JPH0687957A - コポリイミド、その製造方法及びその使用方法 - Google Patents
コポリイミド、その製造方法及びその使用方法Info
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 10
- -1 aromatic tri- Chemical group 0.000 claims abstract description 36
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 claims abstract description 24
- 150000004984 aromatic diamines Chemical class 0.000 claims abstract description 19
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims abstract description 16
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 11
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 claims abstract description 10
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O Ammonium Chemical group [NH4+] QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O 0.000 claims abstract description 8
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims abstract description 8
- 150000004985 diamines Chemical class 0.000 claims abstract description 6
- 150000000000 tetracarboxylic acids Chemical group 0.000 claims abstract description 6
- 150000001735 carboxylic acids Chemical class 0.000 claims abstract description 3
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims description 55
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 20
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 claims description 18
- 125000004427 diamine group Chemical group 0.000 claims description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 12
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 claims description 12
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 claims description 11
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 claims description 11
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims description 11
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 125000004433 nitrogen atom Chemical group N* 0.000 claims description 10
- XAKBSHICSHRJCL-UHFFFAOYSA-N [CH2]C(=O)C1=CC=CC=C1 Chemical group [CH2]C(=O)C1=CC=CC=C1 XAKBSHICSHRJCL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 9
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 9
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 claims description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 8
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 claims description 8
- 125000006158 tetracarboxylic acid group Chemical group 0.000 claims description 8
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 claims description 7
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 claims description 7
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 7
- 125000002507 tricarboxylic acid group Chemical group 0.000 claims description 7
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 6
- 125000001453 quaternary ammonium group Chemical group 0.000 claims description 6
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000012736 aqueous medium Substances 0.000 claims description 5
- RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N benzophenone Chemical group C=1C=CC=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1 RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 claims description 5
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N monobenzene Natural products C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims description 5
- 125000002915 carbonyl group Chemical group [*:2]C([*:1])=O 0.000 claims description 4
- 125000000449 nitro group Chemical group [O-][N+](*)=O 0.000 claims description 4
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 125000002029 aromatic hydrocarbon group Chemical group 0.000 claims description 3
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 125000001309 chloro group Chemical group Cl* 0.000 claims description 3
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical group [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 125000006157 aromatic diamine group Chemical group 0.000 claims description 2
- 150000001555 benzenes Chemical class 0.000 claims description 2
- 125000002529 biphenylenyl group Chemical group C1(=CC=CC=2C3=CC=CC=C3C12)* 0.000 claims description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
- 125000004957 naphthylene group Chemical group 0.000 claims description 2
- 125000000843 phenylene group Chemical group C1(=C(C=CC=C1)*)* 0.000 claims description 2
- 125000004169 (C1-C6) alkyl group Chemical group 0.000 claims 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 125000001183 hydrocarbyl group Chemical group 0.000 claims 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims 1
- ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N Triethylamine Chemical compound CCN(CC)CC ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 9
- 230000005855 radiation Effects 0.000 abstract description 2
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 3
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 abstract 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 17
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 16
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 9
- WFDIJRYMOXRFFG-UHFFFAOYSA-N Acetic anhydride Chemical compound CC(=O)OC(C)=O WFDIJRYMOXRFFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 206010034972 Photosensitivity reaction Diseases 0.000 description 6
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 6
- 230000036211 photosensitivity Effects 0.000 description 6
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 5
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- SMNDYUVBFMFKNZ-UHFFFAOYSA-N 2-furoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CO1 SMNDYUVBFMFKNZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- UJOBWOGCFQCDNV-UHFFFAOYSA-N 9H-carbazole Chemical compound C1=CC=C2C3=CC=CC=C3NC2=C1 UJOBWOGCFQCDNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N benzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1 WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- TXCDCPKCNAJMEE-UHFFFAOYSA-N dibenzofuran Chemical compound C1=CC=C2C3=CC=CC=C3OC2=C1 TXCDCPKCNAJMEE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- IYYZUPMFVPLQIF-UHFFFAOYSA-N dibenzothiophene Chemical compound C1=CC=C2C3=CC=CC=C3SC2=C1 IYYZUPMFVPLQIF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 4
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 4
- 125000004123 n-propyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 4
- ZWLPBLYKEWSWPD-UHFFFAOYSA-N o-toluic acid Chemical compound CC1=CC=CC=C1C(O)=O ZWLPBLYKEWSWPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 4
- SNOOUWRIMMFWNE-UHFFFAOYSA-M sodium;6-[(3,4,5-trimethoxybenzoyl)amino]hexanoate Chemical compound [Na+].COC1=CC(C(=O)NCCCCCC([O-])=O)=CC(OC)=C1OC SNOOUWRIMMFWNE-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- WBYWAXJHAXSJNI-VOTSOKGWSA-M .beta-Phenylacrylic acid Natural products [O-]C(=O)\C=C\C1=CC=CC=C1 WBYWAXJHAXSJNI-VOTSOKGWSA-M 0.000 description 3
- ZYVYEJXMYBUCMN-UHFFFAOYSA-N 1-methoxy-2-methylpropane Chemical compound COCC(C)C ZYVYEJXMYBUCMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WVDDGKGOMKODPV-UHFFFAOYSA-N Benzyl alcohol Chemical compound OCC1=CC=CC=C1 WVDDGKGOMKODPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- SJRJJKPEHAURKC-UHFFFAOYSA-N N-Methylmorpholine Chemical compound CN1CCOCC1 SJRJJKPEHAURKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RWRDLPDLKQPQOW-UHFFFAOYSA-N Pyrrolidine Chemical compound C1CCNC1 RWRDLPDLKQPQOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 229930016911 cinnamic acid Natural products 0.000 description 3
- 235000013985 cinnamic acid Nutrition 0.000 description 3
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WBYWAXJHAXSJNI-UHFFFAOYSA-N methyl p-hydroxycinnamate Natural products OC(=O)C=CC1=CC=CC=C1 WBYWAXJHAXSJNI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003607 modifier Substances 0.000 description 3
- 125000004108 n-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 3
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 3
- 239000003880 polar aprotic solvent Substances 0.000 description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 3
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 description 3
- 238000007363 ring formation reaction Methods 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 3
- 125000000999 tert-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 3
- 150000003512 tertiary amines Chemical class 0.000 description 3
- 150000003628 tricarboxylic acids Chemical class 0.000 description 3
- QPFMBZIOSGYJDE-UHFFFAOYSA-N 1,1,2,2-tetrachloroethane Chemical compound ClC(Cl)C(Cl)Cl QPFMBZIOSGYJDE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OGYGFUAIIOPWQD-UHFFFAOYSA-N 1,3-thiazolidine Chemical compound C1CSCN1 OGYGFUAIIOPWQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 1,4-Dioxane Chemical compound C1COCCO1 RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LOZWAPSEEHRYPG-UHFFFAOYSA-N 1,4-dithiane Chemical compound C1CSCCS1 LOZWAPSEEHRYPG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FCEHBMOGCRZNNI-UHFFFAOYSA-N 1-benzothiophene Chemical compound C1=CC=C2SC=CC2=C1 FCEHBMOGCRZNNI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PAMIQIKDUOTOBW-UHFFFAOYSA-N 1-methylpiperidine Chemical compound CN1CCCCC1 PAMIQIKDUOTOBW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JKTCBAGSMQIFNL-UHFFFAOYSA-N 2,3-dihydrofuran Chemical compound C1CC=CO1 JKTCBAGSMQIFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N 2-methoxyethyl acetate Chemical compound COCCOC(C)=O XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WLJVXDMOQOGPHL-PPJXEINESA-N 2-phenylacetic acid Chemical compound O[14C](=O)CC1=CC=CC=C1 WLJVXDMOQOGPHL-PPJXEINESA-N 0.000 description 2
- UITKHKNFVCYWNG-UHFFFAOYSA-N 4-(3,4-dicarboxybenzoyl)phthalic acid Chemical compound C1=C(C(O)=O)C(C(=O)O)=CC=C1C(=O)C1=CC=C(C(O)=O)C(C(O)=O)=C1 UITKHKNFVCYWNG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 4-Butyrolactone Chemical compound O=C1CCCO1 YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KDCGOANMDULRCW-UHFFFAOYSA-N 7H-purine Chemical compound N1=CNC2=NC=NC2=C1 KDCGOANMDULRCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DLFVBJFMPXGRIB-UHFFFAOYSA-N Acetamide Chemical compound CC(N)=O DLFVBJFMPXGRIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005711 Benzoic acid Substances 0.000 description 2
- HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N Chloroform Chemical compound ClC(Cl)Cl HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WBYWAXJHAXSJNI-SREVYHEPSA-N Cinnamic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C1=CC=CC=C1 WBYWAXJHAXSJNI-SREVYHEPSA-N 0.000 description 2
- XTHFKEDIFFGKHM-UHFFFAOYSA-N Dimethoxyethane Chemical compound COCCOC XTHFKEDIFFGKHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical compound CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZHNUHDYFZUAESO-UHFFFAOYSA-N Formamide Chemical compound NC=O ZHNUHDYFZUAESO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SIKJAQJRHWYJAI-UHFFFAOYSA-N Indole Chemical compound C1=CC=C2NC=CC2=C1 SIKJAQJRHWYJAI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YNAVUWVOSKDBBP-UHFFFAOYSA-N Morpholine Chemical compound C1COCCN1 YNAVUWVOSKDBBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATHHXGZTWNVVOU-UHFFFAOYSA-N N-methylformamide Chemical compound CNC=O ATHHXGZTWNVVOU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PCNDJXKNXGMECE-UHFFFAOYSA-N Phenazine Natural products C1=CC=CC2=NC3=CC=CC=C3N=C21 PCNDJXKNXGMECE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GLUUGHFHXGJENI-UHFFFAOYSA-N Piperazine Chemical compound C1CNCCN1 GLUUGHFHXGJENI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NQRYJNQNLNOLGT-UHFFFAOYSA-N Piperidine Chemical compound C1CCNCC1 NQRYJNQNLNOLGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KYQCOXFCLRTKLS-UHFFFAOYSA-N Pyrazine Chemical compound C1=CN=CC=N1 KYQCOXFCLRTKLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical compound C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KAESVJOAVNADME-UHFFFAOYSA-N Pyrrole Chemical compound C=1C=CNC=1 KAESVJOAVNADME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SMWDFEZZVXVKRB-UHFFFAOYSA-N Quinoline Chemical compound N1=CC=CC2=CC=CC=C21 SMWDFEZZVXVKRB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N Thiophene Chemical compound C=1C=CSC=1 YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 2
- DZBUGLKDJFMEHC-UHFFFAOYSA-N acridine Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC=CC=C3N=C21 DZBUGLKDJFMEHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000002252 acyl group Chemical group 0.000 description 2
- 229910000288 alkali metal carbonate Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000008041 alkali metal carbonates Chemical class 0.000 description 2
- 150000008044 alkali metal hydroxides Chemical class 0.000 description 2
- 235000010233 benzoic acid Nutrition 0.000 description 2
- IOJUPLGTWVMSFF-UHFFFAOYSA-N benzothiazole Chemical compound C1=CC=C2SC=NC2=C1 IOJUPLGTWVMSFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000007942 carboxylates Chemical class 0.000 description 2
- 150000001734 carboxylic acid salts Chemical class 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 2
- MVPPADPHJFYWMZ-UHFFFAOYSA-N chlorobenzene Chemical compound ClC1=CC=CC=C1 MVPPADPHJFYWMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000008199 coating composition Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 125000000392 cycloalkenyl group Chemical group 0.000 description 2
- 125000000753 cycloalkyl group Chemical group 0.000 description 2
- ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N diphenyl Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1 ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- USIUVYZYUHIAEV-UHFFFAOYSA-N diphenyl ether Chemical compound C=1C=CC=CC=1OC1=CC=CC=C1 USIUVYZYUHIAEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- JBKVHLHDHHXQEQ-UHFFFAOYSA-N epsilon-caprolactam Chemical compound O=C1CCCCCN1 JBKVHLHDHHXQEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 2
- BEFDCLMNVWHSGT-UHFFFAOYSA-N ethenylcyclopentane Chemical compound C=CC1CCCC1 BEFDCLMNVWHSGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 2
- MTZQAGJQAFMTAQ-UHFFFAOYSA-N ethyl benzoate Chemical compound CCOC(=O)C1=CC=CC=C1 MTZQAGJQAFMTAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 125000001072 heteroaryl group Chemical group 0.000 description 2
- 125000005842 heteroatom Chemical group 0.000 description 2
- 125000004366 heterocycloalkenyl group Chemical group 0.000 description 2
- 125000000592 heterocycloalkyl group Chemical group 0.000 description 2
- PQNFLJBBNBOBRQ-UHFFFAOYSA-N indane Chemical compound C1=CC=C2CCCC2=C1 PQNFLJBBNBOBRQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AWJUIBRHMBBTKR-UHFFFAOYSA-N isoquinoline Chemical compound C1=NC=CC2=CC=CC=C21 AWJUIBRHMBBTKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 2
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N n-propyl alcohol Natural products CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LQNUZADURLCDLV-UHFFFAOYSA-N nitrobenzene Chemical compound [O-][N+](=O)C1=CC=CC=C1 LQNUZADURLCDLV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N phenol group Chemical group C1(=CC=CC=C1)O ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920005575 poly(amic acid) Polymers 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 2
- CYIDZMCFTVVTJO-UHFFFAOYSA-N pyromellitic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC(C(O)=O)=C(C(O)=O)C=C1C(O)=O CYIDZMCFTVVTJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HNJBEVLQSNELDL-UHFFFAOYSA-N pyrrolidin-2-one Chemical compound O=C1CCCN1 HNJBEVLQSNELDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000003335 secondary amines Chemical class 0.000 description 2
- 235000010199 sorbic acid Nutrition 0.000 description 2
- 239000004334 sorbic acid Substances 0.000 description 2
- 229940075582 sorbic acid Drugs 0.000 description 2
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 2
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- HHVIBTZHLRERCL-UHFFFAOYSA-N sulfonyldimethane Chemical compound CS(C)(=O)=O HHVIBTZHLRERCL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GETQZCLCWQTVFV-UHFFFAOYSA-N trimethylamine Chemical compound CN(C)C GETQZCLCWQTVFV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000006700 (C1-C6) alkylthio group Chemical group 0.000 description 1
- 125000006710 (C2-C12) alkenyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000006711 (C2-C12) alkynyl group Chemical group 0.000 description 1
- CRPTXKKKIGGDBX-UHFFFAOYSA-N (z)-but-2-ene Chemical group [CH2]C=CC CRPTXKKKIGGDBX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UOCLXMDMGBRAIB-UHFFFAOYSA-N 1,1,1-trichloroethane Chemical compound CC(Cl)(Cl)Cl UOCLXMDMGBRAIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AVQQQNCBBIEMEU-UHFFFAOYSA-N 1,1,3,3-tetramethylurea Chemical compound CN(C)C(=O)N(C)C AVQQQNCBBIEMEU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WSLDOOZREJYCGB-UHFFFAOYSA-N 1,2-Dichloroethane Chemical compound ClCCCl WSLDOOZREJYCGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CIISBYKBBMFLEZ-UHFFFAOYSA-N 1,2-oxazolidine Chemical compound C1CNOC1 CIISBYKBBMFLEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CZSRXHJVZUBEGW-UHFFFAOYSA-N 1,2-thiazolidine Chemical compound C1CNSC1 CZSRXHJVZUBEGW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BCMCBBGGLRIHSE-UHFFFAOYSA-N 1,3-benzoxazole Chemical compound C1=CC=C2OC=NC2=C1 BCMCBBGGLRIHSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WNXJIVFYUVYPPR-UHFFFAOYSA-N 1,3-dioxolane Chemical compound C1COCO1 WNXJIVFYUVYPPR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IMLSAISZLJGWPP-UHFFFAOYSA-N 1,3-dithiolane Chemical compound C1CSCS1 IMLSAISZLJGWPP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001140 1,4-phenylene group Chemical group [H]C1=C([H])C([*:2])=C([H])C([H])=C1[*:1] 0.000 description 1
- NIOYEYDJTAEDFH-UHFFFAOYSA-N 1-(2-hydroxyethoxy)-2-methylpropan-2-ol Chemical compound CC(C)(O)COCCO NIOYEYDJTAEDFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LIRNFNXOTBZTPP-UHFFFAOYSA-N 1-[2-(2-hydroxyethoxy)ethoxy]-2-methylpropan-2-ol Chemical compound CC(C)(O)COCCOCCO LIRNFNXOTBZTPP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YLHUPYSUKYAIBW-UHFFFAOYSA-N 1-acetylpyrrolidin-2-one Chemical compound CC(=O)N1CCCC1=O YLHUPYSUKYAIBW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004973 1-butenyl group Chemical group C(=CCC)* 0.000 description 1
- DURPTKYDGMDSBL-UHFFFAOYSA-N 1-butoxybutane Chemical compound CCCCOCCCC DURPTKYDGMDSBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RRQYJINTUHWNHW-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxy-2-(2-ethoxyethoxy)ethane Chemical compound CCOCCOCCOCC RRQYJINTUHWNHW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MBDUIEKYVPVZJH-UHFFFAOYSA-N 1-ethylsulfonylethane Chemical compound CCS(=O)(=O)CC MBDUIEKYVPVZJH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AVFZOVWCLRSYKC-UHFFFAOYSA-N 1-methylpyrrolidine Chemical compound CN1CCCC1 AVFZOVWCLRSYKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TZMSYXZUNZXBOL-UHFFFAOYSA-N 10H-phenoxazine Chemical compound C1=CC=C2NC3=CC=CC=C3OC2=C1 TZMSYXZUNZXBOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HYZJCKYKOHLVJF-UHFFFAOYSA-N 1H-benzimidazole Chemical compound C1=CC=C2NC=NC2=C1 HYZJCKYKOHLVJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OXBLVCZKDOZZOJ-UHFFFAOYSA-N 2,3-Dihydrothiophene Chemical compound C1CC=CS1 OXBLVCZKDOZZOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GCUDWDNUXMSUIK-UHFFFAOYSA-N 2,3-dihydro-1,2-benzoxazole Chemical compound C1=CC=C2CNOC2=C1 GCUDWDNUXMSUIK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WOHLSTOWRAOMSG-UHFFFAOYSA-N 2,3-dihydro-1,3-benzothiazole Chemical compound C1=CC=C2SCNC2=C1 WOHLSTOWRAOMSG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HRCMXYXVAWHBTH-UHFFFAOYSA-N 2,3-dihydro-1,3-benzoxazole Chemical compound C1=CC=C2OCNC2=C1 HRCMXYXVAWHBTH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OYJGEOAXBALSMM-UHFFFAOYSA-N 2,3-dihydro-1,3-thiazole Chemical compound C1NC=CS1 OYJGEOAXBALSMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YJUFGFXVASPYFQ-UHFFFAOYSA-N 2,3-dihydro-1-benzothiophene Chemical compound C1=CC=C2SCCC2=C1 YJUFGFXVASPYFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HBEDSQVIWPRPAY-UHFFFAOYSA-N 2,3-dihydrobenzofuran Chemical compound C1=CC=C2OCCC2=C1 HBEDSQVIWPRPAY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VEPOHXYIFQMVHW-XOZOLZJESA-N 2,3-dihydroxybutanedioic acid (2S,3S)-3,4-dimethyl-2-phenylmorpholine Chemical compound OC(C(O)C(O)=O)C(O)=O.C[C@H]1[C@@H](OCCN1C)c1ccccc1 VEPOHXYIFQMVHW-XOZOLZJESA-N 0.000 description 1
- IMSODMZESSGVBE-UHFFFAOYSA-N 2-Oxazoline Chemical compound C1CN=CO1 IMSODMZESSGVBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004974 2-butenyl group Chemical group C(C=CC)* 0.000 description 1
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000954 2-hydroxyethyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])O[H] 0.000 description 1
- YTTFFPATQICAQN-UHFFFAOYSA-N 2-methoxypropan-1-ol Chemical compound COC(C)CO YTTFFPATQICAQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 2-methylphenol;3-methylphenol;4-methylphenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1.CC1=CC=CC(O)=C1.CC1=CC=CC=C1O QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VSWICNJIUPRZIK-UHFFFAOYSA-N 2-piperideine Chemical compound C1CNC=CC1 VSWICNJIUPRZIK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003903 2-propenyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 1
- YEYKMVJDLWJFOA-UHFFFAOYSA-N 2-propoxyethanol Chemical compound CCCOCCO YEYKMVJDLWJFOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001494 2-propynyl group Chemical group [H]C#CC([H])([H])* 0.000 description 1
- MGADZUXDNSDTHW-UHFFFAOYSA-N 2H-pyran Chemical compound C1OC=CC=C1 MGADZUXDNSDTHW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATVJJNGVPSKBGO-UHFFFAOYSA-N 3,4-dihydro-2h-thiopyran Chemical compound C1CSC=CC1 ATVJJNGVPSKBGO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QOXOZONBQWIKDA-UHFFFAOYSA-N 3-hydroxypropyl Chemical group [CH2]CCO QOXOZONBQWIKDA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JDFDHBSESGTDAL-UHFFFAOYSA-N 3-methoxypropan-1-ol Chemical compound COCCCO JDFDHBSESGTDAL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WEQPBCSPRXFQQS-UHFFFAOYSA-N 4,5-dihydro-1,2-oxazole Chemical compound C1CC=NO1 WEQPBCSPRXFQQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GUUULVAMQJLDSY-UHFFFAOYSA-N 4,5-dihydro-1,2-thiazole Chemical compound C1CC=NS1 GUUULVAMQJLDSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SXIFAEWFOJETOA-UHFFFAOYSA-N 4-hydroxy-butyl Chemical group [CH2]CCCO SXIFAEWFOJETOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OZJPLYNZGCXSJM-UHFFFAOYSA-N 5-valerolactone Chemical compound O=C1CCCCO1 OZJPLYNZGCXSJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KSSJBGNOJJETTC-UHFFFAOYSA-N COC1=C(C=CC=C1)N(C1=CC=2C3(C4=CC(=CC=C4C=2C=C1)N(C1=CC=C(C=C1)OC)C1=C(C=CC=C1)OC)C1=CC(=CC=C1C=1C=CC(=CC=13)N(C1=CC=C(C=C1)OC)C1=C(C=CC=C1)OC)N(C1=CC=C(C=C1)OC)C1=C(C=CC=C1)OC)C1=CC=C(C=C1)OC Chemical compound COC1=C(C=CC=C1)N(C1=CC=2C3(C4=CC(=CC=C4C=2C=C1)N(C1=CC=C(C=C1)OC)C1=C(C=CC=C1)OC)C1=CC(=CC=C1C=1C=CC(=CC=13)N(C1=CC=C(C=C1)OC)C1=C(C=CC=C1)OC)N(C1=CC=C(C=C1)OC)C1=C(C=CC=C1)OC)C1=CC=C(C=C1)OC KSSJBGNOJJETTC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SNRUBQQJIBEYMU-UHFFFAOYSA-N Dodecane Natural products CCCCCCCCCCCC SNRUBQQJIBEYMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WRYCSMQKUKOKBP-UHFFFAOYSA-N Imidazolidine Chemical compound C1CNCN1 WRYCSMQKUKOKBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RJUFJBKOKNCXHH-UHFFFAOYSA-N Methyl propionate Chemical compound CCC(=O)OC RJUFJBKOKNCXHH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SUAKHGWARZSWIH-UHFFFAOYSA-N N,N‐diethylformamide Chemical compound CCN(CC)C=O SUAKHGWARZSWIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AHVYPIQETPWLSZ-UHFFFAOYSA-N N-methyl-pyrrolidine Natural products CN1CC=CC1 AHVYPIQETPWLSZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZWXPDGCFMMFNRW-UHFFFAOYSA-N N-methylcaprolactam Chemical compound CN1CCCCCC1=O ZWXPDGCFMMFNRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZCQWOFVYLHDMMC-UHFFFAOYSA-N Oxazole Chemical compound C1=COC=N1 ZCQWOFVYLHDMMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WYNCHZVNFNFDNH-UHFFFAOYSA-N Oxazolidine Chemical compound C1COCN1 WYNCHZVNFNFDNH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CZPWVGJYEJSRLH-UHFFFAOYSA-N Pyrimidine Chemical compound C1=CN=CN=C1 CZPWVGJYEJSRLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- YPWFISCTZQNZAU-UHFFFAOYSA-N Thiane Chemical compound C1CCSCC1 YPWFISCTZQNZAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FZWLAAWBMGSTSO-UHFFFAOYSA-N Thiazole Chemical compound C1=CSC=N1 FZWLAAWBMGSTSO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- GTDPSWPPOUPBNX-UHFFFAOYSA-N ac1mqpva Chemical compound CC12C(=O)OC(=O)C1(C)C1(C)C2(C)C(=O)OC1=O GTDPSWPPOUPBNX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002777 acetyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)=O 0.000 description 1
- 239000002318 adhesion promoter Substances 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 125000003158 alcohol group Chemical group 0.000 description 1
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 1
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 125000003342 alkenyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000304 alkynyl group Chemical group 0.000 description 1
- IYABWNGZIDDRAK-UHFFFAOYSA-N allene Chemical group C=C=C IYABWNGZIDDRAK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 150000003863 ammonium salts Chemical class 0.000 description 1
- 150000008064 anhydrides Chemical class 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- ZSIQJIWKELUFRJ-UHFFFAOYSA-N azepane Chemical compound C1CCCNCC1 ZSIQJIWKELUFRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- RFRXIWQYSOIBDI-UHFFFAOYSA-N benzarone Chemical compound CCC=1OC2=CC=CC=C2C=1C(=O)C1=CC=C(O)C=C1 RFRXIWQYSOIBDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MXMZCLLIUQEKSN-UHFFFAOYSA-N benzimidazoline Chemical compound C1=CC=C2NCNC2=C1 MXMZCLLIUQEKSN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000008366 benzophenones Chemical class 0.000 description 1
- 235000019445 benzyl alcohol Nutrition 0.000 description 1
- 125000002619 bicyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 235000010290 biphenyl Nutrition 0.000 description 1
- 239000004305 biphenyl Substances 0.000 description 1
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001680 brushing effect Effects 0.000 description 1
- 125000005510 but-1-en-2-yl group Chemical group 0.000 description 1
- OWBTYPJTUOEWEK-UHFFFAOYSA-N butane-2,3-diol Chemical compound CC(O)C(C)O OWBTYPJTUOEWEK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000480 butynyl group Chemical group [*]C#CC([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 1
- 229910052792 caesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003857 carboxamides Chemical class 0.000 description 1
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 1
- 150000001244 carboxylic acid anhydrides Chemical class 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 150000001805 chlorine compounds Chemical class 0.000 description 1
- VZWXIQHBIQLMPN-UHFFFAOYSA-N chromane Chemical compound C1=CC=C2CCCOC2=C1 VZWXIQHBIQLMPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QZHPTGXQGDFGEN-UHFFFAOYSA-N chromene Chemical compound C1=CC=C2C=C[CH]OC2=C1 QZHPTGXQGDFGEN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CCRCUPLGCSFEDV-UHFFFAOYSA-N cinnamic acid methyl ester Natural products COC(=O)C=CC1=CC=CC=C1 CCRCUPLGCSFEDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 229930003836 cresol Natural products 0.000 description 1
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 1
- 238000007766 curtain coating Methods 0.000 description 1
- 125000001047 cyclobutenyl group Chemical group C1(=CCC1)* 0.000 description 1
- 125000001995 cyclobutyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])(*)C1([H])[H] 0.000 description 1
- 125000001162 cycloheptenyl group Chemical group C1(=CCCCCC1)* 0.000 description 1
- 125000000582 cycloheptyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 1
- 125000000596 cyclohexenyl group Chemical group C1(=CCCCC1)* 0.000 description 1
- 125000000113 cyclohexyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 1
- 125000000522 cyclooctenyl group Chemical group C1(=CCCCCCC1)* 0.000 description 1
- 125000000640 cyclooctyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 1
- 125000002433 cyclopentenyl group Chemical group C1(=CCCC1)* 0.000 description 1
- 125000001511 cyclopentyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C1([H])[H] 0.000 description 1
- 125000000298 cyclopropenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C1([H])* 0.000 description 1
- 125000001559 cyclopropyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C1([H])* 0.000 description 1
- 125000003493 decenyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000002704 decyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000005070 decynyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C#C* 0.000 description 1
- 125000005442 diisocyanate group Chemical group 0.000 description 1
- BTVWZWFKMIUSGS-UHFFFAOYSA-N dimethylethyleneglycol Natural products CC(C)(O)CO BTVWZWFKMIUSGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 1
- 125000005066 dodecenyl group Chemical group C(=CCCCCCCCCCC)* 0.000 description 1
- 125000003438 dodecyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 125000005678 ethenylene group Chemical group [H]C([*:1])=C([H])[*:2] 0.000 description 1
- 125000001301 ethoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])O* 0.000 description 1
- 125000000219 ethylidene group Chemical group [H]C(=[*])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000002534 ethynyl group Chemical group [H]C#C* 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 239000003063 flame retardant Substances 0.000 description 1
- 239000003205 fragrance Substances 0.000 description 1
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 150000004820 halides Chemical class 0.000 description 1
- 150000008282 halocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 1
- 125000003187 heptyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 150000002391 heterocyclic compounds Chemical class 0.000 description 1
- GNOIPBMMFNIUFM-UHFFFAOYSA-N hexamethylphosphoric triamide Chemical compound CN(C)P(=O)(N(C)C)N(C)C GNOIPBMMFNIUFM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000006038 hexenyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004051 hexyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000005980 hexynyl group Chemical group 0.000 description 1
- 239000012510 hollow fiber Substances 0.000 description 1
- 125000002768 hydroxyalkyl group Chemical group 0.000 description 1
- MTNDZQHUAFNZQY-UHFFFAOYSA-N imidazoline Chemical compound C1CN=CN1 MTNDZQHUAFNZQY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- PZOUSPYUWWUPPK-UHFFFAOYSA-N indole Natural products CC1=CC=CC2=C1C=CN2 PZOUSPYUWWUPPK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RKJUIXBNRJVNHR-UHFFFAOYSA-N indolenine Natural products C1=CC=C2CC=NC2=C1 RKJUIXBNRJVNHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012442 inert solvent Substances 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000000543 intermediate Substances 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000002510 isobutoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])O* 0.000 description 1
- 125000000959 isobutyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000003253 isopropoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(O*)C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- ZLTPDFXIESTBQG-UHFFFAOYSA-N isothiazole Chemical compound C=1C=NSC=1 ZLTPDFXIESTBQG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTAPFRYPJLPFDF-UHFFFAOYSA-N isoxazole Chemical compound C=1C=NOC=1 CTAPFRYPJLPFDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 150000003951 lactams Chemical class 0.000 description 1
- 150000002596 lactones Chemical class 0.000 description 1
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004611 light stabiliser Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000006224 matting agent Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052752 metalloid Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002738 metalloids Chemical class 0.000 description 1
- 125000000956 methoxy group Chemical group [H]C([H])([H])O* 0.000 description 1
- 229940017219 methyl propionate Drugs 0.000 description 1
- CCRCUPLGCSFEDV-BQYQJAHWSA-N methyl trans-cinnamate Chemical compound COC(=O)\C=C\C1=CC=CC=C1 CCRCUPLGCSFEDV-BQYQJAHWSA-N 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002762 monocarboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 125000002950 monocyclic group Chemical group 0.000 description 1
- AJFDBNQQDYLMJN-UHFFFAOYSA-N n,n-diethylacetamide Chemical compound CCN(CC)C(C)=O AJFDBNQQDYLMJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000006606 n-butoxy group Chemical group 0.000 description 1
- 125000001280 n-hexyl group Chemical group C(CCCCC)* 0.000 description 1
- 125000000740 n-pentyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000003506 n-propoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])O* 0.000 description 1
- 125000001624 naphthyl group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000005187 nonenyl group Chemical group C(=CCCCCCCC)* 0.000 description 1
- 125000001400 nonyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000004365 octenyl group Chemical group C(=CCCCCCC)* 0.000 description 1
- 125000002347 octyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000005069 octynyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C#C* 0.000 description 1
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000002255 pentenyl group Chemical group C(=CCCC)* 0.000 description 1
- 125000001147 pentyl group Chemical group C(CCCC)* 0.000 description 1
- 125000005981 pentynyl group Chemical group 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 1
- 238000011085 pressure filtration Methods 0.000 description 1
- 150000003141 primary amines Chemical class 0.000 description 1
- 125000001501 propionyl group Chemical group O=C([*])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- USPWKWBDZOARPV-UHFFFAOYSA-N pyrazolidine Chemical compound C1CNNC1 USPWKWBDZOARPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DNXIASIHZYFFRO-UHFFFAOYSA-N pyrazoline Chemical compound C1CN=NC1 DNXIASIHZYFFRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PBMFSQRYOILNGV-UHFFFAOYSA-N pyridazine Chemical compound C1=CC=NN=C1 PBMFSQRYOILNGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N pyridine Natural products COC1=CC=CN=C1 UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000011541 reaction mixture Substances 0.000 description 1
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052701 rubidium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010944 silver (metal) Substances 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 1
- HXJUTPCZVOIRIF-UHFFFAOYSA-N sulfolane Chemical compound O=S1(=O)CCCC1 HXJUTPCZVOIRIF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003457 sulfones Chemical class 0.000 description 1
- 125000000542 sulfonic acid group Chemical group 0.000 description 1
- 150000003462 sulfoxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 125000004213 tert-butoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C(O*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- RAOIDOHSFRTOEL-UHFFFAOYSA-N tetrahydrothiophene Chemical compound C1CCSC1 RAOIDOHSFRTOEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CBDKQYKMCICBOF-UHFFFAOYSA-N thiazoline Chemical compound C1CN=CS1 CBDKQYKMCICBOF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FCFMKFHUNDYKEG-UHFFFAOYSA-N thietane 1,1-dioxide Chemical compound O=S1(=O)CCC1 FCFMKFHUNDYKEG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BRNULMACUQOKMR-UHFFFAOYSA-N thiomorpholine Chemical compound C1CSCCN1 BRNULMACUQOKMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229930192474 thiophene Natural products 0.000 description 1
- YRHRIQCWCFGUEQ-UHFFFAOYSA-N thioxanthen-9-one Chemical class C1=CC=C2C(=O)C3=CC=CC=C3SC2=C1 YRHRIQCWCFGUEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000000825 ultraviolet detection Methods 0.000 description 1
- 125000005065 undecenyl group Chemical group C(=CCCCCCCCCC)* 0.000 description 1
- 125000002948 undecyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 239000002966 varnish Substances 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 固有粘度が0.2〜3.0dl/gの芳香族
コポリアミドであって、 A)炭素数10〜30の芳香族テトラカルボン酸(a)
と炭素数6〜30の芳香族ジアミン(c)との少なくと
も1つの構造反復単位及び芳香族トリカルボン酸(c)
と芳香ジアミンの少なくとも1つの任意の構造反復単位
並びに B)(a)と同一又は異なるテトラカルボン酸と芳香族
環に−SO3 M基(MはH+ 、1〜3価金属陽イオン、
NH4 + 又は有機アンモニウムイオン)を有する芳香族
ジアミン(d)との少なくとも1つの構造反復単位及び
(c)と(d)の任意の構造反復単位。を含むコポリイ
ミド。 【効果】 該コポリアミドは、アルカリ性水溶液に可溶
であって、そのフィルムは半透膜として有機酸を有機化
合物から分離又は濃縮するのに利用でき、また光感受性
があり、保護層として、更に、レリーフ像の作成に使用
できる。
コポリアミドであって、 A)炭素数10〜30の芳香族テトラカルボン酸(a)
と炭素数6〜30の芳香族ジアミン(c)との少なくと
も1つの構造反復単位及び芳香族トリカルボン酸(c)
と芳香ジアミンの少なくとも1つの任意の構造反復単位
並びに B)(a)と同一又は異なるテトラカルボン酸と芳香族
環に−SO3 M基(MはH+ 、1〜3価金属陽イオン、
NH4 + 又は有機アンモニウムイオン)を有する芳香族
ジアミン(d)との少なくとも1つの構造反復単位及び
(c)と(d)の任意の構造反復単位。を含むコポリイ
ミド。 【効果】 該コポリアミドは、アルカリ性水溶液に可溶
であって、そのフィルムは半透膜として有機酸を有機化
合物から分離又は濃縮するのに利用でき、また光感受性
があり、保護層として、更に、レリーフ像の作成に使用
できる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、芳香族環にアルキル置
換基を有する芳香族ジアミン(1)及び塩の形態であっ
てもよいスルホン酸基を有する芳香族ジアミン(2)と
芳香族テトラカルボン酸とからなる芳香族ポリイミド並
びにその製造方法に関する。本発明は、更に、上記のコ
ポリイミドで被覆された材料並びに保護層又はレリーフ
像を作成のための、又は有機カルボン酸の塩と塩を形成
しない化合物との混合物を濃縮又は分離するための半透
膜形態での上記のコポリイミドの使用方法に関する。
換基を有する芳香族ジアミン(1)及び塩の形態であっ
てもよいスルホン酸基を有する芳香族ジアミン(2)と
芳香族テトラカルボン酸とからなる芳香族ポリイミド並
びにその製造方法に関する。本発明は、更に、上記のコ
ポリイミドで被覆された材料並びに保護層又はレリーフ
像を作成のための、又は有機カルボン酸の塩と塩を形成
しない化合物との混合物を濃縮又は分離するための半透
膜形態での上記のコポリイミドの使用方法に関する。
【0002】
【従来の技術】ベンゾフェノンテトラカルボン酸及び−
SO3 H基を含有してもよい芳香族単環又は二環ジアミ
ンからなる芳香族ポリイミドは、独国特許出願第1,9
62,588号明細書に開示されている。本ポリイミド
は、フェノール系溶剤にのみ可溶性であって、被覆組成
物の製造に用い得る。
SO3 H基を含有してもよい芳香族単環又は二環ジアミ
ンからなる芳香族ポリイミドは、独国特許出願第1,9
62,588号明細書に開示されている。本ポリイミド
は、フェノール系溶剤にのみ可溶性であって、被覆組成
物の製造に用い得る。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】欧州特許出願第0,1
32,221号、同第0,162,017号及び同第
0,181,837号各明細書には、ベンゾフェノン基
を含有するテトラカルボン酸、及びアミノ基に対してオ
ルト位置にアルキル基が置換した芳香族ジアミンとの芳
香族ポリイミド(このポリイミドは極性の非プロトン性
溶剤に可溶で、自己架橋性である)が開示されている。
これらのポリイミドは、保護層又はレリーフ像の作成に
用い得るが、しかし、現像は、環境的見地からは不利な
手法である有機溶剤中で実施しなければならない。
32,221号、同第0,162,017号及び同第
0,181,837号各明細書には、ベンゾフェノン基
を含有するテトラカルボン酸、及びアミノ基に対してオ
ルト位置にアルキル基が置換した芳香族ジアミンとの芳
香族ポリイミド(このポリイミドは極性の非プロトン性
溶剤に可溶で、自己架橋性である)が開示されている。
これらのポリイミドは、保護層又はレリーフ像の作成に
用い得るが、しかし、現像は、環境的見地からは不利な
手法である有機溶剤中で実施しなければならない。
【0004】
【課題を解決するための手段】意外にも、芳香族テトラ
カルボン酸及びトリカルボン酸又は芳香族トリカルボン
酸及び第一の芳香族ジアミン及び塩の形態で−SO3 H
基を有する第二の芳香族ジアミン(上記の第一及び/又
は上記の第二のジアミンは少なくとも1つのアミノ基に
対して両オルト位置でC1 〜C4 アルキル置換基を有す
る)との芳香族コポリイミドは、その光感受性を保持
し、極性の非プロトン性溶剤のみならず、アルカリ性水
性媒体にも可溶性である。したがって、それらは、有機
溶剤から、フィルム、半透膜及び保護層に、簡単な方法
で加工し得る。レリーフ像を作成する場合、現像はアル
カリ性水性媒体中で実施し得る。
カルボン酸及びトリカルボン酸又は芳香族トリカルボン
酸及び第一の芳香族ジアミン及び塩の形態で−SO3 H
基を有する第二の芳香族ジアミン(上記の第一及び/又
は上記の第二のジアミンは少なくとも1つのアミノ基に
対して両オルト位置でC1 〜C4 アルキル置換基を有す
る)との芳香族コポリイミドは、その光感受性を保持
し、極性の非プロトン性溶剤のみならず、アルカリ性水
性媒体にも可溶性である。したがって、それらは、有機
溶剤から、フィルム、半透膜及び保護層に、簡単な方法
で加工し得る。レリーフ像を作成する場合、現像はアル
カリ性水性媒体中で実施し得る。
【0005】その一つの態様において、本発明は、N−
メチルピロリドンに溶解したコポリイミド0.5重量%
の溶液中で、25℃で測定した固有粘度が0.2〜3.
0dl/gを有するコポリイミドであって、 A)10〜30個の炭素原子を有し、ハロゲン、ニト
ロ、C1 〜C4 アルキル、C1 〜C4 アルコキシ又はフ
ェナシルが置換又は非置換の芳香族テトラカルボン酸基
(a)と6〜30個の炭素原子を有し、C1 〜C4 アル
キル又はハロゲンが置換又は非置換の芳香族ジアミン基
(b)との少なくとも1つの構造反復単位;及び9〜3
0個の炭素原子を有し、(a)の場合と同様に置換又は
非置換の芳香族トリカルボン酸基(c)そして(b)と
同一又は異なるジアミン基の少なくとも1つの更に任意
の構造反復単位、並びに
メチルピロリドンに溶解したコポリイミド0.5重量%
の溶液中で、25℃で測定した固有粘度が0.2〜3.
0dl/gを有するコポリイミドであって、 A)10〜30個の炭素原子を有し、ハロゲン、ニト
ロ、C1 〜C4 アルキル、C1 〜C4 アルコキシ又はフ
ェナシルが置換又は非置換の芳香族テトラカルボン酸基
(a)と6〜30個の炭素原子を有し、C1 〜C4 アル
キル又はハロゲンが置換又は非置換の芳香族ジアミン基
(b)との少なくとも1つの構造反復単位;及び9〜3
0個の炭素原子を有し、(a)の場合と同様に置換又は
非置換の芳香族トリカルボン酸基(c)そして(b)と
同一又は異なるジアミン基の少なくとも1つの更に任意
の構造反復単位、並びに
【0006】B)同一又は異なるテトラカルボン酸基
(a)と6〜30個の炭素原子を有し、C1 〜C4 アル
キルが置換又は非置換であり、芳香族環に結合する少な
くとも1つの−SO3 M基(式中、MはH+ 、1〜3価
金属陽イオン、NH4 +又は1〜30個の炭素原子を有す
る有機アンモニウム陽イオンである)を含有する芳香族
ジアミン(d)との少なくとも1つの構造反復単位;並
びに同一又は異なる芳香族トリカルボン酸基(c)及び
同一又は異なるジアミン基(d)の更に任意の構造反復
単位(ただし、少なくとも1つの上記のジアミン基
(b)又は(d)は少なくとも1つの窒素原子に対して
両オルト位置でC1 〜C4 アルキルに置換されている)
を含むコポリイミドに関する。
(a)と6〜30個の炭素原子を有し、C1 〜C4 アル
キルが置換又は非置換であり、芳香族環に結合する少な
くとも1つの−SO3 M基(式中、MはH+ 、1〜3価
金属陽イオン、NH4 +又は1〜30個の炭素原子を有す
る有機アンモニウム陽イオンである)を含有する芳香族
ジアミン(d)との少なくとも1つの構造反復単位;並
びに同一又は異なる芳香族トリカルボン酸基(c)及び
同一又は異なるジアミン基(d)の更に任意の構造反復
単位(ただし、少なくとも1つの上記のジアミン基
(b)又は(d)は少なくとも1つの窒素原子に対して
両オルト位置でC1 〜C4 アルキルに置換されている)
を含むコポリイミドに関する。
【0007】好ましくは、両窒素原子の両オルト位置
は、C1 〜C4 アルキル置換基を有する。更に、ジアミ
ン基(b)又は(d)は、両窒素原子の両オルト位置に
C1 〜C4 アルキル置換基を有する。最も好ましくは、
ジアミン基(b)及び(d)は各々、両窒素原子の両オ
ルト位置にC1 〜C4 アルキル置換基を有する。C1 〜
C4 アルキルは、n−、イソ−又はtert−ブチル、
n−又はイソプロピル、好ましくはメチル又はエチルで
ある。
は、C1 〜C4 アルキル置換基を有する。更に、ジアミ
ン基(b)又は(d)は、両窒素原子の両オルト位置に
C1 〜C4 アルキル置換基を有する。最も好ましくは、
ジアミン基(b)及び(d)は各々、両窒素原子の両オ
ルト位置にC1 〜C4 アルキル置換基を有する。C1 〜
C4 アルキルは、n−、イソ−又はtert−ブチル、
n−又はイソプロピル、好ましくはメチル又はエチルで
ある。
【0008】コポリイミドは、好ましくはコポリイミド
の5〜95モル%、特に30〜95モル%、最も好まし
くは50〜95モル%の成分(a)、及び95〜5モル
%、特に70〜5モル%、最も好ましくは50〜5モル
%の成分(b)を含有する。
の5〜95モル%、特に30〜95モル%、最も好まし
くは50〜95モル%の成分(a)、及び95〜5モル
%、特に70〜5モル%、最も好ましくは50〜5モル
%の成分(b)を含有する。
【0009】コポリイミド中に存在するトリカルボン酸
基(c)の量は、酸基の60モル%まで、好ましくは3
0モル%まで、最も好ましくは10モル%までである。
好ましいコポリイミドは、テトラカルボン酸の基のみを
含有する。固有粘度は、好ましくは0.3〜2.0dl
/g、最も好ましくは0.3〜1.5dl/gである。
基(c)の量は、酸基の60モル%まで、好ましくは3
0モル%まで、最も好ましくは10モル%までである。
好ましいコポリイミドは、テトラカルボン酸の基のみを
含有する。固有粘度は、好ましくは0.3〜2.0dl
/g、最も好ましくは0.3〜1.5dl/gである。
【0010】ハロゲン置換基は、好ましくはF、Cl及
びBrである。C1 〜C4 アルキル及びC1 〜C4 アル
コキシ置換基は、代表的にはメチル、エチル、n−又は
イソプロピル、あるいはn−、イソ−又はtert−ブ
チル、メトキシ、エトキシ、n−又はイソプロポキシ、
あるいはn−、イソ−又はtert−ブトキシである。
びBrである。C1 〜C4 アルキル及びC1 〜C4 アル
コキシ置換基は、代表的にはメチル、エチル、n−又は
イソプロピル、あるいはn−、イソ−又はtert−ブ
チル、メトキシ、エトキシ、n−又はイソプロポキシ、
あるいはn−、イソ−又はtert−ブトキシである。
【0011】テトラカルボン酸基は、好ましくは10〜
24個の炭素原子、最も好ましくは10〜18個の炭素
原子を含有し、トリカルボン酸基は好ましくは9〜24
個の炭素原子、最も好ましくは9〜18個の炭素原子を
含有し、ジアミン基(b)及び(d)は好ましくは6〜
24個の炭素原子、最も好ましくは6〜18個の炭素原
子を含有する。
24個の炭素原子、最も好ましくは10〜18個の炭素
原子を含有し、トリカルボン酸基は好ましくは9〜24
個の炭素原子、最も好ましくは9〜18個の炭素原子を
含有し、ジアミン基(b)及び(d)は好ましくは6〜
24個の炭素原子、最も好ましくは6〜18個の炭素原
子を含有する。
【0012】アンモニウム陽イオンとしての−SO3 M
基におけるMは、NH4 +、あるいは好ましくは1〜24
個、最も好ましくは1〜16個の炭素原子を含有する第
一、第二又は第三開鎖状アミンのアンモニウム陽イオ
ン、又は好ましくは4〜12個の炭素原子を含有する単
環式又は二環式の第二又は第三アミン又は三環式第三ア
ミンのアンモニウム陽イオンである。
基におけるMは、NH4 +、あるいは好ましくは1〜24
個、最も好ましくは1〜16個の炭素原子を含有する第
一、第二又は第三開鎖状アミンのアンモニウム陽イオ
ン、又は好ましくは4〜12個の炭素原子を含有する単
環式又は二環式の第二又は第三アミン又は三環式第三ア
ミンのアンモニウム陽イオンである。
【0013】金属陽イオンとしてのMは、主族及び亜族
の金属、遷移金属及び貴金属の1〜3価の陽イオンであ
り得る。1価又は2価陽イオンが好ましい。金属の代表
例を以下に挙げる:Li、Na、K、Rb、Cs、M
g、Ca、Sr、Ba、In、Sn、Pb、Cu、A
g、Au、Zn、Cd、Hg、Cr、Mo、Mn、F
e、Co、Ni、Rn、Rh、Pd、Ir、Pt、S
b、Bi、並びに稀土類金属類。好ましい金属は、アル
カリ及びアルカリ土類金属、Cu、Ag、Au、Fe、
Co、Ni、Zn、Cd、及びMnである。
の金属、遷移金属及び貴金属の1〜3価の陽イオンであ
り得る。1価又は2価陽イオンが好ましい。金属の代表
例を以下に挙げる:Li、Na、K、Rb、Cs、M
g、Ca、Sr、Ba、In、Sn、Pb、Cu、A
g、Au、Zn、Cd、Hg、Cr、Mo、Mn、F
e、Co、Ni、Rn、Rh、Pd、Ir、Pt、S
b、Bi、並びに稀土類金属類。好ましい金属は、アル
カリ及びアルカリ土類金属、Cu、Ag、Au、Fe、
Co、Ni、Zn、Cd、及びMnである。
【0014】本発明の好ましい態様においては、MはH
+ 、NH4 + 、アルカリ金属、あるいは1〜24個の炭
素原子を有する第一、第二、第三又は第四アンモニウム
陽イオンである。基が誘導されるトリ及びテトラカルボ
ン酸並びにジアミンの実例は、中でも欧州特許出願第
0,132,221号、同第0,162,017号及び
同第0,181,837号各明細書に記載されている。
−SO3 M基を含有する芳香族ジアミンは、染料化学に
おいて知られており、いくつかが市販されている。
+ 、NH4 + 、アルカリ金属、あるいは1〜24個の炭
素原子を有する第一、第二、第三又は第四アンモニウム
陽イオンである。基が誘導されるトリ及びテトラカルボ
ン酸並びにジアミンの実例は、中でも欧州特許出願第
0,132,221号、同第0,162,017号及び
同第0,181,837号各明細書に記載されている。
−SO3 M基を含有する芳香族ジアミンは、染料化学に
おいて知られており、いくつかが市販されている。
【0015】本発明の好ましいコポリイミドは、以下の
ものからなる。 a)式(I)の構造単位
ものからなる。 a)式(I)の構造単位
【化13】
【0016】及び式(II)の更に任意の構造単位
【化14】
【0017】並びに、b)式(III) の構造単位
【化15】
【0018】及び式(IV)の更に任意の構造単位
【化16】
【0019】(式中、R1 及びR5 は各々独立に、6〜
20個の炭素原子を有する非置換又は置換の4価の芳香
族基であって、これにオルト又はペリ位置に2つのカル
ボニル基が結合し、R3 及びR7 は各々独立に、6〜2
0個の炭素原子を有する非置換又は置換の3価の芳香族
基であって、これにオルト又はペリ位置に2つのカルボ
ニル基が結合し、R2 及びR4 は各々独立に、C1 〜C
4 アルキル又はハロゲンが置換又は非置換の6〜20個
の炭素原子を有する2価の芳香族炭化水素基であって、
R6 及びR8 は各々独立に、C1 〜C4 アルキル又はハ
ロゲンが置換することもある、少なくとも1つの−SO
3 M基(式中、MはH+ 、1〜3価金属陽イオン、NH
4 +又は1〜30個の炭素原子を有する有機アンモニウム
陽イオンである)を含有する、6〜20個の炭素原子を
有する2価の芳香族炭化水素基である(ただし、R2 及
びR4 基及び/又はR6 及びR8 基は少なくとも1つの
窒素原子の両オルト位置でC1 〜C4 アルキルが置換さ
れている)
20個の炭素原子を有する非置換又は置換の4価の芳香
族基であって、これにオルト又はペリ位置に2つのカル
ボニル基が結合し、R3 及びR7 は各々独立に、6〜2
0個の炭素原子を有する非置換又は置換の3価の芳香族
基であって、これにオルト又はペリ位置に2つのカルボ
ニル基が結合し、R2 及びR4 は各々独立に、C1 〜C
4 アルキル又はハロゲンが置換又は非置換の6〜20個
の炭素原子を有する2価の芳香族炭化水素基であって、
R6 及びR8 は各々独立に、C1 〜C4 アルキル又はハ
ロゲンが置換することもある、少なくとも1つの−SO
3 M基(式中、MはH+ 、1〜3価金属陽イオン、NH
4 +又は1〜30個の炭素原子を有する有機アンモニウム
陽イオンである)を含有する、6〜20個の炭素原子を
有する2価の芳香族炭化水素基である(ただし、R2 及
びR4 基及び/又はR6 及びR8 基は少なくとも1つの
窒素原子の両オルト位置でC1 〜C4 アルキルが置換さ
れている)
【0020】好ましいコポリイミドは、R1 及びR5 が
各々独立に、式
各々独立に、式
【化17】
【0021】(式中、2つの接手は、互いにオルト位置
にあり、R9 は水素原子又はフェナシルであり、Y1 は
直接結合、−CH2 −、−CH(CH3 )−、−C(C
H3 )2 −、−O−、−S−、−SO−、−SO2 −、
−C(O)O−又は−NR10−であり、pは0又は1で
あり、Y2 は−CH2 −、−CH(CH3 )−、−C
(CH3 )2 −、−O−、−S−、−SO−、−SO2
−、−CO−又は−NR10−であり、R10は水素原子又
はC1 〜C6 アルキルである)
にあり、R9 は水素原子又はフェナシルであり、Y1 は
直接結合、−CH2 −、−CH(CH3 )−、−C(C
H3 )2 −、−O−、−S−、−SO−、−SO2 −、
−C(O)O−又は−NR10−であり、pは0又は1で
あり、Y2 は−CH2 −、−CH(CH3 )−、−C
(CH3 )2 −、−O−、−S−、−SO−、−SO2
−、−CO−又は−NR10−であり、R10は水素原子又
はC1 〜C6 アルキルである)
【0022】特に好ましいコポリイミドは、R1 及びR
5 が各々独立に、式
5 が各々独立に、式
【化18】
【0023】(式中、2つの接手は、互いにオルト位置
にあり、Y1 は直接結合、−CH2 −、−O−、−S−
又は−SO2 −であり、Y2 は直接結合、−O−、−S
−又は−CO−である)
にあり、Y1 は直接結合、−CH2 −、−O−、−S−
又は−SO2 −であり、Y2 は直接結合、−O−、−S
−又は−CO−である)
【0024】特に、R1 及びR5 は、ピロメリチン酸、
ベンゾフェノンテトラカルボン酸及びチオキサントンテ
トラカルボン酸の4価の基である。
ベンゾフェノンテトラカルボン酸及びチオキサントンテ
トラカルボン酸の4価の基である。
【0025】R3 及びR7 は、好ましくは各々独立に、
式
式
【化19】
【0026】(式中、2つの接手は互いにオルト位置に
あり、Y3 は直接結合、−S−、−O−、−CH2 −又
は−CO−である)
あり、Y3 は直接結合、−S−、−O−、−CH2 −又
は−CO−である)
【0027】本発明の更に好ましい態様においては、テ
トラカルボン酸基R1 及びR5 並びにトリカルボン酸基
R3 及びR7 は、ベンゾフェノン基を含有する。R2 、
R4 、R6 及びR8 基は、好ましくはフェニレン、ナフ
チレ、あるいは非架橋又は架橋ビフェニレン基である。
本発明の好ましいコポリイミドでは、R2 及びR4 は各
々独立に、式
トラカルボン酸基R1 及びR5 並びにトリカルボン酸基
R3 及びR7 は、ベンゾフェノン基を含有する。R2 、
R4 、R6 及びR8 基は、好ましくはフェニレン、ナフ
チレ、あるいは非架橋又は架橋ビフェニレン基である。
本発明の好ましいコポリイミドでは、R2 及びR4 は各
々独立に、式
【0028】
【化20】
【0029】(式中、X1 は直接結合、−CH2 −、−
(CH2 )2 −、−HC=CH−、CH3 CH=、(C
H3 )2 C=、−NR10−、−N=N−、−CO−、−
O−、−S−、−SO−又は−SO2 −であり、R10は
水素原子又はC1 〜C6 アルキルである)の塩素原子、
臭素原子又はC1 〜C4 アルキル置換基であり、
(CH2 )2 −、−HC=CH−、CH3 CH=、(C
H3 )2 C=、−NR10−、−N=N−、−CO−、−
O−、−S−、−SO−又は−SO2 −であり、R10は
水素原子又はC1 〜C6 アルキルである)の塩素原子、
臭素原子又はC1 〜C4 アルキル置換基であり、
【0030】R6 及びR8 は各々独立に、式
【化21】
【0031】(式中、X2 は独立にX1 と同じ意味を有
し、R11はC1 〜C4 アルキルであり、xは0、1、2
又は3であり、MはH+ 、NH4 +、アルカリ金属陽イオ
ン、あるいは1〜24個の炭素原子を有する第一、第
二、第三又は第四アンモニウム陽イオンである)
し、R11はC1 〜C4 アルキルであり、xは0、1、2
又は3であり、MはH+ 、NH4 +、アルカリ金属陽イオ
ン、あるいは1〜24個の炭素原子を有する第一、第
二、第三又は第四アンモニウム陽イオンである)
【0032】特に好ましいコポリイミドは、式(I)及
び(III) の構造単位を含み、そしてX1 及びX2 が各々
独立に直接結合、−CH2 −、−CH=CH−、−CO
−、−O−又は−S−を有するものである。コポリイミ
ドの特に好ましい群は、式(I)及び(III) (式中、R
1 及びR5は各々独立に、フェナシル、−NO2 −、−
Cl又は−Br、若しくは式
び(III) の構造単位を含み、そしてX1 及びX2 が各々
独立に直接結合、−CH2 −、−CH=CH−、−CO
−、−O−又は−S−を有するものである。コポリイミ
ドの特に好ましい群は、式(I)及び(III) (式中、R
1 及びR5は各々独立に、フェナシル、−NO2 −、−
Cl又は−Br、若しくは式
【0033】
【化22】
【0034】(式中、pは0又は1であり、Y2 は直接
結合、−CH2 −、−S−、−O−又は−CO−であ
る)の基に置換されることもあるベンゼン系の4価の基
を有し、少なくとも1つのアミノ基に対して両オルト位
置のR2 はメチル及び/又はエチル置換の1,3−若し
くは1,4−フェニレン、あるいはアミノ基に対して両
オルト位置がメチル及び/又はエチル置換の3,3’−
又は4,4’−ジフェニルメタンジイルであり、R6 は
式
結合、−CH2 −、−S−、−O−又は−CO−であ
る)の基に置換されることもあるベンゼン系の4価の基
を有し、少なくとも1つのアミノ基に対して両オルト位
置のR2 はメチル及び/又はエチル置換の1,3−若し
くは1,4−フェニレン、あるいはアミノ基に対して両
オルト位置がメチル及び/又はエチル置換の3,3’−
又は4,4’−ジフェニルメタンジイルであり、R6 は
式
【0035】
【化23】
【0036】(ここで、X2 は直接結合、−CH=CH
−又は−CH2 −であり、R11はメチル及び/又はエチ
ルであり、xは0、1、2又は3であり、そしてMはH
+ 、NH4 +、Li+ 、Na+ 、K+ 、Rb+ 、Cs+ 、
1〜20個の炭素原子を有する第一、第二、第三又は第
四アンモニウムである)の基である)の構造単位を包含
するものである。
−又は−CH2 −であり、R11はメチル及び/又はエチ
ルであり、xは0、1、2又は3であり、そしてMはH
+ 、NH4 +、Li+ 、Na+ 、K+ 、Rb+ 、Cs+ 、
1〜20個の炭素原子を有する第一、第二、第三又は第
四アンモニウムである)の基である)の構造単位を包含
するものである。
【0037】最も好ましいコポリイミドは、R6 が式
【化24】
【0038】(式中、MはH+ 、NH4 +、Li+ 、Na
+ 、K+ 、Rb+ 、Cs+ 、4〜20個の炭素原子を有
する第三又は第四アンモニウムである)の基であるもの
である。
+ 、K+ 、Rb+ 、Cs+ 、4〜20個の炭素原子を有
する第三又は第四アンモニウムである)の基であるもの
である。
【0039】本発明は更に、以下のものを含む A)10〜30個の炭素原子を有し、ハロゲン、ニト
ロ、C1 〜C4 アルキル、C1 〜C4 アルコキシ、又は
フェナシルで置換されることもある少なくとも1つのテ
トラカルボン酸(a’)、及び9〜30個の炭素原子を
有し、(a’)の場合と同様に置換されることもある少
なくとも1つの任意の芳香族トリカルボン酸(c’)、
又はそのポリアミド形成性誘導体を、
ロ、C1 〜C4 アルキル、C1 〜C4 アルコキシ、又は
フェナシルで置換されることもある少なくとも1つのテ
トラカルボン酸(a’)、及び9〜30個の炭素原子を
有し、(a’)の場合と同様に置換されることもある少
なくとも1つの任意の芳香族トリカルボン酸(c’)、
又はそのポリアミド形成性誘導体を、
【0040】B)6〜30個の炭素原子を有し、C1 〜
C4 アルキル又はハロゲンで置換されることもある少な
くとも1つの芳香族ジアミン(b’)、及び6〜30個
の炭素原子を有し、C1 〜C4 アルキルで置換されるこ
ともあり、芳香族環に結合する少なくとも1つの−SO
3 M基を含有する少なくとも1つの芳香族ジアミン
(d’)(ただし、少なくとも1つの上記のジアミン基
(b’)又は(d’)は少なくとも1つのアミノ基の両
オルト位置でC1 〜C4 アルキルが置換されている)で
反応及び環化すること包含する本発明のコポリイミドの
製造方法に関する。
C4 アルキル又はハロゲンで置換されることもある少な
くとも1つの芳香族ジアミン(b’)、及び6〜30個
の炭素原子を有し、C1 〜C4 アルキルで置換されるこ
ともあり、芳香族環に結合する少なくとも1つの−SO
3 M基を含有する少なくとも1つの芳香族ジアミン
(d’)(ただし、少なくとも1つの上記のジアミン基
(b’)又は(d’)は少なくとも1つのアミノ基の両
オルト位置でC1 〜C4 アルキルが置換されている)で
反応及び環化すること包含する本発明のコポリイミドの
製造方法に関する。
【0041】酸誘導体は、代表的には無水物、エステ
ル、アミド及びハロゲン化物、好ましくは塩化物であ
る。本方法に用いるモノマーは知られており、いくつか
が市販されているか、あるいは既知の方法で調製し得
る。
ル、アミド及びハロゲン化物、好ましくは塩化物であ
る。本方法に用いるモノマーは知られており、いくつか
が市販されているか、あるいは既知の方法で調製し得
る。
【0042】ポリイミドの調製は、好ましくは溶液中で
実施する。好適な不活性溶剤を以下に示す。反応温度は
−20〜300℃の範囲でよい。
実施する。好適な不活性溶剤を以下に示す。反応温度は
−20〜300℃の範囲でよい。
【0043】操作は、テトラカルボン酸二無水物及びジ
アミンを先ず反応させてポリアミド酸先駆体を形成さ
せ、次に水を除去しながらこれを環化するのが便利であ
る。環化は、加熱下で実施してもよい。カルボン酸無水
物、代表的には酢酸無水物のような縮合剤を用いて環化
を実施すると便利である。次に、慣用法により、例えば
溶剤の除去又は非溶剤の添加により沈殿を析出させ、ポ
リイミドを単離し得る。
アミンを先ず反応させてポリアミド酸先駆体を形成さ
せ、次に水を除去しながらこれを環化するのが便利であ
る。環化は、加熱下で実施してもよい。カルボン酸無水
物、代表的には酢酸無水物のような縮合剤を用いて環化
を実施すると便利である。次に、慣用法により、例えば
溶剤の除去又は非溶剤の添加により沈殿を析出させ、ポ
リイミドを単離し得る。
【0044】別の方法では、テトラカルボン酸無水物を
ジイソシアネートと反応させて、一工程でポリイミドと
する。
ジイソシアネートと反応させて、一工程でポリイミドと
する。
【0045】新規のコポリイミドから、意外にも有機化
合物の混合物を分離し得る、又は個々の成分を濃縮し得
る半透膜膜を調製できる。
合物の混合物を分離し得る、又は個々の成分を濃縮し得
る半透膜膜を調製できる。
【0046】別の態様において、本発明は、半透膜を用
いて塩を形成しない有機化合物から有機カルボン酸の塩
を濃縮、又は分離するための方法であって、非置換又は
C1〜C3 アルコキシ置換C1 〜C4 アルカノール、こ
のようなアルカノールの混合物又はこのようなアルカノ
ールとエーテルとの混合物中に溶解した塩及び有機化合
物の溶液を膜の一つの側に接触させ、純溶剤は膜の他の
側に存在させ、そして上記膜をコポリイミドから作る方
法、並びに塩を形成しない有機化合物からカルボン酸の
塩を濃縮又は分離するための半透膜の作成における新規
のコポリイミドの使用に関する。
いて塩を形成しない有機化合物から有機カルボン酸の塩
を濃縮、又は分離するための方法であって、非置換又は
C1〜C3 アルコキシ置換C1 〜C4 アルカノール、こ
のようなアルカノールの混合物又はこのようなアルカノ
ールとエーテルとの混合物中に溶解した塩及び有機化合
物の溶液を膜の一つの側に接触させ、純溶剤は膜の他の
側に存在させ、そして上記膜をコポリイミドから作る方
法、並びに塩を形成しない有機化合物からカルボン酸の
塩を濃縮又は分離するための半透膜の作成における新規
のコポリイミドの使用に関する。
【0047】塩及び有機化合物の濃度は、好ましくは
0.0001〜10重量%、特に0.001〜5重量
%、最も好ましくは0.001〜3重量%である。膜の
厚さは、5〜300μm、好ましくは20〜200μm
である。
0.0001〜10重量%、特に0.001〜5重量
%、最も好ましくは0.001〜3重量%である。膜の
厚さは、5〜300μm、好ましくは20〜200μm
である。
【0048】溶剤として用いるアルカノールは、1〜4
個、好ましくは1〜3個の炭素原子を含有する。それを
メトキシ又はエトキシで置換してもよい。このようなア
ルカノールの代表例としては、メタノール、エタノー
ル、n−及びイソプロパノール、n−、イソ−及びte
rt−ブタノール、メトキシエタノール、エトキシエタ
ノール、プロポキシエタノール、1−メトキシプロパン
−3−オール、2−メトキシプロパン−1−オールが挙
げられる。好ましい溶剤は、メタノール、エタノール、
1−又は2−プロノール、及び2−メトキシエタノール
である。アルカノールと別のアルカノールとの、又はジ
エチルエーテル又はエチレングリコールジメチルエーテ
ルとの混合物を用いてもよい。
個、好ましくは1〜3個の炭素原子を含有する。それを
メトキシ又はエトキシで置換してもよい。このようなア
ルカノールの代表例としては、メタノール、エタノー
ル、n−及びイソプロパノール、n−、イソ−及びte
rt−ブタノール、メトキシエタノール、エトキシエタ
ノール、プロポキシエタノール、1−メトキシプロパン
−3−オール、2−メトキシプロパン−1−オールが挙
げられる。好ましい溶剤は、メタノール、エタノール、
1−又は2−プロノール、及び2−メトキシエタノール
である。アルカノールと別のアルカノールとの、又はジ
エチルエーテル又はエチレングリコールジメチルエーテ
ルとの混合物を用いてもよい。
【0049】有機カルボン酸塩はNH4 +、1〜20個の
全炭素原子を含む第一、第二又は第三アミンのアンモニ
ウム陽イオン、アルカリ金属塩又はアルカリ土類金属塩
のようなアンモニウム又は金属塩であってもよい。アル
カリ金属塩及びアンモニウム塩が好ましい。NH4 +及び
Li+ 塩が特に好ましい。
全炭素原子を含む第一、第二又は第三アミンのアンモニ
ウム陽イオン、アルカリ金属塩又はアルカリ土類金属塩
のようなアンモニウム又は金属塩であってもよい。アル
カリ金属塩及びアンモニウム塩が好ましい。NH4 +及び
Li+ 塩が特に好ましい。
【0050】有機カルボン酸塩は、モノ、ジ、トリ又は
テトラカルボン酸から選択される。1〜18個、好まし
くは1〜12個の炭素原子を含有する脂肪族、脂環式、
芳香族及び複素環式モノカルボン酸が好ましい。
テトラカルボン酸から選択される。1〜18個、好まし
くは1〜12個の炭素原子を含有する脂肪族、脂環式、
芳香族及び複素環式モノカルボン酸が好ましい。
【0051】本発明の好ましい態様においては、有機酸
は、式(A) Ra −X−COOH (A)
は、式(A) Ra −X−COOH (A)
【0052】(式中、Xは直接結合、C1 〜C4 アルキ
レン、C2 〜C4 アルキリデン又はC2 〜C4 アルケニ
レンであり、Ra は水素原子、C1 〜C12アルキル、C
2 〜C12アルケニル、C2 〜C12アルキニル、C3 〜C
12シクロアルキル、C3 〜C12シクロアルケニル、C6
〜C16アリール、C3 〜C12ヘテロシクロアルキル、C
3 〜C12ヘテロシクロアルケニル、C6 〜C16ヘテロア
リールであって、これらは−OH、−SH、−CN、−
NO2 、ハロゲン、C1 〜C6 アルキル、C1 〜C6 ア
ルコキシ、C1 〜C6 アルキルチオ、C1 〜C6 アルキ
ル−Y−(ここで−Y−は、−CO−、−SO−、−S
O2 −、−CO−O−、−O−CO−、−CO−NRb
Rc 、−NRb Rc −CO−であり、Rb 及びRc は各
々独立に水素原子、C1 〜C6 アルキル、C2 〜C4 ヒ
ドロキシアルキルであるか、又はRb 及びRc が一緒に
なって、テトラメチレン、ペンタメチレン又は3−オキ
サペンチル−1,4−エンである)で置換されることも
ある)で示される。
レン、C2 〜C4 アルキリデン又はC2 〜C4 アルケニ
レンであり、Ra は水素原子、C1 〜C12アルキル、C
2 〜C12アルケニル、C2 〜C12アルキニル、C3 〜C
12シクロアルキル、C3 〜C12シクロアルケニル、C6
〜C16アリール、C3 〜C12ヘテロシクロアルキル、C
3 〜C12ヘテロシクロアルケニル、C6 〜C16ヘテロア
リールであって、これらは−OH、−SH、−CN、−
NO2 、ハロゲン、C1 〜C6 アルキル、C1 〜C6 ア
ルコキシ、C1 〜C6 アルキルチオ、C1 〜C6 アルキ
ル−Y−(ここで−Y−は、−CO−、−SO−、−S
O2 −、−CO−O−、−O−CO−、−CO−NRb
Rc 、−NRb Rc −CO−であり、Rb 及びRc は各
々独立に水素原子、C1 〜C6 アルキル、C2 〜C4 ヒ
ドロキシアルキルであるか、又はRb 及びRc が一緒に
なって、テトラメチレン、ペンタメチレン又は3−オキ
サペンチル−1,4−エンである)で置換されることも
ある)で示される。
【0053】直鎖又は分枝鎖であり得るアルキルとして
のRa は、代表的にはメチル、エチル、n−及びイソプ
ロピル、n−及びイソブチル、ペンチル、ヘキシル、ヘ
プチル、オクチル、ノニル、デシル、ウンデシル、及び
ドデシルである。
のRa は、代表的にはメチル、エチル、n−及びイソプ
ロピル、n−及びイソブチル、ペンチル、ヘキシル、ヘ
プチル、オクチル、ノニル、デシル、ウンデシル、及び
ドデシルである。
【0054】直鎖又は分枝鎖であり得るアルケニルとし
てのRa は、代表的にはビニル、クロトニル、アリル、
ブト−1−エン−1−イル、ブト−1−エン−2−イ
ル、ブト−1−エン−3−イル、ブト−1−エン−4−
イル、ブト−2−エン−1−イル、ブト−2−エン−2
−イル、ブト−2−エン−4−イル、ペンテニル、ヘキ
セニル、ヘプテニル、オクテニル、ノネニル、デセニ
ル、ウンデセニル及びドデセニルである。
てのRa は、代表的にはビニル、クロトニル、アリル、
ブト−1−エン−1−イル、ブト−1−エン−2−イ
ル、ブト−1−エン−3−イル、ブト−1−エン−4−
イル、ブト−2−エン−1−イル、ブト−2−エン−2
−イル、ブト−2−エン−4−イル、ペンテニル、ヘキ
セニル、ヘプテニル、オクテニル、ノネニル、デセニ
ル、ウンデセニル及びドデセニルである。
【0055】直鎖又は分枝鎖であり得るアルキニルとし
てのRa は、代表的にはエチニル、プロプ−2−イン−
1−イル、プロプ−2−イン−3−イル、ブチニル、ペ
ンチニル、ヘキシニル、ヘプチニル、オクチニル、デシ
ニル及びドデシニルである。
てのRa は、代表的にはエチニル、プロプ−2−イン−
1−イル、プロプ−2−イン−3−イル、ブチニル、ペ
ンチニル、ヘキシニル、ヘプチニル、オクチニル、デシ
ニル及びドデシニルである。
【0056】シクロアルキル及びシクロアルケニルとし
てのRa は、好ましくは4〜8個、最も好ましくは5又
は6個の炭素原子を含有する。代表例としては、シクロ
プロピル及びシクロプロペニル、シクロブチル及びシク
ロブテニル、シクロペンチル及びシクロペンテニル、シ
クロヘキシル及びシクロヘキセニル、シクロヘプチル及
びシクロヘプテニル、シクロオクチル及びシクロオクテ
ニルが挙げられる。
てのRa は、好ましくは4〜8個、最も好ましくは5又
は6個の炭素原子を含有する。代表例としては、シクロ
プロピル及びシクロプロペニル、シクロブチル及びシク
ロブテニル、シクロペンチル及びシクロペンテニル、シ
クロヘキシル及びシクロヘキセニル、シクロヘプチル及
びシクロヘプテニル、シクロオクチル及びシクロオクテ
ニルが挙げられる。
【0057】アリールとしてのRa は、好ましくは6〜
12個の炭素原子を含有する。代表例は、フェニル、ビ
フェニル及びナフチルである。
12個の炭素原子を含有する。代表例は、フェニル、ビ
フェニル及びナフチルである。
【0058】ヘテロシクロアルキル及びヘテロシクロア
ルケニルとしてのRa は、好ましくは4〜8個、最も好
ましくは4〜6個の環式炭素原子を含有する。好ましい
ヘテロ原子は、O、S及びNRd (ここで、Rd は、
H、C1 〜C6 アルキル又はC1 〜C7 アシルである)
からなる群から選択されるものである。ヘテロアリール
としてのRa は、好ましくは4〜11個の環式炭素原子
と、好ましくはO、S及び−N=からなる群から選択さ
れるヘテロ原子を含有する。
ルケニルとしてのRa は、好ましくは4〜8個、最も好
ましくは4〜6個の環式炭素原子を含有する。好ましい
ヘテロ原子は、O、S及びNRd (ここで、Rd は、
H、C1 〜C6 アルキル又はC1 〜C7 アシルである)
からなる群から選択されるものである。ヘテロアリール
としてのRa は、好ましくは4〜11個の環式炭素原子
と、好ましくはO、S及び−N=からなる群から選択さ
れるヘテロ原子を含有する。
【0059】複素環式化合物の代表例としては、ピロリ
ジン、テトラヒドロフラン、テトラヒドロチオフェン、
ピロリン、ジヒドロフラン、ジヒドロチオフェン、イン
ダン、ジヒドロクマロン、ジヒドロベンゾチオフェン、
カルバゾール、ジベンゾフラン、ジベンゾチオフェン、
ピラゾリジン、イミダゾリジン、ピラゾリン、イミダゾ
リン、ベンゾイミダゾリジン、オキサゾリジン、オキサ
ゾリン、チアゾリジン、チアゾリン、イソオキサゾリジ
ン、イソオキサゾリン、イソチアゾリジン、イソチアゾ
リン、ベンズオキサゾリジン、ベンゾイソオキサゾリジ
ン、ベンゾチアゾリジン、1,2,3−若しくは1,
2,4−チアゾリジン、1,2,3−若しくは1,2,
4−チアゾリン、1,2,3−若しくは1,2,4−オ
キサゾリジン又は−オキサゾリン、ピペリジン、ジ−及
びテトラヒドロピリジン、
ジン、テトラヒドロフラン、テトラヒドロチオフェン、
ピロリン、ジヒドロフラン、ジヒドロチオフェン、イン
ダン、ジヒドロクマロン、ジヒドロベンゾチオフェン、
カルバゾール、ジベンゾフラン、ジベンゾチオフェン、
ピラゾリジン、イミダゾリジン、ピラゾリン、イミダゾ
リン、ベンゾイミダゾリジン、オキサゾリジン、オキサ
ゾリン、チアゾリジン、チアゾリン、イソオキサゾリジ
ン、イソオキサゾリン、イソチアゾリジン、イソチアゾ
リン、ベンズオキサゾリジン、ベンゾイソオキサゾリジ
ン、ベンゾチアゾリジン、1,2,3−若しくは1,
2,4−チアゾリジン、1,2,3−若しくは1,2,
4−チアゾリン、1,2,3−若しくは1,2,4−オ
キサゾリジン又は−オキサゾリン、ピペリジン、ジ−及
びテトラヒドロピリジン、
【0060】ジヒドロ及びテトラヒドロフラン、ジ及び
テトラヒドロチオピラン、ピペラジン、デヒドロピペラ
ジン、モルホリン、チオモルホリン、1,3−及び1,
4−ジオキサン、1,4−ジチアン、アゼパン、1,3
−ジオキソラン、1,3−ジチオラン、ピロール、イン
ドール、イミダゾール、ベンゾイミダゾール、フラン、
チオフェン、ベンゾフラン、ベンゾチオフェン、カルバ
ゾール、ジベンゾフラン、ジベンゾチオフェン、オキサ
ゾール、イソオキサゾール、チアゾール、イソチアゾー
ル、ベンズオキサゾール、ベンゾチアゾール、ピリジ
ン、ピリミジン、ピラジン、ピリダジン、キノリン、イ
ソキノリン、アクリジン、クロメン、クロマン、ピラ
ン、チアピラン、フェナジン、フェノキサジン、フェノ
ールチアジン、プリンが挙げられる。
テトラヒドロチオピラン、ピペラジン、デヒドロピペラ
ジン、モルホリン、チオモルホリン、1,3−及び1,
4−ジオキサン、1,4−ジチアン、アゼパン、1,3
−ジオキソラン、1,3−ジチオラン、ピロール、イン
ドール、イミダゾール、ベンゾイミダゾール、フラン、
チオフェン、ベンゾフラン、ベンゾチオフェン、カルバ
ゾール、ジベンゾフラン、ジベンゾチオフェン、オキサ
ゾール、イソオキサゾール、チアゾール、イソチアゾー
ル、ベンズオキサゾール、ベンゾチアゾール、ピリジ
ン、ピリミジン、ピラジン、ピリダジン、キノリン、イ
ソキノリン、アクリジン、クロメン、クロマン、ピラ
ン、チアピラン、フェナジン、フェノキサジン、フェノ
ールチアジン、プリンが挙げられる。
【0061】アルキル及びヒドロキシアルキルとしての
Rb 、Rc 及びRd は、メチル、エチル、n−若しくは
イソプロピル、n−、イソ−若しくはtert−ブチ
ル、n−ペンチル、n−ヘキシル、2−ヒドロキシエチ
ル、2−若しくは3−ヒドロキシプロピル、2−、3−
又は4−ヒドロキシブチルであってもよい。アシルとし
てのRd は、代表的にはアセチル、プロピオニル及びフ
ェナシルである。
Rb 、Rc 及びRd は、メチル、エチル、n−若しくは
イソプロピル、n−、イソ−若しくはtert−ブチ
ル、n−ペンチル、n−ヘキシル、2−ヒドロキシエチ
ル、2−若しくは3−ヒドロキシプロピル、2−、3−
又は4−ヒドロキシブチルであってもよい。アシルとし
てのRd は、代表的にはアセチル、プロピオニル及びフ
ェナシルである。
【0062】式(A)におけるXの代表例は、メチレ
ン、エチレン、1,2−若しくは1,3−プロピレン、
1,2−、1,3−、若しくは1,4−ブチレン、エチ
リデン、1,1−若しくは2,2−プロピリデン、1,
1−若しくは2,2−ブチリデン、エテニレン、プロプ
−1−エン−1,3−若しくは1,2−若しくは−2,
3−イレンである。
ン、エチレン、1,2−若しくは1,3−プロピレン、
1,2−、1,3−、若しくは1,4−ブチレン、エチ
リデン、1,1−若しくは2,2−プロピリデン、1,
1−若しくは2,2−ブチリデン、エテニレン、プロプ
−1−エン−1,3−若しくは1,2−若しくは−2,
3−イレンである。
【0063】本発明の好ましい態様においては、塩はフ
ラン−2−カルボン酸、安息香酸、メチル安息香酸、フ
ェニル酢酸、ケイ皮酸、ソルビン酸又はC2 〜C8 アル
カンカルボン酸からなる群から選択されるカルボン酸の
Li+ 又はNH4 +塩である。
ラン−2−カルボン酸、安息香酸、メチル安息香酸、フ
ェニル酢酸、ケイ皮酸、ソルビン酸又はC2 〜C8 アル
カンカルボン酸からなる群から選択されるカルボン酸の
Li+ 又はNH4 +塩である。
【0064】塩を形成しない有機化合物は、好ましくは
2〜20個、特に2〜16個、最も好ましくは2〜12
個の炭素原子を含有する。最も好ましくは、有機化合物
は総計2〜16個の炭素原子を含有する有機モノカルボ
ン酸のエステル、2〜12個の炭素原子を含有するエー
テル、3〜16個の炭素原子を含有するケトン又は5〜
16個の炭素原子を含有するアルコールである。
2〜20個、特に2〜16個、最も好ましくは2〜12
個の炭素原子を含有する。最も好ましくは、有機化合物
は総計2〜16個の炭素原子を含有する有機モノカルボ
ン酸のエステル、2〜12個の炭素原子を含有するエー
テル、3〜16個の炭素原子を含有するケトン又は5〜
16個の炭素原子を含有するアルコールである。
【0065】本発明の好ましい態様においては、有機化
合物は、フラン−2−カルボン酸、安息香酸、メチル安
息香酸、フェニル酢酸、ケイ皮酸、ソルビン酸又はC2
〜C8 アルカンカルボン酸のC1 〜C6 アルキルエステ
ル;C5 〜C12アルカノール又はベンジルアルコール;
3〜10個の炭素原子を有するジ脂肪族ケトン、C1〜
C6 アルキルフェニルケトン又はジフェニルケトン;あ
るいは2〜8個の炭素原子を有するジ脂肪族エーテル、
C1 〜C6 アルキルフェニルエーテル又はジフェニルエ
ーテルである。
合物は、フラン−2−カルボン酸、安息香酸、メチル安
息香酸、フェニル酢酸、ケイ皮酸、ソルビン酸又はC2
〜C8 アルカンカルボン酸のC1 〜C6 アルキルエステ
ル;C5 〜C12アルカノール又はベンジルアルコール;
3〜10個の炭素原子を有するジ脂肪族ケトン、C1〜
C6 アルキルフェニルケトン又はジフェニルケトン;あ
るいは2〜8個の炭素原子を有するジ脂肪族エーテル、
C1 〜C6 アルキルフェニルエーテル又はジフェニルエ
ーテルである。
【0066】本発明の方法の実施のために、膜は異なる
形状のものであり得るし、慣用的構造の分離モジュール
に作成し得る。したがって、例えば平面膜又は非対称膜
を2又は多数の区画系と組み合わせることができる。束
の形態で一般に用いられる管状膜又は中空繊維を用いて
もよい。機械的安定性を増すために、膜を支持枠に張っ
てもよい。膜は、既知の方法で調製する。
形状のものであり得るし、慣用的構造の分離モジュール
に作成し得る。したがって、例えば平面膜又は非対称膜
を2又は多数の区画系と組み合わせることができる。束
の形態で一般に用いられる管状膜又は中空繊維を用いて
もよい。機械的安定性を増すために、膜を支持枠に張っ
てもよい。膜は、既知の方法で調製する。
【0067】本発明の方法は、一般に室温で実施する。
十分な流速を得るためには、溶液側を加圧するのが有益
である。圧力は、好ましくは1〜10MPa、最も好ま
しくは1〜6MPaである。本発明の特定の態様におい
ては、本方法は向流原理によって実施する。
十分な流速を得るためには、溶液側を加圧するのが有益
である。圧力は、好ましくは1〜10MPa、最も好ま
しくは1〜6MPaである。本発明の特定の態様におい
ては、本方法は向流原理によって実施する。
【0068】本発明の方法は、濃縮若しくは精製法とし
て、又は反応成分又は反応残渣若しくは反応混合物から
の副産物を回収若しくは分離するために、あるいは、特
に問題の物質が熱的に不安定である場合、中間物質を単
離又は精製するために、用い得る。
て、又は反応成分又は反応残渣若しくは反応混合物から
の副産物を回収若しくは分離するために、あるいは、特
に問題の物質が熱的に不安定である場合、中間物質を単
離又は精製するために、用い得る。
【0069】本発明のコポリイミドは、高いガラス転移
温度及び優れた熱安定性を有するポリマーであって、そ
れらは照射により直接架橋し得る。それらは、シート、
繊維の製造に、並びに基材を被覆するのに、表面の保護
に、又はレリーフ像の作成に適しており、ポリ縮合体の
特性は照射により修正し得る。高融点芳香族コポリイミ
ドは、好ましくは溶液から加工される。
温度及び優れた熱安定性を有するポリマーであって、そ
れらは照射により直接架橋し得る。それらは、シート、
繊維の製造に、並びに基材を被覆するのに、表面の保護
に、又はレリーフ像の作成に適しており、ポリ縮合体の
特性は照射により修正し得る。高融点芳香族コポリイミ
ドは、好ましくは溶液から加工される。
【0070】照射感受性は、コポリイミドの酸成分がベ
ンゾフェノン基を含有する場合に特に高い。照射時間を
短縮するために、このような酸成分を含有するコポリイ
ミドに照射を施すのが好ましい。
ンゾフェノン基を含有する場合に特に高い。照射時間を
短縮するために、このような酸成分を含有するコポリイ
ミドに照射を施すのが好ましい。
【0071】使用の好ましい領域は、表面の被覆、そし
てこのような被覆表面上にレリーフ像を作成する領域で
あって、本発明はこれにも関する。所望の特性を得るた
めには、異なるモノマーの選択及び/又は異なるコポリ
イミドの混合により、特定の要件に適合し得るように対
応して、新規のコポリイミドを採用することが特に有益
である。更に新規のコポリイミドの特定の利点は、水性
塩基媒質中、例えばアルカリ金属水酸化物(NaOH,
KOH)の水溶液中での、又はアルカリ金属炭酸塩(N
aHCO3 、Na2 CO3 、K2 CO3 )の水溶液中で
のそれらの溶解性である。
てこのような被覆表面上にレリーフ像を作成する領域で
あって、本発明はこれにも関する。所望の特性を得るた
めには、異なるモノマーの選択及び/又は異なるコポリ
イミドの混合により、特定の要件に適合し得るように対
応して、新規のコポリイミドを採用することが特に有益
である。更に新規のコポリイミドの特定の利点は、水性
塩基媒質中、例えばアルカリ金属水酸化物(NaOH,
KOH)の水溶液中での、又はアルカリ金属炭酸塩(N
aHCO3 、Na2 CO3 、K2 CO3 )の水溶液中で
のそれらの溶解性である。
【0072】本発明は、更に、支持体上に新規のコポリ
イミドの層を含有する被覆体に関する。被覆体を調製す
るために、コポリイミド又はその混合物を、好ましくは
好適な有機溶剤中に溶解する。この場合、加熱してもよ
い。好適な溶剤は、それ自体、又は少なくとも2つの溶
剤の混合物として用い得る極性の非プロトン性溶剤であ
る。このような溶剤の代表例を以下に挙げる:
イミドの層を含有する被覆体に関する。被覆体を調製す
るために、コポリイミド又はその混合物を、好ましくは
好適な有機溶剤中に溶解する。この場合、加熱してもよ
い。好適な溶剤は、それ自体、又は少なくとも2つの溶
剤の混合物として用い得る極性の非プロトン性溶剤であ
る。このような溶剤の代表例を以下に挙げる:
【0073】エーテル、例えばジブチルエーテル、テト
ラヒドロフラン、ジオキサン、エチレングリコール、ジ
メチルエチレングリコール、ジメチルジエチレングリコ
ール、ジエチルジエチレングリコール、ジメチルトリエ
チレングリコール;ハロゲン化炭化水素、例えば塩化メ
チレン、クロロホルム、1,2−ジクロルエタン、1,
1,1−トリクロロエタン、1,1,2,2−テトラク
ロロエタン;カルボキシレート及びラクトン、例えば酢
酸エチル、プロピオン酸メチル、安息香酸エチル、2−
メトキシエチルアセテート、γ−ブチロラクトン、o−
バレロラクトン及びピバレロラクトン;カルボキサミド
及びラクタム、例えばホルムアミド、アセトアミド、N
−メチルホルムアミド、N,N−ジメチルホルムアミ
ド、N,N−ジエチルホルムアミド、N,N−ジメチル
アセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミド、γ−ブ
チロラクタム、ε−カプロラクタム、N−メチルピロリ
ドン、N−アセチルピロリドン、N−メチルカプロラク
タム、テトラメチルウレア、ヘキサメチル燐酸トリアミ
ド;スルホキシド、例えばジメチルスルホキシド;スル
ホン、例えばジメチルスルホン、ジエチルスルホン、ト
リメチレンスルホン、テトラメチレンスルホン、トリメ
チルアミン、トリエチルアミン、N−メチルピロリジ
ン、N−メチルピペリジン、N−メチルモルホリン;置
換ベンゼン、例えばクロロベンゼン、ニトロベンゼン、
フェノール又はクレゾール。
ラヒドロフラン、ジオキサン、エチレングリコール、ジ
メチルエチレングリコール、ジメチルジエチレングリコ
ール、ジエチルジエチレングリコール、ジメチルトリエ
チレングリコール;ハロゲン化炭化水素、例えば塩化メ
チレン、クロロホルム、1,2−ジクロルエタン、1,
1,1−トリクロロエタン、1,1,2,2−テトラク
ロロエタン;カルボキシレート及びラクトン、例えば酢
酸エチル、プロピオン酸メチル、安息香酸エチル、2−
メトキシエチルアセテート、γ−ブチロラクトン、o−
バレロラクトン及びピバレロラクトン;カルボキサミド
及びラクタム、例えばホルムアミド、アセトアミド、N
−メチルホルムアミド、N,N−ジメチルホルムアミ
ド、N,N−ジエチルホルムアミド、N,N−ジメチル
アセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミド、γ−ブ
チロラクタム、ε−カプロラクタム、N−メチルピロリ
ドン、N−アセチルピロリドン、N−メチルカプロラク
タム、テトラメチルウレア、ヘキサメチル燐酸トリアミ
ド;スルホキシド、例えばジメチルスルホキシド;スル
ホン、例えばジメチルスルホン、ジエチルスルホン、ト
リメチレンスルホン、テトラメチレンスルホン、トリメ
チルアミン、トリエチルアミン、N−メチルピロリジ
ン、N−メチルピペリジン、N−メチルモルホリン;置
換ベンゼン、例えばクロロベンゼン、ニトロベンゼン、
フェノール又はクレゾール。
【0074】未溶解成分は、ろ過、好ましくは加圧ろ過
によって除去し得る。得られた被覆剤中のポリマーの濃
度は、溶液として、好ましくは50重量%、特に30重
量%、最も好ましくは20重量%を超えない。溶液は貯
蔵安定性であるが、しかし光の作用から保護されねばな
らない。
によって除去し得る。得られた被覆剤中のポリマーの濃
度は、溶液として、好ましくは50重量%、特に30重
量%、最も好ましくは20重量%を超えない。溶液は貯
蔵安定性であるが、しかし光の作用から保護されねばな
らない。
【0075】溶液の調製中に、光感受性に悪影響を与え
ない通例の改質剤を更に付加できる。このような改質剤
の代表例を以下に挙げる:艶消剤、レベリング剤、微粉
状充填剤、難燃剤、蛍光漂白剤、酸化防止剤、光安定
剤、染料、顔料及び接着増進剤。所望により、光感受性
を更に増強するために、増感剤、代表的にはチオキサン
トン誘導体又はベンゾフェノン誘導体を付加してもよ
い。
ない通例の改質剤を更に付加できる。このような改質剤
の代表例を以下に挙げる:艶消剤、レベリング剤、微粉
状充填剤、難燃剤、蛍光漂白剤、酸化防止剤、光安定
剤、染料、顔料及び接着増進剤。所望により、光感受性
を更に増強するために、増感剤、代表的にはチオキサン
トン誘導体又はベンゾフェノン誘導体を付加してもよ
い。
【0076】被覆組成物は、従来の方法、例えば、浸漬
被覆、ブラッシング及び噴霧、回転塗装、カスケード被
覆及びカーテン被覆によって、好適な基材及び担持体に
適用し得る。好適な基材としては、プラスチック、金属
及び金属合金、半金属、半導体、ガラス、セラミック及
びSiO2 及びSi3 N4 のようなその他の無機材料が
挙げられる。次いで、加熱により真空中で溶剤を除去す
る。不粘着性の、乾燥した、均一なフィルムが得られ
る。用途により、フィルムは、約500μmまで、好ま
しくは0.5〜500μm、最も好ましくは1〜50μ
mの厚みを有する。
被覆、ブラッシング及び噴霧、回転塗装、カスケード被
覆及びカーテン被覆によって、好適な基材及び担持体に
適用し得る。好適な基材としては、プラスチック、金属
及び金属合金、半金属、半導体、ガラス、セラミック及
びSiO2 及びSi3 N4 のようなその他の無機材料が
挙げられる。次いで、加熱により真空中で溶剤を除去す
る。不粘着性の、乾燥した、均一なフィルムが得られ
る。用途により、フィルムは、約500μmまで、好ま
しくは0.5〜500μm、最も好ましくは1〜50μ
mの厚みを有する。
【0077】本発明の物質中の照射感受性層は、照射に
より架橋される。光構築又は光架橋は、高エネルギー照
射により、代表的には、好ましくはUV範囲の光によっ
て、X線、レーザー光線、電子線等によって行われる。
本発明の物質は、保護フィルム、不動体化被覆を生成す
るのに、そして熱安定性レリーフ像のための写真記録材
料として、すばらしく適している。
より架橋される。光構築又は光架橋は、高エネルギー照
射により、代表的には、好ましくはUV範囲の光によっ
て、X線、レーザー光線、電子線等によって行われる。
本発明の物質は、保護フィルム、不動体化被覆を生成す
るのに、そして熱安定性レリーフ像のための写真記録材
料として、すばらしく適している。
【0078】使用分野としては、ハンダワニスとして、
多層回路用誘電体として、液晶ディスプレイ用構造要素
として、電子技術及びエレクトロニックスに置ける保
護、絶縁、及び表面処理被覆、エレクトロニックス用フ
ォトマスク、捺染及びグラフィック産業、印刷回路及び
印刷版及び集積回路製造用耐食膜、X線マスク製造用リ
レーが挙げられる。
多層回路用誘電体として、液晶ディスプレイ用構造要素
として、電子技術及びエレクトロニックスに置ける保
護、絶縁、及び表面処理被覆、エレクトロニックス用フ
ォトマスク、捺染及びグラフィック産業、印刷回路及び
印刷版及び集積回路製造用耐食膜、X線マスク製造用リ
レーが挙げられる。
【0079】保護フィルムは、直接照射により生じ、そ
の露出時間は本質的に層の厚み及び光感受性による。
の露出時間は本質的に層の厚み及び光感受性による。
【0080】レリーフ像の写真製造は、アルカリ性水性
媒体、好ましくはアルカリ金属水酸化物(NaOH,K
OH)の水溶液中での、あるいはアルカリ金属炭酸塩
(Na2 CO3 ,K2 CO3 、NaHCO3 )の水溶液
を用いて、未露出領域を除去することにより、フォトマ
スク及びその後の現像による、像関連露出でなされる。
この後、得られた像は熱的後処理により安定化される。
媒体、好ましくはアルカリ金属水酸化物(NaOH,K
OH)の水溶液中での、あるいはアルカリ金属炭酸塩
(Na2 CO3 ,K2 CO3 、NaHCO3 )の水溶液
を用いて、未露出領域を除去することにより、フォトマ
スク及びその後の現像による、像関連露出でなされる。
この後、得られた像は熱的後処理により安定化される。
【0081】本発明は更に、表面上又はフォトマスクを
通じての材料の層を照射し、その後、未露出領域を溶か
し出すことによりアルカリ性水性媒体中で像を現出す
る。
通じての材料の層を照射し、その後、未露出領域を溶か
し出すことによりアルカリ性水性媒体中で像を現出す
る。
【0082】本発明の物質のポリマー層は、多数の最終
用途に十分な、そして場合によっては、高い光感受性を
有し、直接光架橋される。保護フィルム及びレリーフ像
は、良好な粘着により、そして熱耐性、機械的強度及び
化学物質に対する耐性が顕著である。ただ、わずかな収
縮が、熱後処理に観察される。更に、光感受性を誘発す
る又は増大するための改質剤の使用は避け得る。本物質
は、保存安定性を示すが、しかし光の作用からは保護さ
れねばならない。
用途に十分な、そして場合によっては、高い光感受性を
有し、直接光架橋される。保護フィルム及びレリーフ像
は、良好な粘着により、そして熱耐性、機械的強度及び
化学物質に対する耐性が顕著である。ただ、わずかな収
縮が、熱後処理に観察される。更に、光感受性を誘発す
る又は増大するための改質剤の使用は避け得る。本物質
は、保存安定性を示すが、しかし光の作用からは保護さ
れねばならない。
【0083】
【実施例】以下の実施例により本発明を更に詳細に説明
する。 A)コポリマーの調製 実施例A1〜A14 N−メチルピロリドン(NMP)に溶解したジアミンを
攪拌器、還流冷却器、滴下漏斗、乾燥管及び冷却浴を装
備した200mlガラスフラスコに入れた。溶液を5℃
に冷却し、次に効果的に攪拌しながらテトラカルボン酸
無水物を滴下し、20重量%溶液を得た。その溶液を2
0〜25℃で4時間攪拌した。その結果生じたポリアミ
ド酸をトリエチルアミン及び無水酢酸を添加して環化さ
せた。コポリマーを更に12時間攪拌後、水中で沈殿さ
せ、沈殿物をろ過して単離し、メタノールで洗浄して、
高真空下で40℃で乾燥した。詳細を表1に示す。
する。 A)コポリマーの調製 実施例A1〜A14 N−メチルピロリドン(NMP)に溶解したジアミンを
攪拌器、還流冷却器、滴下漏斗、乾燥管及び冷却浴を装
備した200mlガラスフラスコに入れた。溶液を5℃
に冷却し、次に効果的に攪拌しながらテトラカルボン酸
無水物を滴下し、20重量%溶液を得た。その溶液を2
0〜25℃で4時間攪拌した。その結果生じたポリアミ
ド酸をトリエチルアミン及び無水酢酸を添加して環化さ
せた。コポリマーを更に12時間攪拌後、水中で沈殿さ
せ、沈殿物をろ過して単離し、メタノールで洗浄して、
高真空下で40℃で乾燥した。詳細を表1に示す。
【0084】
【表1】
【0085】
【表2】
【0086】
【表3】
【0087】
【表4】
【0088】B)透過実験 実施例B1〜B7 膜(直径4.7cm、厚さ5μm)を加圧セルの中心の
支持体に保持した。各区分を、ポンプを接続した溶液又
は純溶剤槽につないだ。導電率セルを液槽とポンプの間
に配置し、UV検出器を出口と液槽の間に設置した。そ
の溶液側に2.5MPaの圧力を加え、溶剤側に0.3
MPaの圧力を加え、溶液と溶剤を同一方向に循環させ
た。検出器は、導電率とUV吸収を連続的に測定した。
データは、コンピュータープログラムで評価した。検出
器を有機化合物(ケイ皮酸メチル)及びカルボン酸の塩
(ケイ皮酸のリチウム塩)で検量し、検量曲線をアルゴ
リズムに変換し、これから望ましいデータをコンピュー
ター処理する。溶剤としてメタノールを用い、UV検出
は305nmで実施した。温度は25℃であった。
支持体に保持した。各区分を、ポンプを接続した溶液又
は純溶剤槽につないだ。導電率セルを液槽とポンプの間
に配置し、UV検出器を出口と液槽の間に設置した。そ
の溶液側に2.5MPaの圧力を加え、溶剤側に0.3
MPaの圧力を加え、溶液と溶剤を同一方向に循環させ
た。検出器は、導電率とUV吸収を連続的に測定した。
データは、コンピュータープログラムで評価した。検出
器を有機化合物(ケイ皮酸メチル)及びカルボン酸の塩
(ケイ皮酸のリチウム塩)で検量し、検量曲線をアルゴ
リズムに変換し、これから望ましいデータをコンピュー
ター処理する。溶剤としてメタノールを用い、UV検出
は305nmで実施した。温度は25℃であった。
【0089】選択率Sを、以下のように定義する。GP
は透過物中の重量部であり、GL は溶液中の重量部であ
る:
は透過物中の重量部であり、GL は溶液中の重量部であ
る:
【0090】詳細を表2に示す。
【表5】
【0091】C)露出実施例 実施例C1 実施例A3のコポリイミドをN−メチルピロリドン(1
00重量%)に溶解し、銅積層板を、12μmナイフに
より本溶液で被覆し(スピン被覆),100℃で乾燥し
た。次にフォトマスク(Stouffer 光くさび)
を通して30秒間、40mW/cm2 (ランプ:Ult
ralux 5000H,距離70cm)の強度で、皮
膜に露出した。次に、1N NaOH水溶液を用いて現
像を実施する。Stouffer光くさび7で、依然と
して明瞭に像を造った。
00重量%)に溶解し、銅積層板を、12μmナイフに
より本溶液で被覆し(スピン被覆),100℃で乾燥し
た。次にフォトマスク(Stouffer 光くさび)
を通して30秒間、40mW/cm2 (ランプ:Ult
ralux 5000H,距離70cm)の強度で、皮
膜に露出した。次に、1N NaOH水溶液を用いて現
像を実施する。Stouffer光くさび7で、依然と
して明瞭に像を造った。
【0092】実施例C2:実施例A2のコポリイミド
を、実施例C1と同様に処理した。Stouffer光
くさび8で、依然として明瞭に像を造った。
を、実施例C1と同様に処理した。Stouffer光
くさび8で、依然として明瞭に像を造った。
【化6】
【化6】
Claims (22)
- 【請求項1】 N−メチルピロリドンに溶解したコポリ
イミド0.5重量%の溶液中で、25℃で測定した固有
粘度が0.2〜3.0dl/gを有するコポリイミドで
あって、 A)10〜30個の炭素原子を有し、ハロゲン、ニト
ロ、C1 〜C4 アルキル、C1 〜C4 アルコキシ又はフ
ェナシルが置換又は非置換の芳香族テトラカルボン酸基
(a)と6〜30個の炭素原子を有し、C1 〜C4 アル
キル又はハロゲンが置換又は非置換の芳香族ジアミン基
(b)との少なくとも1つの構造反復単位;及び9〜3
0個の炭素原子を有し、(a)と同様に置換又は非置換
の芳香族トリカルボン酸基(c)そして(b)と同一又
は異なるジアミン基の少なくとも1つの更に任意の構造
反復単位、並びに B)同一又は異なるテトラカルボン酸基(a)と6〜3
0個の炭素原子を有し、C1 〜C4 アルキルが置換又は
非置換であり、芳香族族環に結合する少なくとも1つの
−SO3 M基(式中、MはH+ 、1〜3価金属陽イオ
ン、NH4 +又は1〜30個の炭素原子を有する有機アン
モニウム陽イオンである)を含有する芳香族ジアミン
(d)との少なくとも1つの構造反復単位;並びに同一
又は異なる芳香族トリカルボン酸基(c)及び同一又は
異なるジアミン基(d)の更に任意の構造反復単位(た
だし、少なくとも1つの上記のジアミン基(b)又は
(d)は少なくとも1つの窒素原子に対して両オルト位
置でC1 〜C4 アルキルに置換されている)を含むコポ
リイミド。 - 【請求項2】 ジアミン基(b)が両窒素原子の両オル
ト位置にC1 〜C4アルキルが置換された請求項1のコ
ポリイミド。 - 【請求項3】 ジアミン基(d)が両窒素原子の両オル
ト位置にC1 〜C4アルキルが置換された請求項1のコ
ポリイミド。 - 【請求項4】 ジアミン基(b)及び(d)が両窒素原
子の両オルト位置にメチル及び/又はエチルが置換され
た請求項1のコポリイミド。 - 【請求項5】 コポリイミドに基づいて5〜95モル%
の成分(a)及び95〜5モル%の成分(b)を含有す
る請求項1のコポリイミド。 - 【請求項6】 50〜95モル%の成分(a)及び50
〜5モル%の成分(b)を含有する請求項5のコポリイ
ミド。 - 【請求項7】 下記の a)式(I) 【化1】 で示される構造単位、及び式(II) 【化2】 で示される更に任意に追加の構造単位、並びに b)式(III) 【化3】 で示される構造単位、及び式(IV) 【化4】 で示される更に任意に追加の構造単位(式中、R1 及び
R5 は各々独立に、6〜20個の炭素原子を有する非置
換又は置換の4価の芳香族基であって、これにオルト又
はペリ位置に2つのカルボニル基を有し、 R3 及びR7 は各々独立に、6〜20個の炭素原子を有
する非置換又は置換の3価の芳香族基であって、これに
オルト又はペリ位置に2つのカルボニル基を有し、 R2 及びR4 は各々独立に、C1 〜C4 アルキル又はハ
ロゲンで置換又は非置換の6〜20個の炭素原子を有す
る2価の芳香族炭化水素基であって、 R6 及びR8 は各々独立に、C1 〜C4 アルキルが置換
又は非置換の、少なくとも1つの−SO3 M基(式中、
MはH+ 、1〜3価金属陽イオン、NH4 +又は1〜30
個の炭素原子を有する有機アンモニウム陽イオンであ
る)を含有する、6〜20個の炭素原子を有する2価の
芳香族炭化水素基であるが、ただし、R2 及びR4 基及
び/又はR6 及びR8 基は少なくとも1つの窒素原子に
対して両オルト位置にC1 〜C4 アルキルが置換されて
いる)を含む請求項1のコポリイミド。 - 【請求項8】 R1 及びR5 が各々独立に、式 【化5】(式中、2つの接手は、互いにオルト位置にあ
り、R9 は水素原子又はフェナシルであり、Y1 は直接
結合、−CH2 −、−CH(CH3 )−、−C(CH
3 )2 −、−O−、−S−、−SO−、−SO2 −、−
C(O)O−又は−NR10−であり、pは0又は1であ
り、Y2 は−CH2 −、−CH(CH3 )−、−C(C
H3 )2 −、−O−、−S−、−SO−、−SO2 −、
−CO−又は−NR10−であり、またR10は水素原子又
はC1 〜C6 アルキルである)で示される基である請求
項7のコポリイミド。 - 【請求項9】 R1 及びR5 が各々独立に、式 【化6】(式中、2つの接手は、互いにオルト位置にあ
り、Y1 は直接結合、−CH2 −、−O−、−S−又は
−SO2 −であり、またY2 は直接結合、−O−、−S
−又は−CO−である)で示される基である請求項7の
コポリイミド。 - 【請求項10】 R3 及びR7 が好ましくは各々独立に
式 【化7】 (式中、2つの接手は互いにオルト位置にあり、Y3 は
直接結合、−S−、−O−、−CH2 −又は−CO−で
ある)で示される基である請求項7のコポリイミド。 - 【請求項11】 テトラカルボン酸基R1 及びR5 、並
びにトリカルボン酸基R3 及びR7 がベンゾフェノン基
を含有する請求項7のコポリイミド。 - 【請求項12】 R2 、R4 、R6 及びR8 が好ましく
はフェニレン、ナフチレ、あるいは非架橋又は架橋ビフ
ェニレン基である請求項7のコポリイミド。 - 【請求項13】 R2 及びR4 は各々独立に、式 【化8】 (式中、X1 は直接結合、−CH2 −、−(CH2 )2
−、−HC=CH−、CH3 CH=、(CH3 )2 C
=、−NR10−、−N=N−、−CO−、−O−、−S
−、−SO−又は−SO2 −であり、またR10は水素原
子又はC1 〜C6 アルキルである)で示される非置換、
あるいは塩素原子、臭素原子又はC1 〜C4 アルキル置
換の基であり、 R6 及びR8 は各々独立に、式 【化9】 (式中、X2 は独立にX1 と同じ意味を有し、R11はC
1 〜C4 アルキルであり、xは0、1、2又は3であ
り、またMはH+ 、NH4 +、アルカリ金属陽イオン、あ
るいは1〜24個の炭素原子を有する第一、第二、第三
又は第四アンモニウム陽イオンである)で示される基で
ある請求項7のコポリイミド。 - 【請求項14】 式(I)及び(III) の構造単位を含
み、そしてX1 及びX 2 が各々独立に直接結合、−CH
2 −、−CH=CH−、−CO−、−O−又は−S−を
有する請求項13のコポリイミド。 - 【請求項15】 式(I)及び(III) (式中、R1 及び
R5 は各々独立に、フェナシル、−NO2 −、−Cl又
は−Br若しくは式 【化10】 (式中、pは0又は1であり、Y2 は直接結合、−CH
2 −、−S−、−O−又は−CO−である)で示される
基が置換又は非置換のベンゼン系の4価の基を有し、 少なくとも1つのアミノ基に対して両オルト位置のR2
はメチル及び/又はエチル置換の3,3’−又は4,
4’−ジフェニルメタンジイルであり、R6 は式 【化11】 (式中、X2 は直接結合、−CH=CH−又は−CH2
−であり、R11はメチル及び/又はエチルであり、xは
0、1、2又は3であり、またMはH+ 、NH4 +、Li
+ 、Na+ 、K+ 、Rb+ 、Cs+ 、1〜20個の炭素
原子を有する第一、第二、第三又は第四アンモニウムで
ある)で示される基である構造単位を含む請求項7のコ
ポリイミド。 - 【請求項16】 R6 が式 【化12】 (式中、MはH+ 、NH4 +、Li+ 、Na+ 、K+ 、R
b+ 、Cs+ 、4〜20個の炭素原子を有する第三又は
第四アンモニウムである)で示される基である請求項1
5記載のコポリイミド。 - 【請求項17】 A)10〜30個の炭素原子を有し、
ハロゲン、ニトロ、C1 〜C4 アルキル、C1 〜C4 ア
ルコキシ又はフェナシルが置換又は非置換の少なくとも
1つのテトラカルボン酸(a’)、及び9〜30個の炭
素原子を有し、(a’)と同様に置換又は非置換の少な
くとも1つの任意の芳香族トリカルボン酸(c’)、又
はそのポリアミド形成性誘導体に、 B)6〜30個の炭素原子を有し、C1 〜C4 アルキル
又はハロゲンが置換又は非置換の少なくとも1つの芳香
族ジアミン(b’)、及び6〜30個の炭素原子を有
し、C1 〜C4 アルキルが置換又は非置換の、芳香族環
に結合する少なくとも1つの−SO3 M基を含有する少
なくとも1つの芳香族ジアミン(d’)(ただし、少な
くとも1つの上記のジアミン(b’)又は(d’)は少
なくとも1つのアミノ基に対して両オルト位置にC1 〜
C4 アルキルが置換されている)を反応させ及び環化す
ることを含む請求項1のコポリイミドの製造方法。 - 【請求項18】 請求項1のコポリイミドの層を支持体
上に含有する被覆物。 - 【請求項19】 表面上又はフォトマスクを通して材料
の層を照射し、その後アルカリ性水性媒体中にそのよう
にして生じた像を非露出領域を溶解することによって現
像することからなる保護層又はレリーフ像の作成方法。 - 【請求項20】 半透膜を用いて塩を形成しない有機化
合物から有機カルボン酸の塩を濃縮、又は分離するため
の方法であって、非置換又はC1 〜C3 アルコキシ置換
C1 〜C4 アルカノール、このようなアルカノールの混
合物又はこのようなアルカノールとエーテルとの混合物
中に溶解した塩及び有機化合物の溶液を膜の一つの側に
接触させ、純溶剤を膜の他の側に存在させ、そして上記
膜は請求項1のコポリイミドから作られる方法。 - 【請求項21】 保護層又はレリーフ像の作成のための
請求項1のコポリイミドの使用方法。 - 【請求項22】 塩を形成しない有機化合物からカルボ
ン酸の塩を濃縮又は分離するための半透膜の形態におけ
る請求項1のコポリイミドの使用方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CH267490 | 1990-08-17 | ||
CH2674/90-4 | 1990-08-17 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0687957A true JPH0687957A (ja) | 1994-03-29 |
Family
ID=4239035
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22977791A Pending JPH0687957A (ja) | 1990-08-17 | 1991-08-16 | コポリイミド、その製造方法及びその使用方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5145940A (ja) |
EP (1) | EP0471650B1 (ja) |
JP (1) | JPH0687957A (ja) |
CA (1) | CA2049265A1 (ja) |
DE (1) | DE59105367D1 (ja) |
IL (1) | IL99193A0 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006265175A (ja) * | 2005-03-24 | 2006-10-05 | Yamaguchi Univ | ジアミノ芳香族化合物 |
JP2010156953A (ja) * | 2008-12-01 | 2010-07-15 | Chisso Corp | 液晶配向剤、液晶配向膜及び液晶表示素子 |
WO2015041250A1 (ja) * | 2013-09-20 | 2015-03-26 | 富士フイルム株式会社 | ガス分離膜、ガス分離モジュール、ガス分離装置、及びガス分離方法 |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5198316A (en) * | 1990-08-17 | 1993-03-30 | Ciba-Geigy Corporation | Copolyimides, their preparation and the use thereof |
FI93680C (fi) * | 1992-05-07 | 1995-05-10 | Outokumpu Instr Oy | Ohutkalvon tukirakenne ja menetelmä sen valmistamiseksi |
AU698309B2 (en) * | 1993-04-09 | 1998-10-29 | Bayer Corporation | Electrochemical sensors |
US5387329A (en) * | 1993-04-09 | 1995-02-07 | Ciba Corning Diagnostics Corp. | Extended use planar sensors |
DE69622088T2 (de) * | 1995-06-06 | 2003-03-06 | Ube Industries, Ltd. | Aromatische Polyimid und Gastrennung |
US5725633A (en) * | 1995-06-30 | 1998-03-10 | Praxair Technology, Inc. | Sulfonated polyimide gas separation membranes |
EP0753336A3 (en) * | 1995-07-12 | 1997-07-02 | Bend Res Inc | Solvent-resistant microporous polyimide membranes |
US6066696A (en) * | 1996-12-13 | 2000-05-23 | Samsung Display Devices Co. Ltd. | Optical alignment composition, alignment layer formed using the same and LCD having the alignment layer |
KR100230436B1 (ko) * | 1996-12-17 | 1999-11-15 | 손욱 | 광배향성 조성물, 이로부터 형성된 배향막 및이 배향막을 구비한 액정표시소자 |
AU1615600A (en) | 1998-11-13 | 2000-06-05 | Cellomics, Inc. | Methods and system for efficient collection and storage of experimental data |
FR2789912B1 (fr) * | 1999-02-18 | 2002-12-20 | Commissariat Energie Atomique | Procede et dispositif de separation a membranes semi-permeables en polyimides sulfones |
US6768982B1 (en) | 2000-09-06 | 2004-07-27 | Cellomics, Inc. | Method and system for creating and using knowledge patterns |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CA959191A (en) * | 1968-12-14 | 1974-12-10 | Munehiko Suzuki | Aromatic polymides and production thereof |
US3666709A (en) * | 1968-12-14 | 1972-05-30 | Shawa Densen Denran Kk A K A S | Solvent soluble aromatic polymides and production thereof |
FR2050251A1 (en) * | 1969-07-08 | 1971-04-02 | Inst Francais Du Petrole | Sulphonated polyimides (i) used as ion ex- - changes and in electrodialysis |
FR2212356A1 (en) * | 1972-12-29 | 1974-07-26 | Inst Francais Du Petrole | Sulphonated imide amide copolymers - used as films membranes, cationic varnishes, ion exchangers, in electrodialysis etc |
US4629777A (en) * | 1983-05-18 | 1986-12-16 | Ciba-Geigy Corporation | Polyimides, a process for their preparation and their use |
EP0133533B1 (en) * | 1983-08-01 | 1993-04-21 | Hitachi, Ltd. | Low thermal expansion resin material for a wiring insulating film. |
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-
1991
- 1991-08-08 DE DE59105367T patent/DE59105367D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-08-08 EP EP19910810624 patent/EP0471650B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1991-08-12 US US07/744,620 patent/US5145940A/en not_active Expired - Fee Related
- 1991-08-15 IL IL99193A patent/IL99193A0/xx unknown
- 1991-08-15 CA CA 2049265 patent/CA2049265A1/en not_active Abandoned
- 1991-08-16 JP JP22977791A patent/JPH0687957A/ja active Pending
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US10040035B2 (en) | 2013-09-20 | 2018-08-07 | Fujifilm Corporation | Gas separation membrane, gas separation module, gas separation device, and gas separation method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
IL99193A0 (en) | 1992-07-15 |
US5145940A (en) | 1992-09-08 |
EP0471650A1 (de) | 1992-02-19 |
CA2049265A1 (en) | 1992-02-18 |
DE59105367D1 (de) | 1995-06-08 |
EP0471650B1 (de) | 1995-05-03 |
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