JPH0686048U - 圧力センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ダイヤフラムが斜めに揺動するように振動し
ても、圧力を正確に検出できるようにした圧力センサを
提供する。 【構成】 ケーシング１３内にはｄ３３型素子よりなる
第１の圧電体３２とｄ１５型素子よりなる第２の圧電体
３３を逆接続して設け、止めねじ２２をケーシング１３
に螺合させることにより、第１，第２の圧電体３２，３
３に受圧ロッド１６との間で初期荷重を与え、ケーシン
グ１３内で位置決めする。これにより、ダイヤフラム１
４が揺動するように振動し、受圧ロッド１６を介して第
１の圧電体３２，第２の圧電体３３に斜め方向の圧力が
作用しても、第２の圧電体３３はこの斜め方向の圧力に
対して第１の圧電体３２が発生するノイズ分と逆向きの
検出信号を発生し、第１の圧電体の検出信号からノイズ
分を相殺するようになる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、例えば自動車用エンジン等の燃焼圧を検出する燃焼圧センサに用い て好適な圧力センサに関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来技術による圧力センサとして、図５ないし図７に日産自動車株式会社より 提案されている特願平２−９６９７０号の燃焼圧センサを示す。

【０００３】 １はエンジン本体を示し、該エンジン本体１は、シリンダ２と、該シリンダ２ 内を往復動するピストン３と、シリンダ２上に設けられたシリンダヘッド４とか ら大略構成され、該シリンダヘッド４はシリンダ２，ピストン３との間に燃焼室 ５を画成している。ここで、該シリンダヘッド４には吸気口４Ａが形成され、該 吸気口４Ａには吸気弁６が設けられている。また、該シリンダヘッド４には燃焼 室５内と連通して段部７Ａを有し、後述の燃焼圧センサ１２が挿入される段付穴 ７が穿設されている。そして、該シリンダヘッド４の吸気口４Ａは吸気マニホー ルド８と接続され、該吸気マニホールド８から供給される空気と燃料との混合気 を吸気弁６を介して燃焼室５内にピストン３の往復動により吸込ませるようにな っている。

【０００４】 ９は先端側が燃焼室５内に臨むようにシリンダヘッド４に取付けられた点火プ ラグを示し、該点火プラグ９は燃焼室５内に吸込まれた混合気に点火を行い、こ の混合気を燃焼させることによって燃焼室５内に高い燃焼圧を発生させるように なっている。そして、エンジン本体１のピストン３はこの燃焼圧によって下向き に駆動され、クランク軸（図示せず）から回転出力を導出させるようになってい る。

【０００５】 １０はエンジン本体１の外側に位置して、段付穴７内に燃焼圧センサ１２を位 置決めする取付ステーを示し、該取付ステー１０の一端側は点火プラグ９に筒状 のスペーサ１１を介して固定され、他端側は後述するカバー１５の縮径部１５Ａ に遊嵌される自由端となっている。

【０００６】 １２は燃焼室５内に臨むようにシリンダヘッド４の段付穴７に取付けられた燃 焼圧センサ、１３は該燃焼圧センサ１２の本体を構成する段付筒状のケーシング を示し、該ケーシング１３は銅合金等の金属材料から大径の筒状に形成された大 径筒部１３Ａと、該大径筒部１３Ａの下端側に設けられ、下向きに縮径するテー パ状に形成された肩部１３Ｂと、後述のダイヤフラム１４とから構成され、該ケ ーシング１３は肩部１３Ｂを介して段付穴７の段部７Ａに当接するように段付穴 ７内に挿入されている。また、該ケーシング１３は肩部１３Ｂを除いた外周面と 段付穴７の周面との間に、図６に示す如く全周に亘って約１００〜２００μｍ程 度の隙間を介在させ、エンジン本体１の振動がケーシング１３を介して後述の圧 電体１８に伝達されるのを極力防止するようになっている。

【０００７】 １４はケーシング１３の先端側に設けられた有底筒状のダイヤフラムを示し、 該ダイヤフラム１４はケーシング１３の肩部１３Ｂから下向きに突出した薄肉な 円筒状の小径部１４Ａと、該小径部１４Ａの先端部に形成され、燃焼室５内に臨 む厚肉円板状の受圧部１４Ｂとから構成されている。そして、該ダイヤフラム１ ４は燃焼室５内の圧力（燃焼圧）を受圧部１４Ｂで受圧すると、この圧力に応じ て小径部１４Ａが軸方向に撓んで、後述の受圧ロッド１６を軸方向に変位させる ようになっている。

【０００８】 １５はケーシング１３の上端側にレーザ溶接等の手段を用いて固着された段付 円筒状のカバーを示し、該カバー１５の上側にはシリンダヘッド４外へと上向き に突出する縮径部１５Ａが形成され、該縮径部１５Ａは取付ステー１０の他端側 に遊嵌されている。

【０００９】 １６はケーシング１３内に軸方向に変位可能に設けられたステンレス等の金属 材料からなる受圧ロッドを示し、該受圧ロッド１６は下端側の球面部１６Ａがダ イヤフラム１４の受圧部１４Ｂに当接され、上端側の円錐部１６Ｂが絶縁性のセ ラミック材料等からなる円板状の下側プレート１７および後述のコンタクトプレ ート２０を介して後述の圧電体１８に当接している。そして、該受圧ロッド１６ は燃焼圧によって軸方向に撓むダイヤフラム１４の変位を下側プレート１７等を 介して圧電体１８に伝達すると共に、燃焼室５内の高温が圧電体１８に伝わるの を防止するようになっている。

【００１０】 １８は前記受圧ロッド１６の基端側に位置してケーシング１３の大径筒部１３ Ａ内に設けられ、チタン酸鉛等の圧電性材料から環状に形成された圧電体を示し 、該圧電体１８の上，下両端面には図７に示す如くシート状の上側電極１８Ａ， 下側電極１８Ｂが形成され、該圧電体１８の下側電極１８Ｂは後述するコンタク トプレート２０のコンタクト部２０Ａに接触し、上側電極１８Ａは導電性の金属 材料から筒状に形成された上側プレート１９、後述の止めねじ２２を介してケー シング１３にアースされている。

【００１１】 ここで、該圧電体１８は製造時に上下方向（軸方向）に電界が加えられること により、自発分極の向きがある程度揃えられ、図７に示す如く分極軸Ｐが上下方 向（軸方向）に形成され、該分極軸Ｐに対して平行な応力軸Ｆの方向に圧力（応 力）が作用すると、圧電体１８の内部に歪みが生じ、この圧力に応じた電荷（電 圧）を検出信号として信号軸Ｖの方向に出力する所謂ｄ３３型素子として構成さ れている。

【００１２】 そして、該圧電体１８はダイヤフラム１４が燃焼室５内の燃焼圧を受圧し、受 圧ロッド１６を介してこの燃焼圧を受承することにより軸方向に圧縮され、この ときの圧縮歪に対応した起電力を燃焼圧の検出信号として出力するようになって いる。

【００１３】 ２０はケーシング１３内に設けられた導電性の金属材料からなるコンタクトプ レートを示し、該コンタクトプレート２０は、下端側に位置して円板状に形成さ れ、圧電体１８に接触するコンタクト部２０Ａと、該コンタクト部２０Ａの内周 側から軸方向上向きに突設され、上端側がリード線２１にカシメ固定された筒状 の軸部２０Ｂとから構成され、該コンタクトプレート２０は後述の絶縁チューブ ２５，２６と下側プレート１７とによりケーシング１３と絶縁されている。そし て、該コンタクトプレート２０は圧電体１８からの検出信号をリード線２１を介 してコントロールユニット（図示せず）に伝達する。

【００１４】 ２２はケーシング１３内に螺着された位置決め手段としての止めねじを示し、 該止めねじ２２は導電性の金属材料から略円筒状に形成され、その外周面にはお ねじ部２２Ａを有している。そして、該止めねじ２２は上側プレート１９を介し て圧電体１８を下向きに押圧することにより、該圧電体１８に所定の初期荷重を 与え、ケーシング１３内で圧電体１８を軸方向に位置決めしている。

【００１５】 ２３はカバー１５の縮径部１５Ａ上端側にカシメ等の手段により嵌合固着され たシール部材を示し、該シール部材２３はリード線２１の抜け止めを行うと共に 、外部の雨水等がカバー１５内へ浸入するのを防止するようになっている。

【００１６】 ２４，２４は取付ステー１０の自由端側とカバー１５の縮径部１５Ａの上端側 との間に配設された皿ばねを示し、該各皿ばね２４はケーシング１３の肩部１３ Ｂを段付穴７の段部７Ａに常時押付けることで段付穴７を閉塞させ、燃焼室５内 の燃焼圧が段付穴７を介してエンジン本体１の外部に漏れるのを防止すると共に 、エンジン本体１の振動がスペーサ１１，取付ステー１０等を介してケーシング １３内の圧電体１８に伝達されるのをそのばね力により緩衝して防止するように なっている。

【００１７】 ２５はコンタクトプレート２０のコンタクト部２０Ａ外周側に設けられた下側 絶縁チューブを示し、該下側絶縁チューブ２５は熱収縮性の絶縁樹脂材料から大 径な筒状に形成されている。そして、該下側絶縁チューブ２５は下側プレート１ ７、圧電体１８、コンタクト部２０Ａ等が挿入された状態で熱風等により加熱さ れて収縮し、コンタクト部２０Ａ等を囲繞するようになっている。

【００１８】 また、２６はコンタクトプレート２０の軸部２０Ｂ外周側に設けられた上側絶 縁チューブで、該上側絶縁チューブ２６は熱収縮性の絶縁樹脂材料から小径な筒 状に形成され、該上側絶縁チューブ２６は軸部２０Ｂの外周側を止めねじ２２、 ケーシング１３から絶縁するようになっている。

【００１９】 従来技術による燃焼圧センサ１２は上述の如き構成を有するもので、ケーシン グ１３内に受圧ロッド１６を挿入し、該受圧ロッド１６の上端側に予め各絶縁チ ューブ２５，２６によって外周側を囲繞されたコンタクトプレート２０、圧電体 １８等を挿入して取付けた後、止めねじ２２をケーシング１３内に螺着してこれ らを固定し、カバー１５をケーシング１３の上端側に固着して組立てられ、段付 穴７内に取付けられる。そして、エンジン本体１の燃焼室５内に吸込まれた混合 気を点火プラグ９によって点火すると、この混合気が燃焼して燃焼室５内に非常 に高い燃焼圧が発生するから、この燃焼圧はケーシング１３の一部を構成するダ イヤフラム１４の受圧部１４Ｂで受圧され、小径部１４Ａを燃焼圧に応じて軸方 向（図６中の矢示Ａ方向）に撓ませる。

【００２０】 かくして、この燃焼圧は受圧ロッド１６を介して圧電体１８に伝えられ、該圧 電体１８はこのときの燃焼圧に応じて圧縮され、燃焼圧に対応した起電力を検出 信号としてコンタクトプレート２０，リード線２１等を介して外部のコントロー ルユニットに出力する。そして、コントロールユニットはこの検出信号に基づい て燃焼圧の大，小を判定し、エンジン本体１の点火時期を制御したり、エンジン 本体１の負荷状態を検出したりするようになっている。

【００２１】

【考案が解決しようとする課題】

ところで、上述した従来技術による燃焼圧センサ１２では、有底筒状のダイヤ フラム１４の撓み変形を受圧ロッド１６を介して圧電体１８に伝達し、該圧電体 １８が応力軸Ｆの方向に押圧されたときに、該圧電体１８の信号軸Ｖの方向に発 生する電圧を検出信号として出力するようになっている。

【００２２】 しかし、該燃焼圧センサ１２では、燃焼室５内の圧力（燃焼圧）をダイヤフラ ム１４が受圧するときに、該ダイヤフラム１４は図６中の矢示Ａ方向に撓み変形 するばかりでなく、矢示Ｂ方向にも揺動するように振動することがあり、このと き圧電体１８は受圧ロッド１６から図７中の矢示Ｂ方向に斜めに片押しされる。

【００２３】 一方、圧電体１８は分極軸Ｐがケーシング１３の軸方向を向き、同様に軸方向 となる応力軸Ｆの圧力に対して電圧を発生するように製造されているものの、実 際には、矢示Ｂ方向の斜めの圧力に対しても電圧を発生してしまうため、ダイヤ フラム１４が矢示Ｂ方向に揺動し、圧電体１８は応力軸Ｆの方向の圧力に加えて 、矢示Ｂ方向の圧力によっても電圧を発生し、本来求めるべき燃焼圧に加えて不 必要なノイズを出力してしまうという問題がある。

【００２４】 本考案は上述した従来技術の問題に鑑みなされたもので、本考案は、ダイヤフ ラムが斜め方向に揺動するようなときでも、ダイヤフラムの軸方向に作用する圧 力を高精度に検出でき、信頼性を向上できるようにした圧力センサを提供するこ とを目的としている。

【００２５】

【課題を解決するための手段】

上述した課題を解決するために本考案による圧力センサは、筒状のケーシング と、該ケーシングの先端側に設けられ、外部から作用する圧力に応じて撓み変形 する有底筒状のダイヤフラムと、先端側が該ダイヤフラムに当接するように前記 ケーシング内に設けられ、該ダイヤフラムの変形に応じてケーシング内を変位す る受圧ロッドと、該受圧ロッドの基端側に位置して前記ケーシング内に設けられ 、少なくとも前記受圧ロッドが軸方向に変位したときに検出信号を出力する第１ の圧電体と、該第１の圧電体に逆接続するように前記ケーシング内に設けられ、 前記受圧ロッドが揺動したときに検出信号を出力する第２の圧電体と、前記ケー シング内に設けられ、該第１，第２の圧電体に初期荷重を与えるように、該第１ 、第２の圧電体を前記ケーシング内で位置決めする位置決め手段とからなる構成 を採用している。

【００２６】

【作用】

上記構成により、外部からの圧力でダイヤフラムが軸方向に撓み変形すると共 に、斜め方向で揺動するような場合には、第１，第２の圧電体がこの時の圧力を 受圧ロッドを介して受圧し、第１の圧電体は軸方向の圧力に斜め方向の圧力を加 算した検出信号を出力し、第２の圧電体は斜め方向の圧力に応じた検出信号を出 力するから、第１の圧電体による検出信号を第２の圧電体による検出信号で相殺 させることによって本来の検出すべき検出信号からノイズ分を除去することがで きる。

【００２７】

【実施例】

以下、本考案の実施例を燃焼圧センサを例に挙げ、図１ないし図４に基づき詳 述する。なお、実施例では前述した図５ないし図７に示す従来技術と同一の構成 要素に同一の符号を付し、その説明を省略するものとする。

【００２８】 まず、図１および図２は本考案の第１の実施例を示している。

【００２９】 図中、３１は本実施例による燃焼圧センサを示し、該燃焼圧センサ３１は従来 技術で述べた燃焼圧センサ１２とほぼ同様に、ケーシング１３、ダイヤフラム１ ４、カバー１５、受圧ロッド１６、止めねじ２２等から構成されるものの、該燃 焼圧センサ３１にはケーシング１３内に後述する第１の圧電体３２と第２の圧電 体３３とが設けられている。

【００３０】 ３２は第１の圧電体を示し、該圧電体３２は従来技術で述べた圧電体１８とほ ぼ同様に所謂ｄ３３型素子によって構成され、コンタクトプレート２０のコンタ クト部２０Ａと止めねじ２２との間に配設されている。そして、該第１の圧電体 ３２は、ダイヤフラム１４が軸方向に撓み変形すると共に斜めに揺動し、受圧ロ ッド１６を介して矢示Ａ方向の軸方向と斜め方向（矢示Ｂ方向）の圧力が加えら れると、本来の検出すべき軸方向の圧力に対応した検出信号に、斜め方向の圧力 分の検出信号をノイズ分として加算した検出信号Ｅ1 を発生する。

【００３１】 ３３はコンタクトプレート２０と受圧ロッド１６との間に配設され、第１の圧 電体３２にコンタクトプレート２０のコンタクト部２０Ａを介して逆接続された 第２の圧電体を示し、該圧電体３３はチタン酸鉛等の圧電性材料から円板状に形 成され、その上，下面には導電性ペースト等からなる上側電極３３Ａ，下側電極 ３３Ｂが設けられている。そして、該第２の圧電体３３は図２に示す如く、自発 分極の向きが揃えられて分極軸Ｐと応力軸Ｆとが径方向となり、信号軸Ｖが軸方 向に形成された所謂ｄ１５型素子として構成されている。

【００３２】 ここで、ケーシング１３の基端側から止めねじ２２を大径筒部１３Ａ内に螺合 させることにより、第２の圧電体３３は、上側電極３３Ａがコンタクトプレート ２０のコンタクト部２０Ａに接触し、下側電極３３Ｂが受圧ロッド１６を介して ケーシング１３にアースされ、前記第１の圧電体３２と共にケーシング１３内の 軸方向に初期荷重を与えられて位置決めされている。そして、該第２の圧電体３ ３は受圧ロッド１６から軸方向となる矢示Ａ方向に圧力が加えられても検出信号 を発生せず、矢示Ｂ方向から斜めに圧力が加えられると、この斜め方向の圧力に よって検出信号Ｅ2 を上側電極３３Ａ，下側電極３３Ｂ間から発生する。

【００３３】 この場合、第２の圧電体３３はコンタクトプレート２０のコンタクト部２０Ａ を介して第１の圧電体３２に逆接続して設けられているから、コンタクトプレー ト２０の軸部２０Ｂ等を介して燃焼圧センサ３１から出力される検出信号Ｅは、

【００３４】

【数１】 Ｅ＝Ｅ1 −Ｅ2 としてコントロールユニット側に出力される。

【００３５】 本実施例による燃焼圧センサ３１は上述の如き構成を有するもので、その基本 的作動については従来技術によるものと格別差異はない。

【００３６】 然るに、本実施例によれば、ケーシング１３内にはｄ３３型素子よりなる第１ の圧電体３２とｄ１５型素子よりなる第２の圧電体３３とを逆接続して設け、止 めねじ２２をケーシング１３に螺合させることによって該第１，第２の圧電体３ ２，３３に初期荷重を与え、ケーシング１３内で位置決めするように構成したの で、燃焼室５からの燃焼圧をダイヤフラム１４が受圧し、矢示Ａ方向に撓み変形 すると共に、矢示Ｂ方向に揺動するように振動した場合でも、第２の圧電体３３ はこの矢示Ｂ方向の圧力に対応した検出信号Ｅ2 を発生し、第１の圧電体３２が 発生する矢示Ｂ方向の圧力によるノイズ分を含んだ検出信号Ｅ1 から前記検出信 号Ｅ2 のノイズ分を前記数１の式の如く相殺することができる。

【００３７】 従って、本実施例によれば、燃焼圧センサ３１はダイヤフラム１４が矢示Ｂ方 向に揺動するように振動しても、ノイズ分のない矢示Ａ方向の圧力に対応した検 出信号を出力でき、圧力の検出精度を向上させることができる。

【００３８】 また、本実施例によれば、圧電体３２，３３の上，下に上側プレートおよび下 側プレート等を特別に設ける必要がなく、第２の圧電体３３を配設したことによ る軸方向寸法の増加をなくすことができ、燃焼圧センサ３１が大型化するのを防 止できる。

【００３９】 次に、図３は本考案の第２の実施例を示し、本実施例の特徴は、第１の圧電体 の上側に上側プレートを配設し、第２の圧電体の下側に下側プレートを配設した ことにある。なお、本実施例では前記第１の実施例と同一の構成要素に同一の符 号を付し、その説明を省略するものとする。

【００４０】 図中、４１，４１は第１の圧電体３２の上側に設けられた上側プレートを示し 、該各上側プレート４１は止めねじ２２の下端と、第１の圧電体３２の上側電極 との間を電気的に接続し、止めねじ２２を螺合するときに各上側プレート４１が 相対回転することにより、第１の圧電体３２に捩り力が作用するのを防止するよ うになっている。

【００４１】 ４２は第２の圧電体を示し、該圧電体４２は前記第１の実施例で述べた圧電体 ３３とほぼ同様に略円板状に形成されたｄ１５型素子からなり、該圧電体４２の 上，下両端には図示しない上側電極、下側電極が形成されている。そして、該圧 電体４２はコンタクトプレート２０のコンタクト部２０Ａと後述する下側プレー ト４３との間に配設され、第１の圧電体３２に対しては逆接続されている。

【００４２】 ４３は下側プレートを示し、該下側プレート４３は導電性の金属材料から略円 板状に形成され、前記第２の圧電体４２と受圧ロッド１６との間に配設されてい る。そして、該下側プレート４３は第２の圧電体４２の下側電極を受圧ロッド１ ６とに電気的に接続し、これをケーシング１３を介してアースするものである。

【００４３】 以上の如く構成される本実施例によっても前述した第１の実施例とほぼ同様の 作用効果を奏することができるが、特に本実施例では、各上側プレート４１、下 側プレート４３を追加することにより、圧電体３２，４２の損傷を効果的に防止 できる。

【００４４】 次に、図４は本考案の第３の実施例を示し、本実施例の特徴は下側プレートを 筒状に形成し、該下側プレートの中央に第２の圧電体を配設したことにある。な お、本実施例では前記第２の実施例と同一の構成要素に同一符号を付し、その説 明を省略するものとする。

【００４５】 図中、５１は下側プレートを示し、該下側プレート５１は例えば合成樹脂また はセラミックス等の、絶縁性を有する材料から上，下両端面が平坦となった筒状 に形成され、受圧ロッド１６からの圧力を受圧したときに、後述する第２の圧電 体５２と同等に変形するようになっている。

【００４６】 ５２は第２の圧電体を示し、該圧電体５２は前記下側プレート５１と同一の厚 さ寸法を有し、第１の実施例で述べた第２の圧電体３３とほぼ同様に、上側電極 と下側電極（いずれも図示せず）が上，下両端面に形成されたｄ１５型素子とし て構成されている。

【００４７】 以上の如く構成される本実施例によっても、前記第１の実施例とほぼ同様の作 用、効果を奏するものの、特に本実施例では、下側プレート５１を筒状に形成し 、該下側プレート５１の中央に第２の圧電体５２を配設したから、止めねじ２２ によって第１，第２の圧電体３２，５２をケーシング１３内に位置決めするとき に、第２の圧電体５２が損傷するのを防止できると共に、下側プレート５１と第 ２圧電体５２が面一に配設されるから、燃焼圧センサの軸方向寸法が余分に大き くなるのを防止できる。

【００４８】 なお、前記各実施例では圧力センサとして燃焼圧センサを例に挙げて説明した が、本考案はこれに限るものではなく、例えば空気、工業用ガス等の気体や燃料 、水等の液体の圧力を検出する圧力センサにも適用してもよい。

【００４９】

【考案の効果】

以上詳述した通り、本考案による圧力センサは、ケーシングの先端側に、外部 から作用する圧力に応じて撓み変形する有底筒状のダイヤフラムを設け、該ダイ ヤフラムに当接するように前記ケーシング内に設けた受圧ロッドと位置決め手段 との間には、少なくとも前記受圧ロッドが軸方向に変位したときに検出信号を出 力する第１の圧電体と、該第１の圧電体に逆接続され、前記受圧ロッドが揺動し たときに検出信号を出力する第２の圧電体とを設けたから、前記ダイヤフラムが 軸方向に撓み変形すると共に揺動するように振動し、受圧ロッドを介して第１， 第２の圧電体に軸方向と斜め方向の圧力が作用した場合でも、第２の圧電体はこ の斜め方向の圧力に対して第１の圧電体が発生するノイズ分と逆向きの検出信号 を発生し、第１の圧電体の検出信号からノイズ分を相殺でき、ダイヤフラムが斜 めに揺動するように振動しても、ノイズの少ない正確な圧力の検出信号を出力で きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の第１の実施例による燃焼圧センサの要
部を拡大して示す縦断面図である。

【図２】図１に示す第２の圧電体の拡大縦断面図であ
る。

【図３】本考案の第２の実施例による燃焼圧センサの要
部を拡大して示す縦断面図である。

【図４】本考案の第３の実施例による燃焼圧センサの要
部を拡大して示す縦断面図である。

【図５】従来技術による自動車用エンジンの要部を示す
縦断面図である。

【図６】図５中の燃焼圧センサを拡大して示す縦断面図
である。

【図７】図６に示す圧電体の拡大縦断面図である。

【符号の説明】

１３ ケーシング １４ ダイヤフラム １５ カバー １６ 受圧ロッド ２０ コンタクトプレート ２２ 止めねじ（位置決め手段） ３２ 第１の圧電体 ３３，４２，５２ 第２の圧電体

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 筒状のケーシングと、該ケーシングの先
   端側に設けられ、外部から作用する圧力に応じて撓み変
   形する有底筒状のダイヤフラムと、先端側が該ダイヤフ
   ラムに当接するように前記ケーシング内に設けられ、該
   ダイヤフラムの変形に応じてケーシング内を変位する受
   圧ロッドと、該受圧ロッドの基端側に位置して前記ケー
   シング内に設けられ、少なくとも前記受圧ロッドが軸方
   向に変位したときに検出信号を出力する第１の圧電体
   と、該第１の圧電体に逆接続するように前記ケーシング
   内に設けられ、前記受圧ロッドが揺動したときに検出信
   号を出力する第２の圧電体と、前記ケーシング内に設け
   られ、該第１，第２の圧電体に初期荷重を与えるよう
   に、該第１、第２の圧電体を前記ケーシング内で位置決
   めする位置決め手段とから構成してなる圧力センサ。