JPH05118989A - 脱脂評価法および評価装置 - Google Patents
脱脂評価法および評価装置Info
- Publication number
- JPH05118989A JPH05118989A JP30553891A JP30553891A JPH05118989A JP H05118989 A JPH05118989 A JP H05118989A JP 30553891 A JP30553891 A JP 30553891A JP 30553891 A JP30553891 A JP 30553891A JP H05118989 A JPH05118989 A JP H05118989A
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- Japan
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- oil
- evaluated
- excitation light
- light
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- Pending
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- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 機構部品の簡便な脱脂評価を定量的かつ高感
度に、その場測定で行うことのできる非破壊脱脂評価法
および評価装置を提供し、洗浄工程における品質管理の
機械化を可能とする。 【構成】 機構部品１に機械油２の励起光１５を照射
し、部品表面の油から発せられた蛍光１４を、光電子増
倍管９で検出し、蛍光強度を電気信号へと変換する。励
起光１５は、その一部をハ―フミラ―８により取り出
し、励起光検出器１２によって常時モニタする。この値
と蛍光強度を対比させ、機構部品上に付着する機械油を
定量する。
度に、その場測定で行うことのできる非破壊脱脂評価法
および評価装置を提供し、洗浄工程における品質管理の
機械化を可能とする。 【構成】 機構部品１に機械油２の励起光１５を照射
し、部品表面の油から発せられた蛍光１４を、光電子増
倍管９で検出し、蛍光強度を電気信号へと変換する。励
起光１５は、その一部をハ―フミラ―８により取り出
し、励起光検出器１２によって常時モニタする。この値
と蛍光強度を対比させ、機構部品上に付着する機械油を
定量する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、機構部品の脱脂評価法
および評価装置に関する。
および評価装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来生産ラインで行われている機構部品
の脱脂評価は、経験則に基づいた感覚的判断に頼る部分
が多く、客観的な定量評価は行われていない。例えば、
トリクロロエタンによる洗浄後、機構部品にメッキが行
えるか否かを判断基準に用いたり、視覚的にとらえるこ
とができる場合には金属表面の光沢を、また手触り等も
判断基準にされている。
の脱脂評価は、経験則に基づいた感覚的判断に頼る部分
が多く、客観的な定量評価は行われていない。例えば、
トリクロロエタンによる洗浄後、機構部品にメッキが行
えるか否かを判断基準に用いたり、視覚的にとらえるこ
とができる場合には金属表面の光沢を、また手触り等も
判断基準にされている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の評価法では、洗
浄度評価の客観性に欠け、洗浄工程の管理を機械化でき
ない点で、極めて非合理的である。またトリクロロエタ
ンの使用廃止に伴い、代替洗剤の洗浄度評価を定量的に
評価する必要性が生じ、その評価法の開発も急がれてい
る。本発明は、このような従来の事情に対処してなされ
たもので、機構部品の脱脂評価を定量的かつ簡便に評価
することができる脱脂評価法および評価装置を提供する
ことを目的とする。
浄度評価の客観性に欠け、洗浄工程の管理を機械化でき
ない点で、極めて非合理的である。またトリクロロエタ
ンの使用廃止に伴い、代替洗剤の洗浄度評価を定量的に
評価する必要性が生じ、その評価法の開発も急がれてい
る。本発明は、このような従来の事情に対処してなされ
たもので、機構部品の脱脂評価を定量的かつ簡便に評価
することができる脱脂評価法および評価装置を提供する
ことを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、被評価物に油
の励起光を含むスポット光を照射し、部品から発した蛍
光を検出し、該蛍光の強度から付着油の量を定量的に評
価することを特徴とする脱脂評価法である。その方法を
実施するための装置としては、励起光を含む可視・紫外
光を発する光源と、特定波長光のみを通過させるフィル
タおよび蛍光を取り出すための励起光カットフィルタを
兼ね備え、光電子増倍管あるいはフォトダイオ―ド等の
高感度光検出器を具備するものが挙げられる。また本発
明によれば被評価物に油の励起光を含むスポット光を照
射する光源と、被評価物の表面から発した蛍光を分光す
る分光器と、該分光器により分光された蛍光を検出する
フォトダイオ―ドアレイとを備えたことを特徴とする脱
脂評価装置、および被評価物に油の励起光を含むスポッ
ト光を照射する光源と、被評価物の表面から発した蛍光
を検出するＣＣＤカメラを具備することを特徴とする脱
脂評価装置が提供される。
の励起光を含むスポット光を照射し、部品から発した蛍
光を検出し、該蛍光の強度から付着油の量を定量的に評
価することを特徴とする脱脂評価法である。その方法を
実施するための装置としては、励起光を含む可視・紫外
光を発する光源と、特定波長光のみを通過させるフィル
タおよび蛍光を取り出すための励起光カットフィルタを
兼ね備え、光電子増倍管あるいはフォトダイオ―ド等の
高感度光検出器を具備するものが挙げられる。また本発
明によれば被評価物に油の励起光を含むスポット光を照
射する光源と、被評価物の表面から発した蛍光を分光す
る分光器と、該分光器により分光された蛍光を検出する
フォトダイオ―ドアレイとを備えたことを特徴とする脱
脂評価装置、および被評価物に油の励起光を含むスポッ
ト光を照射する光源と、被評価物の表面から発した蛍光
を検出するＣＣＤカメラを具備することを特徴とする脱
脂評価装置が提供される。
【０００５】
【作用】本発明は、洗浄後の機構部品に励起光を照射
し、これによって生じる蛍光をモニタすることによっ
て、残留油の検出および定量を可能にする手法である。
検出手段に蛍光を用いることで、極めて高感度かつ高速
に、その場での非破壊的な検査が可能となり、実ライン
への導入が可能となる。また蛍光強度という物理量を測
定することによって、これまで経験的な判断に頼ってい
た洗浄度の客観的評価が可能となり、洗浄度の管理を機
械的に制御することが可能となる。検出器はその目的に
応じた物を利用することにより、様々な特徴を持たせる
ことができる。また、機構部品より生じる蛍光を分光
し、検出することにより、汚れ成分の混入が多成分系で
ある場合、汚れ成分を特定することができる。これによ
り製造工程における汚染源の特定および洗浄工程の管理
が可能となり、この情報は、逆に、製造・洗浄管理情報
としてフィ―ドバックし、品質管理の合理化が可能とな
る。さらに、視覚的に残留状態の把握が必要な場合、Ｃ
ＣＤカメラにより残留部位を確認することができるた
め、洗浄度評価が非常に容易に行える。例えば、新規部
品の洗浄試験など洗浄性評価を検討する場合、非常に簡
便な評価法となる。
し、これによって生じる蛍光をモニタすることによっ
て、残留油の検出および定量を可能にする手法である。
検出手段に蛍光を用いることで、極めて高感度かつ高速
に、その場での非破壊的な検査が可能となり、実ライン
への導入が可能となる。また蛍光強度という物理量を測
定することによって、これまで経験的な判断に頼ってい
た洗浄度の客観的評価が可能となり、洗浄度の管理を機
械的に制御することが可能となる。検出器はその目的に
応じた物を利用することにより、様々な特徴を持たせる
ことができる。また、機構部品より生じる蛍光を分光
し、検出することにより、汚れ成分の混入が多成分系で
ある場合、汚れ成分を特定することができる。これによ
り製造工程における汚染源の特定および洗浄工程の管理
が可能となり、この情報は、逆に、製造・洗浄管理情報
としてフィ―ドバックし、品質管理の合理化が可能とな
る。さらに、視覚的に残留状態の把握が必要な場合、Ｃ
ＣＤカメラにより残留部位を確認することができるた
め、洗浄度評価が非常に容易に行える。例えば、新規部
品の洗浄試験など洗浄性評価を検討する場合、非常に簡
便な評価法となる。
【０００６】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。図１は、請求項１の実施例の構成図であ
る。同図において、１は機構部品、２は機械油、３は光
源、４，６，１３はレンズ、５はバンドパスフィルタ、
７は励起光カットフィルタ、８はハ―フミラ―、９は光
電子増倍管、１０はコンピュ―タ、１１はＡＤコンバ―
タ、１２は励起光検出器、１４は蛍光、１５は励起光、
２１の破線で囲まれた部分は蛍光検出ユニットである。
図１において、光源３から発した励起光を含む光は、レ
ンズ４によって平行光束にされた後、バンドパスフィル
タ５により、油の励起特定波長域の光に変換される。こ
の光の一部を励起光モニタリングのために、ハ―フミラ
―８により入射光軸に対し垂直方向に分岐させ、レンズ
６により集光させた後、励起光検出器１２によってモニ
タされる。一方、ハ―フミラ―を通過した励起光は、機
構部品１の表面に照射され、部品表面に機械油が存在す
る場合には蛍光が生ずる。蛍光は、ハ―フミラ―８によ
って励起光入射軸に対し垂直方向に反射され、励起光カ
ットフィルタ７を通過させ励起光成分を除去する。その
後、レンズ１３によって集光させ、光電子増倍管９によ
って電気信号に変換する。蛍光強度は、光電子増倍管９
により電圧に変換された後、ＡＤコンバ―タ１１を通し
コンピュ―タ１０に取り込まれる。残留油の定量は、励
起光検出器１２によって測定された励起光強度を、同様
の経路によって電気信号として取り込み、この値と蛍光
強度を対比させ行う。
に説明する。図１は、請求項１の実施例の構成図であ
る。同図において、１は機構部品、２は機械油、３は光
源、４，６，１３はレンズ、５はバンドパスフィルタ、
７は励起光カットフィルタ、８はハ―フミラ―、９は光
電子増倍管、１０はコンピュ―タ、１１はＡＤコンバ―
タ、１２は励起光検出器、１４は蛍光、１５は励起光、
２１の破線で囲まれた部分は蛍光検出ユニットである。
図１において、光源３から発した励起光を含む光は、レ
ンズ４によって平行光束にされた後、バンドパスフィル
タ５により、油の励起特定波長域の光に変換される。こ
の光の一部を励起光モニタリングのために、ハ―フミラ
―８により入射光軸に対し垂直方向に分岐させ、レンズ
６により集光させた後、励起光検出器１２によってモニ
タされる。一方、ハ―フミラ―を通過した励起光は、機
構部品１の表面に照射され、部品表面に機械油が存在す
る場合には蛍光が生ずる。蛍光は、ハ―フミラ―８によ
って励起光入射軸に対し垂直方向に反射され、励起光カ
ットフィルタ７を通過させ励起光成分を除去する。その
後、レンズ１３によって集光させ、光電子増倍管９によ
って電気信号に変換する。蛍光強度は、光電子増倍管９
により電圧に変換された後、ＡＤコンバ―タ１１を通し
コンピュ―タ１０に取り込まれる。残留油の定量は、励
起光検出器１２によって測定された励起光強度を、同様
の経路によって電気信号として取り込み、この値と蛍光
強度を対比させ行う。
【０００７】図２は、請求項２の実施例における蛍光検
出部の部分拡大図である。ハ―フミラ―８により蛍光を
反射させ、レンズ１３によって集光させるまでの過程は
図１と同様の原理によって行う。この実施例の場合は、
検出器にフォトダイオ―ドアレイ１７を用いる点で前実
施例と異なる。集光された蛍光は、分光器１６により波
長分解された後、フォトダイオ―ドアレイ１７により検
出し、蛍光スペクトルを測定することが可能である。
出部の部分拡大図である。ハ―フミラ―８により蛍光を
反射させ、レンズ１３によって集光させるまでの過程は
図１と同様の原理によって行う。この実施例の場合は、
検出器にフォトダイオ―ドアレイ１７を用いる点で前実
施例と異なる。集光された蛍光は、分光器１６により波
長分解された後、フォトダイオ―ドアレイ１７により検
出し、蛍光スペクトルを測定することが可能である。
【０００８】図３は、請求項３の実施例における蛍光検
出部の部分拡大図である。ハ―フミラ―８により蛍光を
反射させ、レンズ１３によって集光させるまでの過程は
図１と同様の原理によって行う。この実施例の場合は、
検出器にＣＣＤカメラ１９を用いる点で前実施例と異な
る。ＣＣＤカメラ１９でとらえた映像は、モニタ２０に
撮し出され、残留油の分布を表示させることができる。
この装置の場合も、コンピュ―タ画像処理を行う事によ
って、油の分布を定量したりあるいは分布状態を強調表
示したりすることも可能である。
出部の部分拡大図である。ハ―フミラ―８により蛍光を
反射させ、レンズ１３によって集光させるまでの過程は
図１と同様の原理によって行う。この実施例の場合は、
検出器にＣＣＤカメラ１９を用いる点で前実施例と異な
る。ＣＣＤカメラ１９でとらえた映像は、モニタ２０に
撮し出され、残留油の分布を表示させることができる。
この装置の場合も、コンピュ―タ画像処理を行う事によ
って、油の分布を定量したりあるいは分布状態を強調表
示したりすることも可能である。
【０００９】図４は、励起波長４１０±１０ｎｍ，励起
光強度５０（μＷ／ｓｇ．ｉｎ）における機械油の膜厚
と蛍光強度の関係を表した図である。この図から、油の
膜厚が約１０μｍ以下の範囲では、蛍光強度が膜厚に比
例することがわかる。また、洗浄した機構部品上の約１
ｃｍ角の金属片上に、機械油が付着している様子を、上
記の実施例で詳述した装置を用い測定したデ―タをマッ
ピングして得られた画像は、油の付着量が多い場所で明
るくなり、付着量が減少するに従って暗くなる画像が得
られた。機構部品のように基板自身が無蛍光物質である
場合、膜厚約２０オングストロ―ム程度までの検出が可
能であった。
光強度５０（μＷ／ｓｇ．ｉｎ）における機械油の膜厚
と蛍光強度の関係を表した図である。この図から、油の
膜厚が約１０μｍ以下の範囲では、蛍光強度が膜厚に比
例することがわかる。また、洗浄した機構部品上の約１
ｃｍ角の金属片上に、機械油が付着している様子を、上
記の実施例で詳述した装置を用い測定したデ―タをマッ
ピングして得られた画像は、油の付着量が多い場所で明
るくなり、付着量が減少するに従って暗くなる画像が得
られた。機構部品のように基板自身が無蛍光物質である
場合、膜厚約２０オングストロ―ム程度までの検出が可
能であった。
【００１０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明を適用する
ならば、機構部品の脱脂状態を非破壊的かつ高速に、蛍
光強度なる物理量による定量評価が可能となり、従来行
われている経験的なノウハウに頼っている洗浄工程管理
の機械化による、作業能率ならびに品質管理の向上が期
待される。
ならば、機構部品の脱脂状態を非破壊的かつ高速に、蛍
光強度なる物理量による定量評価が可能となり、従来行
われている経験的なノウハウに頼っている洗浄工程管理
の機械化による、作業能率ならびに品質管理の向上が期
待される。
【図１】本発明の機構部品の評価装置の一実施例の概略
構成図である。
構成図である。
【図２】本発明の別の実施例の検出部拡大図である。
【図３】本発明の別の実施例の検出部拡大図である。
【図４】蛍光強度と機械油膜厚との関係を示す図であ
る。
る。
１ 機構部品 ２ 機械油 ３ 光源 ４，６，１３，１８ レンズ ５ バンドパスフィルタ ７ 励起光カットフィルタ ８ ハ―フミラー ９ 光電子増倍管 １０ コンピュータ １１ ＡＤコンバータ １２ 励起光検出器 １４ 蛍光 １５ 励起光 １６ 分光器 １７ フォトダイオードアレイ １９ ＣＣＤカメラ ２０ モニタ ２１ 蛍光検出ユニット
Claims (3)
- 【請求項１】 被評価物に油の励起光を含むスポット光
を照射し、部品から発した蛍光を検出し、該蛍光の強度
から付着油の量を定量的に評価することを特徴とする脱
脂評価法。 - 【請求項２】 被評価物に油の励起光を含むスポット光
を照射する光源と、被評価物の表面から発した蛍光を分
光する分光器と、該分光器により分光された蛍光を検出
するフォトダイオ―ドアレイとを備えたことを特徴とす
る脱脂評価装置。 - 【請求項３】 被評価物に油の励起光を含むスポット光
を照射する光源と、被評価物の表面から発した蛍光を検
出するＣＣＤカメラを具備することを特徴とする脱脂評
価装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30553891A JPH05118989A (ja) | 1991-10-25 | 1991-10-25 | 脱脂評価法および評価装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30553891A JPH05118989A (ja) | 1991-10-25 | 1991-10-25 | 脱脂評価法および評価装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05118989A true JPH05118989A (ja) | 1993-05-14 |
Family
ID=17946365
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30553891A Pending JPH05118989A (ja) | 1991-10-25 | 1991-10-25 | 脱脂評価法および評価装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05118989A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003075352A (ja) * | 2001-09-03 | 2003-03-12 | Hamamatsu Photonics Kk | 密封包装体の熱接着部の検査方法及び検査装置 |
| JP2011107029A (ja) * | 2009-11-19 | 2011-06-02 | Toyota Central R&D Labs Inc | 脱脂度判定装置及び方法 |
| JP2012098248A (ja) * | 2010-11-05 | 2012-05-24 | Hitachi Ltd | 脱脂判定装置及び脱脂判定方法 |
| JP2013205203A (ja) * | 2012-03-28 | 2013-10-07 | Hitachi Ltd | 脱脂状態計測装置、脱脂状態計測システム、及び、脱脂状態計測方法 |
| JP2017077538A (ja) * | 2015-10-21 | 2017-04-27 | 中国電力株式会社 | Ｐｃｂ汚染物の洗浄装置及びｐｃｂ汚染物の洗浄方法 |
| JP2017156166A (ja) * | 2016-02-29 | 2017-09-07 | 一般財団法人電力中央研究所 | 絶縁油量測定方法、ポリ塩化ビフェニル量測定方法、及びポリ塩化ビフェニル無害化判定方法 |
| JP2023026339A (ja) * | 2021-08-13 | 2023-02-24 | ザ・スウォッチ・グループ・リサーチ・アンド・ディベロップメント・リミテッド | 計時器において潤滑剤又はエピラメの存在を検査するための携行可能なモジュラーユニット |
-
1991
- 1991-10-25 JP JP30553891A patent/JPH05118989A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003075352A (ja) * | 2001-09-03 | 2003-03-12 | Hamamatsu Photonics Kk | 密封包装体の熱接着部の検査方法及び検査装置 |
| JP4630504B2 (ja) * | 2001-09-03 | 2011-02-09 | 浜松ホトニクス株式会社 | 密封包装体の熱接着部の検査方法及び検査装置 |
| JP2011107029A (ja) * | 2009-11-19 | 2011-06-02 | Toyota Central R&D Labs Inc | 脱脂度判定装置及び方法 |
| JP2012098248A (ja) * | 2010-11-05 | 2012-05-24 | Hitachi Ltd | 脱脂判定装置及び脱脂判定方法 |
| JP2013205203A (ja) * | 2012-03-28 | 2013-10-07 | Hitachi Ltd | 脱脂状態計測装置、脱脂状態計測システム、及び、脱脂状態計測方法 |
| JP2017077538A (ja) * | 2015-10-21 | 2017-04-27 | 中国電力株式会社 | Ｐｃｂ汚染物の洗浄装置及びｐｃｂ汚染物の洗浄方法 |
| JP2017156166A (ja) * | 2016-02-29 | 2017-09-07 | 一般財団法人電力中央研究所 | 絶縁油量測定方法、ポリ塩化ビフェニル量測定方法、及びポリ塩化ビフェニル無害化判定方法 |
| JP2023026339A (ja) * | 2021-08-13 | 2023-02-24 | ザ・スウォッチ・グループ・リサーチ・アンド・ディベロップメント・リミテッド | 計時器において潤滑剤又はエピラメの存在を検査するための携行可能なモジュラーユニット |
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