JP2593156B2 - ガスレーザ装置 - Google Patents
ガスレーザ装置Info
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- JP2593156B2 JP2593156B2 JP62169297A JP16929787A JP2593156B2 JP 2593156 B2 JP2593156 B2 JP 2593156B2 JP 62169297 A JP62169297 A JP 62169297A JP 16929787 A JP16929787 A JP 16929787A JP 2593156 B2 JP2593156 B2 JP 2593156B2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はレーザガスを循環させながらレーザ発振をお
こなうガスレーザ装置に関し、運転停止時に放電管内に
レーザガスを大気圧程度に自動的に充填するようにした
ガスレーザ装置に関する。
こなうガスレーザ装置に関し、運転停止時に放電管内に
レーザガスを大気圧程度に自動的に充填するようにした
ガスレーザ装置に関する。
ガス循環型のレーザ装置では高速にレーザガスを循環
させるためにルーツブローワを使用しているが、このル
ーツブローワにはオイルが充填されたギヤボックスがあ
り、ここからのオイルベーパがレーザ発振器の光学部品
に付着して光学部品の寿命を短くする。
させるためにルーツブローワを使用しているが、このル
ーツブローワにはオイルが充填されたギヤボックスがあ
り、ここからのオイルベーパがレーザ発振器の光学部品
に付着して光学部品の寿命を短くする。
従って、ガスレーザ装置を運転中はオイルの満たされ
たギヤボックスを常時真空排気して、レーザガスの循環
する放電管等にオイルが入るのを防止している。また、
ガスレーザ装置が運転されていない時にも、オイルが放
電管等に入るのを防止するために、運転停止時にはレー
ザガスを大気圧まで充填していた。
たギヤボックスを常時真空排気して、レーザガスの循環
する放電管等にオイルが入るのを防止している。また、
ガスレーザ装置が運転されていない時にも、オイルが放
電管等に入るのを防止するために、運転停止時にはレー
ザガスを大気圧まで充填していた。
しかし、この大気圧までレーザガスを充填するのをオ
ペレータがマニュアルで行っていたので、この充填工程
を忘れたり、大気圧まで上昇する前に電源を落としてし
まい、停止時にレーザガスが所定の圧力まで充填されな
いという問題点があった。
ペレータがマニュアルで行っていたので、この充填工程
を忘れたり、大気圧まで上昇する前に電源を落としてし
まい、停止時にレーザガスが所定の圧力まで充填されな
いという問題点があった。
本発明の目的は上記問題点を解決し、運転停止時に放
電管内にレーザガスを大気圧程度に自動的に充填するよ
うにしたガスレーザ装置を提供することにある。
電管内にレーザガスを大気圧程度に自動的に充填するよ
うにしたガスレーザ装置を提供することにある。
本発明では上記の問題点を解決するために、 レーザガスを循環させながらレーザ発振をおこなうガ
スレーザ装置において、レーザガス供給装置と、前記レ
ーザガス供給装置の出口に設けられたガス供給弁と、放
電管内のレーザガスを排気する排気装置と、前記放電管
内の内圧を検出する圧力センサと、前記ガスレーザ装置
の運転停止時に、前記圧力センサで放電管内の圧力低下
を検出して、前記ガス供給弁を開いて、所定の圧力まで
レーザガスを前記放電管に充填するガス圧力制御手段
と、前記ガス圧力制御手段がレーザガスを充填中は電源
オフ釦を無効にする電源制御手段と、を有することを特
徴とするガスレーザ装置が、提供される。
スレーザ装置において、レーザガス供給装置と、前記レ
ーザガス供給装置の出口に設けられたガス供給弁と、放
電管内のレーザガスを排気する排気装置と、前記放電管
内の内圧を検出する圧力センサと、前記ガスレーザ装置
の運転停止時に、前記圧力センサで放電管内の圧力低下
を検出して、前記ガス供給弁を開いて、所定の圧力まで
レーザガスを前記放電管に充填するガス圧力制御手段
と、前記ガス圧力制御手段がレーザガスを充填中は電源
オフ釦を無効にする電源制御手段と、を有することを特
徴とするガスレーザ装置が、提供される。
運転停止時には圧力が変化する。この圧力変化を圧力
センサで検出し、ガス圧力制御手段はガス供給弁を開い
て、レーザガスをレーザガス供給装置から供給する。放
電管内の圧力が所定の値になるまで、圧力センサで監視
しながら充填を行う。そして、レーザガスを充填中は電
源オフ釦を無効にする。これにより、運転停止時に自動
的に放電管等にレーザガスが所定の圧力に充填され、途
中で誤って電源がオフされてレーザガスが大気圧まで充
電されないで、ギヤボックス内のオイルが放電管等に混
入するのを防ぎ、光学部品の劣化を防止することができ
る。
センサで検出し、ガス圧力制御手段はガス供給弁を開い
て、レーザガスをレーザガス供給装置から供給する。放
電管内の圧力が所定の値になるまで、圧力センサで監視
しながら充填を行う。そして、レーザガスを充填中は電
源オフ釦を無効にする。これにより、運転停止時に自動
的に放電管等にレーザガスが所定の圧力に充填され、途
中で誤って電源がオフされてレーザガスが大気圧まで充
電されないで、ギヤボックス内のオイルが放電管等に混
入するのを防ぎ、光学部品の劣化を防止することができ
る。
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第１図に本発明の一実施例のブロック図を示す。図に
おいて、１は放電管であり、２は全反射鏡、３は出力結
合鏡である。４はルーツブローワであり、レーザガスを
循環させる。放電管１には図示されていない高周波電源
が印加され、放電管１内で放電を励起させて、レーザ光
を出力する。ルーツブローワ４にはギヤボックス4aがあ
り、このギヤボックス4aの内部にはギヤオイルがある。
このオイルが放電管１側に混入しないように、ギヤボッ
クス4aは後述の排気装置により排気を行い、放電管１側
より圧力を低くしている。
おいて、１は放電管であり、２は全反射鏡、３は出力結
合鏡である。４はルーツブローワであり、レーザガスを
循環させる。放電管１には図示されていない高周波電源
が印加され、放電管１内で放電を励起させて、レーザ光
を出力する。ルーツブローワ４にはギヤボックス4aがあ
り、このギヤボックス4aの内部にはギヤオイルがある。
このオイルが放電管１側に混入しないように、ギヤボッ
クス4aは後述の排気装置により排気を行い、放電管１側
より圧力を低くしている。
５はレーザガス供給装置であり、その内部にガスボン
ベがある。６はガス供給弁であり後述の数値制御装置
（CNC）によって開閉される。７は圧力センサであり、
放電管１内のガス圧力を検出する。８は排気弁であり、
９は排気装置である。レーザガスはレーザガス供給装置
５から供給され、放電管１内で放電によって劣化したレ
ーザガスが排気装置９によって排気される。従って、一
定時間ガスレーザ装置を運転すると、レーザガス供給装
置５内のガスボンベを交換する必要がある。
ベがある。６はガス供給弁であり後述の数値制御装置
（CNC）によって開閉される。７は圧力センサであり、
放電管１内のガス圧力を検出する。８は排気弁であり、
９は排気装置である。レーザガスはレーザガス供給装置
５から供給され、放電管１内で放電によって劣化したレ
ーザガスが排気装置９によって排気される。従って、一
定時間ガスレーザ装置を運転すると、レーザガス供給装
置５内のガスボンベを交換する必要がある。
10はガスレーザ装置を制御する制御装置であり、レー
ザガス制御用の数値制御装置（CNC）が使用される。11
は圧力センサ７の出力をディジタルな値に変換するA/D
変換器である。
ザガス制御用の数値制御装置（CNC）が使用される。11
は圧力センサ７の出力をディジタルな値に変換するA/D
変換器である。
12はガス圧力制御手段であり、運転停止時に放電管１
内を所定の圧力にレーザガスを充填する。13はドライバ
であり、ガス圧力制御手段の信号でガス供給弁６を駆動
する。14は電源制御手段であり、ガス圧力制御手段12が
ガス充填中は電源オフ釦を押しても、電源がオフされな
いように制御する。15は電源釦である。
内を所定の圧力にレーザガスを充填する。13はドライバ
であり、ガス圧力制御手段の信号でガス供給弁６を駆動
する。14は電源制御手段であり、ガス圧力制御手段12が
ガス充填中は電源オフ釦を押しても、電源がオフされな
いように制御する。15は電源釦である。
ガス圧力制御手段12の制御は以下のように行われる。
ガスレーザ装置が運転停止すると、放電管１内のガス圧
力が下がり、これを圧力センサ７で検出する。次にガス
供給弁６を開きレーザガス供給装置５からレーザガスを
放電管１に充填する。この充填時も圧力センサ７によっ
て所定の圧力まで上がることを確認しながら、充填を行
う。実際には760Torr〜1000Torr程度まで充填する。あ
まり圧力を上げると放電管１等が圧力による歪を生じる
ことがある。
ガスレーザ装置が運転停止すると、放電管１内のガス圧
力が下がり、これを圧力センサ７で検出する。次にガス
供給弁６を開きレーザガス供給装置５からレーザガスを
放電管１に充填する。この充填時も圧力センサ７によっ
て所定の圧力まで上がることを確認しながら、充填を行
う。実際には760Torr〜1000Torr程度まで充填する。あ
まり圧力を上げると放電管１等が圧力による歪を生じる
ことがある。
また、レーザガスを充填中にオペレータが誤って電源
オフ釦を押しても、電源はオフされないように電源制御
手段が制御する。その結果誤ってレーザガスを充填しな
いままにガスレーザ装置が放置されて、ギヤボックス4a
内のオイルが放電管１等に混入するのを防ぐことができ
る。実際にはこれら制御は数値制御装置（CNC）10に付
加された（図示されていない）PMC（プログラマブル・
マシン・コントローラ）の制御によって行われる。
オフ釦を押しても、電源はオフされないように電源制御
手段が制御する。その結果誤ってレーザガスを充填しな
いままにガスレーザ装置が放置されて、ギヤボックス4a
内のオイルが放電管１等に混入するのを防ぐことができ
る。実際にはこれら制御は数値制御装置（CNC）10に付
加された（図示されていない）PMC（プログラマブル・
マシン・コントローラ）の制御によって行われる。
このようにして、運転停止時に自動的にレーザガスを
放電管内に充填するので、運転停止時に放電管内部にギ
ヤボックス内のオイルが混入するのを防止することがで
きる。
放電管内に充填するので、運転停止時に放電管内部にギ
ヤボックス内のオイルが混入するのを防止することがで
きる。
以上説明したように本発明では、ガスレーザ装置の運
転停止時に、圧力の低下を検出して自動的にレーザガス
供給装置からレーザガスを放電管等に充電し、充填中は
電源オフ釦を無効したので、運転停止時に自動的に放電
管等にレーザガスが所定の圧力に充填され、途中で誤っ
て電源がオフされてレーザガスが大気圧まで充電されな
いことを防止し、ギヤボックス内のオイルが放電管等に
混入するのを防ぎ、光学部品の劣化を防止することがで
きる。
転停止時に、圧力の低下を検出して自動的にレーザガス
供給装置からレーザガスを放電管等に充電し、充填中は
電源オフ釦を無効したので、運転停止時に自動的に放電
管等にレーザガスが所定の圧力に充填され、途中で誤っ
て電源がオフされてレーザガスが大気圧まで充電されな
いことを防止し、ギヤボックス内のオイルが放電管等に
混入するのを防ぎ、光学部品の劣化を防止することがで
きる。
【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の一実施例のブロック図である。 １……放電管 ２……全反射鏡 ３……出力結合鏡 ４……ルーツブローワ 4a……ギヤボックス ５……レーザガス供給装置 ６……ガス供給弁 ７……圧力センサ ９……排気装置 10……数値制御装置（CNC） 12……ガス圧力制御手段 14……電源制御手段 15……電源釦
Claims (1)
- 【請求項１】レーザガスを循環させながらレーザ発振を
おこなうガスレーザ装置において、 レーザガス供給装置と、 前記レーザガス供給装置の出口に設けられたガス供給弁
と、 放電管内のレーザガスを排気する排気装置と、 前記放電管内の内圧を検出する圧力センサと、 前記ガスレーザ装置の運転停止時に、前記圧力センサで
放電管内の圧力低下を検出して、前記ガス供給弁を開い
て、所定の圧力までレーザガスを前記放電管に充填する
ガス圧力制御手段と、 前記ガス圧力制御手段がレーザガスを充填中は電源オフ
釦を無効にする電源制御手段と、 を有することを特徴とするガスレーザ装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62169297A JP2593156B2 (ja) | 1987-07-07 | 1987-07-07 | ガスレーザ装置 |
| EP19880906067 EP0324034A4 (en) | 1987-07-07 | 1988-07-06 | GAS LASER. |
| PCT/JP1988/000673 WO1989000353A1 (en) | 1987-07-07 | 1988-07-06 | Gas laser |
| US07/320,299 US4937837A (en) | 1987-07-07 | 1988-07-06 | Gas laser device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62169297A JP2593156B2 (ja) | 1987-07-07 | 1987-07-07 | ガスレーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6412591A JPS6412591A (en) | 1989-01-17 |
| JP2593156B2 true JP2593156B2 (ja) | 1997-03-26 |
Family
ID=15883907
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62169297A Expired - Fee Related JP2593156B2 (ja) | 1987-07-07 | 1987-07-07 | ガスレーザ装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4937837A (ja) |
| EP (1) | EP0324034A4 (ja) |
| JP (1) | JP2593156B2 (ja) |
| WO (1) | WO1989000353A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2706485B2 (ja) * | 1988-10-07 | 1998-01-28 | ファナック株式会社 | レーザガス置換量制御方法 |
| US5383217A (en) * | 1989-05-09 | 1995-01-17 | Nikon Corporation | Exposure apparatus with laser source requiring new gas introduction |
| JP3721337B2 (ja) * | 2002-03-22 | 2005-11-30 | ファナック株式会社 | レーザ発振器 |
| CN103107477B (zh) * | 2013-01-23 | 2015-01-07 | 深圳市大族激光科技股份有限公司 | 抑制气体激光器的谐振腔内油污染的方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5968982A (ja) * | 1982-10-12 | 1984-04-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ−ザ発振器のガス制御方法 |
| JPS5992586A (ja) * | 1982-11-18 | 1984-05-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスレ−ザ装置 |
| US4547885A (en) * | 1983-05-06 | 1985-10-15 | Coherent, Inc. | Active pressure regulator for a gas laser |
| JPS60214577A (ja) * | 1984-04-11 | 1985-10-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスレ−ザ発振装置 |
-
1987
- 1987-07-07 JP JP62169297A patent/JP2593156B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1988
- 1988-07-06 EP EP19880906067 patent/EP0324034A4/en not_active Withdrawn
- 1988-07-06 WO PCT/JP1988/000673 patent/WO1989000353A1/ja not_active Application Discontinuation
- 1988-07-06 US US07/320,299 patent/US4937837A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO1989000353A1 (en) | 1989-01-12 |
| EP0324034A4 (en) | 1989-08-09 |
| US4937837A (en) | 1990-06-26 |
| JPS6412591A (en) | 1989-01-17 |
| EP0324034A1 (en) | 1989-07-19 |
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