JPH0681787A - 真空空間と真空ポンプの間を遮断する締切弁を備えた回転真空ポンプ - Google Patents
真空空間と真空ポンプの間を遮断する締切弁を備えた回転真空ポンプInfo
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- JPH0681787A JPH0681787A JP4147411A JP14741192A JPH0681787A JP H0681787 A JPH0681787 A JP H0681787A JP 4147411 A JP4147411 A JP 4147411A JP 14741192 A JP14741192 A JP 14741192A JP H0681787 A JPH0681787 A JP H0681787A
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- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C28/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
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- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/30—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members
- F04C18/34—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】ポンプが停止されたときまたその停止期間中真
空ポンプから真空空間を遮断する新規な締切装置を提供
する。 【構成】潤滑用高圧流体圧回路を備え、またポンプが停
止されたとき真空空間Ａと真空ポンプ１の間を遮断する
締切弁１５を備えた回転真空ポンプ。前記停止によりま
たそれによる流体圧回路２９の圧力低下によつて、シリ
ンダおよびピストン３１，３３を備えたアクチユエータ
２７は作動を開始し、軸１７に作用して半径方向アーム
２５を締切弁１５を閉鎖位置に移動しようとするばね３
７の作用に抗して下降させる。
空ポンプから真空空間を遮断する新規な締切装置を提供
する。 【構成】潤滑用高圧流体圧回路を備え、またポンプが停
止されたとき真空空間Ａと真空ポンプ１の間を遮断する
締切弁１５を備えた回転真空ポンプ。前記停止によりま
たそれによる流体圧回路２９の圧力低下によつて、シリ
ンダおよびピストン３１，３３を備えたアクチユエータ
２７は作動を開始し、軸１７に作用して半径方向アーム
２５を締切弁１５を閉鎖位置に移動しようとするばね３
７の作用に抗して下降させる。
Description
【０００１】本発明はポンプが停止されたときまたその
停止期間中真空ポンプから真空空間を遮断する新規な締
切装置に関する。本発明の目的は、前記締切装置を制御
するための、空気または他のガスもしくは油または他の
液体のような流体の使用を回避し、主要な利点として列
挙される下記の記載から明らかになる多数の利点を有す
るものである。本発明の回転ポンプは、潤滑用および補
助制御用の流体圧回路および関連するポンプ機構を備え
またポンプが停止されたかつその結果として前記流体圧
回路の圧力が低下したとき、真空空間と真空ポンプの間
を遮断する締切弁を備えた型のものである。本発明によ
れば、ポンプは、締切弁を閉鎖するため、弾性装置によ
つて作動されて締切弁を閉鎖位置に移動する機械的伝動
装置、および流体圧回路の圧力によつて作動され締切弁
を開放位置に移動するアクチュエータを有する。機械的
伝動装置はロツカーアームまたは同様の部材を備えた振
動機構を有するが、しかしながら、ポンプの真空室を外
部から遮断する壁を貫通する回転軸を有するのが好まし
く、この回転軸はリングまたは同様の形式のシール装置
と組合わされている。流体圧回路におけるポンプ機構の
始動に関連して、開放位置への締切弁の移動の開始を遅
延させる手段は、真空空間との連通が再開される前にポ
ンプ内に真空が確実に形成されるように設けるのが有利
である。
停止期間中真空ポンプから真空空間を遮断する新規な締
切装置に関する。本発明の目的は、前記締切装置を制御
するための、空気または他のガスもしくは油または他の
液体のような流体の使用を回避し、主要な利点として列
挙される下記の記載から明らかになる多数の利点を有す
るものである。本発明の回転ポンプは、潤滑用および補
助制御用の流体圧回路および関連するポンプ機構を備え
またポンプが停止されたかつその結果として前記流体圧
回路の圧力が低下したとき、真空空間と真空ポンプの間
を遮断する締切弁を備えた型のものである。本発明によ
れば、ポンプは、締切弁を閉鎖するため、弾性装置によ
つて作動されて締切弁を閉鎖位置に移動する機械的伝動
装置、および流体圧回路の圧力によつて作動され締切弁
を開放位置に移動するアクチュエータを有する。機械的
伝動装置はロツカーアームまたは同様の部材を備えた振
動機構を有するが、しかしながら、ポンプの真空室を外
部から遮断する壁を貫通する回転軸を有するのが好まし
く、この回転軸はリングまたは同様の形式のシール装置
と組合わされている。流体圧回路におけるポンプ機構の
始動に関連して、開放位置への締切弁の移動の開始を遅
延させる手段は、真空空間との連通が再開される前にポ
ンプ内に真空が確実に形成されるように設けるのが有利
である。
【０００２】本発明は下記の記載および添付図面から一
層明らかになるであろう。添付図面において、図１は全
体としてポンプ本体を示し、符号３は作用空間に対して
偏心するロータを示し、ポンプ本体はケーシングに注入
された油の中に浸漬されている。ケーシング上部および
油の自由表面は全体として符号５で示された空間を形成
し、そこにポンプ弁のおよび流体圧回路の種々の孔の排
出が行われる。流体圧回路はポンプの回転に関連するそ
れ自体のポンプ機構を有する。空間５は大気圧またはい
ずれの場合にも作用空間の圧力より圧力が高く、作用空
間において真空ポンプは比較してきわめて大きい限度ま
でに減圧する。符号７はポンプが関連する吸込み用およ
び真空空間接続用フランジ継手を示す。符号９は全体と
してポンプ本体に形成された真空空間を示す。この空間
内において、垂直かつ継手７と共軸のハウジング１１
が、継手７に形成された座７Ａに対して作用しうる板状
の締切弁に、その頂部において、関節的に連結さる。締
切弁１５は真空ポンプが作動を停止するや否や、継手７
に接続された空間内の真空度低下を回避するため、座７
Ａに対する閉鎖位置に迅速に移動しなければならない。
締切弁１５はポンプの作動が再開され、十分な真空レベ
ルが空間９に再生されて継手７が接続する空間の真空レ
ベルの混乱を防止するときだけ、座７Ａに対する閉鎖位
置から開放可能でなければならない。実際、締切弁１５
はハウジング１１内の案内ロツド１３の摺動により重力
によつて開放される。本発明によれば、制御装置は締切
弁１５を制御するためとくにその座１７Ａに対して閉鎖
するため設けられ、締切弁の制御作用において侵入する
真空空間にガスを放出する制御流体を使用していない。
このガスの放出は、それは空気またはガスもしくは液圧
潤滑回路用に使用される油のような液体による制御を利
用する公知のいくつかの解決法において生起するもので
ある。
層明らかになるであろう。添付図面において、図１は全
体としてポンプ本体を示し、符号３は作用空間に対して
偏心するロータを示し、ポンプ本体はケーシングに注入
された油の中に浸漬されている。ケーシング上部および
油の自由表面は全体として符号５で示された空間を形成
し、そこにポンプ弁のおよび流体圧回路の種々の孔の排
出が行われる。流体圧回路はポンプの回転に関連するそ
れ自体のポンプ機構を有する。空間５は大気圧またはい
ずれの場合にも作用空間の圧力より圧力が高く、作用空
間において真空ポンプは比較してきわめて大きい限度ま
でに減圧する。符号７はポンプが関連する吸込み用およ
び真空空間接続用フランジ継手を示す。符号９は全体と
してポンプ本体に形成された真空空間を示す。この空間
内において、垂直かつ継手７と共軸のハウジング１１
が、継手７に形成された座７Ａに対して作用しうる板状
の締切弁に、その頂部において、関節的に連結さる。締
切弁１５は真空ポンプが作動を停止するや否や、継手７
に接続された空間内の真空度低下を回避するため、座７
Ａに対する閉鎖位置に迅速に移動しなければならない。
締切弁１５はポンプの作動が再開され、十分な真空レベ
ルが空間９に再生されて継手７が接続する空間の真空レ
ベルの混乱を防止するときだけ、座７Ａに対する閉鎖位
置から開放可能でなければならない。実際、締切弁１５
はハウジング１１内の案内ロツド１３の摺動により重力
によつて開放される。本発明によれば、制御装置は締切
弁１５を制御するためとくにその座１７Ａに対して閉鎖
するため設けられ、締切弁の制御作用において侵入する
真空空間にガスを放出する制御流体を使用していない。
このガスの放出は、それは空気またはガスもしくは液圧
潤滑回路用に使用される油のような液体による制御を利
用する公知のいくつかの解決法において生起するもので
ある。
【０００３】本発明によりまた図面に示すように、閉鎖
は機械的伝動装置によつて行われ、機械的伝動装置は、
真空空間９を大気または周囲圧力の空間５から遮断す
る、ポンプの壁１Ｘを貫通する軸１７を有する。軸１７
は要素１９内に設けられ、要素１９は回転可能な軸１７
のジヤーナル軸受延長部を形成しまた多重のシール装置
のハウジングを形成し、ポンプ内部への換言すれば空間
５から空間９へのガスの侵入を防止するため、軸１７が
中で回転しうるシールを形成する。これらのシール装置
は、符号２１によつて指示されかつたとえばグリースま
たは他の同等のシール物質を収容する空間内に設置され
た、Ｏ−リングのような公知の一対のシールリングより
成る。このシール装置は信頼性があり、かつ軸１７の回
転運動を容易にする。空間９内において、軸１７はキー
または他の手段によつてそれに固定されたヘツド２３を
有し、前記ヘツドはロツド１３の縦方向ハウジング１３
Ａ内に延長する半径方向アーム２５を有し、このハウジ
ングはほぼ溝の形式で延長しかつ下端で開放し、換言す
ればロツド１３の下端まで延長しており、すべての場
合、アーム２５の端部は縦方向溝型ハウジング１３Ａの
端部に作用することができる。軸１７は空間５まで延長
し、この空間内にエルボ１７Ａおよび軸に平行な延長部
１７Ｂを有する。本体１には、前記延長部の下方に、全
体的に符号２７で示されたアクチユエータが設けられ、
アクチユエータ２７は前記流体圧回路の潤滑液体によつ
て作動され、この回路は軸１７の延長部１７Ｂの下方に
本体１に形成されたシリンダ３１に連通している。シリ
ンダ３１内には、シリンダ３１とともに前記アクチユエ
ータ２７を形成するピストン１３が摺動し、前記アクチ
ユエータ２７は、導管２９およびシリンダ３１がその一
部を構成する、流体圧回路がポンプの、換言すれば流体
圧回路のロータ３およびポンプ機構の付勢によつて加圧
されるとき、軸１７の延長部１７Ｂに作用することがで
きる。全体的に上方向に空間５に開放する孔を閉鎖しう
るボール３５を備えた弁は、ピストン３３に設けられて
いる。
は機械的伝動装置によつて行われ、機械的伝動装置は、
真空空間９を大気または周囲圧力の空間５から遮断す
る、ポンプの壁１Ｘを貫通する軸１７を有する。軸１７
は要素１９内に設けられ、要素１９は回転可能な軸１７
のジヤーナル軸受延長部を形成しまた多重のシール装置
のハウジングを形成し、ポンプ内部への換言すれば空間
５から空間９へのガスの侵入を防止するため、軸１７が
中で回転しうるシールを形成する。これらのシール装置
は、符号２１によつて指示されかつたとえばグリースま
たは他の同等のシール物質を収容する空間内に設置され
た、Ｏ−リングのような公知の一対のシールリングより
成る。このシール装置は信頼性があり、かつ軸１７の回
転運動を容易にする。空間９内において、軸１７はキー
または他の手段によつてそれに固定されたヘツド２３を
有し、前記ヘツドはロツド１３の縦方向ハウジング１３
Ａ内に延長する半径方向アーム２５を有し、このハウジ
ングはほぼ溝の形式で延長しかつ下端で開放し、換言す
ればロツド１３の下端まで延長しており、すべての場
合、アーム２５の端部は縦方向溝型ハウジング１３Ａの
端部に作用することができる。軸１７は空間５まで延長
し、この空間内にエルボ１７Ａおよび軸に平行な延長部
１７Ｂを有する。本体１には、前記延長部の下方に、全
体的に符号２７で示されたアクチユエータが設けられ、
アクチユエータ２７は前記流体圧回路の潤滑液体によつ
て作動され、この回路は軸１７の延長部１７Ｂの下方に
本体１に形成されたシリンダ３１に連通している。シリ
ンダ３１内には、シリンダ３１とともに前記アクチユエ
ータ２７を形成するピストン１３が摺動し、前記アクチ
ユエータ２７は、導管２９およびシリンダ３１がその一
部を構成する、流体圧回路がポンプの、換言すれば流体
圧回路のロータ３およびポンプ機構の付勢によつて加圧
されるとき、軸１７の延長部１７Ｂに作用することがで
きる。全体的に上方向に空間５に開放する孔を閉鎖しう
るボール３５を備えた弁は、ピストン３３に設けられて
いる。
【０００４】軸１７はコイルばね３７によつて囲まれ、
ばねはアーム２５の上方変位に対応する矢印ｆｃの方向
に軸１７に角度方向力を加えるようにエルボー１７Ａと
固定支持部との間に作用し、閉鎖力を締切弁１５に加
え、弁１５は弾性的に座７Ａに向かつて円筒形ロツド１
３を通してアーム２５によつて弾性的に押される。一方
アクチユエータ２７は、流体圧回路の内圧によつて、延
長部１７Ｂを上昇させ軸１７をｆｃと反対方向に回転さ
せ、したがつてアーム２５を下降させ、さらに締切弁１
５を下降させ、その下降は弁の自重によつて得られる。
ポンプが不作動のとき流体圧回路には圧力はなく、した
がつてシリンダ３１内において、ばね３７は継手７の座
７Ａに対して締切弁１５を閉鎖させる。ポンプが始動す
るとき、流体圧回路したがつてシリンダ３１への油の流
れが再開され、弁３５はこの流れによつて閉鎖位置に動
かされ、その後回路内の圧力は上昇し始め、制限された
遅れの後ピストン３３は圧力をうけて上昇し、軸１７は
ばね３７の作用に抗してかつそれに打ち勝つことによつ
て矢印ｆｃと反対方向に回転させられ、縦溝型ハウジン
グ１３Ａに沿つて角度方向にアーム２５を下降させる。
したがつて、締切弁１５はもはや軸１７およびアーム２
５を含む機械的伝動装置によりばね３７の弾性的作用に
よつて座７Ａに押し付けられることはなく、締切弁１５
はそれ自体の重量および案内ロツドの重量によつて下降
する。制限された遅れのため、このことは回転を開始し
た真空ポンプが空間９に真空に十分に高いレベルの、実
際上継手７に接続された空間に得られる真空にきわめて
近いレベルの真空を発生するや否や生起し、そこで締切
弁の開放は継手７に接続された空間Ａに維持される真空
のレベルに混乱を生ずることなく行われる。このように
ポンプによつてすでに発生された真空室Ａの真空レベル
に目立つた変動を起こすことなくポンプを始動、停止す
ることができる。
ばねはアーム２５の上方変位に対応する矢印ｆｃの方向
に軸１７に角度方向力を加えるようにエルボー１７Ａと
固定支持部との間に作用し、閉鎖力を締切弁１５に加
え、弁１５は弾性的に座７Ａに向かつて円筒形ロツド１
３を通してアーム２５によつて弾性的に押される。一方
アクチユエータ２７は、流体圧回路の内圧によつて、延
長部１７Ｂを上昇させ軸１７をｆｃと反対方向に回転さ
せ、したがつてアーム２５を下降させ、さらに締切弁１
５を下降させ、その下降は弁の自重によつて得られる。
ポンプが不作動のとき流体圧回路には圧力はなく、した
がつてシリンダ３１内において、ばね３７は継手７の座
７Ａに対して締切弁１５を閉鎖させる。ポンプが始動す
るとき、流体圧回路したがつてシリンダ３１への油の流
れが再開され、弁３５はこの流れによつて閉鎖位置に動
かされ、その後回路内の圧力は上昇し始め、制限された
遅れの後ピストン３３は圧力をうけて上昇し、軸１７は
ばね３７の作用に抗してかつそれに打ち勝つことによつ
て矢印ｆｃと反対方向に回転させられ、縦溝型ハウジン
グ１３Ａに沿つて角度方向にアーム２５を下降させる。
したがつて、締切弁１５はもはや軸１７およびアーム２
５を含む機械的伝動装置によりばね３７の弾性的作用に
よつて座７Ａに押し付けられることはなく、締切弁１５
はそれ自体の重量および案内ロツドの重量によつて下降
する。制限された遅れのため、このことは回転を開始し
た真空ポンプが空間９に真空に十分に高いレベルの、実
際上継手７に接続された空間に得られる真空にきわめて
近いレベルの真空を発生するや否や生起し、そこで締切
弁の開放は継手７に接続された空間Ａに維持される真空
のレベルに混乱を生ずることなく行われる。このように
ポンプによつてすでに発生された真空室Ａの真空レベル
に目立つた変動を起こすことなくポンプを始動、停止す
ることができる。
【０００５】ポンプの運転が停止されるとき、したがつ
て流体圧回路すなわちシリンダ３１内の圧力が低下する
とき、ばね３７はピストン３３を下降させアーム２５を
上昇させ、したがつて締切弁１５を閉鎖させる。ポンプ
の運転したつて流体圧回路のポンプ機構の運転が停止さ
れるとき、流体圧回路の減圧は弁３５を開放させ、必要
なとき空気が流体圧回路の油出口を通つて侵入するのを
可能にする。ばね３７の作用はポンプが使用装置から外
されるときでさえ締切弁１５を閉鎖し、空間９へのした
がつてポンプ内部への予想される異物の侵入防止する。
て流体圧回路すなわちシリンダ３１内の圧力が低下する
とき、ばね３７はピストン３３を下降させアーム２５を
上昇させ、したがつて締切弁１５を閉鎖させる。ポンプ
の運転したつて流体圧回路のポンプ機構の運転が停止さ
れるとき、流体圧回路の減圧は弁３５を開放させ、必要
なとき空気が流体圧回路の油出口を通つて侵入するのを
可能にする。ばね３７の作用はポンプが使用装置から外
されるときでさえ締切弁１５を閉鎖し、空間９へのした
がつてポンプ内部への予想される異物の侵入防止する。
【０００６】上記装置は閉鎖アクチユエータを構成する
流体によつて作動される今までの解決法以上の数多くの
利点が奏する。
流体によつて作動される今までの解決法以上の数多くの
利点が奏する。
【０００７】上記閉鎖装置は、中でも、下記の利点を奏
する。すなわち、 １）真空空間９への空気（または他のガス）または油
（または他の液体）のような圧力流体が侵入しない、締
切弁の純粋に機械的制御、 ２）ポンプが停止または取外されるときでさえも吸込み
導管を閉鎖し、汚染物質が周囲空間からの侵入およびポ
ンプからの油の排出の防止、 ３）締切弁を作動するため、公知の解決法において使用
される、流体（空気および／または油）による吸込み導
管のいかなる種類の汚染もないこと、 ４）前記汚染がないことにより、始動時に流体のガス抜
きが必要なく、始動の際の真空への到達がきわめて迅速
であること、 ５）空気の再度の侵入は、機械的装置が逆止め締切弁１
５を座７Ａに対して閉鎖させた後に起こるため、停止の
際の圧力上昇がまつたくないこと、 ６）遅延開放装置のため、始動の際圧力上昇がまつたく
なく、締切弁１５が室９内の圧力が十分に低くなるとき
だけ下降しうること、 ７）油圧によるアクチユエータ２７の積極的運動。これ
は開閉力に十分な余裕を与える。 図面は単に発明の実際的開示として示されたもので、本
発明は発明の基本的概念の範囲から離れることなくその
型式および配置を変更しうるものであることを理解され
たい。各請求項に記載された符号は説明および図面に対
して請求項の理解を容易にするためのもので、各請求項
によつて表現された保護範囲を制限するものでない。
する。すなわち、 １）真空空間９への空気（または他のガス）または油
（または他の液体）のような圧力流体が侵入しない、締
切弁の純粋に機械的制御、 ２）ポンプが停止または取外されるときでさえも吸込み
導管を閉鎖し、汚染物質が周囲空間からの侵入およびポ
ンプからの油の排出の防止、 ３）締切弁を作動するため、公知の解決法において使用
される、流体（空気および／または油）による吸込み導
管のいかなる種類の汚染もないこと、 ４）前記汚染がないことにより、始動時に流体のガス抜
きが必要なく、始動の際の真空への到達がきわめて迅速
であること、 ５）空気の再度の侵入は、機械的装置が逆止め締切弁１
５を座７Ａに対して閉鎖させた後に起こるため、停止の
際の圧力上昇がまつたくないこと、 ６）遅延開放装置のため、始動の際圧力上昇がまつたく
なく、締切弁１５が室９内の圧力が十分に低くなるとき
だけ下降しうること、 ７）油圧によるアクチユエータ２７の積極的運動。これ
は開閉力に十分な余裕を与える。 図面は単に発明の実際的開示として示されたもので、本
発明は発明の基本的概念の範囲から離れることなくその
型式および配置を変更しうるものであることを理解され
たい。各請求項に記載された符号は説明および図面に対
して請求項の理解を容易にするためのもので、各請求項
によつて表現された保護範囲を制限するものでない。
【図１】締切弁が開放位置にあるポンプの部分縦断面図
である。
である。
【図２】図１と同じ部分の略平面図である。
【図３】図２の拡大詳細図である。
【図４】開放位置における締切弁を示す、図１の面の横
方向の面における縦断面図である。
方向の面における縦断面図である。
【図５】閉鎖位置における締切弁を示す、図１の面の横
方向の面における縦断面図である。
方向の面における縦断面図である。
１Ｘ 壁 ５ 空間 ９ 真空空間 １３ 案内ロツド １３Ａ 溝形ハウジング １５ 締切弁 １７ 軸 １７Ａ エルボー １７Ｂ 延長部 ２１ シール ２５ アーム ２７ アクチユエータ ２９ 流体圧回路 ３１ シリンダ ３３ ピストン ３５ 弁 ３７ ばね
Claims (8)
- 【請求項１】 潤滑用および補助制御用の流体圧回路お
よび関連するポンプ機構を備え、またポンプが停止され
かつその結果として前記流体圧回路の圧力が低下したと
き真空空間と真空ポンプの間を遮断する締切弁を備えた
回転真空ポンプにおいて、前記締切弁（１５）を閉鎖す
るため、弾性装置（３７）によつて作動されて締切弁
（１５）を閉鎖位置に移動する機械的伝動装置（１７；
２５，１７Ａ）、および流体圧回路（２９，３１）の圧
力によつて作動されて締切弁（１５）を開放位置に移動
させるアクチュエータ（２７）を有する前記回転真空ポ
ンプ。 - 【請求項２】 機械的伝動装置がポンプの真空空間
（９）を外部（５）から分離する壁（１Ｘ）を貫通する
回転軸（１７）を有し、この回転軸（１７）はシール装
置（２１）と組合わされていることを特徴とする請求項
１に記載の装置。 - 【請求項３】 締切弁（１５）の案内シヤンク（１３）
に形成された縦溝型ハウジング（１３Ａ）に沿つて摺動
するアーム（２５）が締切弁（１５）の閉鎖を制御する
ため設けられている請求項１または２に記載の回転ポン
プ。 - 【請求項４】 前記軸（１７）が真空空間内に、締切弁
（１５）を閉鎖位置に押圧しうる半径方向アームまたは
ロツカーアーム（２５）もしくは同様の部材を有し、ば
ね（３７）が前記軸（１７）を締切弁の閉鎖位置に向か
つて押圧する請求項１または２に記載の回転ポンプ。 - 【請求項５】 前記ばね（３７）はコイルばねである請
求項１から４のいずれか一項に記載の回転ポンプ。 - 【請求項６】 アクチユエータ（２７）が流体圧回路に
おけるポンプ機構の始動に関連して締切弁の開放位置へ
の移動の開始を遅延させる手段を有する請求項１から５
のいずれか一項に記載の回転ポンプ。 - 【請求項７】 アクチユエータ（２７）が前記軸（１
７）のエルボー（17A)に作用して、それを弾性力の方向
と反対方向に回転させうる、シリンダ−ピストン装置
（３１，３３）を有する請求項１から５のいずれか一項
に記載の回転ポンプ。 - 【請求項８】 重力作用によつて瞬間的に開放する弁
（３５）が前記ピストンに設けられ、液圧による前記弁
の閉鎖時間が締切弁の開放位置への移動の開始を遅延さ
せ、前記弁（３５）はまた停止の際流体圧回路への空気
の侵入を可能にする請求項１から７のいずれか一項に記
載の回転ポンプ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| ITFI910143A IT1246969B (it) | 1991-06-17 | 1991-06-17 | Pompa rotativa per vuoto, con otturatore a comando automatico per l'isolamento dell'ambiente sotto-vuoto. |
| IT91A000143 | 1991-06-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0681787A true JPH0681787A (ja) | 1994-03-22 |
Family
ID=11349690
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4147411A Pending JPH0681787A (ja) | 1991-06-17 | 1992-06-08 | 真空空間と真空ポンプの間を遮断する締切弁を備えた回転真空ポンプ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0519880A1 (ja) |
| JP (1) | JPH0681787A (ja) |
| KR (1) | KR930000838A (ja) |
| IT (1) | IT1246969B (ja) |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB455003A (en) * | 1935-05-07 | 1936-10-12 | British Thomson Houston Co Ltd | Improvements in and relating to vacuum pumps |
| GB1195361A (en) * | 1966-03-28 | 1970-06-17 | N G N Ltd | Improvements in and relating to Vacuum Pumping apparatus including a Rotary Vacuum Pump |
| JPS60249691A (ja) * | 1984-05-21 | 1985-12-10 | ゼネラル シグナル コーポレーシヨン | 回転ピストン真空ポンプ |
| IT1207829B (it) * | 1987-02-04 | 1989-06-01 | Galileo Spa Off | Perfezionamento nel circuito di lubrificazione delle pompe rotative per vuoto. |
-
1991
- 1991-06-17 IT ITFI910143A patent/IT1246969B/it active IP Right Grant
-
1992
- 1992-06-08 JP JP4147411A patent/JPH0681787A/ja active Pending
- 1992-06-15 KR KR1019920010317A patent/KR930000838A/ko not_active Application Discontinuation
- 1992-06-17 EP EP92830312A patent/EP0519880A1/en not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| ITFI910143A0 (it) | 1991-06-17 |
| KR930000838A (ko) | 1993-01-15 |
| EP0519880A1 (en) | 1992-12-23 |
| IT1246969B (it) | 1994-12-01 |
| ITFI910143A1 (it) | 1992-12-17 |
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