JPH0670993A - 消火装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 電子出願以前の出願であるので 要約・選択図及び出願人の識別番号は存在しない。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体装置の製造設備における火災 を鎮火させるための消火装置に関し、特に半導体 基板を処理する処理装置に使用される薬品による 火災を鎮火する消火装置に関する。

〔従来の技術〕

一般に、半導体ＩＣの製造工場では、半導体基 板を洗浄、エッチング等を行なう処理装置が多く 設置されている。そしてこれらの処理装置に種々 の処理用薬品が使用されている。例えば、洗浄装 置の場合、当初、この薬品に関しては、洗浄能力 のあるフロンもしくは難燃性の有機溶剤が使用さ れてきたが、最近は環境問題のため、代替品とし てアルコール類等の人体に無害であるが、引火性 の薬品に代えつつある。

しかしながら、このような引火性薬品は、火災 を発生させる危険度を多く含んでいる。このため 、これら洗浄装置には、１台あるいは数台の単位 毎に消火装置をもっている。また、この消火装置 の消火剤については、消火能力は勿論、洗浄装置 に損傷を与えず、汚染されても容易に復元出来る 消火剤が選べられていた。例えば、半導体基板を 洗浄する洗浄装置の例をとっても、この消火剤と しては、その消火能力からハロンガスを使用して いる。

第２図は従来の一例を示す消火装置の系統図で ある。この消火装置は、同図に示すように、洗浄 槽４に溜められる液状の薬品５が発生する火炎を 検知する光センサ８及び計器９と、この光センサ ８及び計器９の検知信号によりそのゲートを開く バルブ１０と、このバルブ１０と接続し、消火剤 を供給するボンベ１１と、バルブ１０が開くこと により消火剤を洗浄槽４の開口全面に噴射するノ ズル６とを有している。

次に、この消火装置の動作を説明する。まず、 半導体基板である被洗浄物１が複数枚収納される マガジンケース２を処理槽３に浸ける。次に、所 定時間後、マガジンケース２を引上げ、矢印の方 向に移動する。次に、マガジンケース２を洗浄槽 ４の薬品５に浸ける。このとき、薬品が何らかの 原因で火災を発生したとすると、光センサ８が炎 を検知し、計器９を介して電気信号を出力する。

この電気信号によりバルブ１０が開き、ボンベ１ １より消火剤であるハロンガスが配管７を通して 流れる。そしてノズル８によりハロンガスが洗浄 槽４の開口一杯に広がりをもって噴射させ、槽内 の消火及び周辺への延焼を防止する。通常、この 程度の火災なら０．２〜０．５秒程度で鎮火され る。

そして鎮火後は、薬品で汚染された洗浄槽は、 洗浄することによって復帰させていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかさながら、最近、この消火剤であるハロン も、環境汚染の問題として取り上げられ、去る１ ９８９年１１月１３日〜１７日開催されたモント リオール議定書改正作業部会では、ハロンも使用 禁止の方向付けを決定した。

このため、従来の消火装置に、このハロンがい ずれ使用できなくなるという問題がある。また、 このハロンを使用した従来の消火装置に代る火災 消火システムを新たに構築するとなると、工場全 体に係わる消火システムにしなければならず、シ ステムが大掛りになり、多大な投資が必要となる ばかりか、一度火災が起きると洗浄装置の復元が 困難になる。それにもまして致命的なことは、こ のハロンガスの代替品が現存しないことである。

本発明の目的は、かかる問題を解消すべく使用 している薬品が火災により発生する媒体を不燃性 にするとともに人畜無害の媒体に変え、かつ装置 に損傷することなく火災を鎮火する消火装置を提 供することである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の第１の消火装置は、半導体基板を処理 する処理装置の火災を鎮火させる消火装置におい て、前記処理装置から発生する火炎を検知する検 知手段と、この検知手段により前記処理装置内の 処理用薬品に、例えば、炭酸ガスである消火ガス を噴射する消火ガス噴射手段と、前記消火ガスに より鎮火される前記処理用薬品を前記処理装置よ り排出する薬品排出手段と、排出される前記処理 用薬品に水を混入させ引火点を高める水供給手段 とを備えている。

また、本発明の第２の消火装置は、前記第１の 消火装置に加えて、火災による前記薬品より発生 するガスを希釈させ、不燃性で人畜無害のガスに 置換させる、例えば、不活性ガスである置換用ガ スを供給する置換ガス供給装置を備えている。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明す る。

第１図は本発明の一実施例を示す消火装置の系 統図である。この消火装置は、同図に示すように 、駆動源１５で開くバルブ１４と配管１８を介し て洗浄槽４より鎮火された消火剤混入りの薬品を 排出して溜める貯槽２１と、この貯槽２１に溜め られる前記消火剤が混入する薬品に水を供給する ことにより希釈し、その引火点を高くする水供給 機構と、貯層２１及び配管１８内の空間部１９に 浮遊する火災による発生ガスを引火点の高く人畜 無害のガスに置換するために不活性ガスを供給す る不活性ガス供給装置とを設けたことである。ま た、不活性ガスに置換された安定したガスを屋外 に排出する排気管２３と、安定した廃液を貯槽２ １より屋外に排出するための廃液管２４及びバル ブ２５とが貯槽２１に接続されている。さらに、 水供給機構は、図示していない水源と、貯槽２１ と水源とを継なぐ配管とで構成される。それ以外 は従来例と同じである。

一方、前記不活性ガス供給装置は、貯槽２１に 一端を接続する配管２０と、この配管２０の他端 に流量計１２、流量制御弁１３及び減圧弁１７を 介して接続される不活性ガス供給用ボンベ１６と を有している。ここで、消火剤としては、炭酸ガ スを用い、不活性ガスとしては、アルゴン、ヘリ ウム等の種々があるが、最も安価な窒素ガスを用 いた。

次に、この消火装置の動作を説明する。まず、 従来例と同様に、薬品５が着火すると、光センサ ８が動作し、ノズル８より消火剤である炭酸ガス が噴射される。これと同時に駆動源１５が作動し 、バルブ１４が開く、このことにより、鎮火され つつある炭酸ガス混入の薬品５は配管１８を通し 貯槽２１に流れ込む。これと同時に水が貯槽２１ に供給されるので、消火剤混入の薬品は、水と同 程度の引火点まで希釈され貯槽２１に溜められる 。一方、このとき生ずる消火剤混入のガスは不活 性ガス用ボンベより供給される窒素ガスに置換さ れ、排気管２３を通して屋外に排出される。さら に、貯槽２１に溜められる廃液は、水位計で検知 され所定以上のレベルに達したら、自動的に排液 管２４を通して屋外に流す。

ここで、貯槽２１内に供給される水の量と洗浄 槽４における薬品の量との比は、水が薬品の１． ５倍以上あれば良く、燃えるときに有毒なガスが 発生しない薬品であれば、前記不活性ガス供給装 置は必要はないかもしれない。

なお、この実施例では、ノズル６と洗浄槽４の 開口の間にフードがないが、発生するガスが洩れ ないようにフードを設けた方が良い。また、この フードは、通常の作業に邪魔にならない程度に、 フードと開口面との間を開け、非常時にこのフー ドが開口面を覆うようにすれば、発生するガスは 装置外に洩れることがない。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、処理装置の炎燒 する処理用薬品に不燃性媒体を噴射する手段と、 不燃性媒体が混入する前記薬品を前記処理装置よ り排出し、蓄める貯層と、この貯槽に溜められる 前記薬品を希釈して引火点を高めるために水を供 給する水供給手段と、前記薬品が燃焼時に発生す るガスを不燃性でかつ人畜無害にする置換ガスを 供給する不活性ガス供給装置とを設けることによ って、薬品が火災により発生する媒体を不燃性に するとともに人畜無害の媒体に変え、かつ装置に 損傷することなく火災を鎮火させることの出来る 消火装置が得られるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す消火装置の系 統図、第２図は従来の一例を示す消火装置の系統 図である。 １…被洗浄物、２…マガジンケース、３…処理 槽、４…洗浄槽、５…薬品、６…ノズル、７、１ ８、２０…配管、８…光センサ、９…計器、１０ 、１４、２５…バルブ、１１…ボンベ、１２…計 量計、１３…流量制御弁、１５…駆動源、１６… 不活性ガス用ボンベ、１７…減圧弁、１９…空間 部、２１…貯槽、２３…排気管、２４…排液管。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体基板を処理する処理装置の火災を
   鎮 火させる消火装置において、前記処理装置から発 生する火炎を検知する検知手段と、この検知手段 により前記処理装置内の処理用薬品に消火ガスを 噴射する消火ガス噴射手段と、前記消火ガスによ り鎮火される前記処理用薬品を前記処理装置より 排出する薬品排出手段と、排出される前記処理用 薬品に水を混入させ引火点を高める水供給手段と を備えることを特徴とする消火装置。
2. 【請求項２】 火災による前記薬品より発生するガスを
   希 釈させ、不燃性で人畜無害のガスに置換させる置 換用ガスを供給する置換ガス供給装置を備えるこ とを特徴とする請求項１記載の消火装置。
3. 【請求項３】 前記消火ガスが炭酸ガスであることを特
   徴 とする請求項１記載の消火装置。
4. 【請求項４】 前記置換用ガスが不活性ガスであること
   を 特徴とする請求項２記載の消火装置。