JPH0688788A - 洗浄装置 - Google Patents
洗浄装置Info
- Publication number
- JPH0688788A JPH0688788A JP23792292A JP23792292A JPH0688788A JP H0688788 A JPH0688788 A JP H0688788A JP 23792292 A JP23792292 A JP 23792292A JP 23792292 A JP23792292 A JP 23792292A JP H0688788 A JPH0688788 A JP H0688788A
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- JP
- Japan
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- cleaning
- washing
- unit
- evaluation
- fluorescence
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- Withdrawn
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/22—Secondary treatment of printed circuits
- H05K3/26—Cleaning or polishing of the conductive pattern
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】洗浄装置内部に評価部を設けることにより、洗
浄装置の洗浄度評価を行うと共に洗浄対象物の再洗浄の
是非を判断し、実行させて製品の信頼性向上に貢献す
る。 【構成】洗浄装置の洗浄部１の後に評価部２を設ける。
評価部２では光照射によって被洗浄基板上の有機物残滓
から生ずる蛍光量をモニターすることにより、洗浄装置
の洗浄能力および基板表面の清浄度評価を行う。データ
処理部３で洗浄不良と判断された基板は選別部７から再
洗浄経路８を経て再び洗浄部１へ送られる。
浄装置の洗浄度評価を行うと共に洗浄対象物の再洗浄の
是非を判断し、実行させて製品の信頼性向上に貢献す
る。 【構成】洗浄装置の洗浄部１の後に評価部２を設ける。
評価部２では光照射によって被洗浄基板上の有機物残滓
から生ずる蛍光量をモニターすることにより、洗浄装置
の洗浄能力および基板表面の清浄度評価を行う。データ
処理部３で洗浄不良と判断された基板は選別部７から再
洗浄経路８を経て再び洗浄部１へ送られる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は洗浄装置に関し、特にプ
リント基板等の電子部品や金属部品上の汚れを除去する
洗浄装置に関する。
リント基板等の電子部品や金属部品上の汚れを除去する
洗浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、プリント基板をはじめとする電子
部品等の洗浄に用いる各種洗浄装置は、あらかじめ設定
された洗浄工程を終えると洗浄部品を洗浄部から次の工
程へ送り出す。その際、洗浄工程内での洗浄部品の清浄
度をモニターする洗浄度評価手段は設けられていない。
部品等の洗浄に用いる各種洗浄装置は、あらかじめ設定
された洗浄工程を終えると洗浄部品を洗浄部から次の工
程へ送り出す。その際、洗浄工程内での洗浄部品の清浄
度をモニターする洗浄度評価手段は設けられていない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで洗浄工程にお
ける被洗浄部品の清浄度は、製品の歩留りや信頼性に影
響を及ぼす。従来の洗浄装置は洗浄部のみを有してお
り、評価部があっても洗浄部と一体化されていないた
め、洗浄機能の変化（劣化）を事前に認知することが困
難であり、洗浄条件の最適化も即時には行えない。さら
に、清浄度と製品の信頼性に関する基礎データの蓄積も
行われていない。また、洗浄工程において洗浄不良品の
逐次選定、除去および再洗浄が行えない。さらに、評価
部は安価、操作が容易、高感度かつ瞬時評価が可能であ
るものが望ましいが、これらの機能を満たすものは得ら
れていない。
ける被洗浄部品の清浄度は、製品の歩留りや信頼性に影
響を及ぼす。従来の洗浄装置は洗浄部のみを有してお
り、評価部があっても洗浄部と一体化されていないた
め、洗浄機能の変化（劣化）を事前に認知することが困
難であり、洗浄条件の最適化も即時には行えない。さら
に、清浄度と製品の信頼性に関する基礎データの蓄積も
行われていない。また、洗浄工程において洗浄不良品の
逐次選定、除去および再洗浄が行えない。さらに、評価
部は安価、操作が容易、高感度かつ瞬時評価が可能であ
るものが望ましいが、これらの機能を満たすものは得ら
れていない。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の洗浄装置は、被
洗浄部品に対して可視、紫外領域の励起光を照射し、そ
の結果表面の汚れから生じる蛍光の光量モニターを遂行
する評価部を洗浄部に具備したことにより、洗浄部品表
面の清浄度、洗浄装置の洗浄能力および洗浄条件の良否
等を評価する機能を有している。さらに上記評価部にお
いて、洗浄不良品の選別機能および再洗浄経路を設ける
ことにより、一定の清浄度に達しない被洗浄部品は自動
的に再洗浄工程に送り込まれる。
洗浄部品に対して可視、紫外領域の励起光を照射し、そ
の結果表面の汚れから生じる蛍光の光量モニターを遂行
する評価部を洗浄部に具備したことにより、洗浄部品表
面の清浄度、洗浄装置の洗浄能力および洗浄条件の良否
等を評価する機能を有している。さらに上記評価部にお
いて、洗浄不良品の選別機能および再洗浄経路を設ける
ことにより、一定の清浄度に達しない被洗浄部品は自動
的に再洗浄工程に送り込まれる。
【０００５】
【作用】本発明は光を検出することによる評価手段を備
えているため、発光性の有機物残滓に対する検出感度が
極めて高い。観測された蛍光強度は汚れの度合に換算す
ることが可能であり、洗浄残滓物の定量評価が行えると
共にこの定量評価データを保存、蓄積することにより、
洗浄装置そのものの洗浄機能および製品の信頼性に関す
る知見を得ることができる。さらに、これらの知見等を
基準にした洗浄不良品選別機能の設定およびそれに伴う
再洗浄工程の稼働により、各種洗浄対象物の正常度に関
して信頼性の高い洗浄を行うことができる。
えているため、発光性の有機物残滓に対する検出感度が
極めて高い。観測された蛍光強度は汚れの度合に換算す
ることが可能であり、洗浄残滓物の定量評価が行えると
共にこの定量評価データを保存、蓄積することにより、
洗浄装置そのものの洗浄機能および製品の信頼性に関す
る知見を得ることができる。さらに、これらの知見等を
基準にした洗浄不良品選別機能の設定およびそれに伴う
再洗浄工程の稼働により、各種洗浄対象物の正常度に関
して信頼性の高い洗浄を行うことができる。
【０００６】
【実施例】以下、図面を参照して本発明を詳細に説明す
る。図１は本発明の実施例１の洗浄装置のブロック図で
ある。図１において、本実施例の洗浄装置は、洗浄部１
と評価部２とデータ処理部３とから構成されている。図
２は評価部２の構成図である。図２において、光源９か
ら発する可視、紫外領域の励起光４は、レーザ等の単色
光である方がよいが、白色光をバンドパスフィルター６
で波長選択したものでもよい。検出器５は、バンドパス
フィルター６により選択された光を検出するためのもの
であり、光電子増倍管、ＣＣＤ等の検出器を使用する。
評価部２はその他に遮光板１１、ダイクロイックミラー
１２、励起光カットフィルター１３等から構成されてい
る。
る。図１は本発明の実施例１の洗浄装置のブロック図で
ある。図１において、本実施例の洗浄装置は、洗浄部１
と評価部２とデータ処理部３とから構成されている。図
２は評価部２の構成図である。図２において、光源９か
ら発する可視、紫外領域の励起光４は、レーザ等の単色
光である方がよいが、白色光をバンドパスフィルター６
で波長選択したものでもよい。検出器５は、バンドパス
フィルター６により選択された光を検出するためのもの
であり、光電子増倍管、ＣＣＤ等の検出器を使用する。
評価部２はその他に遮光板１１、ダイクロイックミラー
１２、励起光カットフィルター１３等から構成されてい
る。
【０００７】本実施例は、洗浄部１により洗浄工程を経
た洗浄サンプルである基板１０に対し、評価部２におい
てその一部または全体に励起光４を照射する。励起光照
射により洗浄残滓から生ずる蛍光を検出器５でモニター
する。そして、バックグラウンドに対する光の増加量か
ら清浄度の定量評価を行う。データ処理部３において各
々の洗浄サンプルに対する蛍光量と不良品発生との相関
データを保存、蓄積することにより、製品の信頼性に関
する知見が得られると共に洗浄条件および評価基準の最
適化が可能となる。さらに洗浄装置の洗浄機能に関する
知見も得られ、洗浄剤等の消耗品の交換も適切に行うこ
とができる。
た洗浄サンプルである基板１０に対し、評価部２におい
てその一部または全体に励起光４を照射する。励起光照
射により洗浄残滓から生ずる蛍光を検出器５でモニター
する。そして、バックグラウンドに対する光の増加量か
ら清浄度の定量評価を行う。データ処理部３において各
々の洗浄サンプルに対する蛍光量と不良品発生との相関
データを保存、蓄積することにより、製品の信頼性に関
する知見が得られると共に洗浄条件および評価基準の最
適化が可能となる。さらに洗浄装置の洗浄機能に関する
知見も得られ、洗浄剤等の消耗品の交換も適切に行うこ
とができる。
【０００８】図３は本発明の実施例２を示す図で、再洗
浄工程を有する洗浄装置のブロック図である。図１の構
成に加え、選別部７および再洗浄経路８を具備してお
り、データ処理部３で洗浄不良と判断された基板１０
は、選別部７で選択回収され再洗浄経路８を通って再洗
浄工程へ導かれる。
浄工程を有する洗浄装置のブロック図である。図１の構
成に加え、選別部７および再洗浄経路８を具備してお
り、データ処理部３で洗浄不良と判断された基板１０
は、選別部７で選択回収され再洗浄経路８を通って再洗
浄工程へ導かれる。
【０００９】表１は、従来の洗浄装置、本発明の評
価部を設けて蓄積されたデータにより洗浄条件の最適化
を行ったもの、さらに再洗浄工程を設けたもの、によ
って洗浄されたリレー接点の接触不良部品および機工部
品のめっき不良発生率を示したものである。
価部を設けて蓄積されたデータにより洗浄条件の最適化
を行ったもの、さらに再洗浄工程を設けたもの、によ
って洗浄されたリレー接点の接触不良部品および機工部
品のめっき不良発生率を示したものである。
【００１０】
【００１１】これにより本発明は製品の信頼性向上に大
きな効果を有することがわかる。
きな効果を有することがわかる。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように本発明の洗浄装置
は、洗浄部に洗浄度評価部を設けたことによって、洗浄
装置の管理評価および洗浄対象物の清浄度の信頼性向上
に効果を有するものである。
は、洗浄部に洗浄度評価部を設けたことによって、洗浄
装置の管理評価および洗浄対象物の清浄度の信頼性向上
に効果を有するものである。
【図１】本発明の実施例１を示すブロック図である。
【図２】図１に示す評価部の構成図である。
【図３】本発明の実施例２のブロック図である。
１ 洗浄部 ２ 評価部 ３ データ処理部 ４ 励起光 ５ 検出器 ６ バンドパスフィルター ７ 選別部 ８ 再洗浄経路 ９ 光源 １０ 基板 １１ 遮光板 １２ ダイクロイックミラー １３ 励起光カットフィルター
Claims (2)
- 【請求項１】 プリント基板等の電子部品や金属部品上
の汚れを除去するための洗浄部を有する洗浄装置におい
て、洗浄後に前記洗浄部品の表面に残る汚れを検出する
ための可視、紫外領域の励起光を発する光源とこの励起
光によって前記汚れから生ずる蛍光を検知する光学系お
よび光検出器とを有する評価部と、前記蛍光の強度と前
記汚れの度合との関係をデータベースとして保存しかつ
前記洗浄部品からの蛍光強度データを蓄積するデータ処
理部とを設けたことを特徴とする洗浄装置。 - 【請求項２】 前記蛍光の強度と前記データベースとか
ら前記洗浄部品の表面に残る汚れの度合を評価すること
によって再洗浄の必要性を判断し、前記データ処理部か
らの命令により洗浄不良品の除去を行う選別部および洗
浄不良品を洗浄工程初期または途中に送り込む再洗浄経
路を具備する請求項１記載の洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23792292A JPH0688788A (ja) | 1992-09-07 | 1992-09-07 | 洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23792292A JPH0688788A (ja) | 1992-09-07 | 1992-09-07 | 洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0688788A true JPH0688788A (ja) | 1994-03-29 |
Family
ID=17022444
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23792292A Withdrawn JPH0688788A (ja) | 1992-09-07 | 1992-09-07 | 洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0688788A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08193961A (ja) * | 1994-10-13 | 1996-07-30 | Shimomura Komuten:Kk | 床面等の汚れ測定方法 |
| WO2001029539A1 (en) * | 1999-10-20 | 2001-04-26 | Massachusetts Institute Of Technology | Systems and methods for analyzing mixtures using fluorescence |
| JP2003004644A (ja) * | 2001-06-19 | 2003-01-08 | Toshiba Corp | 表面評価方法、表面処理方法およびその装置 |
| WO2009113478A1 (ja) * | 2008-03-12 | 2009-09-17 | 株式会社アルバック | 表面検査装置、表面検査方法 |
| JP2015077666A (ja) * | 2013-10-18 | 2015-04-23 | 株式会社スギノマシン | 残留物確認用付着材、およびこれを用いた洗浄後の洗浄対象物に残留する残留物の確認方法 |
| US9351797B2 (en) | 2012-10-08 | 2016-05-31 | 3M Innovative Properties Company | Wash monitor and method of use |
| US9575022B2 (en) | 2012-10-08 | 2017-02-21 | 3M Innovative Properties Company | Electronic indicator for monitoring efficacy of a cleaning cycle |
| JP2017144240A (ja) * | 2016-02-15 | 2017-08-24 | エーゲーオー エレクトロ・ゲレーテバウ ゲーエムベーハー | 洗浄方法及び洗浄装置 |
| JP2018153872A (ja) * | 2017-03-15 | 2018-10-04 | ファナック株式会社 | 洗浄工程最適化装置及び機械学習装置 |
| JP2019111637A (ja) * | 2017-12-26 | 2019-07-11 | ファナック株式会社 | 切粉除去装置及び情報処理装置 |
| CN115213131A (zh) * | 2022-07-18 | 2022-10-21 | 梨树全创科技有限公司 | 一种pcb板生产用一体化斜边成型装置及加工方法 |
-
1992
- 1992-09-07 JP JP23792292A patent/JPH0688788A/ja not_active Withdrawn
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08193961A (ja) * | 1994-10-13 | 1996-07-30 | Shimomura Komuten:Kk | 床面等の汚れ測定方法 |
| WO2001029539A1 (en) * | 1999-10-20 | 2001-04-26 | Massachusetts Institute Of Technology | Systems and methods for analyzing mixtures using fluorescence |
| US6791688B2 (en) | 1999-10-20 | 2004-09-14 | Massachusetts Institute Of Technology | Systems and methods for analyzing mixtures using fluorescense |
| JP2003004644A (ja) * | 2001-06-19 | 2003-01-08 | Toshiba Corp | 表面評価方法、表面処理方法およびその装置 |
| WO2009113478A1 (ja) * | 2008-03-12 | 2009-09-17 | 株式会社アルバック | 表面検査装置、表面検査方法 |
| US10563245B2 (en) | 2012-10-08 | 2020-02-18 | 3M Innovative Properties Company | Wash monitor and method of use |
| US9351797B2 (en) | 2012-10-08 | 2016-05-31 | 3M Innovative Properties Company | Wash monitor and method of use |
| US9575022B2 (en) | 2012-10-08 | 2017-02-21 | 3M Innovative Properties Company | Electronic indicator for monitoring efficacy of a cleaning cycle |
| US11434518B2 (en) | 2012-10-08 | 2022-09-06 | 3M Innovative Properties Company | Wash monitor and method of use |
| JP2015077666A (ja) * | 2013-10-18 | 2015-04-23 | 株式会社スギノマシン | 残留物確認用付着材、およびこれを用いた洗浄後の洗浄対象物に残留する残留物の確認方法 |
| JP2017144240A (ja) * | 2016-02-15 | 2017-08-24 | エーゲーオー エレクトロ・ゲレーテバウ ゲーエムベーハー | 洗浄方法及び洗浄装置 |
| US10754312B2 (en) | 2017-03-15 | 2020-08-25 | Fanuc Corporation | Cleaning process optimization device and machine learning device |
| JP2018153872A (ja) * | 2017-03-15 | 2018-10-04 | ファナック株式会社 | 洗浄工程最適化装置及び機械学習装置 |
| JP2019111637A (ja) * | 2017-12-26 | 2019-07-11 | ファナック株式会社 | 切粉除去装置及び情報処理装置 |
| US10962960B2 (en) | 2017-12-26 | 2021-03-30 | Fanuc Corporation | Chip removal apparatus and information processing apparatus |
| CN115213131A (zh) * | 2022-07-18 | 2022-10-21 | 梨树全创科技有限公司 | 一种pcb板生产用一体化斜边成型装置及加工方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19991130 |