JPH0730176A - ガスレーザ発振装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 レーザ光出力部の出力特性を運転途中で切り
換え設定する場合でも、その都度自動出力較正を行うこ
となく、迅速に適切な出力基準で高圧電源に出力基準を
設定できるようにする。 【構成】 制御装置２５は、レーザガス制御圧力の切り
換え設定を排気弁駆動装置３１ａにより制御し、モード
セレクタ３５の切り換え設定をモードセレクタ切換装置
３５ａにより制御する。レーザガス制御圧力およびモー
ドセレクタ３５の設定状態はそれぞれ圧力センサ３２お
よび検出スイッチ３６により検出する。制御装置２５
は、装置の立ち上げ時に、レーザ光出力部２１の設定可
能なすべての出力特性について較正データを測定して記
憶し、運転中は、その較正データに基いて高圧電源２４
に出力基準を与えるので、出力特性を切り換え設定した
場合でも、その都度較正データを測定する必要がなく、
正確且つ迅速に制御できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、レーザ光出力を測定し
てその測定データに基いて高圧電源に対する出力基準を
与えるようにしたガスレーザ発振装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】この種のガスレーザ発振装置としては、
例えば、図９および図１０に示すようなものがある。す
なわち、図９において、レーザ光出力部１を構成してい
る封入管２にはレーザ媒質として二酸化炭素を主成分と
したレーザガスが封入されており、その上下には電極
３，３が配設されており、高圧電源４から給電されるよ
うになっている。高圧電源４は、制御装置５により所定
の出力基準が設定されると、その出力基準に応じた高圧
出力を電極３，３に与える。封入管２外部の左右には反
射鏡６および出力鏡７が封入管２を挟んで対向するよう
に配置され、共振器８を構成している。

【０００３】封入管２の電極３，３に高圧電源４から所
定の電力が供給されると、内部のレーザガスが励起され
て発光し、その光が共振器８により共振されることによ
り、出力鏡７側からレーザ光として出力されるようにな
る。

【０００４】封入管２内部のレーザガスは、レーザガス
循環装置９により循環されるようになっている。レーザ
ガスの循環経路の途中にはレーザガス供給弁１０が設け
られており、封入管２内部に一定速度でレーザガスが供
給されるようになっている。また、レーザガスの循環経
路の途中には、レーザガス制御排気弁１１が設けられて
おり、封入管２内部のレーザガスが排気されるようにな
っている。この場合、レーザガスの循環経路の途中には
圧力センサ１２が設けられており、制御装置５は、圧力
センサ１２からの検出信号に基いて封入管２内部のレー
ザガスの圧力が一定範囲内に入るようにレーザガス制御
排気弁１１の開閉を制御するようになっている。

【０００５】反射鏡６は共振しているレーザ光を数パー
セント程度透過させるようになっており、その透過した
レーザ光は反射鏡６の背後に配置された積分球１３に入
射されるようになっている。積分球１３は入射されたレ
ーザ光をさらに数パーセントに低減して光センサ１４に
入力するようになっている。光センサ１４による検出信
号は制御装置５に入力されるようになっている。

【０００６】さて、前述した封入管２においては、例え
ば、必要に応じて内部のレーザガス圧力を定格制御圧力
とその１２０％程度の圧力との２通りに設定可能となっ
ており、前者を運転ガス制御圧力Ａ、後者を運転ガス制
御圧力Ｂとしている。この場合、運転ガス制御圧力Ｂが
設定された状態では、運転ガス制御圧力Ａが設定された
場合に比べて、同一の高圧電源４の出力では１０％程度
高いレーザ光出力が得られるようになっている。

【０００７】また、運転ガス制御圧力Ａを設定した場合
では、高圧電源４の出力をデューティ５０％のパルスと
してピーク値を定格出力の倍程度の値として設定する所
謂エンハンスト運転が可能であるが、運転ガス制御圧力
Ｂを設定した場合では、レーザガスの圧力が高い分だけ
封入管２内における放電抵抗が高くなるためエンハンス
ト運転を行うことはできないようになっている。

【０００８】また、封入管２と出力鏡７との間には、共
振器８内に挿入可能な円環状をなすモードセレクタ１５
が配設されている。このモードセレクタ１５は、レーザ
加工を行うにあたって、そのレーザ光の出力モードを設
定することにより、レーザ加工の種類に適したレーザ光
を出力するために設けられたものである。

【０００９】例えば、モードセレクタ１５を使用しない
場合には、レーザ光は高次モードとなり、溶接加工や焼
き入れ加工等に適した状態となり、モードセレクタ１５
を使用した場合には、レーザ光は低次モードとなって切
断加工等に適した状態となるように構成されている。

【００１０】また、モードセレクタ１５が不使用状態の
場合に対して、使用状態の場合では、同一の高圧電源４
の出力では７０〜８０％程度のレーザ光出力に低下す
る。これは、モードセレクタ１５の使用により、レーザ
光の光路が制限されるため、レーザ共振現象の起きる範
囲が制限されるためである。

【００１１】上記構成において、制御装置５は、装置の
立ち上げ時に、高圧電源４の出力を一定にした状態とし
て一定時間レーザ発振動作を行わせてウォームアップ運
転を実施し、続いて高圧電源４の出力基準値に対するレ
ーザ光出力のレベルをサンプリングして較正データを作
成する自動出力較正プログラムを実行する。

【００１２】この場合、制御装置５は、図１０に示すよ
うに自動出力較正プログラムにおいて、入出力データの
サンプリングとして、高圧電源４への出力基準を複数段
階として例えば５段階に順次設定し、各出力基準におけ
るレーザ光出力のレベルを光センサ１４により測定す
る。測定されたデータは、実際の入出力特性に対して離
散的な値となっているが、これを折れ線近似するするこ
とにより較正データとして記憶する。

【００１３】さて、レーザ運転時においては、制御装置
５は、使用者が設定したレーザ光出力レベルに対して、
記憶した較正データに基いて、対応する高圧電源４への
出力基準を換算して高圧電源４に与えるようになり、共
振器８からは設定されたレーザ光出力レベルに応じたレ
ベルのレーザ光出力が得られるようになる。

【００１４】これにより、レーザ光の出力レベルが、共
振器８や電極３，３の経時劣化などの条件により変化し
た場合でも、立ち上げ時に常に自動出力較正を実施する
ことにより設定したレーザ光出力レベルに対応して常に
正確なレーザ光出力を得ることができるようになる。

【００１５】また、運転モードとして運転ガス制御圧力
の設定状態あるいはモードセレクタ１５の使用状態によ
り、入出力特性が異なる場合でも、立ち上げ時に自動出
力較正プログラムを実行するので、設定したレーザ光出
力レベルに対応して常に正確なレーザ光出力を得ること
ができるようになる。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ような従来構成のものでは、例えば、装置の立ち上げ時
には、運転モードとして運転ガス制御圧力Ａを設定し、
運転状態において、途中で運転ガス制御圧力Ｂに切り換
え設定する場合には、立ち上げ時に行った自動出力較正
の較正データと異なるため、使用者により設定されたレ
ーザ光出力レベルに対して、高圧電源４に正確な出力基
準を与えることができなくなる不具合がある。

【００１７】そこで、例えば、運転モードを切り換えた
ときに、同時に上述の自動出力較正プログラムを実行さ
せることが考えられるが、この場合には、運転モードを
切り換える都度、自動出力較正プログラムを実行する必
要が生じて使用者の負担が増加し使い勝手が悪くなる不
具合がある。また、頻繁に運転モードを切り換える場合
には、共振器８によるレーザ光出力の稼働率が大幅に低
下してしまう不具合も生ずることになる。

【００１８】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、その目的は、運転中に出力特性を設定手段により切
り換え設定した場合でも、その出力特性に対応した出力
基準でレーザ光出力手段を駆動することができるガスレ
ーザ発振装置を提供するにある。

【００１９】

【課題を解決するための手段】本発明は、複数の出力特
性が設定可能なレーザ光出力部と、このレーザ光出力部
の出力特性を切り換え設定するための設定手段と、前記
レーザ光出力部に高電圧を印加してレーザ光を出力させ
る高圧電源と、前記高圧電源に対して出力基準を与えて
駆動する制御手段とを有するガスレーザ発振装置を対象
とするものであり、前記レーザ光出力部から出力される
レーザ光出力を測定するための測定手段と、前記レーザ
光出力部の出力特性の設定状態を検出する検出手段とを
設けて構成し、前記制御手段により、前記レーザ光出力
部の立ち上げ時において、前記設定手段により設定可能
な複数の出力特性を順次切り換え設定し、それぞれの設
定状態で前記高圧電源に対する出力基準と前記測定手段
による前記レーザ光出力の測定値との相関データを出力
特性データとして記憶手段に記憶し、運転時において、
前記検出手段の検出信号に基いて前記出力特性の設定状
態に対応する出力特性データを前記記憶手段から読み出
し、その出力特性データに基いて前記高圧電源に出力基
準を与えて制御するようにしたところに特徴を有する。

【００２０】また、レーザ光出力部を、レーザガスの制
御圧力を複数段階に切り換えることにより複数の出力特
性を切り換え設定する構成とすることができる。さら
に、レーザ光出力部を、レーザビームの強度分布を複数
段階に切り換えることにより複数の出力特性を切り換え
設定する構成とすることもできる。

【００２１】

【作用】請求項１記載のガスレーザ発振装置によれば、
立ち上げ時においては、制御手段は、設定手段により設
定可能な複数の出力特性を順次切り換え設定し、それぞ
れの設定状態で高圧電源に対する出力基準と測定手段に
よるレーザ光出力の測定値との相関データを出力特性デ
ータとして記憶手段に記憶し、運転時においては、検出
手段の検出信号に基いて出力特性の設定状態に対応する
出力特性データを記憶手段から読み出してその出力特性
データに基いて高圧電源に出力基準を与えて制御するよ
うになる。これにより、運転時に、設定手段により出力
特性を切り換えて使用する場合でも、常にその設定状態
に対応した出力特性データに基いて高圧電源に出力基準
が与えられるので、使用者が設定したレーザ光出力レベ
ルに対して、レーザ光出力部から正確なレーザ光出力レ
ベルで運転することができるようになる。

【００２２】請求項２記載のガスレーザ発振装置によれ
ば、運転中にレーザガス制御圧力を切り換え設定した場
合でも、上述同様にして、常にその設定状態に対応した
出力特性データに基いて高圧電源に出力基準が与えられ
るので、使用者が設定したレーザ光出力レベルに対し
て、レーザ光出力部から正確なレーザ光出力レベルで運
転することができるようになる。

【００２３】請求項３記載のガスレーザ発振装置によれ
ば、運転中にレーザ光出力部のレーザビームの強度分布
を切り換え設定した場合でも、前述同様にして、常にそ
の設定状態に対応した出力特性データに基いて高圧電源
に出力基準が与えられるので、使用者が設定したレーザ
光出力レベルに対して、レーザ光出力部から正確なレー
ザ光出力レベルで運転することができるようになる。

【００２４】

【実施例】以下、本発明の一実施例について、図１ない
し図８を参照しながら説明する。すなわち、全体構成の
概略を示す図１において、レーザ光出力部２１を構成し
ている封入管２２にはレーザ媒質として二酸化炭素を主
成分としたレーザガスが封入されており、その上下に電
極２３，２３が配設されている。これらの電極２３，２
３は高圧電源２４から給電されるようになっている。高
圧電源２４は制御手段としての制御装置２５により所定
の出力基準が設定され、その出力基準に応じた高圧出力
を電極２３，２３に与える。制御装置２５は、後述する
ように、出力特性を記憶する記憶手段としての記憶部を
有する構成となっている。封入管２２外部の左右には反
射鏡２６および出力鏡２７が封入管２２を挟んで対向す
るように配置され、これらにより共振器２８を構成して
いる。

【００２５】封入管２２の電極２３，２３に高圧電源２
４から所定の電力が供給されると、内部のレーザガスが
励起されて発光し、共振器２８により共振されて出力鏡
２７側からレーザ光として出力されるようになる。

【００２６】封入管２２内部のレーザガスは、レーザガ
ス循環装置２９により循環されるようになっている。レ
ーザガスの循環経路の途中にはレーザガス供給弁３０が
設けられており、封入管２２内部に一定速度でレーザガ
スが供給されるようになっている。また、レーザガスの
循環経路の途中には、設定手段としてのレーザガス制御
排気弁３１が設けられており、封入管２２内部のレーザ
ガスが排気されるようになっている。この場合、レーザ
ガスの循環経路の途中には圧力センサ３２が設けられて
おり、制御装置２５は、圧力センサ３２からの検出信号
に基いて封入管２２内部のレーザガスの圧力が一定範囲
内に入るようにレーザガス制御排気弁３１の開閉を排気
弁駆動装置３１ａを介して制御するようになっている。

【００２７】反射鏡２６は共振しているレーザ光を数パ
ーセント程度透過させるようになっており、その透過し
たレーザ光は反射鏡２６の背後に配置された積分球３３
に入射されるようになっている。積分球３３は入射され
たレーザ光をさらに数パーセントに低減して測定手段と
しての光センサ３４に入力するようになっている。光セ
ンサ３４による検出信号は制御装置２５に入力されるよ
うになっている。

【００２８】さて、前述した封入管２２においては、例
えば、必要に応じて内部のレーザガス圧力を定格制御圧
力とその１２０％程度の圧力との２通りに設定可能とな
っており、前者を運転ガス制御圧力Ａ、後者を運転ガス
制御圧力Ｂとしている。この場合、運転ガス制御圧力Ｂ
が設定された状態では、運転ガス制御圧力Ａが設定され
た場合に比べて、同一の高圧電源２４の出力では１０％
程度高いレーザ光出力が得られるようになっている。

【００２９】この場合、運転ガス制御圧力Ａ，Ｂの条件
により、そのときの高圧電源２４に対する出力基準とレ
ーザ光出力レベルとの関係は図３に示すようになり、高
圧電源２４の出力が高くなるに従って、レーザ光の出力
レベルに差が生じてくるという特性を有している。

【００３０】そして、運転ガス制御圧力Ａを設定した場
合では、高圧電源２４の出力をデューティ５０％のパル
スとしてピーク値を定格出力の倍程度の値として設定す
る所謂エンハンスト運転が可能であるが、運転ガス制御
圧力Ｂを設定した場合では、レーザガスの圧力が高い分
だけ封入管２２内における放電抵抗が高くなるためエン
ハンスト運転を行うことはできないようになっている。

【００３１】また、封入管２２と出力鏡２７との間に
は、共振器２８内に挿入可能な円環状をなすモードセレ
クタ３５が配設されている。このモードセレクタ３５
は、レーザ加工を行うにあたって、そのレーザ光の出力
モードを設定することにより、レーザ加工の種類に適し
たレーザ光を出力するために設けられたものである。こ
のモードセレクタ３５は、制御装置２５により設定手段
としてのモードセレクタ切換装置３５ａを介して切り換
え設定可能となっている。また、モードセレクタ３５の
設定状態は、検出手段としての検出スイッチ３６により
検出され、制御装置３５にその検出信号が入力されるよ
うになっている。

【００３２】このモードセレクタ３５は、共振器２８内
に挿入して使用しない場合には、レーザ光出力は図５に
示すような高次モードの強度分布を有するレーザビーム
となり、これは例えば溶接加工や焼き入れ加工等に適し
ている。一方、モードセレクタ３５を共振器２８内に挿
入して使用した場合には、レーザ光出力は図６に示すよ
うな低次モードの強度分布を有するレーザビームとな
り、これは例えば切断加工等に適している。

【００３３】また、モードセレクタ３５が不使用状態の
場合に対して、使用状態の場合では、同一の高圧電源２
４の出力では７０〜８０％程度のレーザ光出力に低下す
る。これは、モードセレクタ３５の使用により、レーザ
光の光路が制限されるため、レーザ共振現象の起きる範
囲が制限されるためである。この場合、その出力特性の
違いは、例えば、図４に示すように、モードセレクタ３
５の使用、不使用に応じて、高圧電源２４の出力基準に
対してレーザ光出力レベルが使用時の方が低い値となっ
ている。

【００３４】次に、本実施例の作用について図７および
図８をも参照して説明する。なお、ここでは、装置の運
転モードの設定状態が、例えば、運転ガス制御圧力Ｂで
モードセレクタ３５を使用しない状態に設定されている
状態で、電源が投入された場合を例にとって説明する。

【００３５】すなわち、制御装置２５は、装置の立ち上
げ時に、使用者により設定された運転モードで運転を開
始するが、このとき、まず高圧電源２４の出力を一定に
した状態として一定時間レーザ発振動作を行わせてウォ
ームアップ運転を実施し、続いて、高圧電源２４の出力
基準値に対するレーザ光出力のレベルをサンプリングし
て較正データを作成する自動出力較正プログラム（図２
参照）を実行するようになる。

【００３６】制御装置２５は、ステップＳ１にて、入出
力データのサンプリングとして、高圧電源２４への出力
基準を例えば定格出力に対してａないしｅの５段階に順
次設定し、各出力基準におけるレーザ光出力のレベル
（定格出力に対してＡないしＥ）を光センサ３４により
測定する。この場合、高圧電源２４に対する５段階の出
力基準の設定値ａないしｅは、例えばそのときのレーザ
光出力特性が図７に示すような関係にあるときに、その
出力特性を近似できるようなレベルに設定して測定す
る。

【００３７】このようにして測定されたデータは、実際
の入出力特性に対して離散的な値となっているが、これ
を例えば図８に示すような折れ線近似することにより図
７に示す実際の入出力特性として近似するのである。そ
して、制御装置２５は、この測定データをそのときの運
転モード（運転ガス制御圧力Ｂでモードセレクタ３５を
不使用）における較正データとして記憶するようにな
る。

【００３８】次に、制御装置２５は、ステップＳ２を経
てステップＳ３で、例えばモードセレクタ３５を使用し
た状態に運転モードを切り換える。すなわち、制御装置
２５は、モードセレクタ切換装置３５ａによりてモード
セレクタ３５を共振器２８内に挿入する。この状態で、
制御装置２５は、再びステップＳ１に戻ってその運転モ
ードにおける入出力特性データを取得し、較正データと
して記憶する。

【００３９】以下同様にして、制御装置２５は、すべて
の運転モードに順次切り換えてそれらの運転モード設定
状態で入出力特性データを取得し、較正データとして記
憶するようになる。すなわち、制御装置２５は、排気弁
駆動装置３１ａに制御信号を与えてレーザガス排気弁３
１による排気量を制御し、圧力センサ３２の検出信号に
基いて封入間２１内のレーザガスの圧力を運転ガス制御
圧力Ａとなるように設定し、この状態でモードセレクタ
３５の使用状態および不使用状態の各状態に対応して入
出力特性データを測定するのである。

【００４０】このようにして、すべての運転モードに対
応して較正データを取得すると、制御装置２５は、ステ
ップＳ２で「ＹＥＳ」と判断してステップＳ４に進み、
ここで、運転モードを再び立ち上げ時の設定状態に戻す
ようになる。そして、これにより自動出力較正プログラ
ムを終了する。

【００４１】さて、運転時においては、制御装置２５
は、圧力センサ３２により検出されるレーザガスの圧力
から運転ガス制御圧力がＡに設定されているかあるいは
Ｂに設定されているかを判断をすると共に、検出スイッ
チ３６の検出信号によりモードセレクタ３５が使用状態
であるかあるいは不使用状態であるかを判断し、そのと
きの運転モードを判断する。

【００４２】そして、制御装置２５は、その運転モード
に対応する較正データを読み出し、使用者が設定してい
るレーザ光出力レベルに対応する高圧電源２４への出力
基準を、読出した較正データに基いて換算して与えるよ
うになる。これにより、共振器２８から使用者が設定し
たレーザ光出力レベルに対応したレーザ光が出力される
ようになる。

【００４３】また、上述のようにして運転している途中
で、使用者が運転モードの変更設定を行った場合には、
制御装置２５は、封入管２２内のレーザガスの圧力を圧
力センサ３２により検出すると共に、モードセレクタ３
５の使用状態を検出スイッチ３６により検出して設定さ
れた運転モードを判定する。そして、制御装置２５は、
自動出力較正プログラムにて記憶した較正データの中か
ら判定した運転モードに対応する較正データを読み出
し、その較正データに基いて高圧電源２４に対する出力
基準を設定するようになる。これにより、運転モードが
切り換えられても、常に、使用者が設定しているレーザ
光出力レベルに対応したレーザ光を出力することができ
るようになる。

【００４４】このような本実施例によれば、立ち上げ時
に、制御装置２５により自動出力較正プログラムを実施
して、すべての運転モードに対応して入出力特性を測定
して較正データとして記憶し、運転時に対応する運転モ
ードの較正データを読出して高圧電源２４に出力基準を
設定するようにしたので、運転中に運転モードを切り換
える場合でも、その都度入出力特性を測定するための時
間が不要となり、とくに頻繁に運転モードを切り換える
場合等においては稼働率を大幅に向上させることができ
るようになる。

【００４５】なお、上記実施例においては、運転モード
としてレーザガスの圧力を２段階に切り換え設定する構
成のものに適用した場合について説明したが、これに限
らず、３段階以上に切り換え設定可能な構成のものに適
用することもできる。

【００４６】また、上記実施例においては、運転モード
としてモードセレクタ３５によりレーザ光の強度分布を
２種類設定可能な構成の場合について説明したが、これ
に限らず、３種類以上のレーザ光の強度分布を設定可能
な構成のものに適用することもできる。

【００４７】さらに、上記実施例においては、運転モー
ドとして、レーザガス圧力およびレーザ光の強度分布の
両者を設定可能な構成のものに適用した場合について説
明したが、これに限らず、いずれか一方のみの切り換え
設定が可能な構成のものに適用することもできるし、あ
るいはさらに他の運転モードを組み合わせた構成のもの
に適用することもできるものである。

【００４８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のガスレー
ザ発振装置によれば、次のような効果を得ることができ
る。すなわち、請求項１記載のガスレーザ発振装置によ
れば、立ち上げ時において、制御手段により、設定手段
により設定可能な複数の出力特性を順次切り換え設定
し、それぞれの設定状態で高圧電源に対する出力基準と
測定手段によるレーザ光出力の測定値との相関データを
出力特性データとして記憶手段に記憶し、運転時におい
ては、検出手段の検出信号に基いて出力特性の設定状態
に対応する出力特性データを記憶手段から読み出してそ
の出力特性データに基いて高圧電源に出力基準を与えて
制御するようにしたので、運転時に、設定手段により出
力特性を切り換えて使用する場合でも、常にその設定状
態に対応した出力特性データに基いて迅速に高圧電源に
出力基準が与えられ、使用者が設定したレーザ光出力レ
ベルに対して、レーザ光出力部から正確にレーザ光を出
力することができるようになると共に、稼働率を低下さ
せることなく運転を継続することができるという優れた
効果を奏する。

【００４９】請求項２記載のガスレーザ発振装置によれ
ば、設定手段により、レーザ光出力部のレーザガスの制
御圧力を複数段階に切り換えることにより複数の出力特
性を切り換え設定するようにしているので、レーザ光の
出力中にレーザガスの圧力を切り換えて運転モードを切
り換え設定する場合でも、上述同様にして、常にその設
定状態に対応した出力特性データに基いて迅速に高圧電
源に出力基準が与えられ、使用者が設定したレーザ光出
力レベルに対して、レーザ光出力部から正確にレーザ光
を出力することができるようになると共に、稼働率を低
下させることなく運転を継続することができるという優
れた効果を奏する。

【００５０】請求項３記載のガスレーザ発振装置によれ
ば、設定手段により、レーザ光出力部のレーザビームの
強度分布を複数段階に切り換えることにより複数の出力
特性を切り換え設定するようにしているので、レーザ光
の出力中にレーザビームの強度分布を切り換え設定する
場合でも、上述と同様にして、常にその設定状態に対応
した出力特性データに基いて迅速に高圧電源に出力基準
が与えられ、使用者が設定したレーザ光出力レベルに対
して、レーザ光出力部から正確にレーザ光を出力するこ
とができるようになると共に、稼働率を低下させること
なく運転を継続することができるという優れた効果を奏
する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す全体のブロック構成図

【図２】自動出力較正プログラムのフローチャート

【図３】異なる運転ガス制御圧力に対する入出力特性図

【図４】モードセレクタの使用状態に対する入出力特性
図

【図５】モードセレクタ不使用状態でのレーザビームの
強度分布図

【図６】モードセレクタ使用状態での図５相当図

【図７】サンプリング時における高圧電源の出力基準設
定値

【図８】測定データにより近似した較正データ図

【図９】従来例を示す図１相当図

【図１０】図２相当図

【符号の説明】

２１はレーザ光出力部、２２は封入管、２３は電極、２
４は高圧電源、２５は制御装置（制御手段）、２６は反
射鏡、２７は出力鏡、２８は共振器、２９はレーザガス
循環装置、３０はレーザガス供給弁、３１はレーザガス
排気弁、３１ａは排気弁駆動装置（設定手段）、３２は
圧力センサ（検出手段）、３３は積分球、３４は光セン
サ（測定手段）、３５はモードセレクタ、３５ａはモー
ドセレクタ切換装置（設定手段）、３６は検出スイッチ
（検出手段）である。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の出力特性が設定可能なレーザ光出
   力部と、 このレーザ光出力部の出力特性を切り換え設定するため
   の設定手段と、 前記レーザ光出力部に高電圧を印加してレーザ光を出力
   させる高圧電源と、 前記高圧電源に対して出力基準を与えて駆動する制御手
   段とを有するガスレーザ発振装置において、 前記レーザ光出力部から出力されるレーザ光出力を測定
   するための測定手段と、 前記レーザ光出力部の出力特
   性の設定状態を検出する検出手段とを具備し、 前記制御手段は、前記レーザ光出力部の立ち上げ時にお
   いて、前記設定手段により設定可能な複数の出力特性を
   順次切り換え設定し、それぞれの設定状態で前記高圧電
   源に対する出力基準と前記測定手段による前記レーザ光
   出力の測定値との相関データを出力特性データとして記
   憶手段に記憶し、運転時において、前記検出手段の検出
   信号に基いて前記出力特性の設定状態に対応する出力特
   性データを前記記憶手段から読み出し、その出力特性デ
   ータに基いて前記高圧電源に出力基準を与えて制御する
   ことを特徴とするガスレーザ発振装置。
2. 【請求項２】 レーザ光出力部は、レーザガスの制御圧
   力を複数段階に切り換えることにより複数の出力特性が
   設定可能に構成されていることを特徴とする請求項１記
   載のガスレーザ発振装置。
3. 【請求項３】 レーザ光出力部は、レーザビームの強度
   分布を複数段階に切り換えることにより複数の出力特性
   が設定可能に構成されていることを特徴とする請求項１
   記載のガスレーザ発振装置。