JPH0677086A - 積層セラミックコンデンサーの製造方法 - Google Patents

積層セラミックコンデンサーの製造方法

Info

Publication number
JPH0677086A
JPH0677086A JP22742992A JP22742992A JPH0677086A JP H0677086 A JPH0677086 A JP H0677086A JP 22742992 A JP22742992 A JP 22742992A JP 22742992 A JP22742992 A JP 22742992A JP H0677086 A JPH0677086 A JP H0677086A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laminated
laminated chip
end surfaces
right end
chip pieces
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP22742992A
Other languages
English (en)
Inventor
Koji Amano
弘司 天野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rohm Co Ltd
Original Assignee
Rohm Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Rohm Co Ltd filed Critical Rohm Co Ltd
Priority to JP22742992A priority Critical patent/JPH0677086A/ja
Publication of JPH0677086A publication Critical patent/JPH0677086A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Ceramic Capacitors (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 積層セラミックコンデンサーを、小型・軽量
化して、低コストにて製造できるようにする。 【構成】 各々内部電極膜B1 ,B2 ,B3 ,B4 を交
互にずらせて形成した複数枚のセラミックシートA1
2 ,A3 ,A4 を積層し、この積層体を切断線D1
2 に沿って多数個の積層チップ片1に切断したのち焼
成し、この積層チップ1の多数個を、その左右両端面1
a,1bが同一平面状になるように並べたのち、各積層
チップ片1における左右両端面1a,1bを、研磨した
のち、この両両端面1a,1bに側面電極膜2,3を形
成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、電極膜を形成したセラ
ミックシートの複数枚を、その各々における電極膜が交
互にずれるように積層して成るいわゆる積層セラミック
コンデンサーの製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の積層セラミックコンデン
サーの製造に際しては、先づ、図9に示すように、複数
枚の未焼成のセラミックシート(グリーンシート)
1 ′,A 2 ′,A3 ′,A4 ′の表面に、各々内部電
極膜B1 ′,B2 ′,B3 ′,B4′を交互にずらせて
形成したのち、これら各セラミックシートA1 ′,
2 ′,A3 ′,A4 ′を、図10に示すように、重ね
合わせて積層すると共に、これら各セラミックシートA
1 ′,A2 ′,A3 ′,A4 ′のうち第1セラミックシ
ートA1 ′の上面に、当該第1セラミックシートA1
における電極膜B1 ′を覆うための未焼成のセラミック
シートカバーC′を、重ね合わせて積層し、次いで、こ
の積層体を、縦横格子状の切断線D1 ′,D2 ′に沿っ
て、図11及び図12に示す積層チップ片1′ごとに切
断したのち、この各積層チップ片1′を、焼成炉におい
て焼成し、そして、この各積層チップ片1′を回転式の
バレル研磨機においてバレル研磨することにより、当該
各積層チップ1′における左右両端面1a′,1b′に
各シートA1 ′,A2 ′,A3 ′,A4 ′における内部
電極膜B1 ′,B2 ′,B3 ′,B4 ′の端面を露出し
たのち、各積層チップ片1′における左右両端面1
a′,1b′に対して、図13に示すように、側面電極
膜2′,3′を形成することによって、積層セラミック
コンデンサーの完成品にすると言う方法を採用している
(例えば、特開昭61−144811号公報等参照)。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記したバ
レル研磨は、回転式ドラム内に、積層チップ片1′の多
数個を入れて回転することによって、積層チップ片1の
全表面を研磨するものであるから、各積層チップ片1′
の表面に内部電極膜が露出しているときには、この露出
している内部電極膜を、前記バレル研磨によって損傷及
び消失することになる。
【0004】そこで、従来は、前記したように、積層し
た各セラミックシートA1 ′,A2′,A3 ′,A4
のうち第1セラミックシートA1 ′の上面に、当該第1
セラミックシートA1 ′における電極膜B1 ′を覆うた
めのセラミックカバーシートC′を重ね合わせて積層す
るようにしている。すなわち、従来の製造方法において
は、前記したように、内部電極膜を覆うためのセラミッ
クカバーシートC′を必要とすることにより、積層セラ
ミックコンデンサーにおける高さ寸法H′が、前記セラ
ミックカバーシートC′における厚さ寸法Tの分だけ高
くなるから、積層セラミックコンデンサーの大型化を招
来するばかりか、重量のアップを招来すると言う問題が
あった。
【0005】しかも、前記のバレル研磨に際して、積層
チップ片1′に、隅角部が欠ける等の欠損が発生するこ
とが多くて、製品の歩留り率が低くいから、このこと
と、前記セラミックカバーシートを必要することとが相
俟って、製造コストがアップすると言う点も問題であっ
た。また、各内部電極膜が前記セラミックカバーシート
にて覆われていることにより、この内部電極膜をトリミ
ングすることができないから、積層セラミックコンデン
サーにおける静電容量を調節することができないのであ
る。
【0006】本発明は、これらの問題を、コストのアッ
プを招来することなく、解消できるようにした製造方法
を提供することを技術的課題とするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】この技術的課題を達成す
るため本発明は、内部電極膜を交互にずらせて形成した
複数枚の未焼成のセラミックシートを積層し、この積層
体を、縦横格子状の切断線に沿って多数個の積層チップ
片に切断したのち焼成し、次いで、この積層チップの多
数個を、各積層チップ片における左右両端面が同一平面
状になるように並べ、この状態で、前記各積層チップ片
における左右両端面を、研磨粒子の吹き付け又は研磨布
の擦り付け等にて研磨したのち、各積層チップ片におけ
る左右両端面に対して側面電極膜を形成することにし
た。
【0008】
【作 用】このように、各積層チップ片における左右
両端面を、研磨粒子の吹き付け又は研磨布の擦り付け等
にて研磨することにより、各積層チップ片における外表
面のうち左右両端面以外の外側面を研磨することなく、
前記左右両端面のみを、当該左右両端面に対して各内部
電極膜の端面が露出するように確実に研磨することがで
きる。
【0009】換言すると、前記積層チップ片における外
側面に内部電極膜を形成した場合においても、この外側
面に形成した内部電極膜を損傷又は消失することなく、
積層チップ片における左右両端面のみを確実に研磨する
ことができるから、前記従来の製造方法において使用し
ていたセラミックカバーシートを必要としないのであ
る。
【0010】また、前記各積層チップ片における左右両
端面に対する研磨を、積層チップの多数個をその各左右
両端面が同一平面状になるように並べ、この状態で、左
右両端面に対して研磨粒子の吹き付け又は研磨布の擦り
付け等によって行うものであるから、左右両端面に対す
る研磨を、多数個の積層チップ片について同時に行うこ
とができると共に、各積層チップ片に欠け等の欠損が発
生することを確実に低減できるのである。
【0011】
【発明の効果】従って、本発明によると、従来の製造方
法において使用していたセラミックカバーシートを、歩
留り率の低下を招来することなく、省略することができ
るから、積層セラミックコンデンサーを小型、軽量化で
きると共に、製造コストを確実に低減できるのである。
【0012】しかも、本発明によると、従来の製造方法
におけるセラミックカバーシートを必要としないことに
より、各内部電極膜のうち一部の内部電極膜が、積層チ
ップ片の外側面に露出しているから、この露出している
内部電極膜を、レーザ光線等にてトリミングすることに
より、積層セラミックコンデンサーにおける静電容量の
調節を行うことができる効果をも有する。
【0013】
【実施例】以下、本発明の実施例を、図1〜図6の図面
について説明する。先づ、図1に示すように、複数枚の
複数枚の未焼成のセラミックシート(グリーンシート)
1 ,A2 ,A3 ,A4 の表面に、各々内部電極膜
1 ,B2 ,B 3 ,B4 を交互にずらせて形成したの
ち、これら各セラミックシートA1 ,A2,A3 ,A4
を、図2に示すように、重ね合わせて積層する。
【0014】次いで、前記積層体を、縦横格子状の切断
線D1 ,D2 に沿って、図3に示す積層チップ片1ごと
に切断したのち、この各積層チップ片1を、焼成炉にお
いて焼成する。そして、前記焼成の終わった積層チップ
片1の多数個を、図4に示すように、各積層チップ片1
における左右両端面1a,1bが、同一平面状になるよ
うに並べ、この状態で、両端面1a,1bに対して、研
磨粒子を圧縮空気と一緒に吹き付けるのである。
【0015】これにより、各積層チップ片1における両
端面1a,1bのみを、各積層チップ片1における外側
面に露出する内部電極膜B1 を損傷及び消失することな
く、当該両端面1a,1bの各々に対して各内部電極膜
1 ,B2 ,B3 ,B4 の端面が露出するように研磨す
ることができる。なお、この研磨に際しては、表面に研
磨粒子を塗着して成る研磨布を擦り付けるとか、或い
は、回転する研磨車を擦り付けるとか、若しくは、ワイ
ヤーブラシを擦り付ける等、その他の平面研磨方法を採
用しても良い。
【0016】このようにして、両端面1a,1bに対す
る研磨を完了した各積層チップ片1は、その両端面1
a,1bに対して、前記のように並べた状態で、例え
ば、特開平3−2255810号公報に記載されている
ように、スパッタリング又は真空蒸着或いはプラズマ溶
射に等によって、図5及び図6に二点鎖線で示すよう
に、側面電極膜2,3を形成するのである。
【0017】従って、この方法によると、従来の製造方
法において必要であったセラミックカバーシートC′を
省略することができるから、積層セラミックコンデンサ
ーにおける高さ寸法Hを、従来の場合よりも大幅に低く
することができると共に、積層セラミックコンデンサー
を軽量化できるのである。しかも、各内部電極膜B1
2 ,B3 ,B4 のうち一部の内部電極膜B1 の全体が
積層チップ片1の外側面に露出していることにより、こ
の露出している内部電極膜B1 に対してレーザ光線等に
てトリミングを施すことができるから、積層セラミック
コンデンサーにおける静電容量を調節できるのである。
【0018】なお、前記実施例は、積層チップ片1を構
成する各シートA1 ,A2 ,A3 ,A4 のうち第1シー
トA1 に形成した内部電極B1 の全体を、積層チップ片
1の上側面に露出するように構成した場合を示すした
が、本発明は、これに限らず、図7及び図8に示すよう
に、積層チップ片1を構成する各シートA1 ,A2 ,A
3 ,A4 のうち第4シートA4 の下面にも内部電極膜B
5 を形成することによって、積層セラミックコンデンサ
ーにおける静電容量のアップを図るようにすることもで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例において各セラミックシートに
内部電極膜を形成した状態の斜視図である。
【図2】本発明の実施例において前記シートを積層して
積層体にした状態の斜視図である。
【図3】本発明の実施例における前記積層体を多数個の
積層チップ片ごとに切断した状態の斜視図である。
【図4】本発明の実施例において前記積層チップ片の多
数個をその左右両端面が同一平面状になるように並べた
状態の斜視図である。
【図5】本発明の実施例において積層チップ片の斜視図
である。
【図6】図5のVI−VI視断面図である。
【図7】本発明の別の実施例における積層チップ片の斜
視図である。
【図8】図7のVIII−VIII視断面図である。
【図9】従来の方法において各セラミックシートの各々
に内部電極膜を形成した状態の斜視図である。
【図10】従来の方法において前記各シートを積層して
積層体にした状態の斜視図である。
【図11】従来の方法において積層チップ片の斜視図で
ある。
【図12】図11のXII −XII 視断面図である。
【図13】従来の方法において前記積層チップ片の左右
両端面に側面電極膜を形成した状態の斜視図である。
【符号の説明】
1 積層チップ片 1a,1b 積層チップ片の左右両端面 2,3 側面電極膜 A1 ,A2 ,A3 ,A4 セラミックシート B1 ,B2 ,B3 ,B4 内部電極膜 D1 ,D2 切断線

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】内部電極膜を交互にずらせて形成した複数
    枚の未焼成セラミックシートを積層し、この積層体を、
    縦横格子状の切断線に沿って多数個の積層チップ片に切
    断したのち焼成し、次いで、この積層チップの多数個
    を、各積層チップ片における左右両端面が同一平面状に
    なるように並べ、この状態で、前記各積層チップ片にお
    ける左右両端面を、研磨粒子の吹き付け又は研磨布の擦
    り付け等にて研磨したのち、各積層チップ片における左
    右両端面に対して側面電極膜を形成することを特徴とす
    る積層セラミックコンデンサーの製造方法。
JP22742992A 1992-08-26 1992-08-26 積層セラミックコンデンサーの製造方法 Pending JPH0677086A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22742992A JPH0677086A (ja) 1992-08-26 1992-08-26 積層セラミックコンデンサーの製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22742992A JPH0677086A (ja) 1992-08-26 1992-08-26 積層セラミックコンデンサーの製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0677086A true JPH0677086A (ja) 1994-03-18

Family

ID=16860719

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP22742992A Pending JPH0677086A (ja) 1992-08-26 1992-08-26 積層セラミックコンデンサーの製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0677086A (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08279702A (ja) * 1995-04-07 1996-10-22 Fuji Elelctrochem Co Ltd 積層誘電体フィルタ及びその製造方法
US7309397B2 (en) * 2001-02-21 2007-12-18 Ceramtec Ag Innovative Ceramic Engineering Process for the manufacture of piezoceramic multilayer actuators
WO2009125631A1 (ja) * 2008-04-11 2009-10-15 株式会社村田製作所 チップ型セラミック電子部品の製造装置およびチップ型セラミック電子部品の製造方法
JP2010041463A (ja) * 2008-08-06 2010-02-18 Tdk Corp 積層型電子部品およびその製造方法
US8804305B2 (en) 2010-12-08 2014-08-12 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Multilayer ceramic condenser and method for manufacturing the same
CN115401533A (zh) * 2021-05-26 2022-11-29 大众汽车股份公司 用于切割电极膜的方法和切割设备

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08279702A (ja) * 1995-04-07 1996-10-22 Fuji Elelctrochem Co Ltd 積層誘電体フィルタ及びその製造方法
US7309397B2 (en) * 2001-02-21 2007-12-18 Ceramtec Ag Innovative Ceramic Engineering Process for the manufacture of piezoceramic multilayer actuators
WO2009125631A1 (ja) * 2008-04-11 2009-10-15 株式会社村田製作所 チップ型セラミック電子部品の製造装置およびチップ型セラミック電子部品の製造方法
JPWO2009125631A1 (ja) * 2008-04-11 2011-08-04 株式会社村田製作所 チップ型セラミック電子部品の製造装置およびチップ型セラミック電子部品の製造方法
KR101139549B1 (ko) * 2008-04-11 2012-04-27 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 칩형 세라믹 전자부품의 제조장치 및 칩형 세라믹 전자부품의 제조방법
TWI417914B (zh) * 2008-04-11 2013-12-01 Murata Manufacturing Co Production method of wafer-type ceramic electronic parts and manufacturing method of wafer-type ceramic electronic parts
JP2010041463A (ja) * 2008-08-06 2010-02-18 Tdk Corp 積層型電子部品およびその製造方法
US8804305B2 (en) 2010-12-08 2014-08-12 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Multilayer ceramic condenser and method for manufacturing the same
US9679697B2 (en) 2010-12-08 2017-06-13 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Method for manufacturing multilayer ceramic condenser
CN115401533A (zh) * 2021-05-26 2022-11-29 大众汽车股份公司 用于切割电极膜的方法和切割设备

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4759107A (en) Monolithic piezoelectric element and method of adjusting the resonant frequency thereof
EP1272020A4 (en) PROCESS FOR MANUFACTURING CERAMIC MULTILAYER SUBSTRATE, AND NON-COOKED COMPOSITE LAMINATE BODY
JPH08130160A (ja) 積層セラミック電子部品の製造方法
JP2004022859A (ja) 積層セラミックコンデンサおよびその製造方法
JPH0677086A (ja) 積層セラミックコンデンサーの製造方法
JPH047574B2 (ja)
JPH03108306A (ja) 積層コンデンサの製造方法
JPH07335478A (ja) 積層セラミック電子部品の製造方法
JPS61133715A (ja) 周波数調整可能な圧電素子
US7215465B2 (en) Optical low pass filter
JPH0730251A (ja) セラミックス多層配線基板の製造方法及びセラミックス多層配線基板
JP2018198327A (ja) 積層コンデンサ及びその製造方法
JPH06224072A (ja) 積層セラミックコンデンサーの製造方法
JPH03108737A (ja) 冷媒流路を備えた静電チャック及びその製造方法
JP2784863B2 (ja) 積層コンデンサ
JP2003023186A (ja) 積層圧電アクチュエータ
JPH02141476A (ja) セラミック基板の製造方法
JPH03232775A (ja) セラミック基板の焼成方法
JP2517984B2 (ja) セラミックパッケ―ジの製法
JPH0621227Y2 (ja) 複合コンデンサ
JP2972000B2 (ja) 積層セラミックコンデンサーの製造方法
JPH03178195A (ja) 多層セラミック基板の製造方法
JPH11204369A (ja) 多連型積層セラミックコンデンサ
KR100631982B1 (ko) 표면 평탄성이 우수한 ltcc 기판의 제조방법
JPH0684689A (ja) 積層コンデンサ