JPH0681682U - 油切り機構付き光ドライ洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】有機溶剤、界面活性剤やアルカリ水溶液などを
使用せずに無機質部品表面の脱脂洗浄ができる油切り機
構付光ドライ洗浄装置の提供。 【構成】被洗浄物の導入部および予備加熱室１、高圧加
温乾燥ガスを被洗浄物に噴射する油切り機構２、吹き飛
ばされた油や切り粉などの回収皿３、搬送機構４、排気
用ファン５およびエアーカーテン発生デバイス６などで
エアージェット部を構成する。低圧水銀ランプ７、オゾ
ンガス噴射デバイス９、ランプ冷却用ファン１０、搬送
コンベア１１、排気用ファン１２、オゾン分解フィルタ
ー１３、コンプレツサ１４、エアーカーテン発生デバイ
ス１５、電源１６および制御ユニット１７などから構成
される紫外線／オゾン照射部を、エアージェット部と連
結する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、紫外線の照射およびオゾンガスの噴射などによる脱脂行程の前段に 機械的油切り行程を追加した、金属、セラミックス、ガラスなど無機質部品表面 の一般脱脂を目的とした光ドライ洗浄装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

従来、半導体製造行程や液晶表示器のガラス基板製造行程などにおいて、フロン やトリクレンなどの有機溶剤洗浄後の仕上げ洗浄を目的として、オゾンガスを併 用した紫外線照射装置があった。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

従来技術には次のような欠点があった。 （イ）フロンやトリクレンなど地球環境に好ましくない溶剤や、廃液処理を必要 とする界面活性剤水溶液などによる予備洗浄を必要としていた。 （ロ）上記予備洗浄の効果を安定させるためには、洗浄浴槽に溶解する油脂含有 量をモニタして、含有量が基準値を越えた場合新しい溶剤と交換する必要があっ た。 （ハ）上記予備洗浄行程は、粗洗浄槽、精密洗浄槽、すすぎ槽など、一般に３つ 以上の洗浄浴槽から成っており、浴槽間の被洗浄物移動には、浴槽からの引き上 げ・水平移動・降下の３つの基本動作を必要とするため、行程の時間短縮を図る 上で妨げとなっていた。 本考案は、これらの欠点を除くためになされたものである。

【０００４】

【問題を解決するための手段】

被洗浄物の導入部および予備加熱室（１）、高圧加温乾燥ガスを被洗浄物に噴射 する油切り機構（２）、その噴射によって吹き飛ばされた油や切り粉などの回収 皿（３）、被洗浄物の搬送機構（４）、排気用強力ファン（５）およびエアーカ ーテン発生デバイス（６）などで本考案のエアージェット部を構成する。 そして低圧水銀ランプ（７）、反射板（８）、オゾンガス噴射デバイス（９）、 ランプ冷却用ファン（１０）、高さ調節機能付き搬送コンベア（１１）、排気用 強力ファン（１２）、オゾン分解フィルター（１３）、コンプレッサ（１４）、 エアーカーテン発生デバイス（１５）、電源（１６）および当該装置全体の制御 ユニット（１７）などから構成される紫外線／オゾン照射部を、前述のエアージ ェット部と連結する。 本考案は、以上の様な構成の光ドライ洗浄装置である。

【０００５】

【作用】

予備加熱炉（１）で加温され流動性を増した被洗浄物表面に付着する加工油およ び切り粉などの異物は、油切り機構（２）の高圧加温乾燥ガス噴射によって容易 に吹き飛ばされ、付着量が減じられる。さらに被洗浄物表面に残存する加工油膜 は、低圧水銀ランプ（７）が発生する低波長の紫外線によって化学分解され、二 酸化炭素などの気体となって除去されて、一般的な脱脂洗浄が達成される。

【０００６】

【実施例】

以下、本考案の実施例について説明する。 （イ）予備加熱炉（１）に導入された被洗浄物を５０℃から１００℃に加熱する と、油切り機構（２）による高圧加温乾燥ガスの噴射によって比較的容易に、表 面付着加工油および切り粉などの異物を吹き飛ばすことが可能となる。吹き飛ば された加工油等は、この油切り機構の下部に設置された回収皿（３）に集められ 、レベルセンサーによって液量が監視される。被洗浄物表面の加工油の除去が不 十分な場合には、この油切り機構による高圧加温乾燥ガスの噴射の後に、車輪状 に形成された払拭布（バフ布など）を利用して付着油を拭き取ってもよい。 （ロ）被洗浄物は、搬送機構（４）によって連続または間欠送りされて、次行程 の紫外線／オゾン照射部に搬入される。エアーカーテン発生デバイス（６）によ って両行程の境界はエアーカーテンで仕切られており、油切り機構部で発生する オイルミストや塵あいが紫外線照射部に進入しないように配慮されている。炉内 のオイルミストや塵あいは排気用強力ファン（５）によって吸引されフィルター を通して外部に排気される。 （ハ）紫外線／オゾン照射部は、低圧水銀ランプ（７）、反射板（８）、オゾン ガス噴射デバイス（９）によって、被洗浄物表面の油膜を効果的に化学分解でき るよう約４０℃から７０℃に保たれている。またランプ冷却用ファン（１０）に よって個々の水銀ランプの温度調節が可能である。さらに排気用強力ファン（１ ２）によって吸引されたオゾンを含む排気ガスは、環境基準値の０．１ｐｐｍを 満足するようオゾン分解フィルター（１３）を通して排出する。以上の温度およ びオゾン濃度は、熱電対およびオゾンセンサーによって検出されパソコンによっ て管理されている。 （ニ）高さ調節機能付き搬送コンベア（１１）は、被洗浄物の大きさに対して柔 軟に対応し、コンプレッサ（１４）によって発生した高圧ガスは、エアーカーテ ン発生デバイス（１５）を通して、外部または各行程の雰囲気を分離するエアー カーテンを生成する。電源（１６）および制御ユニット（１７）など、その他装 置構成に必要なデバイスや安全設計を組み込んで、本考案の光ドライ洗浄装置が 完成する。 （ホ）なお本考案は、搬送機構、油切り機構、紫外線／オゾンガス照射機構を変 更することで、棒状、板状、ブロック状、またはシート状など多用な形状の被洗 浄物に対応することができる。

【０００７】

【考案の効果】

（イ）本考案の装置を使用すると、フロンやトリクレンなど地球環境に有害な有 機溶剤や、乾燥と廃液処理に費用の掛かる界面活性剤やアルカリ水溶液などを一 切使用する必要がなく発錆の心配も無いので、金属、セラミックス、ガラスなど 無機質部品の一般脱脂を手軽に行うことができる。 （ロ）本考案の洗浄装置における各行程は、タクト送りまたは連続送りで処理さ れ、また乾燥に要する時間が不要なので、洗浄時間を大幅に短縮することがでる 。 （ハ）さらに、紫外線／オゾンガス照射の効果として、被洗浄物と接着剤や塗料 との密着力が向上することが確認されている。これは、金属など被洗浄物の表面 結晶構造に均一に打ち込まれた酸素原子と、接着剤や塗料を構成する水素原子と の水素結合力（Ｈｙｄｒｏｇｅｎ Ｂｏｎｄｉｎｇ Ｆｏｒｃｅ）に起因するも のと考えられる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の断面図

【図２】本考案のエアージェット部の応用型断面図

【符号の説明】

（１）は予備加熱室 （２）は油切り機構 （３）は回
収皿 （４）は搬送機構 （５）は排気用強力ファン （６）はエアーカーテン発
生デバイス （７）は低圧水銀ランプ （８）は反射板
（９）はオゾンガス噴射デバイス （１０）はランプ
冷却用ファン （１１）は搬送コンベア （１２）は排
気用強力ファン （１３）はオゾン分解フィルター （１４）はコンプレ
ッサ （１５）はエアーカーテン発生デバイス （１
６）は電源 （１７）は制御ユニット （１８）は払拭
布

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】紫外線の照射およびオゾンガスの噴射など
   からなる脱脂行程の前段に、高圧加温乾燥ガス噴射また
   は／および払拭布などによる機械的油切り行程を設けた
   光ドライ洗浄装置。