JPH0669067A - セラミックコンデンサの製造方法 - Google Patents

セラミックコンデンサの製造方法

Info

Publication number
JPH0669067A
JPH0669067A JP4217849A JP21784992A JPH0669067A JP H0669067 A JPH0669067 A JP H0669067A JP 4217849 A JP4217849 A JP 4217849A JP 21784992 A JP21784992 A JP 21784992A JP H0669067 A JPH0669067 A JP H0669067A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ceramic capacitor
molded body
firing
ceramic
oxide
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP4217849A
Other languages
English (en)
Inventor
Yukihiro Higuchi
幸博 樋口
Joji Koga
譲二 古賀
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Materials Corp
Original Assignee
Mitsubishi Materials Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Materials Corp filed Critical Mitsubishi Materials Corp
Priority to JP4217849A priority Critical patent/JPH0669067A/ja
Publication of JPH0669067A publication Critical patent/JPH0669067A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Ceramic Capacitors (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)

Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 酸化鉛等の高蒸気圧酸化物を含む誘電体磁器
組成物を用いてセラミックコンデンサを製造する方法に
おいて、焼成ムラの発生を防止し、特性値にバラツキの
ない高特性セラミックコンデンサを高い歩留りにて製造
する。 【構成】 高蒸気圧酸化物を含むセラミックコンデンサ
用成形体3を焼成するにあたり、その上面及び下面を焼
成用シート2A、2Bで被って、空気中でバーンアウト
した後、密閉した磁器容器4中で焼成する。 【効果】 成形体の表面及び裏面が必要最少量の高融点
無機酸化物のグリーンシートで被われるため、焼成時、
成形体中に含有される酸化鉛等の高蒸気圧酸化物の飛散
が防止される。このため、磁器容器内部の雰囲気が均一
となり、磁器容器内での焼成ムラが防止される。その結
果、焼結密度が均一となり、得られるセラミックコンデ
ンサの特性値のバラツキがなくなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はセラミックコンデンサの
製造方法に係り、特に、酸化鉛等の高蒸気圧酸化物を含
む誘電体磁器組成物を用いてセラミックコンデンサを製
造するにあたり、成形体の焼成時の焼成ムラを防止して
高特性セラミックコンデンサを製造する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】セラミックコンデンサのうち、積層セラ
ミックコンデンサは、一般に、次のようにして製造され
ている。即ち、まず、誘電体磁器組成物の粉末とバイン
ダ及び溶剤を混合してペースト化し、これをドクターブ
レード法、スクリーン印刷法等の手段でシート化する。
得られたグリーンシートと内部電極を交互に積み重ねて
成形体を作製し、次いで、この成形体を空気中で400
〜600℃で焼成して該成形体中のバインダ成分の除去
(バーンアウト)を行ない、その後、900〜1400
℃で焼成した後、得られた焼結体の端面に電極を形成す
る。
【0003】ところで、誘電体磁器組成物として高蒸気
圧酸化物、例えば酸化鉛等を用いた積層セラミックコン
デンサを製造する場合、その焼成条件は、焼成による酸
化鉛の飛散を十分に考慮して設定する必要がある。
【0004】従来、このような条件を満足する方法とし
ては、 成形体をMgO,ZrO2 等の磁器容器中で焼成す
る方法。 上記に加え、更に蒸発による酸化鉛の減少を補償
するための酸化鉛発生源である酸化鉛粉末や酸化鉛を含
む誘電体磁器組成物の仮焼粉を磁器容器中に入れて焼成
する方法。 等が採用されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記
、の方法を採用した場合においても、量産体制で大
型磁器容器を使用して、一度に多数の成形体を入れて焼
成する場合には、磁器容器内部の成形体装入箇所により
焼成雰囲気に差ができ、焼成ムラが発生することから、
得られるセラミックコンデンサの特性値にバラツキが生
じ、このことが製造歩留りを低下させる原因となってい
た。
【0006】本発明は上記従来の問題点を解決し、酸化
鉛等の高蒸気圧酸化物を含む誘電体磁器組成物を用いて
セラミックコンデンサを製造する方法において、焼成ム
ラの発生を防止し、特性値にバラツキのない高特性セラ
ミックコンデンサを高い歩留りにて製造する方法を提供
することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】請求項1のセラミックコ
ンデンサの製造方法は、高蒸気圧酸化物を含むセラミッ
ク成形体を焼成する工程を有するセラミックコンデンサ
の製造方法において、該セラミック成形体の上面及び下
面をセラミックグリーンシートよりなる焼成用シートで
被い、空気中でバーンアウトした後、密閉した磁器容器
中で焼成することを特徴とする。
【0008】請求項2のセラミックコンデンサの製造方
法は、請求項1の方法において、前記焼成用シートは、
高融点無機酸化物を有機バインダによりシート化して得
られるセラミックグリーンシートであることを特徴とす
る。
【0009】以下、図面を参照して本発明のセラミック
コンデンサの製造方法について詳細に説明する。
【0010】図1は本発明のセラミックコンデンサの製
造方法の一実施例方法を示す断面図である。
【0011】本実施例の方法では、磁器セッター1の上
にセラミックグリーンシートからなる焼成用シート2A
を敷き、その上にセラミックコンデンサ用成形体(セラ
ミックグリーンシートと内部電極との積層体)3を載
せ、更に焼成用シート2Bでカバーし、この状態で空気
中にて、例えば、400〜600℃で60〜70時間程
度焼成して成形体3中のバインダ成分の焼失除去(バー
ンアウト)を行なう(図1(a))。
【0012】次いで、この焼成用シート2A、2Bで被
覆された成形体3を、磁器セッター1ごと蓋4Aを有す
る磁器容器4に入れ、蓋4Aをして密閉状態にて、例え
ば、900〜1400℃で15〜20時間程度焼成を行
なって、焼結体とする(図1(b))。
【0013】この焼結体に常法に従って電極を形成し
て、セラミックコンデンサとする。
【0014】本発明において、焼成用シート2A、2B
としては、セラミックコンデンサ用成形体3や磁器セッ
ター1、磁器容器4と反応しないもの、特に、成形体3
中に含有される酸化鉛等の高蒸気圧酸化物と化学反応し
難く、熱的、化学的に安定なものであれば良く、特に制
限はないが、好ましくは、ZrO2 、MgO、Al2O3
等の高融点無機酸化物の1種又は2種以上を主成分と
し、これを有機バインダでシート化して得られるセラミ
ックグリーンシートが用いられる。
【0015】また、このような焼成用シート2A、2B
の大きさは、少なくとも焼成時にセラミックコンデンサ
用成形体の表面全体を被うような大きさであれば良く、
また、その厚さも任意であり、取り扱い性やコスト等を
考慮して適宜決定される。なお、焼成用シート2A、2
Bは同仕様のものを用いるのが有利であるが、このう
ち、下側の焼成用シート2Aについては、高融点無機酸
化物のグリーンシートと成形体3中に含まれる高蒸気圧
酸化物のグリーンシートとのラミネートシートであって
も良い。
【0016】磁器セッター1や磁器容器4としても、セ
ラミックコンデンサ用成形体3、特に、含有される酸化
鉛等の高蒸気圧酸化物と化学反応し難いものであれば良
く、特に制限はない。通常の場合、これらはMgO、A
23 又はZrO2 製のものが用いられる。
【0017】なお、本発明において、セラミックコンデ
ンサ用成形体に含有される高蒸気圧酸化物としては、例
えば、酸化鉛等の鉛系、リチウム系等の高蒸気圧酸化物
が挙げられる。
【0018】
【作用】本発明の方法によれば、セラミックコンデンサ
用成形体の焼成にあたり、その成形体の表面及び裏面が
必要最少量の高融点無機酸化物のグリーンシートのよう
な焼成用シートで被われるため、焼成時、成形体中に含
有される酸化鉛等の高蒸気圧酸化物の飛散が防止され
る。このため、磁器容器内部の雰囲気が均一となり、磁
器容器内での焼成ムラが防止される。その結果、焼結密
度が均一となり、得られるセラミックコンデンサの特性
値のバラツキがなくなる。また、焼成用シートはセラミ
ックコンデンサ用成形体と、これが載置される磁器セッ
ターとの反応による焼付防止にも有効に作用するため、
成形体に用いた誘電体磁器組成物の種類に応じて、磁器
セッターの選定を行なう必要もなくなる。
【0019】特に、焼成用シートとしては、高融点無機
酸化物を有機バインダによりシート化して得られるセラ
ミックグリーンシートが好ましい。
【0020】
【実施例】以下に実施例及び比較例を挙げて、本発明を
より具体的に説明する。
【0021】実施例1 MgOの磁器セッター上にZrO2 グリーンシートから
なる焼成用シートを敷き、この上に鉛系ペロブスカイト
構造からなる積層セラミックコンデンサ用成形体を50
0個載せ、更に、その上を、上記と同様のZrO2 グリ
ーンシートからなる焼成用シートでカバーした。この状
態で、バインダ成分の除去(バーンアウト)を空気中、
600℃で行ない、その後、Al23 製(SSA-S (日
本化学陶業))の密閉磁器容器中に入れて、1100℃
で2時間焼成した。
【0022】焼成後、得られた焼結体に焼けムラは見ら
れなかった。また、この焼結体の両端面に電極を形成
し、静電容量を測定したところ、測定値のバラツキは、
±4%であった。
【0023】比較例1 焼成用シートを用いなかったこと以外は、実施例1と同
様にして積層セラミックコンデンサ成形体を焼成した。
その結果、焼成後、得られた焼結体には磁器セッターの
中心部と外周部で焼結体に焼けムラが見られた。また、
この焼結体の両端面に電極を形成し、静電容量を測定し
たところ、測定値のバラツキは、±20%であった。
【0024】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明のセラミック
コンデンサの製造方法によれば、酸化鉛等の高蒸気圧酸
化物を含む誘電体磁器組成物を用いたセラミックコンデ
ンサの成形体を焼成ムラなく焼成することができること
から、量産体制においても得られるセラミックコンデン
サの特性値のバラツキがなくなり、製造歩留りが大幅に
向上する。
【0025】特に、焼成用シートとして、高融点無機酸
化物を有機バインダによりシート化して得られるセラミ
ックグリーンシートを用いると、該セラミックグリーン
シートと高蒸気圧酸化物との反応を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のセラミックコンデンサの製造方法の一
実施例方法を示す断面図である。
【符号の説明】
1 磁器セッター 2A,2B 焼成用シート 3 セラミックコンデンサ用成形体 4 磁器容器

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 高蒸気圧酸化物を含むセラミック成形体
    を焼成する工程を有するセラミックコンデンサの製造方
    法において、該セラミック成形体の上面及び下面をセラ
    ミックグリーンシートよりなる焼成用シートで被い、空
    気中でバーンアウトした後、密閉した磁器容器中で焼成
    することを特徴とするセラミックコンデンサの製造方
    法。
  2. 【請求項2】 前記焼成用シートは、高融点無機酸化物
    を有機バインダによりシート化して得られるセラミック
    グリーンシートであることを特徴とする請求項1に記載
    のセラミックコンデンサの製造方法。
JP4217849A 1992-08-17 1992-08-17 セラミックコンデンサの製造方法 Withdrawn JPH0669067A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4217849A JPH0669067A (ja) 1992-08-17 1992-08-17 セラミックコンデンサの製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4217849A JPH0669067A (ja) 1992-08-17 1992-08-17 セラミックコンデンサの製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0669067A true JPH0669067A (ja) 1994-03-11

Family

ID=16710732

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4217849A Withdrawn JPH0669067A (ja) 1992-08-17 1992-08-17 セラミックコンデンサの製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0669067A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220091305A (ko) * 2020-12-23 2022-06-30 엘티메탈 주식회사 압전세라믹 소결체의 제조방법 및 이에 따라 제조된 압전세라믹 소결체

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220091305A (ko) * 2020-12-23 2022-06-30 엘티메탈 주식회사 압전세라믹 소결체의 제조방법 및 이에 따라 제조된 압전세라믹 소결체

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH06290989A (ja) チップ状回路部品
US4937096A (en) Manufacturing method for a ceramic capacitor
US7413699B2 (en) Method of making ceramic electronic element
JPH065461A (ja) 積層セラミックコンデンサの外部電極の形成方法
JPH0669067A (ja) セラミックコンデンサの製造方法
US5965057A (en) Piezoelectric ceramic and manufacturing method thereof
KR100492813B1 (ko) 적층형 압전 세라믹 소자의 제조방법
JPH11340090A (ja) 粒界絶縁型積層セラミックコンデンサの製造方法
JPH0878267A (ja) 内部電極ペーストおよびそれを用いた積層セラミックコンデンサ
JPH05254946A (ja) 圧電セラミックスの製造方法
JP2576973B2 (ja) セラミツク形成組成物及びこれを用いた半導体磁器基体と誘電体磁器基体並びにコンデンサ−
JP2558722B2 (ja) 電圧非直線抵抗器の電極形成方法
JPH07114174B2 (ja) 積層型半導体磁器電子部品の製造方法
JPH07183155A (ja) セラミック積層電子部品及びその製造方法
JPH05226181A (ja) セラミックス電子部品の外部電極焼成方法
JP2705227B2 (ja) 積層セラミックコンデンサ
JP2808758B2 (ja) チタン酸バリウム系半導体磁器の焼成方法
JP2984115B2 (ja) 粒界絶縁型半導体磁器コンデンサの製造方法
JPH05262569A (ja) 高蒸気圧酸化物を含むセラミック成形体の焼成方法
JPH06227852A (ja) 導電性組成物
JP2506286B2 (ja) 粒界絶縁型半導体磁器の製造方法
JPH0587005B2 (ja)
JP2000182881A (ja) 誘電体磁器材料
JPH06181108A (ja) 正の抵抗温度特性を有する半導体磁器
JPS60106116A (ja) 積層型電子部品

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 19991102