と、 該供給手段から供給される前記帯状体の検査部分を前記
   帯状体位置決め手段によって検出する位置検出手段と、 該位置検出手段により検出された前記帯状体の検査部分
   の損傷及び瑕疵等の有無を検査する検査手段と、 前記検査手段より移送された前記帯状体について、前記
   検査手段によって検出された前記帯状体の損傷及び瑕疵
   領域を切断する切断部と、前記損傷及び瑕疵領域の前後
   を接合する接合部とを有する補修手段と、 前記検査手段によって検査された前記帯状体の損傷及び
   瑕疵領域を切除・接合して前記帯状体を補修するために
   前記帯状体を前記検査手段から前記補修手段へ移送する
   補修時移送手段と、 前記検査手段の検査の結果、損傷及び瑕疵領域が無い前
   記帯状体、及び、前記補修手段にて前記損傷及び瑕疵領
   域の前後が接合された帯状体を巻取る巻取手段とを具備
   し、 前記供給手段によって前記帯状体を供給して前記巻取手
   段によって巻取るまでの間に前記検査手段による検査と
   前記補修手段による補修とを自動で行うことを特徴とす
   る帯状体の自動検査装置。
2. 【請求項２】前記補修時移送手段は、 前記帯状体を移送する駆動手段と、 前記帯状体の損傷及び瑕疵領域の両端を切断位置に移送
   し、前記補修手段によって前記損傷及び瑕疵領域を切断
   した後、前記損傷及び瑕疵領域の前後を接合位置で接合
   できるように前記駆動手段を制御する制御手段とを具備
   することを特徴とする請求項１記載の帯状体の自動検査
   装置。
3. 【請求項３】請求項１又は２記載の帯状体の自動検査装
   置において、前記帯状体の損傷及び瑕疵領域を肉眼で観
   察する目視検査部を設けたことを特徴とする帯状体の自
   動検査装置。
4. 【請求項４】請求項１、２又は３記載の帯状体の自動検
   査装置において、前記検査手段によって検出された前記
   帯状体の損傷及び瑕疵領域を穿孔する穿孔部を設けたこ
   とを特徴とする帯状体の自動検査装置。
5. 【請求項５】請求項１、２、３又は４記載の帯状体の自
   動検査装置において、前記検査手段にて認識された前記
   帯状体の損傷及び瑕疵領域を写し出すベリフィケーショ
   ン部を設けたことを特徴とする帯状体の自動検査装置。