JPH0673810B2 - 砥粒の特性制御方法 - Google Patents

砥粒の特性制御方法

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JPH0673810B2
JPH0673810B2 JP60265366A JP26536685A JPH0673810B2 JP H0673810 B2 JPH0673810 B2 JP H0673810B2 JP 60265366 A JP60265366 A JP 60265366A JP 26536685 A JP26536685 A JP 26536685A JP H0673810 B2 JPH0673810 B2 JP H0673810B2
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abrasive grains
grindstone
grinding
abrasive
irradiation
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JP60265366A
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JPS62124870A (ja
Inventor
潔 井上
Original Assignee
株式会社井上ジャパックス研究所
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Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、研削、電解研削等に用いる研削加工用砥石と
して使用するに好適な砥粒の特性、特に砥粒の研削面と
なる表面または表面層の結晶寸法或いはグレーンサイズ
の微細化および均一化、さらには稠密度化を調整または
制御する方法に関する。
(従来の技術) 研削加工に使用される研削砥石は、ダイヤモンド、Al2O
3、SiO2、ZrO2等のような不良導体や、SiC、TiB2、B
4C、TiC、TiN、WC、Si3N4等の半導体を砥粒として用
い、これらをフリット、ビトリファイド、シリケートそ
の他の磁器質結合材や、樹脂、ゴム、炭素および金属等
の結合材を用いて結合することにより構成される。
(発明が解決しようとする問題点) しかし、従来の砥粒は、結晶サイズについて考慮がなさ
れていないので、研削加工を行なう際に大きな粒子が欠
落しやすく、研削比(砥粒の減少量/ワークの減少量)
が大であるという問題点があった。
(問題点を解決するための手段) この問題点を解決するため、本発明においては、砥粒を
結合剤により結合してなる砥石の表面露出砥粒、または
遊離砥粒等の多数の砥粒に対して106W/cm2以上の照射密
度のレーザビームを相対的に移動させて万遍なく一様に
照射することにより、上記多数の砥粒を急熱、急冷して
各砥粒表面層の結晶サイズを微細化および均一化するこ
とを特徴とするものであり、本方法によれば、微細で均
一な結晶サイズの結晶を表面層として有する砥粒を得る
ことができ、研削比を良くすることができる。
砥石または砥粒の繰返し使用に当っては、上記表面層の
微細結晶が剥離、脱落して摩耗することになるから、何
らかの目立や砥粒突出処理後、本発明により砥粒の再処
理をすれば良く、切味良く、かつ砥粒の有効利用にも資
することができる。
(実施例) 以下本発明の一実施例を図面により説明する。第1図は
本発明を実施する装置の一例であり、研削盤に本発明を
実施する装置を付設して砥石1の表面露出砥粒の特質制
御を行なう例を示す。すなわち、例えば数値制御装置20
により、砥石1を取付けた回転軸2をモータ3により回
転させ、かつ砥石1を囲む枠体10上に取付け座12を介し
て図面上左右方向(Y方向)に移動自在に取付けられた
Y軸テーブル14をY軸モータ13により移動させると共
に、Y軸テーブル14上に図面上紙面の表裏方向に移動自
在に取付けられたX軸テーブル16をX軸モータ15により
移動させ、該X軸テーブル16上に装着したレーザ装置17
による砥石1の表面に対するレーザビーム21の照射点を
変え、さらに、X軸テーブル16上に設置したZ軸モータ
18によりレーザ装置17の上下位置を調整して照射点の面
積を変えることにより、照射点の照射エネルギ密度を変
えながら、砥石1の表面にレーザビームを照射すること
により、表面露出砥粒を急熱急冷しながらその砥粒表面
層の結晶サイズを制御、すなわち微細化および均一化す
る。
なお、図中、4,6はそれぞれX軸モータ7、Y軸モータ
8により移動させられるワーク移動用X軸、Y軸テーブ
ル、5はワーク、9はワークの上下位置を調整するZ軸
モータである。
第2図は砥石1に対するレーザビーム21の照射点の移動
の方法の一例を示す図であり、矢印Aに示すように照射
点に砥石1の表面を横切る動作を繰返させて、該砥石1
の表面を万遍なく一様に照射する。この他、照射点を砥
石1の周方向に移動させる方法等が用いられる。また、
レーザビーム21の照射点を移動させる手段としては、砥
石1をレーザ装置17に対して移動させる方法もある。
第3図は本発明を実施した場合の砥粒1Bの特質の変化を
示すもので、結合材1Aにより結合された砥粒1Bに前記の
方法により106W/cm2以上のレーザビーム21を照射し、照
射点を移動させ砥石1の表面を万遍なく一様に照射して
多数の砥粒1Bを急熱、急冷することにより、砥粒1Bの表
面にa〜nで示すような均一な大きさでかつ微細な結晶
の砥粒を形成することができる。
具体例を述べると、砥粒1Bとして、SiC88%、TiC5%、T
iN5%、残部を結合材とした砥石において、下記の試料
A,Bの砥石を作成した。
[試料A]YAGレーザ出力150W、照射点の移動速度10cm/
s、照射点の面積約15×10-5cm2(照射密度約106W/cm2
で照射したところ、SiC表面に約20〜40μm程度のほぼ
均一な結晶サイズを得ることができた。
[試料B]YAGレーザ出力150W、照射点の移動速度0.5cm
/s、照射点の面積約7×10-5cm2(照射密度約2×106W/
cm2)で照射したところ、SiC表面に約8〜20μm程度の
ほぼ均一で微細な結晶サイズを得ることができた。
また、上記試料A,Bとレーザ照射を行なわないものの加
工における研削比比較試験を、2.5μRmaxの面粗度、ス
ピンドル電力1kw、砥石1の幅15mmで行なつたところ、
レーザ照射を行なわない場合には、加工速度は0.08cm3/
min、研削比が体積消耗比で400%となり、また、試料A
の場合、加工速度は0.34cm3/min、研削比が88%とな
り、また、試料Bの場合、加工速度は0.21cm3/min、研
削比が90%となり、加工速度および研削比を大幅に向上
させることが可能となった。
このような研削比の向上が達成できる理由は、結晶サイ
ズが微細化することにより、研削の際における砥粒の欠
落粒の径が小さくなるためであると考えられる。
上記の例は円盤形砥石を例にとって説明したが、本発明
は、砥粒を固着したサンドペーパー、ベルト、或いは遊
離砥粒などにも適用することができる。
(発明の効果) 以上述べたように、本発明による砥粒の特性制御方法
は、砥粒を結合剤により結合してなる砥石の表面砥粒、
または遊離砥粒等の多数の砥粒に対して106W/cm2以上の
照射密度のレーザビームを相対的に移動させて万遍なく
一様に照射することにより、上記多数の砥粒を急熱、急
冷して各砥粒表面層の結晶サイズを微細化および均一化
する方法であって、微細で均一な結晶サイズを得ること
ができ、研削比を良くすることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の方法を実施する研削盤を示す構成図、
第2図は第1図に示す砥石の表面のレーザビーム照射方
法の一例を示す平面図、第3図は本発明により得られる
砥粒を示す断面図である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】多数の砥粒に対して106W/cm2以上の照射密
    度のレーザビームを相対的に移動させて万遍なく一様に
    照射することにより、上記多数の砥粒を急熱、急冷して
    各砥粒表面層の結晶サイズを微細化及び均一化すること
    を特徴とする砥粒の特性制御方法。
JP60265366A 1985-11-26 1985-11-26 砥粒の特性制御方法 Expired - Lifetime JPH0673810B2 (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN107520766A (zh) * 2017-09-28 2017-12-29 东北大学 一种激光熔覆工艺制作金属结合剂超硬磨料结构化排布端面磨削砂轮的方法

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JPH0673811B2 (ja) * 1989-05-19 1994-09-21 工業技術院長 砥石の成形加工方法
US6793562B2 (en) * 2001-04-23 2004-09-21 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Grinder and method of and apparatus for non-contact conditioning of tool

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58191956U (ja) * 1982-06-18 1983-12-20 株式会社井上ジャパックス研究所 研削盤

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107520766A (zh) * 2017-09-28 2017-12-29 东北大学 一种激光熔覆工艺制作金属结合剂超硬磨料结构化排布端面磨削砂轮的方法

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