JPH0696247B2 - 基板分割装置 - Google Patents
基板分割装置Info
- Publication number
- JPH0696247B2 JPH0696247B2 JP30947488A JP30947488A JPH0696247B2 JP H0696247 B2 JPH0696247 B2 JP H0696247B2 JP 30947488 A JP30947488 A JP 30947488A JP 30947488 A JP30947488 A JP 30947488A JP H0696247 B2 JPH0696247 B2 JP H0696247B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- divided
- dividing device
- divided blocks
- dividing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、ガラス板，セラミック板，シリコンウエハー
等の脆性材料、あるいは、これらの張り合わせ構造の物
を分割する基板分割装置に関するものである。
等の脆性材料、あるいは、これらの張り合わせ構造の物
を分割する基板分割装置に関するものである。
従来の技術 従来この種の基板分割方法としては、例えば第４図に示
すような手作業によって行われていた。
すような手作業によって行われていた。
発明が解決しようとする課題 従来の方法では、作業者の熟練の度合により力の作用点
及び分割力が一定しないため特に長い基板の分割に際し
ては、第５図に示すようにいわゆる斜め割れを起こしや
すく、さらにその分割面が汚く、飛散する分割粉などに
よる作業安全性及び生産性が悪いという課題があった。
及び分割力が一定しないため特に長い基板の分割に際し
ては、第５図に示すようにいわゆる斜め割れを起こしや
すく、さらにその分割面が汚く、飛散する分割粉などに
よる作業安全性及び生産性が悪いという課題があった。
本発明は、このような従来の課題を解決し、きれいな切
断図、しかも安全で精度の良い基板分割ができ、生産性
も向上する基板分割装置を提供することを目的とする。
断図、しかも安全で精度の良い基板分割ができ、生産性
も向上する基板分割装置を提供することを目的とする。
課題を解決するための手段 そして上記課題を解決する本発明の技術的手段は、テー
ブル上にのせられた基板を複数個に分けられた分割ブロ
ックを分割ヘッドにそれぞれの分割ブロックの下端部に
僅かずつの段差を持たせて取付け、かつこれらの分割ブ
ロックの加圧力は、それぞれの分割ブロックに取付けら
れたシリンダーと減圧弁によって調整可能に取付け、分
割しようとする基板の端より順次分割ブロックが基板に
当たるように分割ヘッドを下降させて基板をブレークラ
インにそって分割させる構成としたものである。
ブル上にのせられた基板を複数個に分けられた分割ブロ
ックを分割ヘッドにそれぞれの分割ブロックの下端部に
僅かずつの段差を持たせて取付け、かつこれらの分割ブ
ロックの加圧力は、それぞれの分割ブロックに取付けら
れたシリンダーと減圧弁によって調整可能に取付け、分
割しようとする基板の端より順次分割ブロックが基板に
当たるように分割ヘッドを下降させて基板をブレークラ
インにそって分割させる構成としたものである。
作用 この複数個の分割ブロックをその先端が僅かに段差を有
する構成にすることによって、基板を分割するに必要な
加圧力を基板の割れの伝播にしたがって基板の端より順
に当たっていくため、長い基板も無理なく容易に分割す
ることができる。
する構成にすることによって、基板を分割するに必要な
加圧力を基板の割れの伝播にしたがって基板の端より順
に当たっていくため、長い基板も無理なく容易に分割す
ることができる。
また分割ブロックの加圧力は、それぞれのシリンダーと
減圧弁により基板の位置や材質によって変えることがで
きる。
減圧弁により基板の位置や材質によって変えることがで
きる。
実施例 以下本発明の一実施例について、図面第１図〜第３図を
参照しながら説明する。第１図は、本発明の実施例にお
ける基板分割装置の構造図を示すものである。複数の分
割ブロック１は、先端に硬質ゴム２を有し、加圧時に基
板表面に傷がつかないようにしてあり、第２図，第３図
に示すように先端に僅かの段差を持っている。これは第
１図のストッパー３によって調整される。この段差の大
きさは、分割しようとする基板11により決定される。こ
の分割ブロック１の幅ａは数十ミリから数ミリの長さ
で、分割ヘッド４にお互い密着して多数個並べられてお
り、分割ブロック全体の幅l2は基板11の幅l1より長くし
てある。分割ブロック１は分割ヘッド４に固定されてい
るシリンダー５により加圧され、さらに減圧弁６で各々
加圧力が設定されるようになっており、分割する基板11
により最適な加圧力を決めることができる。分割ヘッド
４は第２図に示すようにクランク９により粱８、スライ
ドシャフト７を介して上下動しクランク９はモータ10に
より回転する。
参照しながら説明する。第１図は、本発明の実施例にお
ける基板分割装置の構造図を示すものである。複数の分
割ブロック１は、先端に硬質ゴム２を有し、加圧時に基
板表面に傷がつかないようにしてあり、第２図，第３図
に示すように先端に僅かの段差を持っている。これは第
１図のストッパー３によって調整される。この段差の大
きさは、分割しようとする基板11により決定される。こ
の分割ブロック１の幅ａは数十ミリから数ミリの長さ
で、分割ヘッド４にお互い密着して多数個並べられてお
り、分割ブロック全体の幅l2は基板11の幅l1より長くし
てある。分割ブロック１は分割ヘッド４に固定されてい
るシリンダー５により加圧され、さらに減圧弁６で各々
加圧力が設定されるようになっており、分割する基板11
により最適な加圧力を決めることができる。分割ヘッド
４は第２図に示すようにクランク９により粱８、スライ
ドシャフト７を介して上下動しクランク９はモータ10に
より回転する。
この際モータ10の回転数により上下スピード、すなわ
ち、分割スピードを任意に選ぶことができる。基板11
は、テーブル12に位置決めされており、ボールネジ13な
どにより任意の位置へ移動できる。
ち、分割スピードを任意に選ぶことができる。基板11
は、テーブル12に位置決めされており、ボールネジ13な
どにより任意の位置へ移動できる。
以上のように構成された基板分割装置の動作について説
明する。
明する。
第１図において基板11は、ブレイクライン14を下にして
テーブル12に位置決めされ固定されている。分割ヘッド
４が第２図のモータ10の動力により下降して基板11に分
割ブロック１が当たるとシリンダー５の加圧力により基
板11が分割される。その際、第３図に示すように多数個
並べられた分割ブロック１は、その先端に僅かの段差を
有しているため、基板11の端より順に当たっていくこと
になり、長い基板も無理なく容易に分割できる。
テーブル12に位置決めされ固定されている。分割ヘッド
４が第２図のモータ10の動力により下降して基板11に分
割ブロック１が当たるとシリンダー５の加圧力により基
板11が分割される。その際、第３図に示すように多数個
並べられた分割ブロック１は、その先端に僅かの段差を
有しているため、基板11の端より順に当たっていくこと
になり、長い基板も無理なく容易に分割できる。
また、基板11の端あるいは中央部などで加圧力の違いが
必要な場合は、シリンダー５の設定圧を変更することで
無理な加圧力を加えることがなくきれいな割れを得るこ
とができる。
必要な場合は、シリンダー５の設定圧を変更することで
無理な加圧力を加えることがなくきれいな割れを得るこ
とができる。
発明の効果 以上のように本発明は複数個の分割ブロックを有し、こ
れらの最下端部を僅かずつ段差を持たせて取付け、か
つ、これらの分割ブロックの加圧力はそれぞれの分割ブ
ロックに取付けたシリンダーと減圧弁によって調整可能
に取付けることにより、基板の分割がそのブレイクライ
ンに沿って正確に、また基板の特性によって任意に条件
設定でき、従来作業者の熟練に頼っていた分割作業が最
適の条件下で行えるようになり生産性の向上，歩留まり
の向上を計る基板分割装置を実現できるものである。
れらの最下端部を僅かずつ段差を持たせて取付け、か
つ、これらの分割ブロックの加圧力はそれぞれの分割ブ
ロックに取付けたシリンダーと減圧弁によって調整可能
に取付けることにより、基板の分割がそのブレイクライ
ンに沿って正確に、また基板の特性によって任意に条件
設定でき、従来作業者の熟練に頼っていた分割作業が最
適の条件下で行えるようになり生産性の向上，歩留まり
の向上を計る基板分割装置を実現できるものである。
第１図は本発明の一実施例における基板分割装置の構造
を示す側面断面図、第２図はその正面図、第３図はその
分割時の割れの進行の様子を示す原理図、第４図は従来
例の作業者による分割例を示す説明図、第５図は従来例
による斜め割れの状態を示す斜視図である。 １……分割ブロック、２……硬質ゴム、３……ストッパ
ー、４……分割ヘッド、５……シリンダー、６……減圧
弁、７……スライドシャフト、８……粱、９……クラン
ク、10……モータ、11……基板、12……テーブル、13…
…ホールネジ、14……ブレークライン。
を示す側面断面図、第２図はその正面図、第３図はその
分割時の割れの進行の様子を示す原理図、第４図は従来
例の作業者による分割例を示す説明図、第５図は従来例
による斜め割れの状態を示す斜視図である。 １……分割ブロック、２……硬質ゴム、３……ストッパ
ー、４……分割ヘッド、５……シリンダー、６……減圧
弁、７……スライドシャフト、８……粱、９……クラン
ク、10……モータ、11……基板、12……テーブル、13…
…ホールネジ、14……ブレークライン。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 谷野 隆 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 谷崎 利男 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (56)参考文献 実公 昭46−19110（ＪＰ，Ｙ１)
Claims (1)
- 【請求項１】テーブル上にのせられブレークラインを形
成した基板上に複数個に分けられた分割ブロックを配置
し、これらの分割ブロックをそれぞれの最下端部の位置
を僅かずつ段差を持たせて分割ヘッドに取付け、これら
の分割ブロックにはそれぞれ独立にその先端部の加圧力
を調整可能とする上記分割ヘッドに取付けられたシリン
ダーと減圧弁を設け、基板の端より順次分割ブロックを
下降させて基板のブレークラインに沿って基板を分割す
るように構成した基板分割装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30947488A JPH0696247B2 (ja) | 1988-12-07 | 1988-12-07 | 基板分割装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30947488A JPH0696247B2 (ja) | 1988-12-07 | 1988-12-07 | 基板分割装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02155610A JPH02155610A (ja) | 1990-06-14 |
| JPH0696247B2 true JPH0696247B2 (ja) | 1994-11-30 |
Family
ID=17993423
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30947488A Expired - Lifetime JPH0696247B2 (ja) | 1988-12-07 | 1988-12-07 | 基板分割装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0696247B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000025030A (ja) * | 1998-07-10 | 2000-01-25 | Sumitomo Electric Ind Ltd | セラミックス基板及びその製造方法 |
| CN103568073A (zh) * | 2012-07-18 | 2014-02-12 | 三星钻石工业股份有限公司 | 脆性材料基板的裂断装置 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103347828B (zh) * | 2011-02-09 | 2016-06-01 | 旭硝子株式会社 | 玻璃板的切断方法及玻璃板的切断装置 |
| JP6085384B2 (ja) * | 2016-03-23 | 2017-02-22 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 脆性材料基板のブレイク装置 |
-
1988
- 1988-12-07 JP JP30947488A patent/JPH0696247B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000025030A (ja) * | 1998-07-10 | 2000-01-25 | Sumitomo Electric Ind Ltd | セラミックス基板及びその製造方法 |
| CN103568073A (zh) * | 2012-07-18 | 2014-02-12 | 三星钻石工业股份有限公司 | 脆性材料基板的裂断装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02155610A (ja) | 1990-06-14 |
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