JPH0694267A - クリーンルームの温湿度制御装置 - Google Patents
クリーンルームの温湿度制御装置Info
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- JPH0694267A JPH0694267A JP4265563A JP26556392A JPH0694267A JP H0694267 A JPH0694267 A JP H0694267A JP 4265563 A JP4265563 A JP 4265563A JP 26556392 A JP26556392 A JP 26556392A JP H0694267 A JPH0694267 A JP H0694267A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 最大要求熱量分を複数の冷凍機に分割し、要
求される熱量に応じて必要台数を並列運転し、これによ
るオーバー分は流量調節弁で調整することで、バッファ
を用いることなく空調設備の冷熱源／温熱源を形成でき
るようにする。 【構成】 熱負荷１９の要求に応じた数の並列運転が可
能な複数のチラー冷凍機１４ａ〜１４ｇ、これら冷凍機
の送水動力源として前記冷凍機の各々に対応させて設け
られると共に稼働対象の冷凍機に同調して運転が行われ
るポンプ１５ａ〜１５ｇの各々を設けると共に、熱負荷
１９に供給されるチラー冷凍機１４ａ〜１４ｇの出力水
の流量を流量調節弁１７によって調節する。
求される熱量に応じて必要台数を並列運転し、これによ
るオーバー分は流量調節弁で調整することで、バッファ
を用いることなく空調設備の冷熱源／温熱源を形成でき
るようにする。 【構成】 熱負荷１９の要求に応じた数の並列運転が可
能な複数のチラー冷凍機１４ａ〜１４ｇ、これら冷凍機
の送水動力源として前記冷凍機の各々に対応させて設け
られると共に稼働対象の冷凍機に同調して運転が行われ
るポンプ１５ａ〜１５ｇの各々を設けると共に、熱負荷
１９に供給されるチラー冷凍機１４ａ〜１４ｇの出力水
の流量を流量調節弁１７によって調節する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、熱負荷の冷熱源、温熱
源となる冷凍機を最小の構成にするためのクリーンルー
ムの温湿度制御装置に関するものである。
源となる冷凍機を最小の構成にするためのクリーンルー
ムの温湿度制御装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】クリーンルームにあっては、外気を空調
設備によって所望の温度及び湿度に空調した空気をフィ
ルタを介してクリーンルーム内に供給している。空調設
備は、取り込んだ空気に接触するようにして通路内に配
設されるコイル、加湿用の純水供給ノズル、クリーンル
ームに空調空気を供給するためのファンなどから構成さ
れている。
設備によって所望の温度及び湿度に空調した空気をフィ
ルタを介してクリーンルーム内に供給している。空調設
備は、取り込んだ空気に接触するようにして通路内に配
設されるコイル、加湿用の純水供給ノズル、クリーンル
ームに空調空気を供給するためのファンなどから構成さ
れている。
【０００３】図２は従来のクリーンルームの温湿度制御
装置の主要部の構成を示す系統図である。
装置の主要部の構成を示す系統図である。
【０００４】冷凍機１は大型のチラー冷凍機（とくにチ
ラー冷凍機に限定されるものではなく、冷水、温水の両
方が取り出せる機構を有する冷凍機であればよい）であ
り、その出側には貯水槽２に導かれた配管３が接続され
ている。貯水槽２には冷水４が満たされ、出水を行うた
めの配管５が配設され、その途中にポンプ６が挿入され
ている。配管５にはコイル７が接続され、その出側には
配管９の一端が連結されている。コイル７は、外調機
（または内調機）内の通風路８内に蛇行配設され、熱交
換を容易にしている。配管９の他端は、水１１の満たさ
れた貯水槽１０に導かれている。貯水槽１０と冷凍機１
の間には出水を行うための配管１２が配設され、その途
中に圧送を行うためのポンプ１３が設けられている。
ラー冷凍機に限定されるものではなく、冷水、温水の両
方が取り出せる機構を有する冷凍機であればよい）であ
り、その出側には貯水槽２に導かれた配管３が接続され
ている。貯水槽２には冷水４が満たされ、出水を行うた
めの配管５が配設され、その途中にポンプ６が挿入され
ている。配管５にはコイル７が接続され、その出側には
配管９の一端が連結されている。コイル７は、外調機
（または内調機）内の通風路８内に蛇行配設され、熱交
換を容易にしている。配管９の他端は、水１１の満たさ
れた貯水槽１０に導かれている。貯水槽１０と冷凍機１
の間には出水を行うための配管１２が配設され、その途
中に圧送を行うためのポンプ１３が設けられている。
【０００５】このような構成の温湿度制御装置にあって
は、例えば、冷水系の場合、コイル７から排出される熱
交換後の水は、一旦バッファである貯水槽１０に溜めら
れ、必要量がポンプ１３によって冷凍機１へ戻される。
冷凍機１は供給された水を冷水にし、配管３を介して貯
水槽２に供給され、ここで貯水される。負荷状況に応じ
て貯水槽２からポンプ６によって冷水が汲み上げられ、
配管５を介してコイル７に供給が行われ、外気との間で
熱交換が行われる。この熱交換の後コイル７の出力水
は、配管９を介して貯水槽１０に戻され、この後、上記
した動作が繰り返される。
は、例えば、冷水系の場合、コイル７から排出される熱
交換後の水は、一旦バッファである貯水槽１０に溜めら
れ、必要量がポンプ１３によって冷凍機１へ戻される。
冷凍機１は供給された水を冷水にし、配管３を介して貯
水槽２に供給され、ここで貯水される。負荷状況に応じ
て貯水槽２からポンプ６によって冷水が汲み上げられ、
配管５を介してコイル７に供給が行われ、外気との間で
熱交換が行われる。この熱交換の後コイル７の出力水
は、配管９を介して貯水槽１０に戻され、この後、上記
した動作が繰り返される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記した従来
技術にあっては、冷凍機に大容量のものを用い、そのオ
ン／オフ動作で運転を行っているため、インターバルが
大きい。また、熱負荷の変動を吸収するためのバッファ
に貯水槽を用いているため、大きな設置スペースを必要
とすると共に建設費が膨大になるという問題がある。
技術にあっては、冷凍機に大容量のものを用い、そのオ
ン／オフ動作で運転を行っているため、インターバルが
大きい。また、熱負荷の変動を吸収するためのバッファ
に貯水槽を用いているため、大きな設置スペースを必要
とすると共に建設費が膨大になるという問題がある。
【０００７】本発明の目的は、バッファを用いることな
く空調設備の冷熱源／温熱源を形成できるようにしたク
リーンルームの温湿度制御装置を提供することにある。
く空調設備の冷熱源／温熱源を形成できるようにしたク
リーンルームの温湿度制御装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、この発明は、熱負荷の要求に応じた数の並列運転
が可能な複数の冷凍機と、該冷凍機の送水動力源として
前記冷凍機の各々に対応させて設けられると共に稼働対
象の冷凍機に同調して運転が行われる複数のポンプと、
前記熱負荷に供給される前記冷凍機の出力水の流量を調
節する流量調節弁とを設けるようにしている。
めに、この発明は、熱負荷の要求に応じた数の並列運転
が可能な複数の冷凍機と、該冷凍機の送水動力源として
前記冷凍機の各々に対応させて設けられると共に稼働対
象の冷凍機に同調して運転が行われる複数のポンプと、
前記熱負荷に供給される前記冷凍機の出力水の流量を調
節する流量調節弁とを設けるようにしている。
【０００９】また、台数の切り替え付近における冷凍機
の稼働／停止の頻繁な動作を防止するために、前記熱負
荷に対するバイパス系を設け、このバイパス系を前記冷
凍機の台数切り替え付近の熱量供給時に開路するように
している。
の稼働／停止の頻繁な動作を防止するために、前記熱負
荷に対するバイパス系を設け、このバイパス系を前記冷
凍機の台数切り替え付近の熱量供給時に開路するように
している。
【００１０】
【作用】上記した手段によれば、最大要求熱量分を複数
の冷凍機に分割し、要求される熱量に応じて必要台数を
並列運転し、これによるオーバー分は流量調節弁で調節
する。これにより、従来必要とした貯水槽が不要にな
り、小スペース化及びイニシャルコストの低減が可能に
なる。
の冷凍機に分割し、要求される熱量に応じて必要台数を
並列運転し、これによるオーバー分は流量調節弁で調節
する。これにより、従来必要とした貯水槽が不要にな
り、小スペース化及びイニシャルコストの低減が可能に
なる。
【００１１】また、熱負荷に対して並列に接続されたバ
イパス系は、前記冷凍機の台数切替え付近の熱量供給時
に開路させることで、冷凍機の稼働／停止の頻繁な動作
を防止することができる。
イパス系は、前記冷凍機の台数切替え付近の熱量供給時
に開路させることで、冷凍機の稼働／停止の頻繁な動作
を防止することができる。
【００１２】
【実施例】図１は本発明によるクリーンルームの温湿度
制御装置を示す系統図である。
制御装置を示す系統図である。
【００１３】本発明においては、必要とする冷凍能力の
総和（例えば、５００ＨＰ）が複数の冷凍機（ここで
は、各機が１００ＨＰの容量を有するチラー冷凍機１４
ａ〜１４ｅの５台）の総和となるようにし、この冷凍機
に１対１に対応させて同数のポンプ１５ａ〜１５ｅを設
けている。そして、チラー冷凍機１４ａ〜１４ｅ→配管
１６→流量調節弁１７→配管１８→熱負荷１９→配管２
０→ポンプ１５ａ〜１５ｅ→チラー冷凍機１４ａ〜１４
ｅの順路で循環系を形成している。さらに本発明では、
流量調節弁１７と配管２０の間にバイパス配管２１を接
続している。
総和（例えば、５００ＨＰ）が複数の冷凍機（ここで
は、各機が１００ＨＰの容量を有するチラー冷凍機１４
ａ〜１４ｅの５台）の総和となるようにし、この冷凍機
に１対１に対応させて同数のポンプ１５ａ〜１５ｅを設
けている。そして、チラー冷凍機１４ａ〜１４ｅ→配管
１６→流量調節弁１７→配管１８→熱負荷１９→配管２
０→ポンプ１５ａ〜１５ｅ→チラー冷凍機１４ａ〜１４
ｅの順路で循環系を形成している。さらに本発明では、
流量調節弁１７と配管２０の間にバイパス配管２１を接
続している。
【００１４】ここで、流量調節弁１７はポンプ１５ａ〜
１５ｅからの冷水を必要に応じてバイパス配管２１へバ
イパスさせるために用いられる。また、熱負荷１９は、
図２に示したコイル７及び通風路８を含んで構成される
外調機又は内調機である。
１５ｅからの冷水を必要に応じてバイパス配管２１へバ
イパスさせるために用いられる。また、熱負荷１９は、
図２に示したコイル７及び通風路８を含んで構成される
外調機又は内調機である。
【００１５】以上の構成において、熱負荷１９が例えば
２４０ＨＰを必要とする場合、チラー冷凍機１４ｄ，１
４ｅの２台及びポンプ１５ｄ，１５ｅを稼働させ、配管
１６、流量調節弁１７を介して熱負荷１９に冷水を供給
する。熱交換の済んだ温水は配管２０を介してポンプ１
５ｄ，１５ｅに戻し、このポンプ１５ｄ，１５ｅにより
チラー冷凍機１４ｄ，１４ｅへ圧送する。
２４０ＨＰを必要とする場合、チラー冷凍機１４ｄ，１
４ｅの２台及びポンプ１５ｄ，１５ｅを稼働させ、配管
１６、流量調節弁１７を介して熱負荷１９に冷水を供給
する。熱交換の済んだ温水は配管２０を介してポンプ１
５ｄ，１５ｅに戻し、このポンプ１５ｄ，１５ｅにより
チラー冷凍機１４ｄ，１４ｅへ圧送する。
【００１６】このとき、熱負荷１９の必要とする容量が
１８０ＨＰであったとすると、フル稼働しているチラー
冷凍機１４ｄ，１４ｅの２台では大き過ぎることにな
る。そこで、このような場合には流量調節弁１７を絞っ
て流量Ｖ1を制限する。
１８０ＨＰであったとすると、フル稼働しているチラー
冷凍機１４ｄ，１４ｅの２台では大き過ぎることにな
る。そこで、このような場合には流量調節弁１７を絞っ
て流量Ｖ1を制限する。
【００１７】また、熱負荷１９の必要とする容量が２１
０ＨＰになったとすると、２台のチラー冷凍機では容量
が不足することになる。この場合には、チラー冷凍機１
４ｃ及びポンプ１５ｃをオンにし、稼働台数を３台にす
る。しかし、３台をフル稼働した場合の容量は３００Ｈ
Ｐであり、要求値に対してオーバーになる。そこで、流
量調節弁１７を絞って必要な容量になるように調節す
る。
０ＨＰになったとすると、２台のチラー冷凍機では容量
が不足することになる。この場合には、チラー冷凍機１
４ｃ及びポンプ１５ｃをオンにし、稼働台数を３台にす
る。しかし、３台をフル稼働した場合の容量は３００Ｈ
Ｐであり、要求値に対してオーバーになる。そこで、流
量調節弁１７を絞って必要な容量になるように調節す
る。
【００１８】さらに、熱負荷１９の必要とする容量がチ
ラー冷凍機１４ａ〜１４ｅの稼働台数の容量に近似、例
えば、熱負荷１９の必要量が２０１ＨＰであったとする
と、２台分（２００ＨＰ）＋１ＨＰとなり、３台目がオ
ン／オフを頻繁に繰り返す（ハンチング現象）恐れがあ
る。そこで、バイパス配管２１に９９ＨＰ分を流量Ｖ2
としてバイパスさせて冷凍機を３台稼働させれば、冷凍
機の発停回数を低減することができる。
ラー冷凍機１４ａ〜１４ｅの稼働台数の容量に近似、例
えば、熱負荷１９の必要量が２０１ＨＰであったとする
と、２台分（２００ＨＰ）＋１ＨＰとなり、３台目がオ
ン／オフを頻繁に繰り返す（ハンチング現象）恐れがあ
る。そこで、バイパス配管２１に９９ＨＰ分を流量Ｖ2
としてバイパスさせて冷凍機を３台稼働させれば、冷凍
機の発停回数を低減することができる。
【００１９】この場合、チラー冷凍機１４ａ〜１４ｅの
他に、小容量（例えば、２０〜３０ＨＰ）の冷凍機を１
台加え、これを切替え台数付近の要求容量のときに運転
するようにしてもよい。
他に、小容量（例えば、２０〜３０ＨＰ）の冷凍機を１
台加え、これを切替え台数付近の要求容量のときに運転
するようにしてもよい。
【００２０】次に、チラー冷凍機１４ａ〜１４ｅの切替
えを行う場合、例えば、チラー冷凍機１４ｄ，１４ｅに
加えてチラー冷凍機１４ｃを追加稼働した場合、２００
ＨＰから３００ＨＰに容量が一挙にアップする。このよ
うな現象は、循環系に過激なショックを与えると共に、
空調設備の温湿度値に大きな変動（乱調）を生じさせる
ことになる。
えを行う場合、例えば、チラー冷凍機１４ｄ，１４ｅに
加えてチラー冷凍機１４ｃを追加稼働した場合、２００
ＨＰから３００ＨＰに容量が一挙にアップする。このよ
うな現象は、循環系に過激なショックを与えると共に、
空調設備の温湿度値に大きな変動（乱調）を生じさせる
ことになる。
【００２１】そこで、本発明においては、冷凍機の切替
えの際、流量調節弁１７を介してバイパス配管２１に配
管１６からの水の一部をバイパスさせる。このとき、最
初にバイパス量を多くしておき、時間の経過とともにバ
イパス量を少なくし、最後にバイパスを閉じる。このよ
うな切替えを行うことにより、チラー冷凍機側の流量増
加が段階的（すなわちデジタル的）に行われるのに対
し、熱負荷１９側の流量増加はアナログ的に漸増し、急
激な変動が防止される。
えの際、流量調節弁１７を介してバイパス配管２１に配
管１６からの水の一部をバイパスさせる。このとき、最
初にバイパス量を多くしておき、時間の経過とともにバ
イパス量を少なくし、最後にバイパスを閉じる。このよ
うな切替えを行うことにより、チラー冷凍機側の流量増
加が段階的（すなわちデジタル的）に行われるのに対
し、熱負荷１９側の流量増加はアナログ的に漸増し、急
激な変動が防止される。
【００２２】
【発明の効果】本発明は上記の通り構成されているの
で、次に記載する効果を奏する。
で、次に記載する効果を奏する。
【００２３】請求項１記載のクリーンルームの温湿度制
御装置においては、熱負荷の要求に応じた数の並列運転
が可能な複数の冷凍機と、該冷凍機の送水動力源として
前記冷凍機の各々に対応させて設けられると共に稼働対
象の冷凍機に同調して運転が行われる複数のポンプと、
前記熱負荷に供給される前記冷凍機の出力水の流量を調
節する流量調節弁とを設けるようにしたので、小スペー
ス化及びイニシャルコストの低減が可能になる。
御装置においては、熱負荷の要求に応じた数の並列運転
が可能な複数の冷凍機と、該冷凍機の送水動力源として
前記冷凍機の各々に対応させて設けられると共に稼働対
象の冷凍機に同調して運転が行われる複数のポンプと、
前記熱負荷に供給される前記冷凍機の出力水の流量を調
節する流量調節弁とを設けるようにしたので、小スペー
ス化及びイニシャルコストの低減が可能になる。
【００２４】請求項２記載のクリーンルームの温湿度制
御装置においては、前記熱負荷に対するバイパス系を設
け、このバイパス系を前記冷凍機の台数切替え付近の熱
量供給時に開路するようにしたので、台数の切替え付近
における冷凍機の稼働／停止の頻繁な動作を防止するこ
とが可能になる。
御装置においては、前記熱負荷に対するバイパス系を設
け、このバイパス系を前記冷凍機の台数切替え付近の熱
量供給時に開路するようにしたので、台数の切替え付近
における冷凍機の稼働／停止の頻繁な動作を防止するこ
とが可能になる。
【図１】本発明によるクリーンルームの温湿度制御装置
を示す系統図である。
を示す系統図である。
【図２】従来の温湿度制御装置の主要部の構成を示す系
統図である。
統図である。
１４ａ〜１４ｇ チラー冷凍機 １５ａ〜１５ｇ ポンプ １６ 配管 １７ 流量調節弁 １８ 配管 １９ 熱負荷 ２０ 配管 ２１ バイパス配管
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 土山 博志 千葉県富津市新富20−１ 新日本製鐵株式 会社技術開発本部内 (72)発明者 川上 寛明 千葉県富津市新富20−１ 新日本製鐵株式 会社技術開発本部内 (72)発明者 伏見 光雅 千葉県富津市新富20−１ 新日本製鐵株式 会社技術開発本部内 (72)発明者 中島 英二 東京都千代田区神田駿河台４−６ 株式会 社日立製作所内 (72)発明者 小西 俊一 東京都千代田区内神田１−１−14 日立プ ラント建設株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 熱負荷の要求に応じた数の並列運転が可
能な複数の冷凍機と、該冷凍機の送水動力源として前記
冷凍機の各々に対応させて設けられると共に稼働対象の
冷凍機に同調して運転が行われる複数のポンプと、前記
熱負荷に供給される前記冷凍機の出力水の流量を調節す
る流量調節弁とを具備することを特徴とするクリーンル
ームの温湿度制御装置。 - 【請求項２】 前記熱負荷に対するバイパス系を設け、
このバイパス系を前記冷凍機の台数切替え付近の熱量供
給時に開路することを特徴とする請求項１記載のクリー
ンルームの温湿度制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4265563A JP2686697B2 (ja) | 1992-09-09 | 1992-09-09 | クリーンルームの温湿度制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4265563A JP2686697B2 (ja) | 1992-09-09 | 1992-09-09 | クリーンルームの温湿度制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0694267A true JPH0694267A (ja) | 1994-04-05 |
| JP2686697B2 JP2686697B2 (ja) | 1997-12-08 |
Family
ID=17418854
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4265563A Expired - Fee Related JP2686697B2 (ja) | 1992-09-09 | 1992-09-09 | クリーンルームの温湿度制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2686697B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103486693A (zh) * | 2013-09-25 | 2014-01-01 | 广州大学 | 一种中央空调冷冻水系统的节能控制方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58104826U (ja) * | 1982-01-13 | 1983-07-16 | 株式会社東芝 | 空気調和装置 |
| JPH01219434A (ja) * | 1988-02-26 | 1989-09-01 | Takenaka Komuten Co Ltd | ビル空調システム |
| JPH0289940A (ja) * | 1988-09-22 | 1990-03-29 | Takenaka Komuten Co Ltd | 冷媒自然循環式冷房システム |
| JPH0464027U (ja) * | 1990-10-15 | 1992-06-01 | ||
| JPH04198647A (ja) * | 1990-11-29 | 1992-07-20 | Shimizu Corp | 空調用熱源機器の制御システム |
-
1992
- 1992-09-09 JP JP4265563A patent/JP2686697B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58104826U (ja) * | 1982-01-13 | 1983-07-16 | 株式会社東芝 | 空気調和装置 |
| JPH01219434A (ja) * | 1988-02-26 | 1989-09-01 | Takenaka Komuten Co Ltd | ビル空調システム |
| JPH0289940A (ja) * | 1988-09-22 | 1990-03-29 | Takenaka Komuten Co Ltd | 冷媒自然循環式冷房システム |
| JPH0464027U (ja) * | 1990-10-15 | 1992-06-01 | ||
| JPH04198647A (ja) * | 1990-11-29 | 1992-07-20 | Shimizu Corp | 空調用熱源機器の制御システム |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103486693A (zh) * | 2013-09-25 | 2014-01-01 | 广州大学 | 一种中央空调冷冻水系统的节能控制方法 |
| CN103486693B (zh) * | 2013-09-25 | 2015-09-09 | 广州大学 | 一种中央空调冷冻水系统的节能控制方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2686697B2 (ja) | 1997-12-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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