JP2803443B2 - 表面検査方法およびその装置 - Google Patents
表面検査方法およびその装置Info
- Publication number
- JP2803443B2 JP2803443B2 JP7216692A JP7216692A JP2803443B2 JP 2803443 B2 JP2803443 B2 JP 2803443B2 JP 7216692 A JP7216692 A JP 7216692A JP 7216692 A JP7216692 A JP 7216692A JP 2803443 B2 JP2803443 B2 JP 2803443B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- excitation light
- sample
- intensity
- fluorescence
- relay
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は接点リレー表面の清浄度
を検査する表面検査方法およびその装置に関するもので
ある。
を検査する表面検査方法およびその装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】これまで接点リレーの清浄度の評価方法
は金属顕微鏡による表面観察が一般的であり、より詳細
な表面分析はＥＰＭＡ等の機器分析によって行われてい
る。しかし表面に均一な薄膜等が存在するような場合、
落射照明による観察ではその認識能が不十分であるし、
機器分析は操作に熟練を要する。
は金属顕微鏡による表面観察が一般的であり、より詳細
な表面分析はＥＰＭＡ等の機器分析によって行われてい
る。しかし表面に均一な薄膜等が存在するような場合、
落射照明による観察ではその認識能が不十分であるし、
機器分析は操作に熟練を要する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、接点リレー
表面にはプレス工程等で使用される各種油類、人体由来
の有機物、保管時の汚染等の存在が予想されるため、有
機物の検出に対して有効な測定手法が望まれる。また、
その評価においては基板表面の有機汚染に関して十分に
定量性を有したデータが必要となる。有機物の検出に蛍
光を用いた例はこれまでにもあるが、従来の装置では励
起光強度を随時モニターを行っていないため各測定デー
タ間の比較を行うことの有意度が不十分であった。さら
に試料設置ステージの操作によって広範囲の蛍光分布測
定を行う際にも、光源のふらつき等により定量性が大き
く損なわれることがある。従来法により有機物汚染の程
度、最終的には製品の信頼性を決定する場合、定量評価
の信頼性に大きな問題があった。また、励起光照射光路
と同軸上で蛍光検出を行う場合、評価基板面の反射率お
よび平滑度が高いほど励起光反射によって生じる迷光が
増え、蛍光検出素子のＳ／Ｎ低下を招く。したがって鏡
面状の基板では蛍光の高感度検出が不可能となる。一
方、製品管理面からは生産ラインへの導入を図り易い簡
易型且つ高感度の検査装置が望まれる。本発明の目的
は、このような問題点に鑑み、接点リレー表面の清浄度
検査に有効な検査方法およびその装置を提供することに
ある。
表面にはプレス工程等で使用される各種油類、人体由来
の有機物、保管時の汚染等の存在が予想されるため、有
機物の検出に対して有効な測定手法が望まれる。また、
その評価においては基板表面の有機汚染に関して十分に
定量性を有したデータが必要となる。有機物の検出に蛍
光を用いた例はこれまでにもあるが、従来の装置では励
起光強度を随時モニターを行っていないため各測定デー
タ間の比較を行うことの有意度が不十分であった。さら
に試料設置ステージの操作によって広範囲の蛍光分布測
定を行う際にも、光源のふらつき等により定量性が大き
く損なわれることがある。従来法により有機物汚染の程
度、最終的には製品の信頼性を決定する場合、定量評価
の信頼性に大きな問題があった。また、励起光照射光路
と同軸上で蛍光検出を行う場合、評価基板面の反射率お
よび平滑度が高いほど励起光反射によって生じる迷光が
増え、蛍光検出素子のＳ／Ｎ低下を招く。したがって鏡
面状の基板では蛍光の高感度検出が不可能となる。一
方、製品管理面からは生産ラインへの導入を図り易い簡
易型且つ高感度の検査装置が望まれる。本発明の目的
は、このような問題点に鑑み、接点リレー表面の清浄度
検査に有効な検査方法およびその装置を提供することに
ある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、接点リレーの
表面の汚れを検査する方法において、リレー接点部分に
可視、紫外領域の励起光を照射し、該励起光強度および
該励起光の試料への照射領域より生じる蛍光強度を測定
することによりリレー接点表面に存在している異物の分
布状態およびその量を評価することを特徴とする表面検
査方法である。
表面の汚れを検査する方法において、リレー接点部分に
可視、紫外領域の励起光を照射し、該励起光強度および
該励起光の試料への照射領域より生じる蛍光強度を測定
することによりリレー接点表面に存在している異物の分
布状態およびその量を評価することを特徴とする表面検
査方法である。
【０００５】また、その方法を実施するための装置は、
可視、紫外領域の励起光を発する励起光源と、該励起光
源から発せられる励起光の強度モニタ用パワーメータ
と、試料を設置する試料設置用ステージと、前記励起光
の試料への照射領域から生じる特定波長の蛍光のみを透
過させる手段と、該透過光を検出するための光検出素子
とを備え、前記試料設置用ステージは、基板を上下、前
後および左右に移動させる手段を有することを特徴とす
る。ここで、本装置においては、さらに基板設置面に対
する励起光照射角を変化させる手段を備え、かつ光検出
素子が試料の励起光照射スポットに対し試料設置面鉛直
方向に配置されていることを好適とする。
可視、紫外領域の励起光を発する励起光源と、該励起光
源から発せられる励起光の強度モニタ用パワーメータ
と、試料を設置する試料設置用ステージと、前記励起光
の試料への照射領域から生じる特定波長の蛍光のみを透
過させる手段と、該透過光を検出するための光検出素子
とを備え、前記試料設置用ステージは、基板を上下、前
後および左右に移動させる手段を有することを特徴とす
る。ここで、本装置においては、さらに基板設置面に対
する励起光照射角を変化させる手段を備え、かつ光検出
素子が試料の励起光照射スポットに対し試料設置面鉛直
方向に配置されていることを好適とする。
【０００６】
【作用】上記の手段を備えた本発明においては、光を検
出する手法であるため、発光性の有機物残渣に対する検
出感度が極めて高く、励起光強度に対する蛍光強度を測
定することによって定量評価を行うことが可能である。
また、基板を上下、左右に移動させることにより有機異
物の分布状況を定量的に評価することができる。さらに
励起光投光軸と蛍光受光軸を異ならしめた場合は、試料
表面での励起光反射より生じる迷光の影響を除去するこ
とができる。
出する手法であるため、発光性の有機物残渣に対する検
出感度が極めて高く、励起光強度に対する蛍光強度を測
定することによって定量評価を行うことが可能である。
また、基板を上下、左右に移動させることにより有機異
物の分布状況を定量的に評価することができる。さらに
励起光投光軸と蛍光受光軸を異ならしめた場合は、試料
表面での励起光反射より生じる迷光の影響を除去するこ
とができる。
【０００７】
【実施例】以下、図面を参照して、本発明の実施例を詳
細に説明する。 （１）図１は、蛍光検出素子６に光電子増倍管、励起光
の投光に励起光反射蛍光透過の波長特性を有するダイク
ロイックミラー９を使用した時の装置の構成図である。
図１において、検査装置は、光源１と、バンドパスフィ
ルタ２と、励起ビームスプリッタ３と、励起光強度モニ
タ用素子４と、励起光カットフィルタ５と、蛍光検出素
子６と、試料設置用可動パルスステージ７と、制御およ
びデータ処理装置８とからなっている。
細に説明する。 （１）図１は、蛍光検出素子６に光電子増倍管、励起光
の投光に励起光反射蛍光透過の波長特性を有するダイク
ロイックミラー９を使用した時の装置の構成図である。
図１において、検査装置は、光源１と、バンドパスフィ
ルタ２と、励起ビームスプリッタ３と、励起光強度モニ
タ用素子４と、励起光カットフィルタ５と、蛍光検出素
子６と、試料設置用可動パルスステージ７と、制御およ
びデータ処理装置８とからなっている。
【０００８】光源１は、レーザ等の単色光である方がよ
いが、可視−紫外波長領域に強度を有するランプ光源を
波長選択したものであってもよい。励起光波長選択用バ
ンドパスフィルタ２は励起光源１の照射に際し、無蛍光
性の干渉フィルタを使用する。励起光カットフィルタ５
は励起光を除去し試料から生じる蛍光のみを選択するた
めのものであり、励起反射光に対して無蛍光性の干渉フ
ィルタを使用する。蛍光検出素子６は、干渉フィルタ５
により選択された光を検出するためのものであるが、こ
の検出素子６は、冷却光電子増倍管、冷却ＣＣＤ等の暗
電流低減対策を施す。励起光強度モニタ用素子４により
励起光出力の変化を随時モニタすることで、励起光出力
のふらつき、さらには光源の劣化が検知され、定量評価
に際し不可欠なデータが得られる。この励起光出力の取
り込みを蛍光検出素子６による蛍光強度の取り込み、お
よび可動パルスステージ７のステップと同期・演算させ
ることにより、各測定領域での有機異物の相対量を高い
信頼性で評価することが可能となる。
いが、可視−紫外波長領域に強度を有するランプ光源を
波長選択したものであってもよい。励起光波長選択用バ
ンドパスフィルタ２は励起光源１の照射に際し、無蛍光
性の干渉フィルタを使用する。励起光カットフィルタ５
は励起光を除去し試料から生じる蛍光のみを選択するた
めのものであり、励起反射光に対して無蛍光性の干渉フ
ィルタを使用する。蛍光検出素子６は、干渉フィルタ５
により選択された光を検出するためのものであるが、こ
の検出素子６は、冷却光電子増倍管、冷却ＣＣＤ等の暗
電流低減対策を施す。励起光強度モニタ用素子４により
励起光出力の変化を随時モニタすることで、励起光出力
のふらつき、さらには光源の劣化が検知され、定量評価
に際し不可欠なデータが得られる。この励起光出力の取
り込みを蛍光検出素子６による蛍光強度の取り込み、お
よび可動パルスステージ７のステップと同期・演算させ
ることにより、各測定領域での有機異物の相対量を高い
信頼性で評価することが可能となる。
【０００９】（２）図２は前記（１）においてダイクロ
イックミラー９を使用しない場合の測定実施例である。
ダイクロイックミラー９に代わり、入射角調整ミラー１
２によって励起光は試料１０に対し傾斜角度を有して照
射され、例えば４５度の入射角で照射される。励起光１
１の照射によって試料から生じた蛍光は励起スポットに
対して試料設置面鉛直方向から蛍光検出素子６にて検出
を行う。試料表面での反射光が通過するようにバッフル
１３を設置し、散乱光および該散乱光によって誘発され
る迷光を除去する。ミラー１２はフレキシブルアームに
取り付けられており、これにより試料照射角を調整す
る。
イックミラー９を使用しない場合の測定実施例である。
ダイクロイックミラー９に代わり、入射角調整ミラー１
２によって励起光は試料１０に対し傾斜角度を有して照
射され、例えば４５度の入射角で照射される。励起光１
１の照射によって試料から生じた蛍光は励起スポットに
対して試料設置面鉛直方向から蛍光検出素子６にて検出
を行う。試料表面での反射光が通過するようにバッフル
１３を設置し、散乱光および該散乱光によって誘発され
る迷光を除去する。ミラー１２はフレキシブルアームに
取り付けられており、これにより試料照射角を調整す
る。
【００１０】次に、この実施例の動作を説明する。ま
ず、パルスステージ７にリレー１０を設置する。次に、
励起および検出対象となる波長に適したバンドパスフィ
ルタ２および５を設置する。そして光源１からの励起光
１１をリレー接点部分に対して照射する。事前に十分に
洗浄を行ったリレー接点の蛍光強度をリファレンスとし
て評価を行う。各測定ポイントでの蛍光強度および励起
光強度をモニタしながら、可動パルスステージ７を走査
させる。検査対象であるリレー接点部分に有機異物が付
着している場合、励起光照射によって有機異物から生じ
る蛍光を検出することによりその存在を確認できる。さ
らに蛍光強度と励起光強度を演算させた値により残渣の
相対量を評価する。有機異物種が既知である場合は、そ
の分子種の量（膜厚）と蛍光強度の相関を励起光強度を
パラメータとして評価したものを基準とすることにより
有機異物の定量を行う。図３は、本装置において測定さ
れたリレー接点部分の蛍光強度分布をモノクロ濃淡表示
した一例を示す説明図である。図中、マッピング図にお
いて、白い部分はリファレンスと同レベルの蛍光強度を
示し、濃くなるにしたがって蛍光強度が増大することを
示す。
ず、パルスステージ７にリレー１０を設置する。次に、
励起および検出対象となる波長に適したバンドパスフィ
ルタ２および５を設置する。そして光源１からの励起光
１１をリレー接点部分に対して照射する。事前に十分に
洗浄を行ったリレー接点の蛍光強度をリファレンスとし
て評価を行う。各測定ポイントでの蛍光強度および励起
光強度をモニタしながら、可動パルスステージ７を走査
させる。検査対象であるリレー接点部分に有機異物が付
着している場合、励起光照射によって有機異物から生じ
る蛍光を検出することによりその存在を確認できる。さ
らに蛍光強度と励起光強度を演算させた値により残渣の
相対量を評価する。有機異物種が既知である場合は、そ
の分子種の量（膜厚）と蛍光強度の相関を励起光強度を
パラメータとして評価したものを基準とすることにより
有機異物の定量を行う。図３は、本装置において測定さ
れたリレー接点部分の蛍光強度分布をモノクロ濃淡表示
した一例を示す説明図である。図中、マッピング図にお
いて、白い部分はリファレンスと同レベルの蛍光強度を
示し、濃くなるにしたがって蛍光強度が増大することを
示す。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の表面検査
方法および装置によれば、接点リレーの表面に残存して
いる異物を高感度に検査、定量することができる。
方法および装置によれば、接点リレーの表面に残存して
いる異物を高感度に検査、定量することができる。
【図１】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図２】本発明の一実施例に使用した光学系の構成図で
ある。
ある。
【図３】本発明による蛍光強度のマッピングの一実施例
を示す図である。
を示す図である。
１ 光源 ２ 励起光バンドパスフィルタ ３ 励起ビームスプリッタ ４ 励起光強度モニタ用素子 ５ 励起光カットフィルタ ６ 蛍光検出素子 ７ 試料設置用可動パルスステージ ８ 制御およびデータ処理装置 ９ ダイクロイックミラー １０ 試料（接点リレー） １１ 励起光 １２ 入射角調整ミラー １３ バッフル
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ // Ｈ０５Ｋ 3/26 Ｈ０５Ｋ 3/26 (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01N 21/88 G01B 11/30 G01N 21/64 H01H 11/04 H01H 49/00 H05K 3/26
Claims (3)
- 【請求項１】 接点リレーの表面の汚れを検査する方法
において、リレー接点部分に可視、紫外領域の励起光を
照射し、該励起光強度および該励起光の試料への照射領
域より生じる蛍光強度を測定することによりリレー接点
表面に存在している異物の分布状態およびその量を評価
することを特徴とする表面検査方法。 - 【請求項２】 接点リレーの表面の汚れを検査する装置
において、可視、紫外領域の励起光を発する励起光源
と、該励起光源から発せられる励起光の強度モニタ用パ
ワーメータと、試料を設置する試料設置用ステージと、
前記励起光の試料への照射領域から生じる特定波長の蛍
光のみを透過させる手段と、該透過光を検出するための
光検出素子とを備え、前記試料設置用ステージは、基板
を上下、前後および左右に移動させる手段を有すること
を特徴とする表面検査装置。 - 【請求項３】 基板設置面に対する励起光照射角を変化
させる手段を有し、かつ光検出素子は試料の励起光照射
スポットに対し試料設置面鉛直方向に配置されている請
求項２記載の表面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7216692A JP2803443B2 (ja) | 1992-02-24 | 1992-02-24 | 表面検査方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7216692A JP2803443B2 (ja) | 1992-02-24 | 1992-02-24 | 表面検査方法およびその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05232042A JPH05232042A (ja) | 1993-09-07 |
| JP2803443B2 true JP2803443B2 (ja) | 1998-09-24 |
Family
ID=13481389
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7216692A Expired - Lifetime JP2803443B2 (ja) | 1992-02-24 | 1992-02-24 | 表面検査方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2803443B2 (ja) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4426080B2 (ja) * | 2000-10-11 | 2010-03-03 | 株式会社メニコン | 眼用レンズの汚れ検出方法及び装置 |
| JP4781548B2 (ja) * | 2001-03-14 | 2011-09-28 | 浜松ホトニクス株式会社 | 乳がん検出装置 |
| DE102004058565B4 (de) | 2004-10-18 | 2022-04-21 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Scanmikroskop |
| JP4956221B2 (ja) * | 2007-02-21 | 2012-06-20 | キヤノン株式会社 | 発光検出装置及び蛍光検出装置 |
| JP5323130B2 (ja) | 2011-05-26 | 2013-10-23 | 富士フイルム株式会社 | 蛍光分析装置および蛍光分析方法 |
| JP5863486B2 (ja) * | 2012-02-01 | 2016-02-16 | 株式会社トプコン | 蓄光輝度測定器 |
| JP2016080474A (ja) * | 2014-10-15 | 2016-05-16 | 東京エレクトロン株式会社 | 液滴検査装置、液滴検査方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
| JP2017181190A (ja) * | 2016-03-29 | 2017-10-05 | 東レエンジニアリング株式会社 | 付着物量の測定装置 |
| DE102016125600A1 (de) * | 2016-12-23 | 2018-06-28 | Newfrey Llc | Fügeverfahren und Fügevorrichtung |
| CN113203719A (zh) * | 2021-06-04 | 2021-08-03 | 河南柴油机重工有限责任公司 | 快速检测曲轴表面清洁度的方法 |
| CN114217095B (zh) * | 2022-02-21 | 2022-07-19 | 浙江大学杭州国际科创中心 | 一种适用于半导体缺陷定位的扫描探针显微镜 |
-
1992
- 1992-02-24 JP JP7216692A patent/JP2803443B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05232042A (ja) | 1993-09-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4866283A (en) | Optical inspection of food products | |
| EP2609418B1 (en) | Defect inspection and photoluminescence measurement system | |
| US7006212B2 (en) | Electrical circuit conductor inspection | |
| JP3290786B2 (ja) | 粒子分析装置 | |
| US20100103409A1 (en) | Method and apparatus for detecting defects | |
| JP2975476B2 (ja) | 結晶内のフォトルミネッセンス計測方法及び装置 | |
| US4802762A (en) | Optical inspection of polymer-based materials | |
| JP2803443B2 (ja) | 表面検査方法およびその装置 | |
| US4956558A (en) | System for measuring film thickness | |
| CA2466433A1 (en) | Method and apparatus for detecting and imaging the presence of biological materials | |
| US5563417A (en) | Process and apparatus for automatically characterising, optimising and checking a crack detection analysis method | |
| JP4092037B2 (ja) | 物質同定装置 | |
| JP4001653B2 (ja) | 試料からの多重チャネル応答を用いた試料の光学的検査 | |
| KR20000064554A (ko) | 표면결정결함계측방법및그장치 | |
| US11835507B2 (en) | Systems, subsystems and methods for measuring water characteristics in a water facility | |
| JPH08500432A (ja) | 音響−光学的に調和可能なフィルタを基礎とする表面走査装置及びその方法 | |
| JPH05118989A (ja) | 脱脂評価法および評価装置 | |
| JPH0434348A (ja) | シート状物検査装置 | |
| JPH0431054B2 (ja) | ||
| JP3070140B2 (ja) | 表面状態の検査方法及び検査装置 | |
| JPH06317528A (ja) | 鶏卵の鮮度判定法およびその装置 | |
| JP2009115474A (ja) | 多層膜構造観察方法及び多層膜構造観察装置 | |
| JPH0518901A (ja) | ウエーハ表面検査装置 | |
| US5926270A (en) | System and method for the remote detection of organic material in ice in situ | |
| JP3361777B2 (ja) | マスク検査方法および検査装置 |