JPH0697140B2 - 焼結炉 - Google Patents
焼結炉Info
- Publication number
- JPH0697140B2 JPH0697140B2 JP60272048A JP27204885A JPH0697140B2 JP H0697140 B2 JPH0697140 B2 JP H0697140B2 JP 60272048 A JP60272048 A JP 60272048A JP 27204885 A JP27204885 A JP 27204885A JP H0697140 B2 JPH0697140 B2 JP H0697140B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- processing chamber
- pressure vessel
- ventilation gap
- vent
- sintering furnace
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Powder Metallurgy (AREA)
- Furnace Details (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はセラミックス，メタルパウダー等を加圧または
減圧された雰囲気ガス中で高温焼結する焼結炉に関する
ものである。
減圧された雰囲気ガス中で高温焼結する焼結炉に関する
ものである。
［従来の技術とその問題点］ 不活性なる雰囲気ガス中でセラミックスを2000℃前後の
高温で焼結するセラミックス焼結炉においては一般に需
要家から±10℃程度までという非常に厳しい均熱度が要
求されることがある。従来の焼結炉は概してドラフトに
より上部の温度が高く下部の温度は低くなる傾向があ
る。また被熱物との熱伝達が悪く均熱性を得るには長時
間を要するという欠点がある。また、従来のこの種の焼
結炉は特に加熱よりも冷却に時間が掛かりこのために生
産性が悪いという問題があつた。
高温で焼結するセラミックス焼結炉においては一般に需
要家から±10℃程度までという非常に厳しい均熱度が要
求されることがある。従来の焼結炉は概してドラフトに
より上部の温度が高く下部の温度は低くなる傾向があ
る。また被熱物との熱伝達が悪く均熱性を得るには長時
間を要するという欠点がある。また、従来のこの種の焼
結炉は特に加熱よりも冷却に時間が掛かりこのために生
産性が悪いという問題があつた。
［問題点を解決するための手段］ 本発明は上記従来技術の問題点を解決する焼結炉を提供
しようとするもので、気圧をコントロールできるように
した圧力容器と、該圧力容器の内面との間に通気間隙が
存するように該圧力容器内に断熱壁によつて形成された
処理室と、該処理室内に被熱物を囲うように設けられた
電熱ヒータと、該処理室に設けたフアンと、前記通気間
隙のガス循環路に設けた冷却手段とを具備し、前記処理
室はその対称位置の少なくとも２個所に開閉可能な通気
口を設け、前記ファンの作動により通気口の開時には処
理室内のガスを前記通気間隙まで循環させると共に、そ
の通気口の閉時には処理室内でのみガスが循環するよう
にしたことを特徴とするものである。
しようとするもので、気圧をコントロールできるように
した圧力容器と、該圧力容器の内面との間に通気間隙が
存するように該圧力容器内に断熱壁によつて形成された
処理室と、該処理室内に被熱物を囲うように設けられた
電熱ヒータと、該処理室に設けたフアンと、前記通気間
隙のガス循環路に設けた冷却手段とを具備し、前記処理
室はその対称位置の少なくとも２個所に開閉可能な通気
口を設け、前記ファンの作動により通気口の開時には処
理室内のガスを前記通気間隙まで循環させると共に、そ
の通気口の閉時には処理室内でのみガスが循環するよう
にしたことを特徴とするものである。
［実施例］ 次に本発明の一実施例を図面と共に説明する。圧力容器
１は円筒形胴部と天蓋部３とを互いのフランジ部4,4に
て結合すると共に底蓋部５と胴部２のフランジ部6,6を
着脱自在な締付環７によって緊締していて内部を気密に
閉塞し得るようにしている。８は該圧力容器１内に連通
する連通口で、該連通口８は所要の雰囲気ガスを圧送す
る加圧ポンプまたは減圧ポンプに継がれる。9,9は測温
用の熱電対を該圧力容器内に気密に挿入できる挿入口で
ある。
１は円筒形胴部と天蓋部３とを互いのフランジ部4,4に
て結合すると共に底蓋部５と胴部２のフランジ部6,6を
着脱自在な締付環７によって緊締していて内部を気密に
閉塞し得るようにしている。８は該圧力容器１内に連通
する連通口で、該連通口８は所要の雰囲気ガスを圧送す
る加圧ポンプまたは減圧ポンプに継がれる。9,9は測温
用の熱電対を該圧力容器内に気密に挿入できる挿入口で
ある。
圧力容器１内にはその内面との間に通気間隙10が存する
ようにし断熱壁を円筒形に形成して処理室11が設けられ
ている。該処理室11は胴部12上に蓋部材13が被せられ該
蓋部材13が圧力容器１の天井外部に設けられたシリンダ
14,14の作動杆15,15に吊下されている。そして該シリン
ダ14,14を作動させて蓋部材13を第２図に示したように
吊り上げることによって胴部12の上部外周に通気口16が
形成されるようにしている。処理室11の底部は底蓋部材
17が嵌合しており、該底蓋部材17上に設けたテーブル18
に被熱物19が載置されている。なお底蓋部材17は圧力容
器１の底蓋部５に支持されている。底蓋部材17の中心に
は通気口22が開設されこれに栓部材20が嵌合している。
そして底蓋部５に設けたシリンダ21の作動杆にこの栓部
材20が固着されており、このシリンダ21の作動で栓部材
20を進退動させることにより通気口22が開閉するように
している。23は処理室11内にて被熱物19を囲う形態に設
けられたカーボン製の電熱ヒータである。また、２は処
理室11の天井部に設けられたフアンで該フアンの回転軸
25は蓋部材13を貫通し天蓋部３に設けられた軸受26に支
持され該回転軸25の蓋上突出部分には永久磁石27を固着
している。28はこの永久磁石を囲むように軸受26の外側
面に固設された透磁性材よりなる気密保持用カバーであ
る。該カバー28の外側にはこれを囲むように環状の永久
磁石29が回転軸30に固着されて設けられ、該回転軸30は
モータ31の回転軸と互いのプーリ間に巻掛した伝導ベル
ト32を介して連繋され、該モータ31の駆動により永久磁
石29がカバー28の周囲を回転するようにしている。永久
磁石29が回転するとカバー29内の永久磁石28が磁力誘導
され回転軸25が同方向に回転しフアン24が回転する。な
お33は通気間隙10に設けたクーラで、該クーラは伝熱パ
イプ中に冷却水が流通するように構成されている。
ようにし断熱壁を円筒形に形成して処理室11が設けられ
ている。該処理室11は胴部12上に蓋部材13が被せられ該
蓋部材13が圧力容器１の天井外部に設けられたシリンダ
14,14の作動杆15,15に吊下されている。そして該シリン
ダ14,14を作動させて蓋部材13を第２図に示したように
吊り上げることによって胴部12の上部外周に通気口16が
形成されるようにしている。処理室11の底部は底蓋部材
17が嵌合しており、該底蓋部材17上に設けたテーブル18
に被熱物19が載置されている。なお底蓋部材17は圧力容
器１の底蓋部５に支持されている。底蓋部材17の中心に
は通気口22が開設されこれに栓部材20が嵌合している。
そして底蓋部５に設けたシリンダ21の作動杆にこの栓部
材20が固着されており、このシリンダ21の作動で栓部材
20を進退動させることにより通気口22が開閉するように
している。23は処理室11内にて被熱物19を囲う形態に設
けられたカーボン製の電熱ヒータである。また、２は処
理室11の天井部に設けられたフアンで該フアンの回転軸
25は蓋部材13を貫通し天蓋部３に設けられた軸受26に支
持され該回転軸25の蓋上突出部分には永久磁石27を固着
している。28はこの永久磁石を囲むように軸受26の外側
面に固設された透磁性材よりなる気密保持用カバーであ
る。該カバー28の外側にはこれを囲むように環状の永久
磁石29が回転軸30に固着されて設けられ、該回転軸30は
モータ31の回転軸と互いのプーリ間に巻掛した伝導ベル
ト32を介して連繋され、該モータ31の駆動により永久磁
石29がカバー28の周囲を回転するようにしている。永久
磁石29が回転するとカバー29内の永久磁石28が磁力誘導
され回転軸25が同方向に回転しフアン24が回転する。な
お33は通気間隙10に設けたクーラで、該クーラは伝熱パ
イプ中に冷却水が流通するように構成されている。
このように構成された焼結炉では、加熱昇温時には第１
図に示したように蓋部材13,栓部材20を閉じて処理室11
をその断熱壁によつて熱的に遮閉する。そして電熱ヒー
タ23によつてセラミツクス等の被熱物19を加熱する。フ
アン24は処理室11内の雰囲気ガスを図示破断線の矢印で
示したように強制対流させ電熱ヒータ23の熱の被熱物19
への伝熱を促進させる。そして被熱物19は不活性ガス雰
囲気中にて2000℃前後まで加熱され焼結する。一方、そ
の被熱物19を冷却するに際してはシリンダ14,14,21を作
動させ蓋部材13、栓部材20を動かして第２図に示したよ
うに通気口16,22を開口させる。そしてクーラ33に冷却
水を通水すると共にフアン24を回転させ雰囲気ガスを第
２図中の破断線矢印で示したように通気間隙10に流通さ
せる。即ち、処理室11中の雰囲気ガスを通気口16から通
気間隙10に導びきクーラ33に通して冷却しこれを通気口
22を通して処理室11に循環させる。このため被熱物19は
対流によりクーラ33に熱がうばわれて短時間で冷却する
ことができる。
図に示したように蓋部材13,栓部材20を閉じて処理室11
をその断熱壁によつて熱的に遮閉する。そして電熱ヒー
タ23によつてセラミツクス等の被熱物19を加熱する。フ
アン24は処理室11内の雰囲気ガスを図示破断線の矢印で
示したように強制対流させ電熱ヒータ23の熱の被熱物19
への伝熱を促進させる。そして被熱物19は不活性ガス雰
囲気中にて2000℃前後まで加熱され焼結する。一方、そ
の被熱物19を冷却するに際してはシリンダ14,14,21を作
動させ蓋部材13、栓部材20を動かして第２図に示したよ
うに通気口16,22を開口させる。そしてクーラ33に冷却
水を通水すると共にフアン24を回転させ雰囲気ガスを第
２図中の破断線矢印で示したように通気間隙10に流通さ
せる。即ち、処理室11中の雰囲気ガスを通気口16から通
気間隙10に導びきクーラ33に通して冷却しこれを通気口
22を通して処理室11に循環させる。このため被熱物19は
対流によりクーラ33に熱がうばわれて短時間で冷却する
ことができる。
なお、従来の焼結炉にてこのような強制対流を実施しな
い場合には2000℃の被熱物を1500℃まで冷却するのに約
1.0時間を要していたのに対しこの実施例ではこれが0.6
時間に短縮された。また1500℃の被熱物を1000℃まで冷
却するのに同じく従来の焼結炉では1.5時間を要してい
たのがこの実施例では0.8時間に短縮された。
い場合には2000℃の被熱物を1500℃まで冷却するのに約
1.0時間を要していたのに対しこの実施例ではこれが0.6
時間に短縮された。また1500℃の被熱物を1000℃まで冷
却するのに同じく従来の焼結炉では1.5時間を要してい
たのがこの実施例では0.8時間に短縮された。
［発明の効果］ 以上実施例について説明したように本発明の焼結炉は、
断熱壁よりなる処理室の対称位置の少なくとも２個所に
開閉可能な通気口を設け、処理室内のフアンにより雰囲
気ガスを冷却時にはクーラが設けられた通気間隙に循環
できるようにしたので冷却時間が大幅に短縮できる利点
がある。また処理室内のフアンは、被熱物との伝熱効率
を改善して均熱性を向上させると共に、加熱と冷却に共
用できるので装置全体がコンパクトであると共に割安に
製作できるなど種々の利点がある。
断熱壁よりなる処理室の対称位置の少なくとも２個所に
開閉可能な通気口を設け、処理室内のフアンにより雰囲
気ガスを冷却時にはクーラが設けられた通気間隙に循環
できるようにしたので冷却時間が大幅に短縮できる利点
がある。また処理室内のフアンは、被熱物との伝熱効率
を改善して均熱性を向上させると共に、加熱と冷却に共
用できるので装置全体がコンパクトであると共に割安に
製作できるなど種々の利点がある。
図面は本発明の一実施例を示したもので、第１図は焼結
炉の縦断面図、第２図はその作用状態を示した縦断面図
である。 １……圧力容器、10……通気間隙、11……処理室、16,2
2……通気口、13……蓋部材、20……栓部材、23……電
熱ヒータ、24……フアン、33……クーラ。
炉の縦断面図、第２図はその作用状態を示した縦断面図
である。 １……圧力容器、10……通気間隙、11……処理室、16,2
2……通気口、13……蓋部材、20……栓部材、23……電
熱ヒータ、24……フアン、33……クーラ。
Claims (1)
- 【請求項１】気圧をコントロールできるようにした圧力
容器と、該圧力容器の内面との間に通気間隙が存するよ
うに該圧力容器内に断熱壁によって形成された処理室
と、該処理室内に被熱物を囲うように設けられた電熱ヒ
ータと、該処理室に設けたファンと、前記通気間隙のガ
ス循環路に設けた冷却手段とを具備し、前記処理室はそ
の対称位置の少なくとも２個所に開閉可能な通気口を設
け、前記ファンの作動により通気口の開時には処理室内
のガスを前記通気間隙まで循環させ、通気口の閉時には
処理室内でのみガスが循環するようにしたことを特徴と
する焼結炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60272048A JPH0697140B2 (ja) | 1985-12-03 | 1985-12-03 | 焼結炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60272048A JPH0697140B2 (ja) | 1985-12-03 | 1985-12-03 | 焼結炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62131188A JPS62131188A (ja) | 1987-06-13 |
| JPH0697140B2 true JPH0697140B2 (ja) | 1994-11-30 |
Family
ID=17508381
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60272048A Expired - Fee Related JPH0697140B2 (ja) | 1985-12-03 | 1985-12-03 | 焼結炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0697140B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009264691A (ja) * | 2008-04-28 | 2009-11-12 | Ulvac Japan Ltd | 熱処理装置、インライン式熱処理装置及び被処理物の製造方法 |
| EP2144026B1 (de) * | 2008-06-20 | 2016-04-13 | Volker Probst | Prozessvorrichtung und verfahren zum prozessieren von gestapelten prozessgütern |
| CN102308174B (zh) | 2008-11-28 | 2015-08-05 | 福尔克尔·普洛波斯特 | 生产半导体层和由单质硒和/或单质硫处理的涂层衬底特别是平面衬底的方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6255529U (ja) * | 1985-09-26 | 1987-04-06 |
-
1985
- 1985-12-03 JP JP60272048A patent/JPH0697140B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62131188A (ja) | 1987-06-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5914712B2 (ja) | ガス・プレツシヤ−・ボンデイング、ホツト・イソスタテイツク・プレツシング及び類似用途用の装置 | |
| US3198503A (en) | Furnace | |
| JPH05230528A (ja) | 真空炉におけるガス循環冷却促進法 | |
| JPH0697140B2 (ja) | 焼結炉 | |
| CN110158021A (zh) | 一种渗碳设备以及渗碳方法 | |
| US4280807A (en) | Autoclave furnace with cooling system | |
| JPH07208876A (ja) | 真空炉 | |
| JPH06105155B2 (ja) | 焼結用被熱物容器 | |
| US4702696A (en) | High temperature vacuum furnace | |
| JP3196305B2 (ja) | 真空炉 | |
| JPS5987032A (ja) | 加工品処理装置 | |
| JPH0453927B2 (ja) | ||
| JPH0488120A (ja) | 真空炉の雰囲気加熱方法 | |
| JP2572017B2 (ja) | マツフル炉における処理物の冷却方法 | |
| JPH1183338A (ja) | 熱間等方圧加圧装置 | |
| JPH05157461A (ja) | 加熱炉 | |
| JP2000111261A (ja) | 熱処理炉 | |
| JPH0599572A (ja) | 連続式真空炉 | |
| CN217275482U (zh) | 一种带内罐式气氛保护均质炉 | |
| JPS63149314A (ja) | 熱処理炉 | |
| JP7338818B2 (ja) | 熱処理炉 | |
| JPS64557Y2 (ja) | ||
| JP2000171171A (ja) | 熱処理炉 | |
| JPH0646139B2 (ja) | 焼結炉 | |
| JPH0816590B2 (ja) | 真空焼結炉 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |