JPH0681524B2 - 振動波モータの振動体の加工方法 - Google Patents
振動波モータの振動体の加工方法Info
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- JPH0681524B2 JPH0681524B2 JP2020711A JP2071190A JPH0681524B2 JP H0681524 B2 JPH0681524 B2 JP H0681524B2 JP 2020711 A JP2020711 A JP 2020711A JP 2071190 A JP2071190 A JP 2071190A JP H0681524 B2 JPH0681524 B2 JP H0681524B2
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- Japan
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- vibration wave
- vibrating body
- groove
- processing
- wave motor
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B19/00—Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group
- B24B19/02—Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group for grinding grooves, e.g. on shafts, in casings, in tubes, homokinetic joint elements
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はカメラ、事務機、半導体装置製造機器等に用い
られる振動波モータ、特に振動波モータの振動体に設け
られ溝の加工方法に関するものである。
られる振動波モータ、特に振動波モータの振動体に設け
られ溝の加工方法に関するものである。
［従来技術］ 弾性体に圧電素子を貼着し、該圧電素子に位相の異なっ
た電気信号を印加することによって弾性体に進行性曲げ
振動波を発生させ、該振動波によって前記弾性体に接触
した部材、例えばロータを回転させる振動波モータは既
に多くの提案がなされ、また低速時に比較的高いトルク
が得られることから既にカメラ、ビデオに実用化されて
いる。
た電気信号を印加することによって弾性体に進行性曲げ
振動波を発生させ、該振動波によって前記弾性体に接触
した部材、例えばロータを回転させる振動波モータは既
に多くの提案がなされ、また低速時に比較的高いトルク
が得られることから既にカメラ、ビデオに実用化されて
いる。
これらの提案された振動波モータの多くは、弾性体の振
動の振幅を拡大するために進行性曲げ振動波の進行方向
に直角な方向に複数の溝が設けられている（第4,第５図
参照）。
動の振幅を拡大するために進行性曲げ振動波の進行方向
に直角な方向に複数の溝が設けられている（第4,第５図
参照）。
この溝1A（第4,第５図）は、一般にメタルソー５を振動
波の進行方向と直角方向（矢印5A）に移動させて形成さ
れる。この結果溝1Aの底部1Cは直線状に形成される。
波の進行方向と直角方向（矢印5A）に移動させて形成さ
れる。この結果溝1Aの底部1Cは直線状に形成される。
［発明が解決しようとしている課題］ ところでこの従来の加工方法の場合、第４図のＡ−AA断
面図である第５図に詳細に示すようにカエリ1Dが溝毎に
発生する問題があった。
面図である第５図に詳細に示すようにカエリ1Dが溝毎に
発生する問題があった。
特にこのカエリは加工硬化を起している為に硬く、また
弾性体１の基体1E側に曲っているためにステンレスブラ
シ等でこのカエリを溝毎にかき取る必要があった。
弾性体１の基体1E側に曲っているためにステンレスブラ
シ等でこのカエリを溝毎にかき取る必要があった。
振動波モータの溝1Aは弾性体１に100個近く設けられて
いる為、このかき取り作業には弾性体１個につき100秒
前後の時間を要し、製造コストに多大な影響を与えてい
た。
いる為、このかき取り作業には弾性体１個につき100秒
前後の時間を要し、製造コストに多大な影響を与えてい
た。
［課題を解決する為の手段（及び作用）］ 本発明は振動体の溝の加工に際して、加工時に生じるカ
エリが振動波を受ける部材側に湾曲するように、溝の底
部形状が部材側に曲率中心を有する曲線形状となるよう
に加工し、次にカエリをバレル研摩等でかき取った振動
波モータの振動体の加工方法を特徴とする。
エリが振動波を受ける部材側に湾曲するように、溝の底
部形状が部材側に曲率中心を有する曲線形状となるよう
に加工し、次にカエリをバレル研摩等でかき取った振動
波モータの振動体の加工方法を特徴とする。
［実施例］ 第１図は本発明を適用した振動波モータの要部斜視図
で、振動波モータの弾性体１と砥石13との位置関係は弾
性体１の加工前の状態を示している。
で、振動波モータの弾性体１と砥石13との位置関係は弾
性体１の加工前の状態を示している。
第１図において１はSUS材で（ステンレス綱）で形成さ
れた弾性体、11は溝1Aを加工する為に用いられる雇で、
11Aは弾性体１と公知の圧電素子３とからなる振動体２
を雇11から着脱する為の締具、前記砥石13は振動体２に
公知の方法で発生する進行性曲げ振動波に直角或いは略
直角に設定され、不図示の動力源によって図示13Aの方
向に回転されるとともに、溝1Aを形成するために、図示
13Bの方向に進退される。15は該砥石13を保持する砥石
ホルダである。尚第４図示従来装置の機素と同一機素に
ついては同一符号を付してその説明を省く。
れた弾性体、11は溝1Aを加工する為に用いられる雇で、
11Aは弾性体１と公知の圧電素子３とからなる振動体２
を雇11から着脱する為の締具、前記砥石13は振動体２に
公知の方法で発生する進行性曲げ振動波に直角或いは略
直角に設定され、不図示の動力源によって図示13Aの方
向に回転されるとともに、溝1Aを形成するために、図示
13Bの方向に進退される。15は該砥石13を保持する砥石
ホルダである。尚第４図示従来装置の機素と同一機素に
ついては同一符号を付してその説明を省く。
つぎに加工方法について説明する。
砥石13を所定の回転方向13Aの方向に回転させた後に、
溝1Aを形成するために砥石13自体を13Bの方向に送る。
砥石13は第２図の一点鎖線で示す様な軌跡を取るため、
溝1Aの底部は第３図1CCで示す様に、接触部1Bに摩擦接
触する公知のロータ（不図示）側の一点を中心とする円
弧状の形状となる。そのため加工によってできるカエリ
1DD（第３図）は基体1Eの方向とは逆の側に湾曲し、か
つ立った状態となる。このため本発明によって出来るカ
エリの除去は例えばバレル研摩等によってできるため、
従来の様な溝毎にカエリを除去する場合に比べて加工時
間は約1/10、また弾性体加工コストも約1/10近くになる
ものである。
溝1Aを形成するために砥石13自体を13Bの方向に送る。
砥石13は第２図の一点鎖線で示す様な軌跡を取るため、
溝1Aの底部は第３図1CCで示す様に、接触部1Bに摩擦接
触する公知のロータ（不図示）側の一点を中心とする円
弧状の形状となる。そのため加工によってできるカエリ
1DD（第３図）は基体1Eの方向とは逆の側に湾曲し、か
つ立った状態となる。このため本発明によって出来るカ
エリの除去は例えばバレル研摩等によってできるため、
従来の様な溝毎にカエリを除去する場合に比べて加工時
間は約1/10、また弾性体加工コストも約1/10近くになる
ものである。
［他の実施例］ 以上の実施例は径の大きな砥石13を13Bで示す送り方向
に送ることによって弾性体１の溝1Aの底部を円弧状に加
工する例であったが、径の小さい砥石を用い、砥石の中
心を第２図の一点鎖線の同心円（曲面）に沿って移動し
て、溝1Aの底部を円弧状若しくはほぼ円弧状に加工して
もカエリ1DDは第３図と同様な状態となるために同様な
効果が得られる。
に送ることによって弾性体１の溝1Aの底部を円弧状に加
工する例であったが、径の小さい砥石を用い、砥石の中
心を第２図の一点鎖線の同心円（曲面）に沿って移動し
て、溝1Aの底部を円弧状若しくはほぼ円弧状に加工して
もカエリ1DDは第３図と同様な状態となるために同様な
効果が得られる。
［効果］ 以上の様に本発明の加工方法によれば、カエリは振動波
を受ける部材側（例えばロータ側）に湾曲するようにし
たので、その除去は極めて容易となり振動波モータを極
めて安価に製造出来るものである。
を受ける部材側（例えばロータ側）に湾曲するようにし
たので、その除去は極めて容易となり振動波モータを極
めて安価に製造出来るものである。
第１図は被加工物である振動波モータの振動体と砥石の
加工開始前の位置関係を示す斜視図、 第２図は溝加工された振動体の斜視図、 第３図は第２図のＢ−BB断面図、 第４図は振動体の従来の加工方法によって生じる形状及
びカエリの出方を示す斜視図、 第５図は第４図のＡ−AA断面図である。 図において １……SUSからなる弾性体、 1A……溝、 1CC……底部 1DD……カエリ 13……砥石である。
加工開始前の位置関係を示す斜視図、 第２図は溝加工された振動体の斜視図、 第３図は第２図のＢ−BB断面図、 第４図は振動体の従来の加工方法によって生じる形状及
びカエリの出方を示す斜視図、 第５図は第４図のＡ−AA断面図である。 図において １……SUSからなる弾性体、 1A……溝、 1CC……底部 1DD……カエリ 13……砥石である。
Claims (2)
- 【請求項１】溝が形成された振動体の接触部に振動波を
受ける部材を接触させ、前記振動体に発生させた振動波
によって前記部材と前記振動体とを相対移動させる振動
波モータの振動体の加工方法において、 前記振動体の溝の加工に際して、加工時に生じるカエリ
が前記部材側に湾曲するように、前記溝の底部形状が前
記部材側に曲率中心を有する曲線形状となるように加工
し、 次に、後処理工程として前記カエリをバレル研摩でかき
取ったことを特徴とする振動波モータの振動体の加工方
法。 - 【請求項２】溝が形成された振動体の接触部に振動波を
受ける部材を接触させ、前記振動体に発生させた振動波
によって前記部材と前記振動体とを相対移動させる振動
波モータの振動体の加工方法において、 前記振動体の溝の加工に際して、加工時に生じるカエリ
が前記部材側に湾曲するように、前記溝の底部形状が前
記部材側に曲率中心を有する曲線形状となるように加工
し、 次に、後処理工程として前記カエリを研摩部材で研摩す
ることによってかき取ったことを特徴とする振動波モー
タの振動体の加工方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020711A JPH0681524B2 (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | 振動波モータの振動体の加工方法 |
| US08/136,103 US5445556A (en) | 1990-01-31 | 1993-10-14 | Vibration motor and method of machining a vibration member thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020711A JPH0681524B2 (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | 振動波モータの振動体の加工方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03226279A JPH03226279A (ja) | 1991-10-07 |
| JPH0681524B2 true JPH0681524B2 (ja) | 1994-10-12 |
Family
ID=12034734
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2020711A Expired - Fee Related JPH0681524B2 (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | 振動波モータの振動体の加工方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5445556A (ja) |
| JP (1) | JPH0681524B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5432394A (en) * | 1993-06-25 | 1995-07-11 | Nikon Corporation | Ultrasonic motor having a vibratory body and method of producing the same |
| GB2351561B (en) * | 1999-06-30 | 2003-10-22 | Nokia Mobile Phones Ltd | Joystick controller |
| KR100391200B1 (ko) | 2000-08-02 | 2003-07-12 | 기아자동차주식회사 | 가공물 디버링 장치 |
| KR102543948B1 (ko) * | 2016-05-17 | 2023-06-15 | 삼성전자주식회사 | 클럭 신호 생성기 및 기판 검사 장치 |
| CN109378931A (zh) * | 2018-08-21 | 2019-02-22 | 北京长城华冠汽车科技股份有限公司 | 一种电动汽车电机、电动汽车电机的充磁方法和电动汽车 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2552164A (en) * | 1949-04-05 | 1951-05-08 | Freeman C Foss | File sharpener |
| US3691707A (en) * | 1969-11-12 | 1972-09-19 | Sola Basic Ind | Semiconductor material cutting apparatus and method of making the same |
| US3719009A (en) * | 1971-09-20 | 1973-03-06 | T Thompson | Sandblasting motor stator slots |
| US3800661A (en) * | 1973-03-19 | 1974-04-02 | S Omonishi | Apparatus for cutting side seal grooves in rotors of rotary piston engine |
| US3948124A (en) * | 1975-01-17 | 1976-04-06 | General Electric Company | Apparatus and method for severing stator end turns |
| US4279102A (en) * | 1978-07-24 | 1981-07-21 | Magnetic Peripherals Inc. | Method of manufacturing narrow track ferrite head cores |
| CH645835A5 (fr) * | 1982-03-05 | 1984-10-31 | Robert Habib | Machine a detalonner et/ou affuter les broches de brochage munies de dents. |
| JPS62262675A (ja) * | 1986-05-09 | 1987-11-14 | Canon Inc | 振動波駆動装置 |
| EP0264700B1 (de) * | 1986-10-22 | 1991-05-08 | BBC Brown Boveri AG | Verfahren zum Anbringen einer umlaufenden Hohlkehle am Rand einer Halbleiterscheibe eines Leistungshalbleiter-Bauelements |
-
1990
- 1990-01-31 JP JP2020711A patent/JPH0681524B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1993
- 1993-10-14 US US08/136,103 patent/US5445556A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03226279A (ja) | 1991-10-07 |
| US5445556A (en) | 1995-08-29 |
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