JPH0661556A - レーザ発振装置 - Google Patents
レーザ発振装置Info
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- JPH0661556A JPH0661556A JP21396692A JP21396692A JPH0661556A JP H0661556 A JPH0661556 A JP H0661556A JP 21396692 A JP21396692 A JP 21396692A JP 21396692 A JP21396692 A JP 21396692A JP H0661556 A JPH0661556 A JP H0661556A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 特定の指令が入力したときの応答時間を短縮
する。 【構成】 制御装置11は、「レーザ立ち上げ」指令を
入力したときは、ガス交換装置12及び冷却装置13を
駆動する。また、制御装置11は、「レーザON」指令
若しくは「レーザOFF」指令を入力したときは割込処
理11aにより電源装置14を駆動若しくは停止する。
電源装置14は、パルス発生装置16からのパルス信号
に基づいて共振器15に放電電流を出力する。従って、
「レーザON」指令若しくは「レーザOFF」指令が与
えられたときは、制御装置11の割込処理により直ちに
共振器15からのレーザ光の出力若しくは出力停止する
ことができる。
する。 【構成】 制御装置11は、「レーザ立ち上げ」指令を
入力したときは、ガス交換装置12及び冷却装置13を
駆動する。また、制御装置11は、「レーザON」指令
若しくは「レーザOFF」指令を入力したときは割込処
理11aにより電源装置14を駆動若しくは停止する。
電源装置14は、パルス発生装置16からのパルス信号
に基づいて共振器15に放電電流を出力する。従って、
「レーザON」指令若しくは「レーザOFF」指令が与
えられたときは、制御装置11の割込処理により直ちに
共振器15からのレーザ光の出力若しくは出力停止する
ことができる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、外部指令或は異常指令
などの特定指令に基づいて動作する機能を有するレーザ
発振装置に関する。
などの特定指令に基づいて動作する機能を有するレーザ
発振装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図6はこの種のレーザ発振装置の一例を
示している。この図6において、制御装置1は、外部か
らレーザ発振装置に入力される指令を処理する。即ち、
制御装置1は、外部から「立ち上げ」指令を入力する
と、ガス交換装置2及び冷却装置3を駆動する。ガス交
換装置2は、共振器4の内部を一旦真空にした上で、共
振器4の内部のレーザガスをレーザ発振が可能な状態に
維持する。冷却装置3は、共振器4及び電源装置6の温
度を一定値以下に保つ。制御装置1は、ガス交換装置2
及び冷却装置3の起動が終了した状態で外部に対して
「立ち上げ完了」の応答信号を出力すると共に、その応
答信号の出力後に外部から「レーザON」の指令を入力
すると電源装置6を起動する。電源装置6は、起動状態
でパルス発生装置7からのパルス信号に応じた放電電流
を共振器4に出力する。これにより、電源装置6からの
放電電流により共振器4の内部に放電が発生するので、
それに応じて共振器4からレーザ光が出力される。ま
た、制御装置1は、外部から「レーザOFF」の指令を
入力すると電源装置6を停止するので、共振器4からの
レーザ光の出力も停止する。
示している。この図6において、制御装置1は、外部か
らレーザ発振装置に入力される指令を処理する。即ち、
制御装置1は、外部から「立ち上げ」指令を入力する
と、ガス交換装置2及び冷却装置3を駆動する。ガス交
換装置2は、共振器4の内部を一旦真空にした上で、共
振器4の内部のレーザガスをレーザ発振が可能な状態に
維持する。冷却装置3は、共振器4及び電源装置6の温
度を一定値以下に保つ。制御装置1は、ガス交換装置2
及び冷却装置3の起動が終了した状態で外部に対して
「立ち上げ完了」の応答信号を出力すると共に、その応
答信号の出力後に外部から「レーザON」の指令を入力
すると電源装置6を起動する。電源装置6は、起動状態
でパルス発生装置7からのパルス信号に応じた放電電流
を共振器4に出力する。これにより、電源装置6からの
放電電流により共振器4の内部に放電が発生するので、
それに応じて共振器4からレーザ光が出力される。ま
た、制御装置1は、外部から「レーザOFF」の指令を
入力すると電源装置6を停止するので、共振器4からの
レーザ光の出力も停止する。
【0003】また、上述のようにレーザ光の出力を停止
する場合として、異常発生に対処する場合がある。つま
り、レーザ発振装置にはこれを構成する内部装置の異常
監視を行いながら運転するものがあり、異常発生時には
レーザ光の出力を緊急停止するようになっている。
する場合として、異常発生に対処する場合がある。つま
り、レーザ発振装置にはこれを構成する内部装置の異常
監視を行いながら運転するものがあり、異常発生時には
レーザ光の出力を緊急停止するようになっている。
【0004】図7はこの種のレーザ発振装置の一例を示
している。この図7において、ガス交換装置2は、共振
器4内部を一旦真空にしたうえで、共振器4内部にレー
ザガスを供給し、共振器4内部のレーザガスをレーザ発
振が可能な状態に保つ。このとき、供給すべきレーザガ
スの圧力が不足していたときは、ガス交換装置2は、
「ガス圧不足異常」信号を制御装置1に出力する。そし
て、制御装置1は、共振器4内部のレーザガスの圧力が
一定の範囲から逸脱したときは、「共振器ガス圧異常」
と判定する。
している。この図7において、ガス交換装置2は、共振
器4内部を一旦真空にしたうえで、共振器4内部にレー
ザガスを供給し、共振器4内部のレーザガスをレーザ発
振が可能な状態に保つ。このとき、供給すべきレーザガ
スの圧力が不足していたときは、ガス交換装置2は、
「ガス圧不足異常」信号を制御装置1に出力する。そし
て、制御装置1は、共振器4内部のレーザガスの圧力が
一定の範囲から逸脱したときは、「共振器ガス圧異常」
と判定する。
【0005】冷却装置3は、共振器4及び電源装置6の
温度を一定以下に保つように動作する。このとき、冷却
装置3は、自己に異常があるときは「冷却装置異常」信
号を制御装置1に出力する。そして、制御装置1は、レ
ーザ発振器内部を循環する冷却水量が基準値を下回った
ときは、「冷却水流量不足異常」と判定する。
温度を一定以下に保つように動作する。このとき、冷却
装置3は、自己に異常があるときは「冷却装置異常」信
号を制御装置1に出力する。そして、制御装置1は、レ
ーザ発振器内部を循環する冷却水量が基準値を下回った
ときは、「冷却水流量不足異常」と判定する。
【0006】電源装置6は放電電流を共振器4内部に出
力するもので、共振器4からは放電電流に応じたレーザ
光が出力される。この電源装置6は、自己に異常がある
ときは「電源盤異常」信号を制御装置1に出力する。
力するもので、共振器4からは放電電流に応じたレーザ
光が出力される。この電源装置6は、自己に異常がある
ときは「電源盤異常」信号を制御装置1に出力する。
【0007】光センサ8は、レーザ光の強さに応じた信
号レベルの電気信号を制御装置1に出力する。このと
き、レーザ運転時に被加工物の表面反射が大きいとき
は、光センサ8からの電気信号の信号レベルは正常時に
比べて大きな値となるので、制御装置1は、「高反射異
常」と判定する。
号レベルの電気信号を制御装置1に出力する。このと
き、レーザ運転時に被加工物の表面反射が大きいとき
は、光センサ8からの電気信号の信号レベルは正常時に
比べて大きな値となるので、制御装置1は、「高反射異
常」と判定する。
【0008】制御装置1は、上述のような各種異常が発
生したと判断したときは、異常の種類に応じてレーザ発
振装置を停止したり、或は内部装置の運転を一時停止す
るなどの処理を実行する。
生したと判断したときは、異常の種類に応じてレーザ発
振装置を停止したり、或は内部装置の運転を一時停止す
るなどの処理を実行する。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来構
成のものの場合、制御装置1は、レーザ出力停止の指令
が与えられたときは、その外部指令の内容をプログラム
に基づいて解読してから電源装置6を停止するようにな
っているので、外部指令を解読する時間だけレーザ出力
停止の指令が与えられてから実際にレーザ光の出力を停
止するまでに必ず有限の応答時間が必要である。この応
答時間は、実用上無視できない大きさであることが往々
にしてある。例えば、上記従来構成の装置から出力され
るレーザ光を、適当な光学系を有したレーザ加工装置を
用いて図8に示すように被加工物に対して円状に照射す
ることを想定した場合には、レーザ発振装置に対して円
の始点において「レーザON」の指令を出力し、円の終
点において「レーザOFF」の指令を出力する。
成のものの場合、制御装置1は、レーザ出力停止の指令
が与えられたときは、その外部指令の内容をプログラム
に基づいて解読してから電源装置6を停止するようにな
っているので、外部指令を解読する時間だけレーザ出力
停止の指令が与えられてから実際にレーザ光の出力を停
止するまでに必ず有限の応答時間が必要である。この応
答時間は、実用上無視できない大きさであることが往々
にしてある。例えば、上記従来構成の装置から出力され
るレーザ光を、適当な光学系を有したレーザ加工装置を
用いて図8に示すように被加工物に対して円状に照射す
ることを想定した場合には、レーザ発振装置に対して円
の始点において「レーザON」の指令を出力し、円の終
点において「レーザOFF」の指令を出力する。
【0010】ここで、レーザ発振装置の応答時間がレー
ザ加工装置の動作時間に対して無視できるほどであれ
ば、図8に示すように円周上には一様にレーザ光が照射
されるものの、制御装置1の応答時間がレーザ加工装置
の動作時間に対して無視できない場合には、図9に示す
ように円周の始点にはレーザ光が照射されない部分が現
れると共に、円周の終点にはレーザ光が過剰に照射され
る部分が現れる。
ザ加工装置の動作時間に対して無視できるほどであれ
ば、図8に示すように円周上には一様にレーザ光が照射
されるものの、制御装置1の応答時間がレーザ加工装置
の動作時間に対して無視できない場合には、図9に示す
ように円周の始点にはレーザ光が照射されない部分が現
れると共に、円周の終点にはレーザ光が過剰に照射され
る部分が現れる。
【0011】上述のことから分るように、一般に制御装
置1の応答時間が高速である程、それだけ高い加工精度
が得られるが、制御装置1の処理速度を高速化すること
は直ちに制御装置1のコストの上昇につながり好ましく
ない。
置1の応答時間が高速である程、それだけ高い加工精度
が得られるが、制御装置1の処理速度を高速化すること
は直ちに制御装置1のコストの上昇につながり好ましく
ない。
【0012】ここで、加工装置の動作によって制御装置
1の応答時間の遅れを補償することは可能であるが、レ
ーザ加工の内容が複雑になるにしたがって加工装置の処
理も複雑となり、レーザ加工装置のソフトウェアの負担
の増加や、加工効率の低下の原因となる。
1の応答時間の遅れを補償することは可能であるが、レ
ーザ加工の内容が複雑になるにしたがって加工装置の処
理も複雑となり、レーザ加工装置のソフトウェアの負担
の増加や、加工効率の低下の原因となる。
【0013】また、異常の発生によりレーザ光の出力を
停止する場合には、発生する異常の種類によってはこの
応答時間が大きく影響する。即ち、例えば「高反射異
常」が発生したときは、その状態の継続により共振器4
に損傷を与えることになるので、早急にレーザ発振を停
止する必要がある。この場合、異常発生から数msec の
オーダでレーザ発振器の停止までの時間を短縮すると、
共振器4に与えられる損傷を大幅に改善することができ
るものの、上述のように制御装置1の処理速度の高速化
は制御装置1のコストの上昇につながる。
停止する場合には、発生する異常の種類によってはこの
応答時間が大きく影響する。即ち、例えば「高反射異
常」が発生したときは、その状態の継続により共振器4
に損傷を与えることになるので、早急にレーザ発振を停
止する必要がある。この場合、異常発生から数msec の
オーダでレーザ発振器の停止までの時間を短縮すると、
共振器4に与えられる損傷を大幅に改善することができ
るものの、上述のように制御装置1の処理速度の高速化
は制御装置1のコストの上昇につながる。
【0014】しかも、「高反射異常」以外の異常である
「ガス圧不足異常」,「共振器ガス圧異常」,「冷却装
置異常」,「冷却水流量不足異常」,「電源盤異常」は
もちろん迅速な処理が求められることに変わりはない
が、数msec オーダ以下の応答の短縮が求められること
はないので、制御装置1の処理速度全体を高速化するこ
とは、この意味からも不経済である。
「ガス圧不足異常」,「共振器ガス圧異常」,「冷却装
置異常」,「冷却水流量不足異常」,「電源盤異常」は
もちろん迅速な処理が求められることに変わりはない
が、数msec オーダ以下の応答の短縮が求められること
はないので、制御装置1の処理速度全体を高速化するこ
とは、この意味からも不経済である。
【0015】要するに、従来のレーザ発振装置において
は、外部指令或は異常指令等の特定指令に対する応答時
間の短縮が未解決の課題として残されていた。
は、外部指令或は異常指令等の特定指令に対する応答時
間の短縮が未解決の課題として残されていた。
【0016】本発明は上記事情に鑑みてなされたもの
で、その目的は、特定指令に対する応答時間を短縮する
ことができるレーザ発振装置を提供することにある。
で、その目的は、特定指令に対する応答時間を短縮する
ことができるレーザ発振装置を提供することにある。
【0017】
【課題を解決するための手段】本発明は、外部指令を受
ける制御装置と、この制御装置による駆動制御に応じて
共振器に放電電流を供給する電源装置とを備えたレーザ
発振装置において、前記制御装置若しくは前記電源装置
を、特定の外部指令の入力を処理するための電気信号処
理回路を有し、その電気信号処理回路の処理内容に応じ
て動作するように構成したものである。
ける制御装置と、この制御装置による駆動制御に応じて
共振器に放電電流を供給する電源装置とを備えたレーザ
発振装置において、前記制御装置若しくは前記電源装置
を、特定の外部指令の入力を処理するための電気信号処
理回路を有し、その電気信号処理回路の処理内容に応じ
て動作するように構成したものである。
【0018】また、異常発生に応じた異常指令を出力す
る異常検出手段と、異常内容に応じて異常処理動作を実
行する制御装置とを備えたレーザ発振装置において、前
記異常検出手段からの異常指令に基づいて特定の異常が
発生したことを電気信号処理により検出する異常発生処
理回路を設けると共に、前記制御装置を、前記異常発生
処理回路の検出状態に基づいて異常処理動作を実行する
ように構成する。
る異常検出手段と、異常内容に応じて異常処理動作を実
行する制御装置とを備えたレーザ発振装置において、前
記異常検出手段からの異常指令に基づいて特定の異常が
発生したことを電気信号処理により検出する異常発生処
理回路を設けると共に、前記制御装置を、前記異常発生
処理回路の検出状態に基づいて異常処理動作を実行する
ように構成する。
【0019】
【作用】請求項1記載のレーザ発振装置によれば、制御
装置は、外部指令を受けると電源装置等を駆動制御す
る。そして、電源装置は制御装置の制御に応じて共振器
に放電電流を供給するので、共振器からレーザ光が出力
される。
装置は、外部指令を受けると電源装置等を駆動制御す
る。そして、電源装置は制御装置の制御に応じて共振器
に放電電流を供給するので、共振器からレーザ光が出力
される。
【0020】さて、制御装置は、特定の外部指令を入力
したときは電源装置に対する駆動制御を電気信号処理回
路による処理内容に応じて実行する。また、電源装置
は、特定の外部指令が入力したときは電気信号処理回路
による処理内容に応じて共振器に放電電流を供給する。
これにより、特定の外部指令を入力したときの共振器の
応答時間を短縮することができる。
したときは電源装置に対する駆動制御を電気信号処理回
路による処理内容に応じて実行する。また、電源装置
は、特定の外部指令が入力したときは電気信号処理回路
による処理内容に応じて共振器に放電電流を供給する。
これにより、特定の外部指令を入力したときの共振器の
応答時間を短縮することができる。
【0021】請求項2記載のレーザ発振装置によれば、
異常検出手段は、異常発生に応じた異常指令を出力す
る。そして、制御装置は、異常指令に応じて異常処理動
作を実行する。
異常検出手段は、異常発生に応じた異常指令を出力す
る。そして、制御装置は、異常指令に応じて異常処理動
作を実行する。
【0022】ここで、異常発生処理回路は、異常検出手
段からの異常指令に基づいて特定の異常が発生したとき
はそのことを電気信号処理により検出する。そして、制
御装置は、異常発生処理回路の検出状態に基づいて異常
処理動作を実行するので、特定の異常が発生したときの
異常処理動作の応答時間を短縮することができる。
段からの異常指令に基づいて特定の異常が発生したとき
はそのことを電気信号処理により検出する。そして、制
御装置は、異常発生処理回路の検出状態に基づいて異常
処理動作を実行するので、特定の異常が発生したときの
異常処理動作の応答時間を短縮することができる。
【0023】
【実施例】以下、本発明の第1実施例を図1及び図2を
参照して説明する。図1はレーザ発振装置の構成を概略
的に示している。この図1において、制御装置11はマ
イクロコンピュータ等の制御素子を用いて構成されてお
り、割込回路11aを備えている。制御装置11は外部
指令を入力するように設けられており、この場合、「立
ち上げ」指令等の他の外部指令は制御装置11自身に与
えられ、特定指令たる「レーザON」,「レーザOF
F」指令等の外部指令は割込回路11aに与えられる。
制御装置11は、「立ち上げ」指令を入力すると、ガス
交換装置12及び冷却装置13を起動すると共に、それ
らの内部装置の起動が完了した時点で外部に対して「立
ち上げ完了」の応答信号を出力する。
参照して説明する。図1はレーザ発振装置の構成を概略
的に示している。この図1において、制御装置11はマ
イクロコンピュータ等の制御素子を用いて構成されてお
り、割込回路11aを備えている。制御装置11は外部
指令を入力するように設けられており、この場合、「立
ち上げ」指令等の他の外部指令は制御装置11自身に与
えられ、特定指令たる「レーザON」,「レーザOF
F」指令等の外部指令は割込回路11aに与えられる。
制御装置11は、「立ち上げ」指令を入力すると、ガス
交換装置12及び冷却装置13を起動すると共に、それ
らの内部装置の起動が完了した時点で外部に対して「立
ち上げ完了」の応答信号を出力する。
【0024】また、制御装置11は、割込回路11aに
「レーザON」指令を入力したときは、直ちに割込処理
を実行することにより電源装置14を起動すると共に、
「レーザOFF」指令を入力したときは割込処理を実行
することにより電源装置14を停止する。
「レーザON」指令を入力したときは、直ちに割込処理
を実行することにより電源装置14を起動すると共に、
「レーザOFF」指令を入力したときは割込処理を実行
することにより電源装置14を停止する。
【0025】ガス交換装置12は、共振器15の内部を
一旦真空にした上で、共振器15内部にレーザガスを供
給し、共振器15内部のレーザガスをレーザ発振が可能
な状態に保つ。冷却装置13は、共振器15及び電源装
置14の温度を一定値以下に保つ。パルス発生装置16
は、制御装置11から与えられる設定値に基づくパルス
信号を電源装置14に出力する。共振器15は、電源装
置14からの放電電流に応じて放電を発生することによ
りレーザ光を出力する。
一旦真空にした上で、共振器15内部にレーザガスを供
給し、共振器15内部のレーザガスをレーザ発振が可能
な状態に保つ。冷却装置13は、共振器15及び電源装
置14の温度を一定値以下に保つ。パルス発生装置16
は、制御装置11から与えられる設定値に基づくパルス
信号を電源装置14に出力する。共振器15は、電源装
置14からの放電電流に応じて放電を発生することによ
りレーザ光を出力する。
【0026】次に上記構成の作用について説明する。レ
ーザ発振装置を駆動するときは、外部から制御装置11
に「立ち上げ」指令を出力する。すると、制御装置11
は、外部指令が「立ち上げ」指令であることを判断して
から、ガス交換装置12及び冷却装置13を起動すると
共に、それらの内部装置に対する起動が終了したところ
で外部に「立ち上げ完了」の応答信号を出力する。
ーザ発振装置を駆動するときは、外部から制御装置11
に「立ち上げ」指令を出力する。すると、制御装置11
は、外部指令が「立ち上げ」指令であることを判断して
から、ガス交換装置12及び冷却装置13を起動すると
共に、それらの内部装置に対する起動が終了したところ
で外部に「立ち上げ完了」の応答信号を出力する。
【0027】さて、制御装置11から「立ち上げ完了」
の応答信号が出力されたら、制御装置11に「レーザO
N」指令を出力する。すると、制御装置11は、割込回
路11aにより直ちに割込処理を実行して電源装置14
を起動するので、レーザ加工装置が図2に示すように被
加工物に対して移動するタイミングで直ちにレーザ光が
出力される。また、レーザ加工を終了するときは、制御
装置11に「レーザOFF」指令を出力する。すると、
制御装置11は、割込処理11aにより直ちに割込処理
を実行して電源装置14を停止するので、レーザ加工装
置の移動停止のタイミングで直ちにレーザ光の出力が終
了する。この場合、制御装置11の割込回路11aによ
る割込処理は電気信号処理により行われるので、通常の
プログラム処理に比べて数倍から数十倍の高速応答が可
能である。
の応答信号が出力されたら、制御装置11に「レーザO
N」指令を出力する。すると、制御装置11は、割込回
路11aにより直ちに割込処理を実行して電源装置14
を起動するので、レーザ加工装置が図2に示すように被
加工物に対して移動するタイミングで直ちにレーザ光が
出力される。また、レーザ加工を終了するときは、制御
装置11に「レーザOFF」指令を出力する。すると、
制御装置11は、割込処理11aにより直ちに割込処理
を実行して電源装置14を停止するので、レーザ加工装
置の移動停止のタイミングで直ちにレーザ光の出力が終
了する。この場合、制御装置11の割込回路11aによ
る割込処理は電気信号処理により行われるので、通常の
プログラム処理に比べて数倍から数十倍の高速応答が可
能である。
【0028】上記構成のものによれば、外部から「レー
ザON」指令若しくは「レーザOFF」指令が制御装置
11に与えられたときは、制御装置11の割込回路11
aによる電気信号処理により直ちに割込処理を実行して
電源装置14を起動若しくは停止するようにしたので、
「レーザON」指令若しくは「レーザOFF」指令の入
力により直ちに共振器15からレーザ光を出力若しくは
出力停止することができる。従って、「レーザON」指
令及び「レーザOFF」指令の入力をプログラム処理す
る従来例と違って、レーザ加工装置の駆動タイミングと
レーザ光の出力タイミングとを一致させて、被加工物に
対するレーザ加工を適切に施すことができる。
ザON」指令若しくは「レーザOFF」指令が制御装置
11に与えられたときは、制御装置11の割込回路11
aによる電気信号処理により直ちに割込処理を実行して
電源装置14を起動若しくは停止するようにしたので、
「レーザON」指令若しくは「レーザOFF」指令の入
力により直ちに共振器15からレーザ光を出力若しくは
出力停止することができる。従って、「レーザON」指
令及び「レーザOFF」指令の入力をプログラム処理す
る従来例と違って、レーザ加工装置の駆動タイミングと
レーザ光の出力タイミングとを一致させて、被加工物に
対するレーザ加工を適切に施すことができる。
【0029】図3は本発明の第2実施例を示しており、
第1実施例と同一部分に同一符号を付して説明を省略
し、異なる部分についてのみ説明する。この第2実施例
の特徴は、外部からの指令のうち特定のものを電気信号
処理するための専用の論理回路を設けた点である。即
ち、外部指令のうちの「レーザON」指令若しくは「レ
ーザOFF」指令を電気信号処理回路たるインターロッ
ク回路17を通じて直接電源装置14に入力するように
なっている。このインターロック回路17は、制御装置
11からの指令に基づいてレーザ発振の停止状態で「レ
ーザON」指令若しくは「レーザOFF」指令が電源装
置14に出力されてしまうことを防止するためのもので
ある。
第1実施例と同一部分に同一符号を付して説明を省略
し、異なる部分についてのみ説明する。この第2実施例
の特徴は、外部からの指令のうち特定のものを電気信号
処理するための専用の論理回路を設けた点である。即
ち、外部指令のうちの「レーザON」指令若しくは「レ
ーザOFF」指令を電気信号処理回路たるインターロッ
ク回路17を通じて直接電源装置14に入力するように
なっている。このインターロック回路17は、制御装置
11からの指令に基づいてレーザ発振の停止状態で「レ
ーザON」指令若しくは「レーザOFF」指令が電源装
置14に出力されてしまうことを防止するためのもので
ある。
【0030】この第2実施例の場合、「レーザON」指
令及び「レーザOFF」指令に対する電源装置14の応
答時間はインターロック回路17の遅延時間のみとな
る。この場合、インターロック回路17の遅延時間は制
御装置11の処理時間に比べて十分に小さいので、「レ
ーザON」指令若しくは「レーザOFF」指令に対する
応答時間を短縮することができる。
令及び「レーザOFF」指令に対する電源装置14の応
答時間はインターロック回路17の遅延時間のみとな
る。この場合、インターロック回路17の遅延時間は制
御装置11の処理時間に比べて十分に小さいので、「レ
ーザON」指令若しくは「レーザOFF」指令に対する
応答時間を短縮することができる。
【0031】図4は本発明の第3実施例として内部装置
の異常を監視する機能を備えたレーザ発振装置の一例を
示しており、第1実施例と同一部分には同一符号を付し
て説明を省略し、異なる部分についてのみ説明する。こ
の図4において、制御装置11は、内部装置の監視と異
常発生時の処理を実行する。ガス交換装置2は、共振器
15の内部を一旦真空にした状態で共振器15内部にレ
ーザガスを供給し、共振器15内部のレーザガスをレー
ザ発振が可能な状態に保つ。このガス交換装置12は、
共振器15内のガスが不足したときは「ガス圧不足異
常」信号を制御装置11に出力する。
の異常を監視する機能を備えたレーザ発振装置の一例を
示しており、第1実施例と同一部分には同一符号を付し
て説明を省略し、異なる部分についてのみ説明する。こ
の図4において、制御装置11は、内部装置の監視と異
常発生時の処理を実行する。ガス交換装置2は、共振器
15の内部を一旦真空にした状態で共振器15内部にレ
ーザガスを供給し、共振器15内部のレーザガスをレー
ザ発振が可能な状態に保つ。このガス交換装置12は、
共振器15内のガスが不足したときは「ガス圧不足異
常」信号を制御装置11に出力する。
【0032】冷却装置13は、共振器15及び電源装置
14の温度を一定以下に保つ。この冷却装置13は、自
己に異常が発生したときは「冷却装置異常」信号を制御
装置11に出力する。電源装置14は、放電電流を共振
器15内部に出力する。この電源装置14は、自己に異
常が発生したときは「電源盤異常」信号を制御装置11
に出力する。そして、共振器15は電源装置14からの
放電電流の供給状態でレーザ光を出力する。
14の温度を一定以下に保つ。この冷却装置13は、自
己に異常が発生したときは「冷却装置異常」信号を制御
装置11に出力する。電源装置14は、放電電流を共振
器15内部に出力する。この電源装置14は、自己に異
常が発生したときは「電源盤異常」信号を制御装置11
に出力する。そして、共振器15は電源装置14からの
放電電流の供給状態でレーザ光を出力する。
【0033】一方、異常検出手段たる光センサ18は、
共振器15からのレーザ光の出力値を異常指令たる電気
信号に変換して制御装置11に出力する。これにより、
レーザ運転時に被加工物から共振器15に反射されるレ
ーザ光が存在すると、光センサ18からの出力信号は正
常時に比べて大きな値となるので、光センサ18からの
出力信号は許容値を上回るようになる。
共振器15からのレーザ光の出力値を異常指令たる電気
信号に変換して制御装置11に出力する。これにより、
レーザ運転時に被加工物から共振器15に反射されるレ
ーザ光が存在すると、光センサ18からの出力信号は正
常時に比べて大きな値となるので、光センサ18からの
出力信号は許容値を上回るようになる。
【0034】異常発生処理回路たる光出力処理回路19
は、光センサ18からの電気信号の信号レベルが許容値
を上回ると、電源装置14から共振器15に至る電源ラ
インに設けられたスイッチ20をオフすることにより電
源装置14からの出力を遮断してレーザ光の出力を停止
すると共に、「高反射異常」信号を制御装置に11出力
する。
は、光センサ18からの電気信号の信号レベルが許容値
を上回ると、電源装置14から共振器15に至る電源ラ
インに設けられたスイッチ20をオフすることにより電
源装置14からの出力を遮断してレーザ光の出力を停止
すると共に、「高反射異常」信号を制御装置に11出力
する。
【0035】制御装置11は、共振器15内部のレーザ
ガスの圧力が一定の範囲から逸脱した場合は、「共振器
ガス圧異常」と判定する共に、レーザ発振器内部を循環
する冷却水の量が一定の基準値を下回ると、「冷却水流
量不足異常」と判定する。また、制御装置11は、光出
力処理回路から「高反射異常」信号を入力したときは、
電源装置14に対する駆動を停止する。これにより、共
振器15からのレーザ光の出力の低下に応じて光出力処
理回路19がスイッチ20をオンするにしても、共振器
15からレーザ光が不用意に出力されることはない。
ガスの圧力が一定の範囲から逸脱した場合は、「共振器
ガス圧異常」と判定する共に、レーザ発振器内部を循環
する冷却水の量が一定の基準値を下回ると、「冷却水流
量不足異常」と判定する。また、制御装置11は、光出
力処理回路から「高反射異常」信号を入力したときは、
電源装置14に対する駆動を停止する。これにより、共
振器15からのレーザ光の出力の低下に応じて光出力処
理回路19がスイッチ20をオンするにしても、共振器
15からレーザ光が不用意に出力されることはない。
【0036】この第3実施例のものによれば、光出力処
理回路19により光センサ18からの電気信号の信号レ
ベルを電気信号処理し、そり処理結果を制御装置11に
出力するようにしたので、「高反射異常」に対する制御
装置11の応答時間は、光出力処理回路19の遅延時間
のみとなる。この場合、光出力処理回路19は論理回路
により構成されているので、制御装置が光センサからの
電気信号の信号レベルを判断して電源装置を停止する従
来例と違って、「高反射異常」に対する応答時間を大幅
に短縮することができる。
理回路19により光センサ18からの電気信号の信号レ
ベルを電気信号処理し、そり処理結果を制御装置11に
出力するようにしたので、「高反射異常」に対する制御
装置11の応答時間は、光出力処理回路19の遅延時間
のみとなる。この場合、光出力処理回路19は論理回路
により構成されているので、制御装置が光センサからの
電気信号の信号レベルを判断して電源装置を停止する従
来例と違って、「高反射異常」に対する応答時間を大幅
に短縮することができる。
【0037】また、上記実施例の場合、制御装置11に
より電源装置14を遮断するのに先立って光出力処理回
路19により電源装置11からの出力を遮断するように
したので、制御装置11のみにより電源装置14を遮断
する構成に比べて、共振器15からのレーザ光を一層短
時間で遮断することが可能となる。
より電源装置14を遮断するのに先立って光出力処理回
路19により電源装置11からの出力を遮断するように
したので、制御装置11のみにより電源装置14を遮断
する構成に比べて、共振器15からのレーザ光を一層短
時間で遮断することが可能となる。
【0038】尚、上記実施例の場合、「高反射異常」に
対する処理時間のみを短縮するようにしたが、他の異常
に関しては数msec オーダ以下の応答の改善を求められ
ることはないので、問題となることはない。
対する処理時間のみを短縮するようにしたが、他の異常
に関しては数msec オーダ以下の応答の改善を求められ
ることはないので、問題となることはない。
【0039】また、光出力処理回路19及び電源装置1
4の出力を遮断するスイッチ20を設けるコストは、制
御装置11の処理速度全体を高速化する場合のコストに
比べて極めて安価である。
4の出力を遮断するスイッチ20を設けるコストは、制
御装置11の処理速度全体を高速化する場合のコストに
比べて極めて安価である。
【0040】図5は本発明の第4実施例で、第3実施例
と同一部分には同一符号を付して説明を省略し、異なる
部分についてのみ説明する。即ち、制御装置11はマイ
クロコンピュータ等の制御素子により構成されており、
割込回路11aが一体に設けられている。この割込回路
11aは、光出力処理回路19から「高反射異常」信号
を入力したときは、割込処理を実行することにより電源
装置14に対して出力停止の指令等の処理を実行する。
この場合、制御装置11の割込回路11aは、通常のプ
ログラム処理時間の数十倍の高速応答が可能であるの
で、第3実施例のように光出力処理回路19により電源
装置14の出力を遮断する構成を省略することができ
る。
と同一部分には同一符号を付して説明を省略し、異なる
部分についてのみ説明する。即ち、制御装置11はマイ
クロコンピュータ等の制御素子により構成されており、
割込回路11aが一体に設けられている。この割込回路
11aは、光出力処理回路19から「高反射異常」信号
を入力したときは、割込処理を実行することにより電源
装置14に対して出力停止の指令等の処理を実行する。
この場合、制御装置11の割込回路11aは、通常のプ
ログラム処理時間の数十倍の高速応答が可能であるの
で、第3実施例のように光出力処理回路19により電源
装置14の出力を遮断する構成を省略することができ
る。
【0041】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
1記載のレーザ発振装置によれば、制御装置若しくは電
源装置を、特定の外部指令の入力を処理するための電気
信号処理回路を有し、その電気信号処理回路の処理内容
に応じて動作するように構成したので、外部指令のよう
な特定指令に対する応答時間を短縮することができると
いう優れた効果を奏する。
1記載のレーザ発振装置によれば、制御装置若しくは電
源装置を、特定の外部指令の入力を処理するための電気
信号処理回路を有し、その電気信号処理回路の処理内容
に応じて動作するように構成したので、外部指令のよう
な特定指令に対する応答時間を短縮することができると
いう優れた効果を奏する。
【0042】また、請求項2記載のレーザ発振装置によ
れば、異常検出手段による検出状態に基づいて特定の異
常が発生したことを電気信号処理により検出する異常発
生処理回路を設けると共に、制御装置を、前記異常発生
処理回路の検出状態に基づいて異常処理動作を実行する
ように構成したので、異常指令のような特定指令に対す
る応答時間を短縮することができるという優れた効果を
奏する。
れば、異常検出手段による検出状態に基づいて特定の異
常が発生したことを電気信号処理により検出する異常発
生処理回路を設けると共に、制御装置を、前記異常発生
処理回路の検出状態に基づいて異常処理動作を実行する
ように構成したので、異常指令のような特定指令に対す
る応答時間を短縮することができるという優れた効果を
奏する。
【図1】本発明の第1実施例における全体構成を概略的
に示すブロック図
に示すブロック図
【図2】レーザ加工を示す模式図
【図3】本発明の第2実施例を示す図1相当図
【図4】本発明の第3実施例を示す図1相当図
【図5】本発明の第4実施例を示す図1相当図
【図6】従来例を示す図1相当図
【図7】従来例のその他の例を示す図1相当図
【図8】適切なレーザ加工を示す模式図
【図9】不適切なレーザ加工を示す模式図
11は制御装置、11aは割込回路(電気信号処理回
路)、14は電源装置、15は共振器、17はインター
ロック回路(電気信号処理回路)、18は光センサ(異
常検出手段)、19は光出力処理回路(異常発生処理回
路)である。
路)、14は電源装置、15は共振器、17はインター
ロック回路(電気信号処理回路)、18は光センサ(異
常検出手段)、19は光出力処理回路(異常発生処理回
路)である。
Claims (2)
- 【請求項1】 外部指令を受ける制御装置と、この制御
装置による駆動制御に応じて共振器に放電電流を供給す
る電源装置とを備えたレーザ発振装置において、前記制
御装置若しくは前記電源装置は、特定の外部指令の入力
を処理するための電気信号処理回路を有し、その電気信
号処理回路の処理内容に応じて動作するように構成され
ていることを特徴とするレーザ発振装置。 - 【請求項2】 異常発生に応じた異常指令を出力する異
常検出手段と、異常内容に応じて異常処理動作を実行す
る制御装置とを備えたレーザ発振装置において、前記異
常検出手段からの異常指令に基づいて特定の異常が発生
したことを電気信号処理により検出する異常発生処理回
路を備え、前記制御装置は、前記異常発生処理回路の検
出状態に基づいて異常処理動作を実行するように構成さ
れていることを特徴とするレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21396692A JPH0661556A (ja) | 1992-08-11 | 1992-08-11 | レーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21396692A JPH0661556A (ja) | 1992-08-11 | 1992-08-11 | レーザ発振装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0661556A true JPH0661556A (ja) | 1994-03-04 |
Family
ID=16648018
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21396692A Pending JPH0661556A (ja) | 1992-08-11 | 1992-08-11 | レーザ発振装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0661556A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105490137A (zh) * | 2014-10-03 | 2016-04-13 | 发那科株式会社 | 具有判别警报种类的功能的气体激光器装置 |
-
1992
- 1992-08-11 JP JP21396692A patent/JPH0661556A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105490137A (zh) * | 2014-10-03 | 2016-04-13 | 发那科株式会社 | 具有判别警报种类的功能的气体激光器装置 |
JP2016076544A (ja) * | 2014-10-03 | 2016-05-12 | ファナック株式会社 | アラームの種類を判別する機能を備えたガスレーザ装置 |
US9502853B2 (en) | 2014-10-03 | 2016-11-22 | Fanuc Corporation | Gas laser device having function for discriminating type of alarm |
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