JPH0685600A - 弾性表面波装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】パッケージングの際に生じる塵埃による弾性表
面波素子への悪影響を回避し得る弾性表面波装置を提供
する。 【構成】外装ケース１は凹部４を有する。弾性表面波素
子２は凹部４の内部に配置されている。蓋体３は、金属
材料で構成され、凹部４を取り囲む壁部１１の上端面１
２に接合され、凹部４を閉塞し、少なくとも凹部４と対
面する面が保護膜３１で覆われている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、弾性表面波装置に関
し、更に詳しくは、弾性表面波素子に対する防塵作用を
有する弾性表面波装置に係る。

【０００２】

【従来の技術】弾性表面波装置はフィルタ、遅延線、レ
ゾネータ、光機能素子等を構成する要素として用いられ
るものであって、特に、高周波帯における小型フィルタ
素子として注目されている。先行技術文献例としては、
例えば特開平３ー２８４００６号公報が知られている。
この公知文献で知られる弾性表面波装置は、外装ケース
と、弾性表面波素子とを含んでいる。弾性表面波素子は
外装ケース内に配置されている。弾性表面波装置は、数
百ＭＨｚ〜数ＧＨｚの高周波で動作するので、外装ケー
ス内に収納された弾性表面波素子に対し、高度のシール
ドを施す必要がある。シールド作用を高度化する１つの
手段として、蓋体を金属材料によって構成し、これを外
装ケースに接合する。接合にあたっては、外装ケースの
接合面に予め金属膜を付着させておき、この金属膜と蓋
体とを、溶接、または、はんだ付けなどの手段によって
接合してパッケージングする。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の弾性
表面波装置は、パッケージングに当たり、外装ケースに
蓋体を接合する際、蓋体の瞬時の位置ずれや、溶接時の
大電流により、金属塵埃が飛び散る。このようにして発
生した金属塵埃が弾性表面波素子の表面に付着し、微細
電極間の電気的短絡、それに伴う弾性表面波素子の特性
変動及び電極劣化を招くという問題点があった。

【０００４】弾性表面波素子の表面を薄い保護膜で覆う
ことにより、弾性表面波素子の表面への塵埃の付着を防
止することができる。しかし、弾性表面波素子の表面を
保護膜で覆うと振動特性が劣化する。上述した先行技術
文献には、パッケージングの際に生じる防塵について
は、何も開示していない。

【０００５】そこで、本発明の課題は、パッケージング
の際に生じる塵埃による弾性表面波素子への悪影響を回
避し得る弾性表面波装置を提供することである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上述した課題解決のた
め、本発明は、外装ケースと、弾性表面波素子と、蓋体
とを含む弾性表面波装置であって、前記外装ケースは、
凹部を有しており、前記弾性表面波素子は、前記凹部の
内部に配置されており前記蓋体は、前記凹部を取り囲む
壁部の上端面に接合され、前記凹部を閉塞し、少なくと
も前記凹部と対面する面が金属面を含み、前記金属面が
保護膜で覆われている。

【０００７】

【作用】外装ケースは、凹部を有しており、弾性表面波
素子は凹部の内部に配置されており、蓋体は凹部を取り
囲む周壁部の上端面に接合され、凹部を閉塞し、少なく
とも記凹部と対面する面が金属面を含んでいるから、数
百ＭＨｚ〜数ＧＨｚの高周波で動作する弾性表面波素子
に対し、高度のシールドを施すことができる。

【０００８】蓋体は、金属面が保護膜で覆われているか
ら、パッケージングにおいて、外装ケースに蓋体を接合
する際、蓋体の瞬時の位置ずれや、溶接時の大電流が流
れても、蓋体から金属塵埃が飛び散ることがない。この
ため、金属塵埃が弾性表面波素子の表面に付着すること
がなくなり、微細電極間の電気的短絡、弾性表面波素子
の特性変動及び電極劣化などを確実に防止できる。

【０００９】蓋体が外装ケースの上端面の外周縁との間
で横移動防止機構を構成する凸縁を有する場合は、外装
ケースに蓋体を接合する際、蓋体の位置ずれが防止でき
る。このため、蓋体の位置ずれに伴う金属塵埃の発生が
抑制され、弾性表面波素子の微細電極間の電気的短絡、
弾性表面波素子の特性変動及び電極劣化などが防止され
る。

【００１０】また、カバー部材を有し、カバー部材が外
装ケースの凹部内に配置され、弾性表面波素子を覆って
いる場合は、パッケージングにおいて、外装ケースに蓋
体を接合する際、蓋体の瞬時の位置ずれや、溶接時の大
電流が流れて、蓋体から金属塵埃が飛び散ったとして
も、弾性表面波素子の表面への金属塵埃の付着がカバー
部材により阻止される。このため、弾性表面波素子の微
細電極間の電気的短絡、特性変動及び電極劣化などを確
実に防止できる。

【００１１】更に、蓋体は少なくとも凹部と対面する面
の１部または全部が着磁されている場合または凹部と対
面する面に磁石を有する場合は、パッケージングにおい
て、外装ケースに蓋体を接合する際、蓋体の瞬時の位置
ずれや、溶接時の大電流が流れて、蓋体から金属塵埃が
飛び散ったとしても、これらの金属塵埃が着磁された蓋
体または磁石に吸着し、弾性表面波素子の表面へ付着す
ることがない。このため、弾性表面波素子の微細電極間
の電気的短絡、特性変動及び電極劣化を防止できる。

【００１２】

【実施例】図１は本発明に係る弾性表面波装置の正面部
分断面図である。１は外装ケース、２は弾性表面波素
子、３は蓋体である。外装ケース１は凹部４を有してい
る。外装ケース１は、通常、アルミナ等の絶縁材料によ
って構成される。弾性表面波素子２は凹部４の内部に配
置されている。弾性表面波素子２は、凹部４内に配置さ
れ、入出力電極２１、２２がワイヤ２３等により入出力
用導電層５１、５２に接続される。図示はされていない
が、接地電極もワイヤ等により接地用導電層に接続され
ている。弾性表面波素子２は、圧電基板２０の上に櫛歯
状入力電極と櫛歯状出力電極とを互いに挟み込むように
対向配置したタイプのものでも、複数の入力電極及び出
力電極を交互に配置した多電極型のものでもよい。弾性
表面波素子２は導電接着剤２４を用いて導電層５３の上
に接着してある。

【００１３】蓋体３は、凹部４を取り囲む周壁部１１の
上端面１２に接合され、凹部４を閉塞している。蓋体３
は少なくとも凹部４と対面する面が金属面を含み、金属
面が保護膜３１で覆われている。このような蓋体３はそ
の全体を金属材料によって構成するか、または非金属材
料の表面を金属によって被覆することによって得られ
る。保護膜３１は望ましくは非接合部を覆うように、樹
脂コートを施すことによって形成する。用いる樹脂材料
としては、エポキシ系樹脂、シリコーン系樹脂を上げる
ことができる。この中でも、シリコーン系樹脂は粘着性
を有し浮遊塵埃を吸着できるので、特に望ましい。蓋体
３の接合に当たっては、外装ケース１の接合面に予め金
属膜５４を付着させておき、この金属膜５４と蓋体３と
を、溶接、または、はんだ付けなどの手段によって接合
する。参照符号１３は溶接、または、はんだなどの導電
性接着剤を示している。

【００１４】上述したように、外装ケース１は凹部４を
有しており、弾性表面波素子２は凹部４の内部に配置さ
れており、蓋体３は凹部４を取り囲む周壁部１１の上端
面１２に接合され、凹部４を閉塞し、少なくとも凹部４
と対面する面が金属面を含んでいるから、数百ＭＨｚ〜
数ＧＨｚの高周波で動作する弾性表面波素子２に対し、
金属面による高度のシールドを施すことができる。

【００１５】しかも、蓋体３は少なくとも凹部４と対面
する金属面が保護膜３１で覆われているから、パッケー
ジングにおいて、外装ケース１に蓋体３を接合する際、
蓋体３の瞬時の位置ずれや、溶接時の大電流が流れて
も、蓋体３から金属塵埃が飛び散ることがない。このた
め、金属塵埃が弾性表面波素子２の表面に付着すること
がなくなり、微細な電極２１、２２の電気的短絡、特性
変動及び電極劣化などを確実に防止できる。

【００１６】図２は本発明に係る弾性表面波装置の他の
実施例における正面部分断面図を示している。図におい
て、図１と同一の参照符号は同一性ある構成部分を示し
ている。蓋体３は外装ケース１の接合面の外周縁との間
で横移動防止機構を構成する凸縁３２を有する。このよ
うな構造であると、外装ケース１に蓋体３を接合する
際、蓋体３の位置ずれが防止できる。このため、蓋体３
の位置ずれに伴う金属塵埃の発生が抑制され、弾性表面
波素子２の微細な電極２１、２２の電気的短絡、弾性表
面波素子２の特性変動及び電極劣化などが防止される。

【００１７】図３は本発明に係る弾性表面波装置の他の
実施例における正面部分断面図を示している。図におい
て、図１と同一の参照符号は同一性ある構成部分を示し
ている。図３の弾性表面波装置は、カバー部材６を有
し、カバー部材６が外装ケース１の凹部４内に配置さ
れ、弾性表面波素子２を覆っている。カバー部材６は薄
いプラスチックシートを用い、これをアーチ状に曲げて
弾性表面波素子２の上方に間隔を隔てて配置してある。
カバー部材６が外装ケース１の凹部４内に配置され、弾
性表面波素子２を覆っていると、パッケージングにおい
て、外装ケース１に蓋体３を接合する際、蓋体３の瞬時
の位置ずれや、溶接時の大電流が流れて、蓋体３から金
属塵埃が飛び散ったとしても、弾性表面波素子２の表面
への金属塵埃の付着がカバー部材６により阻止される。
このため、弾性表面波素子２の微細な電極２１、２２の
電気的短絡、特性変動及び電極劣化などを確実に防止で
きる。

【００１８】図４は本発明に係る弾性表面波装置の他の
実施例における正面部分断面図を示している。図におい
て、図１と同一の参照符号は同一性ある構成部分を示し
ている。図４の弾性表面波装置では、蓋体３は少なくと
も凹部４と対面する面の１部または全部が着磁されてい
る。このような構造であると、外装ケース１に蓋体３を
接合する際、蓋体３の瞬時の位置ずれや、溶接時の大電
流が流れて、蓋体３から金属塵埃が飛び散ったとして
も、これらの金属塵埃が着磁された蓋体３に磁気吸着
し、弾性表面波素子２の表面へ付着することがない。こ
のため、弾性表面波素子２の微細な電極２１、２２の電
気的短絡、特性変動及び電極劣化を防止できる。

【００１９】図５は本発明に係る弾性表面波装置の他の
実施例における正面部分断面図を示している。図におい
て、図１と同一の参照符号は同一性ある構成部分を示し
ている。図５の弾性表面波装置では、蓋体３は凹部４と
対面する面に磁石７を有する。磁石７は蓋体３の凹部４
と対向する面が磁極となるような配置を採ることが望ま
しい。この図５の実施例の場合も図４と同様の作用効果
を奏する。

【００２０】図６は本発明に係る弾性表面波装置の分解
斜視図、図７は図６のＡ７ーＡ７線上断面図、図８は図
６のＡ８ーＡ８線上断面図である。

【００２１】外装ケース１は、入出力用端子８１、８２
と、接地用端子９１、９２と、すくなとも３つの導電層
Ａ〜Ｃとを有する。凹部４は底面４１及び底面４１との
間に段差ｈを有する段面４２を含んでいる。外装ケース
１は平面形状が４角形状を有し、４角部に欠落部を有し
ている。欠落部は例えば円弧状に形成する。

【００２２】入出力用端子８１、８２及び接地用端子９
１、９２は外装ケース１の外周面に設けられている。入
出力用端子８１、８２及び接地用端子９１、９２は例え
ばＡｇを主成分とした電極材料を塗布し焼き付けて形成
することができる。接地用導体９１、９２のうち、接地
用導体９１は、外装ケース１の４角に形成された欠落部
に設けらている。

【００２３】導電層Ａ〜Ｃのうち、第１導電層Ａは凹部
４の底面４１に設けられると共に、凹部４を取り囲む周
壁部を貫通して外周面に導かれ、接地用端子９１、９２
に導通している。第２導電層Ｂは、入出力用導電層５
１、５２と、接地用導電層５５とを含み、段面４２に付
着して設けられると共に、段面４２の回りの周壁部を貫
通して外周面に導出され、入出力用導電層５１、５２が
入出力用端子８１、８２に導通し、接地用導電層５５が
接地用端子９１、９２に導通している。入出力用導電層
５１、５２及び接地用導電層５５は間隔を隔てて形成さ
れている。第３導電膜Ｃは外装ケース１の接合面に付着
して設けられた金属膜５４であり、接地用端子９１、９
２に導通している。

【００２４】図６では、第１導電層Ａが外装ケース１を
構成する絶縁基板１１１の上に付着され、第２導電層Ｂ
が絶縁基板１１２の上に付着され、第３導電膜Ｃが絶縁
基板１５４の上に付着されている。そして、これらの絶
縁基板１１１〜１５４を積層した構造となっている。こ
の他、絶縁基板１１１となる絶縁層、絶縁基板１１２と
なる絶縁層、第２導電層Ｂ、絶縁基板１５４となる絶縁
層を、順次に、例えば印刷などの手段によって塗布し積
層する工程を経て、製造することもできる。

【００２５】弾性表面波素子２は、凹部４内において第
１導電層Ａ上に配置され、入出力電極２１、２２がワイ
ヤ２３等により入出力用導電層５１、５２に接続され、
接地電極２５がワイヤ２６等により接地用導電層５５に
接続されている。弾性表面波素子２は、圧電基板２０の
上に櫛歯状入力電極と櫛歯状出力電極とを互いに挟み込
むように対向配置したタイプのものでも、複数の入力電
極及び出力電極を交互に配置した多電極型のものでもよ
い。弾性表面波素子２は導電接着剤２４を用いて第１導
電層Ａの上に接着してある。

【００２６】蓋体３は導電材料で構成され、第３導電膜
Ｃを構成する金属膜５４に密着して備えられ、凹部４を
閉じている。蓋体３と第３導電膜Ｃを構成する金属層５
４との間は導電性接着剤１３によって接着してある。蓋
体３は、凹部４と対面する面が保護膜３１で覆われてい
る。

【００２７】上述のように、蓋体３は少なくとも凹部４
と対面する面が保護膜３１で覆われているから、パッケ
ージングにおいて、外装ケース１に蓋体３を接合する
際、蓋体３の瞬時の位置ずれや、溶接時の大電流が流れ
ても、蓋体３から金属塵埃が飛び散ることがない。この
ため、金属塵埃が弾性表面波素子２の表面に付着するこ
とがなくなり、微細な電極２１、２２の電気的短絡、特
性変動及び電極劣化などを確実に防止できる。図示は省
略するが、図２〜図４に図示し、説明した技術が適用で
きることは言うまでもない。

【００２８】更に、この実施例では、第１導電層Ａは凹
部４の底面４１に設けられており、第３導電膜Ｃは外装
ケース１の接合面に付着して設けられ接地用端子９１、
９２に導通しており、弾性表面波素子２は凹部４内にお
いて第１導電層Ａ上に配置されており、蓋体３は導電材
料で構成され凹部４を閉じているから、弾性表面波素子
２の両面側に、第１導電層Ａ及び蓋体３による広く密度
の高いシールドパターンを形成することができる。

【００２９】蓋体３は、第３導電膜Ｃに密着して備えら
れているから、外装ケース１と蓋体３との接合面におい
ても、高度のシールド作用を得ることができる。

【００３０】接地用端子９１、９２は外装ケース１の外
周面に設けられており、第１導電層Ａは凹部４を取り囲
む周壁部を貫通して外周面に導かれ接地用端子９１、９
２に導通しており、第２導電層Ｂは周壁部を貫通して外
周面に導出され接地用導電層５５が接地用端子９１、９
２に導通しており、第３導電膜Ｃは外装ケース１の接合
面に付着して設けられ接地用端子９１、９２に導通して
おり、弾性表面波素子２は接地電極が接地用導電層５５
に接続されているから、シールド作用をなす第１導電層
Ａ、第３導電膜Ｃ及び弾性表面波素子２の接地電極導出
用としての機能を有する第２導電層Ｂが、外装ケース１
の外周面に設けられた接地用端子９１、９２において共
通に接続される。このため、接地用端子９１、９２まで
のシールド導体の経路及び弾性表面波素子２の接地電極
の導出経路が短くなり、シールド作用が向上する。

【００３１】凹部４は底面４１との間に段差ｈを有する
段面４２を含んでおり、第２導電層Ｂは段面４２に付着
して設けられ、弾性表面波素子２は入出力電極が第２導
電層Ｂに含まれる入出力用導電層５１、５２に接続さ
れ、接地電極が第２導電層Ｂに含まれる接地用導電層５
５に接続されているから、弾性表面波素子２の入出力電
極及び接地電極を、段面４２に形成された第２導電層Ｂ
を利用して容易に接続することができる。この場合、第
３導電膜Ｃと接地用端子９１、９２との全部の接続は必
ずしも、必要ではない。

【００３２】入出力用端子８１、８２は外装ケース１の
外周面に設けられており、第２導電層Ｂは段面４２の回
りの周壁部を貫通して外周面に導出され、入出力用導電
層５１、５２が入出力用端子８１、８２に導通し、弾性
表面波素子２は入出力電極が入出力用導電層５１、５２
に接続されているから、弾性表面波素子２の入出力電極
導出用としての機能を有する第２導電層Ｂが、外装ケー
ス１の外周面に設けられた入出力端子用導体に接続され
る。このため、弾性表面波素子２の電極から端子までの
導体の経路が短くなり、望ましい特性が得られる。

【００３３】図示では、欠落部に接地用導体９１を設け
てあるので、接地用導体９２を省略することも可能であ
る。しかも 蓋体３と第３導電膜Ｃとの間に必要な接合
面積が接地用導体９２によって減少するのを回避し、接
地用端子９１に必要な面積を充分に確保できる。

【００３４】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、次
のような効果を得ることができる。 （ａ） 外装ケースは、凹部を有しており、弾性表面波
素子は凹部の内部に配置されており、蓋体は凹部を取り
囲む周壁部の上端面に接合され、凹部を閉塞し、少なく
とも凹部と対面する面が金属面を含んでいるから、数百
ＭＨｚ〜数ＧＨｚの高周波で動作する弾性表面波素子に
対し、高度のシールドを施した弾性表面波装置を提供で
きる。 （ｂ）蓋体は少なくとも凹部と対面する面が保護膜で覆
われているから、パッケージングにおいて、金属塵埃が
弾性表面波素子の表面に付着することがなくなり、微細
電極間の電気的短絡、弾性表面波素子の特性変動及び電
極劣化などを確実に防止し得る弾性表面波装置を提供で
きる。 （ｃ）蓋体が外装ケースの上端面の外周縁との間で横移
動防止機構を構成する凸縁を有する場合は、蓋体の位置
ずれに伴う金属塵埃の発生が抑制され、弾性表面波素子
の微細電極間の電気的短絡、弾性表面波素子の特性変動
及び電極劣化などを防止し得る弾性表面波装置を提供で
きる。 （ｄ）カバー部材を有し、カバー部材が外装ケースの凹
部内に配置され、弾性表面波素子を覆っている場合は、
パッケージングにおいて、蓋体から金属塵埃が飛び散っ
たとしても、弾性表面波素子の表面への金属塵埃の付着
がカバー部材により阻止されるから、弾性表面波素子の
微細電極間の電気的短絡、特性変動及び電極劣化などを
確実に防止し得る弾性表面波装置を提供できる。 （ｅ）蓋体は少なくとも凹部と対面する面の１部または
全部が着磁されている場合または凹部と対面する面に磁
石を有する場合は、パッケージングにおいて、蓋体から
金属塵埃が飛び散ったとしても、これらの金属塵埃が着
磁された蓋体または磁石に吸着し、弾性表面波素子の表
面へ付着することがないから、弾性表面波素子の微細電
極間の電気的短絡、特性変動及び電極劣化を防止し得る
弾性表面波装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る弾性表面波装置の正面部分断面図
である。

【図２】本発明に係る弾性表面波装置の他の実施例を示
す正面部分断面図である。

【図３】本発明に係る弾性表面波装置の他の実施例を示
す正面部分断面図である。

【図４】本発明に係る弾性表面波装置の他の実施例を示
す正面部分断面図である。

【図５】本発明に係る弾性表面波装置の他の実施例を示
す正面部分断面図である。

【図６】本発明に係る弾性表面波装置の具体的な実施例
を示す分解斜視図である。

【図７】図６のＡ７ーＡ７線上断面図である。

【図８】図６のＡ８ーＡ８線上断面図である。

【符号の説明】

１ 外装ケース ２ 弾性表面波素子 ３ 蓋体 ４ 凹部

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 外装ケースと、弾性表面波素子と、蓋体
   とを含む弾性表面波装置であって、 前記外装ケースは、凹部を有しており、 前記弾性表面波素子は、前記凹部の内部に配置されてお
   り前記蓋体は、前記凹部を取り囲む壁部の上端面に接合
   され、前記凹部を閉塞し、少なくとも前記凹部と対面す
   る面が金属面を含み、前記金属面が保護膜で覆われてい
   る弾性表面波装置。
2. 【請求項２】 前記保護膜は、合成樹脂でなる請求項１
   に記載の弾性表面波装置。
3. 【請求項３】 前記保護膜は、少なくとも表面が粘着性
   を有する請求項１または２に記載の弾性表面波装置。
4. 【請求項４】 外装ケースと、弾性表面波素子と、蓋体
   とを含む弾性表面波装置であって、 前記外装ケースは、凹部を有しており、 前記弾性表面波素子は、前記凹部の内部に配置されてお
   り前記蓋体は、前記凹部を取り囲む周壁部の上端面に接
   合され、前記凹部を閉塞し、少なくとも前記凹部と対面
   する面に金属面を含み、前記上端面の外周縁との間で横
   移動防止機構を構成する凸縁を有する弾性表面波装置。
5. 【請求項５】 外装ケースと、弾性表面波素子と、蓋体
   と、カバー部材を含む弾性表面波装置であって、 前記外装ケースは、凹部を有しており、 前記弾性表面波素子は、前記凹部の内部に配置されてお
   り、 前記蓋体は、前記凹部を取り囲む周壁部の上端面に接合
   され、前記凹部を閉塞し、少なくとも前記凹部と対面す
   る面が金属面を含んでおり、 前記カバー部材は、前記凹部内に配置され、前記弾性表
   面波素子を覆っている弾性表面波装置。
6. 【請求項６】 外装ケースと、弾性表面波素子と、蓋体
   とを含む弾性表面波装置であって、 前記外装ケースは、凹部を有しており、 前記弾性表面波素子は、前記凹部の内部に配置されてお
   り前記蓋体は、前記凹部を取り囲む周壁部の上端面に接
   合され、前記凹部を閉塞し、少なくとも前記凹部と対面
   する面の１部または全部が着磁されている弾性表面波装
   置。
7. 【請求項７】 外装ケースと、弾性表面波素子と、蓋体
   とを含む弾性表面波装置であって、 前記外装ケースは、凹部を有しており、 前記弾性表面波素子は、前記凹部の内部に配置されてお
   り、 前記蓋体は、前記凹部を取り囲む周壁部の上端面に接合
   され、前記凹部を閉塞し、少なくとも前記凹部と対面す
   る面に磁石を有する弾性表面波装置。